JP5223095B2 - Si−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法及び硬質超撥水性素子 - Google Patents
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Description
2 レーザー光
3 マスク
4 マイクロ/ナノ周期構造
5 波長190nm以下の光
6 光学的に干渉させた波長190nm以下の光
Claims (7)
- Si−O−Si結合を含む固体化合物表面に、マイクロ/ナノ微細凹凸構造を形成した後、波長190nm以下の光を照射することにより、前記微細凹凸構造表面をシリカガラス化することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法。
- Si−O−Si結合を含む固体化合物表面に、レーザー光によりマイクロ/ナノ微細凹凸構造を形成した後、波長190nm以下の光を照射することにより、前記微細凹凸構造表面をシリカガラス化することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法。
- Si−O−Si結合を含む固体化合物表面に、フレネル回折のかかったレーザー光を用いたアブレーションによりマイクロ/ナノ微細凹凸構造を形成した後、波長190nm以下の光を照射することにより、前記微細凹凸構造表面をシリカガラス化することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法。
- Si−O−Si結合を含む固体化合物表面に、光学的に干渉させたレーザー光を用いたアブレーションによりマイクロ/ナノ微細凹凸構造を形成した後、波長190nm以下の光を照射することにより、前記微細凹凸構造表面をシリカガラス化することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法。
- Si−O−Si結合を含む固体化合物表面に、光学的に干渉させた波長190nm以下の光を照射することにより、シリカガラス化したマイクロ/ナノ微細凹凸構造を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた硬質超撥水性材料の作製法。
- 請求項1,2,3,4又は5記載の作製法で得られた硬質超撥水性材料を有することを特徴とする硬質超撥水性素子。
- 請求項1,2,3,4又は5記載の作製法で得られた硬質超撥水性材料を、他の材料と複合化したことを特徴とする硬質超撥水性素子。
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