JP2010222397A - Si−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法 - Google Patents
Si−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】固体有機ポリシロキサン1の表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満のレーザー光2を照射し、その際誘起される酸化・還元反応の増強・抑制のバランスを制御することにより、所望の色彩を放つ発光改質層を位置選択的又は空間選択的に形成して、Si−O−Si結合を含む化合物を基礎とした新規フレキシブル発光素子を作製する。
【選択図】図1
Description
以下、本発明に係るSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法を実施例で詳述する。
2 レーザー光
3 マスク
4 レンズ
Claims (6)
- Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の光を照射し、その際誘起される酸化・還元反応の増強・抑制のバランスを制御することにより、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
- 真空中で、Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の光を照射することにより、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
- Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の第1の光を照射し、その後、露光された前記化合物に真空中において波長190nm以上266nm未満の第2の光を照射して、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
- Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の第1の光を照射し、露光された前記化合物に、第1の光よりも短い波長で波長190nm以下の第2の光を照射して、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
- 大気に含まれる酸素よりも高い濃度の酸素ガス雰囲気中で、Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の光を照射することにより、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
- Si−O−Si結合を含む化合物表面乃至は内部に、波長190nm以上266nm未満の光を照射し、露光された前記化合物に、その後熱処理を加えることにより、所望の色彩を放つ発光改質層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた発光素子作製法。
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