JP4691664B2 - Si−O−Si結合を含む化合物の内部改質法及びデバイス - Google Patents
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Description
第1形態における実験概略構成として、第1のレーザー2を波長157nmのF2 レーザーを用いた。レーザー照射部分でのエネルギー密度は、約10mj/cm2 /pulse一定とした。また、パルス繰り返し周波数は10Hz一定とした。シリコーン1はゴム状のものを用い、その厚さは0.5mm及び2mmとし、実験は大気中で行った。
第2形態の実験概略構成において、第1の光5として、波長172nmのエキシマランプを、第2のレーザ光6として、波長790nm、パルス幅130fsのモードロックチタンサファイアレーザーを再生増幅したものを用いた。レーザー照射部分でのエネルギー密度は、約1mJ/cm2 /pulse一定とした。また、パルス繰り返し周波数は1kHz一定とした。シリコーン1はゴム状のものを用い、その厚さは0.5mm及び2mmとし、実験は大気中で行った。
2 第1のレーザ光
3 集光レンズ
4 シリカガラス層
5 第1の光
6 第2のレーザ光
Claims (3)
- 波長190nm以下の光を照射した状態で、当該光の波長以上の波長を有する第2のレーザ光を集光照射してシリカガラス層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物の内部改質法。
- 請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物の内部改質法により、Si−O−Si結合を含む化合物内部にシリカガラス層が形成されたことを特徴とするデバイス。
- Si−O−Si結合を含む化合物の表面に、波長190nm以下の光を照射した状態で、当該光の波長以上の波長を有する第2のレーザ光を集光照射してシリカガラス層を形成した後、Si−O−Si結合を含む化合物で被覆することを特徴とするデバイス。
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