JP2010219620A - 半導体集積回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】信号の非伝送期間においてロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることなく、Pチャンネル電界効果トランジスタを順次介して伝送されるパルス波形のNBTIによる劣化を補償する。
【解決手段】インバータV1〜V12をインバータ群G1、G2に分類し、インバータ群G1、G2の間には、インバータV1〜V12を順次介して伝送される信号の非伝送期間において、インバータ群G2に入力される電圧レベルを反転する電圧レベル反転部11を挿入する。
【選択図】 図1

Description

本発明は半導体集積回路に関し、特に、Pチャンネル電界効果トランジスタを含む論理回路を順次介して伝送されるパルス波形がNBTI(Negative Bias Temperature Instability:負バイアス温度不安定性)によって劣化するのを抑制する方法に適用して好適なものである。
PMOSトランジスタは、NBTIによって経時劣化することが知られている。このNBTIによる経時劣化、高温の条件下でPMOSトランジスタのオン状態が長時間継続された場合(例えば、ソース電圧およびドレイン電圧が0Vで、ゲート電圧が負バイアスの場合)、PMOSトランジスタのしきい値電圧が上昇し、電流駆動能力が低下する現象である。
ここで、特許文献1には、イネーブル信号ENがロウレベルに変化するたびにバッファ及びフリップフロウップの論理レベルをロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることにより、ハイレベル固定期間とロウレベル固定期間が同じとみなせるようにして、バッファのNBTIによる遅延劣化の影響を等しくし、クロックスキューを抑制する方法が開示されている。
特開2006−211494号公報
しかしながら、特許文献1に開示された方法では、信号の非伝送期間においても、バッファ及びフリップフロウップの論理レベルをロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替える必要があることから、消費電流および回路面積の増大を招くという問題があった。
本発明の目的は、信号の非伝送期間においてロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることなく、Pチャンネル電界効果トランジスタを順次介して伝送されるパルス波形のNBTIによる劣化を補償することが可能な半導体集積回路を提供することである。
本発明の一態様によれば、複数段接続された論理回路と、前記論理回路の信号伝送経路上に挿入され、前記論理回路に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部と、前記電圧レベル反転部にて反転される電圧レベルの反転タイミングを制御する反転タイミング制御部とを備えることを特徴とする半導体集積回路を提供する。
本発明の一態様によれば、複数のインバータが複数段接続された第1のインバータ群と、前記第1のインバータ群の後段に接続され、複数のインバータが複数段接続された第2のインバータ群と、前記第1のインバータ群と前記第2のインバータ群との間に挿入され、前記インバータを順次介して伝送される信号の非伝送期間において、前記第2のインバータ群に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部とを備えることを特徴とする半導体集積回路を提供する。
本発明の一態様によれば、複数のシフトレジスタが複数段接続された第1のシフトレジスタ群と、前記第1のシフトレジスタ群の後段に接続され、複数のシフトレジスタが複数段接続された第2のシフトレジスタ群と、前記第1のシフトレジスタ群に設けられ、複数のインバータを順次介してクロック信号を伝送する第1のインバータ群と、前記第2のシフトレジスタ群に設けられ、複数のインバータを順次介して前記クロック信号を伝送する第2のインバータ群と、前記第1のインバータ群と前記第2のインバータ群との間に挿入され、前記クロック信号の非伝送期間において、前記第2のインバータ群に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部とを備えることを特徴とする半導体集積回路を提供する。
本発明によれば、信号の非伝送期間においてロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることなく、Pチャンネル電界効果トランジスタを順次介して伝送されるパルス波形のNBTIによる劣化を補償することが可能となる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体集積回路の概略構成を伝送波形とともに示すブロック図。 図2は、図1の半導体集積回路の各部の波形を示すタイミングチャート。 図3は、本発明の第2実施形態に係る半導体集積回路の概略構成を示すブロック図。 図4は、図3の半導体集積回路のシフトレジスタ群S2の概略構成を示すブロック図。 図5は、図3の半導体集積回路の各部の波形を示すタイミングチャート。 図6は、図3の半導体集積回路の各シフトレジスタ群の伝送波形を示す図。
以下、本発明の実施形態に係る半導体集積回路について図面を参照しながら説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体集積回路の概略構成を伝送波形とともに示すブロック図である。
図1において、この半導体集積回路には、インバータV1〜V12、電圧レベル反転部11および反転タイミング制御部12が設けられ、インバータV1〜V12は、複数段接続されている。なお、インバータV1〜V12には、Pチャンネル電界効果トランジスタM1およびNチャンネル電界効果トランジスタM2が設けられている。そして、Pチャンネル電界効果トランジスタM1のゲートとNチャンネル電界効果トランジスタM2のゲートとは共通に接続され、Pチャンネル電界効果トランジスタM1のドレインとNチャンネル電界効果トランジスタM2のドレインとは共通に接続されている。また、Pチャンネル電界効果トランジスタM1のソースはハイレベル(例えば、電源電位)に固定され、Nチャンネル電界効果トランジスタM2のソースはロウレベル(例えば、グランド電位)に固定されている。
そして、インバータV1〜V12の信号伝送経路上には電圧レベル反転部11が挿入されている。すなわち、例えば、インバータV1〜V6は、インバータ群G1を構成し、インバータV7〜V12は、インバータ群G2を構成することができる。そして、電圧レベル反転部11は、インバータ群G1、G2の間に挿入されている。
ここで、電圧レベル反転部11は、インバータ群G2に入力される電圧レベルを反転させることができる。また、反転タイミング制御部12は、電圧レベル反転部11にて反転される電圧レベルの反転タイミングを制御することができる。なお、反転タイミング制御部12は、インバータV1〜V12を順次介して伝送される信号の非伝送期間において、インバータ群G2に入力される電圧レベルが反転されるように反転タイミングを制御することが好ましい。
図2は、図1の半導体集積回路の各部の波形を示すタイミングチャートである。なお、T1は、図1のインバータV1〜V12を順次介して伝送される信号の伝送期間、T2は、図1のインバータV1〜V12を順次介して伝送される信号の非伝送期間であるものとする。
図2において、非伝送期間T2では、インバータV1に入力される入力信号CLKINp1がロウレベルに固定されているのもとする。また、反転タイミング制御信号TRANSが反転タイミング制御部12にてロウレベルにされると、インバータ群G1から出力された電圧レベルが電圧レベル反転部11にて反転されてからインバータ群G2に出力されるものとする。また、反転タイミング制御信号TRANSが反転タイミング制御部12にてハイレベルにされると、インバータ群G1から出力された電圧レベルが電圧レベル反転部11にて反転されることなく、インバータ群G2に出力されるものとする。
そして、非伝送期間T2内において、入力信号CLKINp1がロウレベルに固定されている場合、入力信号CLKINp1がインバータV1〜V6にて順次反転され、インバータ群G1からの出力信号CLKOUTp1もロウレベルになる。そして、インバータ群G1からの出力信号CLKOUTp1は、電圧レベル反転部11にて反転されてから、インバータ群G2に入力され、インバータ群G2の入力信号CLKINp2はハイレベルに固定される。ここで、入力信号CLKINp2がハイレベルに固定されている場合、入力信号CLKINp2がインバータV7〜V12にて順次反転され、インバータ群G2からの出力信号CLKOUTp2もハイレベルになる。
この結果、インバータ群G1において、奇数段目のインバータV1、V3、V5のPチャンネル電界効果トランジスタM1はオン、偶数段目のインバータV2、V4、V6のPチャンネル電界効果トランジスタM1はオフする。そして、Pチャンネル電界効果トランジスタM1のNBTIによる経時劣化は、Pチャンネル電界効果トランジスタM1がオンすることにより促進されることから、奇数段目のインバータV1、V3、V5のPチャンネル電界効果トランジスタM1のNBTIによる経時劣化が顕著に現れる。
一方、インバータ群G2において、入力信号CLKINp2がハイレベルに固定されている場合、奇数段目のインバータV7、V9、V11のPチャンネル電界効果トランジスタM1はオフ、偶数段目のインバータV8、V10、V12のPチャンネル電界効果トランジスタM1はオンする。このため、偶数段目のインバータV8、V10、V12のPチャンネル電界効果トランジスタM1のNBTIによる経時劣化は、奇数段目のインバータV7、V9、V11のPチャンネル電界効果トランジスタM1のNBTIによる経時劣化よりも顕著に現れる。
そして、インバータ群G1においては、奇数段目のインバータV1、V3、V5のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生し、インバータ群G2においては、偶数段目のインバータV8、V10、V12のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生したものとする。
そして、伝送期間T1内において、奇数段目のインバータV1、V3、V5のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生したものとすると、ロウレベルからハイレベルへ駆動する駆動入力が低下するので、奇数段目のインバータV1、V3、V5を通過するごとに信号の立ち上がりが鈍る。一方、偶数段目のインバータV2、V4、V6のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生していないものとすると、ハイレベルからロウレベルへ駆動する駆動入力は低下することがないので、偶数段目のインバータV2、V4、V6を通過しても信号の立ち下がりが鈍ることはない。
この結果、インバータV1〜V6を通過するに従って、信号のハイレベルの幅が拡大し、インバータ群G1の入力信号CLKINp1のハイレベルの幅に比べて出力信号CLKOUTp1のハイレベルの幅が広くなる。
そして、伝送期間T1内において、インバータ群G1から出力された出力信号CLKOUTp1は、電圧レベル反転部11にてレベルが反転されることなく、インバータ群G2に入力される。
そして、インバータ群G2において、偶数段目のインバータV8、V10、V12のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生したものとすると、ハイレベルからロウレベルへ駆動する駆動入力が低下するので、偶数段目のインバータV8、V10、V12を通過するごとに信号の立ち上がりが鈍る。一方、奇数段目のインバータV7、V9、V11のPチャンネル電界効果トランジスタM1にNBTIによる経時劣化が発生していないものとすると、ハイレベルからロウレベルへ駆動する駆動入力は低下することがないので、奇数段目のインバータV7、V9、V11を通過しても信号の立ち下がりが鈍ることはない。
この結果、インバータV7〜V12を通過するに従って、信号のハイレベルの幅が潰され、インバータ群G2の入力信号CLKINp2のハイレベルの幅に比べて出力信号CLKOUTp2のハイレベルの幅が狭くなる。
これにより、インバータ群G1にて拡大された信号のハイレベルの幅をインバータ群G2にて狭めさせることができる。このため、信号の非伝送期間T2においてロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることなく、インバータV1〜V12を順次介して伝送されるパルス波形のNBTIによる劣化を補償することが可能となり、消費電流および回路面積の増大を抑制しつつ、半導体集積回路の信頼性を向上させることができる。
なお、上述した実施形態では、NBTIによる劣化を補償するために、12個のインバータV1〜V12が複数段接続された構成を例にとって説明したが、インバータV1〜V12の個数は、12個に限定されることなく、複数個ならば任意の個数をとることができる。また、複数段接続されたインバータV1〜V12をインバータ群G1、G2にグループ分けする方法として、6個ずつグループ分けする方法について説明したが、インバータ群G1、G2に含まれるインバータV1〜V12の個数が複数個ならば、任意の個数で振り分けることができる。また、上述した実施形態では、インバータV1〜V12を2つのインバータ群G1、G2にグループ分けする方法について説明したが、各インバータ群に含まれるインバータV1〜V12の個数が複数個ならば、任意のグループ数にグループ分けすることができる。
また、上述した第1実施形態では、NBTIによる劣化を補償するために、複数段接続されたインバータV1〜V12を例にとって説明したが、Pチャンネル電界効果トランジスタを順次介してパルス波形が伝送される論理回路ならば、どのような論理回路であってもよく、例えば、NOT回路、AND回路、OR回路、NAND回路またはNOR回路であってもよいし、これらの回路が混在していてもよい。一方で、伝達信号が必ずしもクロックである必要はない。また、今回はNTBIの劣化を例に挙げたが、PBTI(Positive Bias Temperature Instability:正バイアス温度不安定性)が顕著な場合にも本実施形態を応用することができる。
(第2実施形態)
図3は、本発明の第2実施形態に係る半導体集積回路の概略構成を示すブロック図である。
図3において、この半導体集積回路には、シフトレジスタ群S1、S2および電圧レベル反転部K1、K2が設けられている。そして、シフトレジスタ群S1の後段にはシフトレジスタ群S2が接続され、シフトレジスタ群S1、S2のクロック信号の出力側には、電圧レベル反転部K1、K2がそれぞれ挿入されている。また、この半導体集積回路には、誤転送防止信号TRNS1pを伝送するバッファB1、B2および反転タイミング制御信号TRNS2pを伝送するバッファB3、B4が設けられている。
ここで、電圧レベル反転部K1、K2は、シフトレジスタ群S1、S2に入力されるクロック信号の非伝送期間において、次段のシフトレジスタ群に入力される電圧レベルを反転させることができる。具体的には、電圧レベル反転部K1には、Pチャンネル電界効果トランジスタM21、M23、Nチャンネル電界効果トランジスタM22、M24およびインバータV21、V22が設けられている。
そして、バッファB3の出力側は、インバータV22を介して、Nチャンネル電界効果トランジスタM22のゲートおよびPチャンネル電界効果トランジスタM23のゲートに接続されている。また、バッファB3の出力側は、Nチャンネル電界効果トランジスタM24のゲートおよびPチャンネル電界効果トランジスタM21のゲートに接続されている。また、シフトレジスタ群S1のクロック信号の出力側は、Pチャンネル電界効果トランジスタM21のドレインおよびNチャンネル電界効果トランジスタM22のドレインに接続されている。また、シフトレジスタ群S1のクロック信号の出力側は、インバータV22を介して、Pチャンネル電界効果トランジスタM23のドレインおよびNチャンネル電界効果トランジスタM24のドレインに接続されている。また、Pチャンネル電界効果トランジスタM21、M23のソースおよびNチャンネル電界効果トランジスタM22、M24のソースは、シフトレジスタ群S2のクロック信号の入力側に接続されている。
また、電圧レベル反転部K2には、Pチャンネル電界効果トランジスタM31、M33、Nチャンネル電界効果トランジスタM32、M34およびインバータV31、V32が設けられている。
そして、バッファB4の出力側は、インバータV32を介して、Nチャンネル電界効果トランジスタM32のゲートおよびPチャンネル電界効果トランジスタM33のゲートに接続されている。また、バッファB4の出力側は、Nチャンネル電界効果トランジスタM34のゲートおよびPチャンネル電界効果トランジスタM31のゲートに接続されている。また、シフトレジスタ群S2のクロック信号の出力側は、Pチャンネル電界効果トランジスタM31のドレインおよびNチャンネル電界効果トランジスタM32のドレインに接続されている。また、シフトレジスタ群S2のクロック信号の出力側は、インバータV32を介して、Pチャンネル電界効果トランジスタM33のドレインおよびNチャンネル電界効果トランジスタM34のドレインに接続されている。また、Pチャンネル電界効果トランジスタM31、M33のソースおよびNチャンネル電界効果トランジスタM32、M34のソースは、シフトレジスタ群S2の次段のシフトレジスタ群のクロック信号の入力側に接続される。
図4は、図3の半導体集積回路のシフトレジスタ群S2の概略構成を示すブロック図である。
図4において、シフトレジスタ群S2には、シフトレジスタR1〜Rn、インバータV4−1〜V4−n、V4−1´〜V4−n´および誤転送防止回路Z1が設けられている。なお、nは、2以上の整数である。そして、シフトレジスタR1〜Rnは、シリアル接続されるとともに、インバータV4−1〜V4−n、V4−1´〜V4−n´は、シリアル接続されている。なお、インバータV4−1〜V4−n、V4−1´〜V4−n´は、シフトレジスタ群S2に入力されるクロック信号CLKINp2をシフトレジスタR1〜Rnに伝送することができる。
ここで、誤転送防止回路Z1は、図3の電圧レベル反転部K1にて反転された電圧レベルがシフトレジスタ群S2のクロック端子に伝わるのを防止することができる。具体的には、誤転送防止回路Z1には、NAND回路A1〜AnおよびインバータV5−1〜V5−nが設けられている。そして、NAND回路A1〜Anの一方の入力端子は、インバータV4−1〜V4−nの入力端子にそれぞれ接続され、NAND回路A1〜Anの他方の入力端子は、誤転送防止信号TRNS1pの伝送線に接続されている。また、NAND回路A1〜Anの出力端子は、インバータV5−1〜V5−nをそれぞれ介して、シフトレジスタR1〜Rnのクロック端子CKにそれぞれ接続されている。
なお、シフトレジスタ群S1についても、シフトレジスタ群S2と同様の構成をとることができる。
図5は、図3の半導体集積回路の各部の波形を示すタイミングチャートである。
図5において、非伝送期間T2では、シフトレジスタ群S1に入力されるクロック信号CLKINp1がロウレベルに固定されているものとする。そして、クロック信号CLKINp1が、シフトレジスタ群S1のインバータV4−1〜V4−n、V4−1´〜V4−n´を介してシフトレジスタ群S1から出力されると、シフトレジスタ群S1から出力されるクロック信号CLKINp1もロウレベルになる。そして、非伝送期間T2において、反転タイミング制御信号TRNS2pがロウレベルである場合、Pチャンネル電界効果トランジスタM23およびNチャンネル電界効果トランジスタM24がオンし、シフトレジスタ群S1から出力されたクロック信号CLKINp1がインバータV21を介して、シフトレジスタ群S2に入力されることから、シフトレジスタ群S2に入力されるクロック信号CLKINp2はハイレベルになる。
この結果、シフトレジスタ群S1において、奇数段目のインバータV4−1〜V4−nのPチャンネル電界効果トランジスタはオン、偶数段目のインバータV4−1´〜V4−n´のPチャンネル電界効果トランジスタはオフする。一方、シフトレジスタ群S2において、奇数段目のインバータV4−1〜V4−nのPチャンネル電界効果トランジスタはオフ、偶数段目のインバータV4−1´〜V4−n´のPチャンネル電界効果トランジスタはオンする。このため、シフトレジスタ群S1においては、奇数段目のインバータV4−1〜V4−nのPチャンネル電界効果トランジスタのNBTIによる経時劣化が顕著に現れ、シフトレジスタ群S2においては、偶数段目のインバータV4−1´〜V4−n´のPチャンネル電界効果トランジスタのNBTIによる経時劣化が顕著に現れる。
また、非伝送期間T2において、反転タイミング制御信号TRNS2pがロウレベルである場合、誤転送防止信号TRNS1pもロウレベルにされる。そして、誤転送防止信号TRNS1pがロウレベルである場合、図4のNAND回路A1〜Anにてクロック信号CLKINp2のレベル変化がシフトレジスタ群S2に入力されるのが禁止され、シフトレジスタ群S2による誤転送が防止される。
そして、非伝送期間T2において、伝送期間T1に移行する直前に反転タイミング制御信号TRNS2pがロウレベルからハイレベルに変化すると、Pチャンネル電界効果トランジスタM21およびNチャンネル電界効果トランジスタM22がオンする。この結果、シフトレジスタ群S1から出力されたクロック信号CLKINp1は、インバータV21を介することなく、シフトレジスタ群S2に入力される。
また、非伝送期間T2において、反転タイミング制御信号TRNS2pがロウレベルからハイレベルに変化した後、誤転送防止信号TRNS1pもロウレベルからハイレベルに変化すると、NAND回路A1〜Anにてクロック信号CLKINp2のレベル変化がシフトレジスタ群S2に入力されるのが許容される。
そして、伝送期間T1において、クロック信号CLKINp1がシフトレジスタ群S1に入力されると、シフトレジスタ群S1に入力されたデータDATAINpが、クロック信号CLKINp1が立ち上がるごとに、シフトレジスタ群S1のシフトレジスタR1〜Rnを介してシフトされる。
また、伝送期間T1において、クロック信号CLKINp2がシフトレジスタ群S2に入力されると、シフトレジスタ群S2に入力されたデータDATAINpが、クロック信号CLKINp2が立ち上がるごとに、シフトレジスタ群S2のシフトレジスタR1〜Rnを介してシフトされる。
図6は、図3の半導体集積回路の各シフトレジスタ群の伝送波形を示す図である。
図6において、シフトレジスタ群S1の後段にはシフトレジスタ群S2が接続され、シフトレジスタ群S2の後段にはシフトレジスタ群S3が接続され、シフトレジスタ群S3の後段にはシフトレジスタ群S4が接続されているものとする。なお、シフトレジスタ群S1〜S4は、図4と同様の構成をとることができる。
そして、シフトレジスタ群S1、S3においては、奇数段目のインバータV4−1〜V4−nのPチャンネル電界効果トランジスタのNBTIによる経時劣化が顕著に現れ、シフトレジスタ群S2、S4においては、偶数段目のインバータV4−1´〜V4−n´のPチャンネル電界効果トランジスタのNBTIによる経時劣化が顕著に現れているものとする。
そして、伝送期間T1において、クロック信号CLKINp1〜CLKINp4がシフトレジスタ群S1〜S4にそれぞれ入力されたものとすると、シフトレジスタ群S1、S3にてクロック信号CLKINp1、CLKINp3のハイレベルの幅が広げられ、シフトレジスタ群S2、S4にてクロック信号CLKINp2、CLKINp4のハイレベルの幅が狭められる。
この結果、シフトレジスタ群S1、S3にて拡大されたクロック信号CLKINp1、CLKINp3信号のハイレベルの幅を、シフトレジスタ群S2、S4にて狭めさせることができる。このため、クロック信号CLKINp1〜CLKINp4の非伝送期間T2においてロウレベル固定状態とハイレベル固定状態とに交互に切り替えることなく、シフトレジスタ群S1〜S4を順次介して伝送されるパルス波形のNBTIによる劣化を補償することが可能となり、消費電流および回路面積の増大を抑制しつつ、半導体集積回路の信頼性を向上させることができる。
なお、上述した第2実施形態では、NBTIによる劣化を補償するために、複数段接続されたシフトレジスタ群S1〜S4を例にとって説明したが、シフトレジスタ群S1〜S4の他、例えば、DRAM、SRAM、フラッシュメモリなどに用いられるロウデコーダやカラムデコーダに適用するようにしてもよい。
V1〜V12、V21、V22、V31、V32、V4−1〜V4−n、V4−1´〜V4−n´、V5−1〜V5−n インバータ、G1、G2 インバータ群、M1、M21、M23、M31、M33 Pチャンネル電界効果トランジスタ、M2、M22、M24、M32、M34 Nチャンネル電界効果トランジスタ、11、K1、K2 電圧レベル反転部、12 反転タイミング制御部、S1〜S4 シフトレジスタ群、B1〜B4 バッファ、R1〜Rn シフトレジスタ、A1〜An NAND回路、Z1 誤転送防止回路

Claims (5)

  1. 複数段接続された論理回路と、
    前記論理回路の信号伝送経路上に挿入され、前記論理回路に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部と、
    前記電圧レベル反転部にて反転される電圧レベルの反転タイミングを制御する反転タイミング制御部とを備えることを特徴とする半導体集積回路。
  2. 前記反転タイミング制御部は、前記論理回路を順次介して伝送される信号の非伝送期間において前記電圧レベルが反転されるように反転タイミングを制御することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 複数のインバータが複数段接続された第1のインバータ群と、
    前記第1のインバータ群の後段に接続され、複数のインバータが複数段接続された第2のインバータ群と、
    前記第1のインバータ群と前記第2のインバータ群との間に挿入され、前記インバータを順次介して伝送される信号の非伝送期間において、前記第2のインバータ群に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部とを備えることを特徴とする半導体集積回路。
  4. 複数のシフトレジスタが複数段接続された第1のシフトレジスタ群と、
    前記第1のシフトレジスタ群の後段に接続され、複数のシフトレジスタが複数段接続された第2のシフトレジスタ群と、
    前記第1のシフトレジスタ群に設けられ、複数のインバータを順次介してクロック信号を伝送する第1のインバータ群と、
    前記第2のシフトレジスタ群に設けられ、複数のインバータを順次介して前記クロック信号を伝送する第2のインバータ群と、
    前記第1のインバータ群と前記第2のインバータ群との間に挿入され、前記クロック信号の非伝送期間において、前記第2のインバータ群に入力される電圧レベルを反転させる電圧レベル反転部とを備えることを特徴とする半導体集積回路。
  5. 前記電圧レベル反転部にて反転された電圧レベルが前記第1のシフトレジスタ群および前記第2のシフトレジスタ群のクロック端子に伝わるのを防止する誤転送防止回路をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路。
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