JP2010218638A - ディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法 - Google Patents

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【課題】ディスクの外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去する。
【解決手段】ディスククリーニング装置100は、磁気ディスク101を保持する保持部を有し、当該保持部に保持された磁気ディスク101を回転する回転駆動機構110と、保持部によって保持された磁気ディスク101の外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材120と、管状部材120の一端に接続され、案内部121から管状部材120の内部に案内された状態の磁気ディスク101の外周端部に対して気体を吹付けるエアー吹付装置130と、管状部材120の他端に接続され、エアー吹付装置130によって磁気ディスク101の外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引するエアー吸引装置140とを備えた。
【選択図】図1

Description

本発明は、ディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法に関し、例えば、ディスクの外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去することができるディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法に関する。
近年、HDD(Hard Disc Drive)等の磁気記録装置では、磁気ディスクの高記録密度化に伴って、磁気ディスクに対する磁気ヘッドの低浮上量化が進んでいる。このため、磁気ディスクの表面と、磁気ヘッドとの距離が近接する傾向にあり、磁気ディスクの表面にゴミ等の異物が付着していると、磁気ヘッドと異物とが衝突し、記録または再生が不能になるヘッドクラッシュ等の問題が生じる。
また、転写情報に応じた転写パターンを表面に形成したマスターディスクを磁気ディスクに密着させて磁気転写する磁気転写においても、マスターディスクや磁気ディスクの表面に異物が付着していると、転写不良やディスク表面の損傷等の問題が生じる。
特に、搬送の際に保持されるディスクの外周端部に、多くの異物が付着し、かかる異物が上述の問題を引き起こすことが多い。そこで、最近では、ディスクをクリーニングする技術、特に、ディスクの外周端部をクリーニングする技術が種々提案されている。
例えば、磁気ディスクの外周端部にワイプテープを押し当てることで、異物を除去する技術が提案されている。また、非接触の方式として、磁気ディスクの表面に対して、エアー吹付部からエアーを吹き付けると共に、エアー吹付部により吹きつけたエアーをエアー吸引部で吸引することで、異物を除去する技術が提案されている。
特開平11−226872号公報 特開2005−63579号公報
しかしながら、上記した従来技術では、以下に示す問題があった。すなわち、磁気ディスクの外周端部にワイプテープを押し当てる従来技術では、磁気ディスクの外周端部とワイプテープとが直接接触するため、磁気ディスクの外終端部に摩擦による損傷が生じる恐れがあった。
一方、磁気ディスクの表面に対して、エアーを吹き付けると共に、吹きつけたエアーを吸引する従来技術では、磁気ディスクに対して非接触で異物を除去するため、摩擦による損傷等の問題は生じないが、高流量のエアーを吹き付けた場合に異物が周囲に飛散し、かかる異物が磁気ディスクの表面に再付着する恐れがあった。すなわち、かかる従来技術では、エアー吹付部とエアー吸引部とが空間的に分離しているため、エアー吹付部からのエアーによって吹き飛ばされた異物が、エアー吸引部により吸引されるまでの間、磁気ディスクの表面近傍で浮遊する。このため、エアー吹付部からのエアーの流量を増加させた場合に、磁気ディスクの表面近傍で浮遊する異物をエアー吸引部が吸収しきれず、かかる異物が周囲に飛散し、磁気ディスクの表面に再付着することがあった。
開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、ディスクの外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去することができるディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するため、ディスククリーニング装置は、ディスクを保持する保持部を有し、当該保持部に保持された前記ディスクを回転する回転駆動機構と、前記保持部によって保持されたディスクの外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材と、前記管状部材の一端に接続され、前記案内部から前記管状部材の内部に案内された状態の前記ディスクの外周端部に対して気体を吹付ける気体吹付手段と、前記管状部材の他端に接続され、前記気体吹付手段によって前記ディスクの外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引する気体吸引手段とを備えた。
本願の開示するディスククリーニング装置の一つの態様によれば、ディスクの外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去することができるという効果を奏する。
図1は、本実施例に係るディスククリーニング装置について説明するための図である。 図2は、図1のP部分の拡大正面図である。 図3は、図2のQ−Q線部分の断面図である。 図4は、本実施例に係るディスククリーニング装置の効果について説明するための図である。 図5は、本実施例に係るディスククリーニング装置の効果について説明するための図である。
以下に、本願の開示するディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例では、本願の開示するディスククリーニング装置が、磁気記録装置に用いられる磁気ディスクをクリーニングする例について説明するが、同装置は、磁気転写装置に用いられるマスター担体や磁気ディスクをクリーニングするように構成してもよい。
まず、本実施例に係るディスククリーニング装置100の構成を説明する。図1は、本実施例に係るディスククリーニング装置100の構成を説明するための図である。図2は、図1のP部分の拡大正面図である。図3は、図2のQ−Q線部分の断面図である。なお、図2では、ディスククリーニング装置100が有する管状部材120の一部を切り欠いた状態を示している。
図1〜図3に示すように、ディスククリーニング装置100は、磁気ディスク101に付着した異物を除去する装置であり、回転駆動機構110と、管状部材120と、気体吹付手段としてのエアー吹付装置130と、気体吸引手段としてのエアー吸引装置140とを有する。
回転駆動機構110は、磁気ディスク101を垂直方向に起立させた状態で保持する保持部111を有し、この保持部111に保持された磁気ディスク101を回転する。具体的には、回転駆動機構110は、図3に示すように、保持部111に連動連結されたスピンドルモータ112を有し、このスピンドルモータを駆動することで、保持部111に保持された磁気ディスク101を所定の回転速度で回転させる。
また、回転駆動機構110は、保持部111によって保持された磁気ディスク101の外周端部が、管状部材120の後述する案内部121の上方から管状部材120の内部へ向けて挿入されるように、管状部材120の上方に配設されている。このように、本実施例では、回転駆動機構110を管状部材120の上方に配設することで、磁気ディスク101の表面に付着した異物を重力の影響により落下させ、落下した異物を案内部121から管状部材120の内部へ収集し易くしている。
なお、回転駆動機構110は、管状部材120の上方位置に固定されている必要はなく、管状部材120の保持部111によって保持した磁気ディスク101の外周端部が、管状部材120の案内部121に対して挿抜自在となるように、管状部材120に対して接近又は離反することが可能な構成としてもよい。
管状部材120は、保持部111によって保持された磁気ディスク101の外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部121が側面に形成された部材である。また、管状部材120の一端120aは、ゴムチューブ等の接続チューブ122を介してエアー吹付装置130に接続されており、エアー吹付装置130から供給される空気を管状部材120の内部へ導入する。また、管状部材120の他端120bは、ゴムチューブ等の接続チューブ123を介してエアー吸引装置140に接続されており、管状部材120の一端120aから導入された空気を管状部材120の外部へ排出する。
エアー吹付装置130は、管状部材120の一端120aに、接続チューブ122を介して接続されたコンプレッサ等の圧縮空気供給装置である。エアー吹付装置130は、所定の流量の空気を、接続チューブ122を介して管状部材120の内部へ供給する。そして、エアー吹付装置130は、案内部121から管状部材120の内部に案内された状態の磁気ディスク101の外周端部に対して、空気を吹付ける。これにより、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物が、磁気ディスク101の外周端部から管状部材120の他端120b側へ吹き飛ばされる。
また、エアー吹付装置130は、空気の吹き付け方向が回転駆動機構110によって回転される磁気ディスク101の回転方向と反対の方向となるように、磁気ディスク101の外周端部に対して空気を吹付ける。これにより、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物に対して、その進行方向と逆方向の空気を吹付けることができ、異物に対して作用する空気の力を増大させることができる。その結果、磁気ディスク101の表面から異物を容易に剥離させることができる。
エアー吸引装置140は、管状部材120の他端120bに、接続チューブ123を介して接続された真空ポンプ等の吸引装置である。エアー吸引装置140は、エアー吹付装置130によって磁気ディスク101の外周端部に対して吹き付けられた空気を吸引する。これにより、エアー吹付装置130からの空気によって磁気ディスク101の外周端部から吹き飛ばされた異物が、管状部材120の外部へ排出される。
次に、図1〜図3を参照して、本実施例に係るディスククリーニング装置100が磁気ディスク101をクリーニングする動作について説明する。
図1〜図3に示すように、本実施例に係るディスククリーニング装置100は、まず、クリーニングの対象である磁気ディスク101を回転駆動機構110の保持部111に保持し、保持した磁気ディスク101を、図2の矢印で示す方向に回転させる。
磁気ディスク101を回転させた状態で、ディスククリーニング装置100は、保持部111によって保持された磁気ディスク101の外周端部を、案内部121から管状部材120の内部へ案内する。
また、ディスククリーニング装置100は、エアー吹付装置130を駆動し、案内部121から管状部材120の内部に案内された状態の磁気ディスク101の外周端部に対して、管状部材120の一端120a側から空気を吹き付ける。このとき、ディスククリーニング装置100は、空気の吹き付け方向が磁気ディスク101の回転方向と反対の方向となるように、磁気ディスク101の外周端部に対して空気を吹き付ける。
一方、ディスククリーニング装置100は、エアー吸引装置140を駆動し、エアー吹付装置130によって磁気ディスク101の外周端部に対して吹き付けられた空気を、管状部材120の他端120b側から吸引する。
これによって、管状部材120の内部の空気は、エアー吹付装置130に接続された一端120aからエアー吸引装置140に接続された他端120bへ向かう方向(図2の矢印Aで示す方向)に所定の流速で流れる。この過程で、管状部材120の一端120aから吹き付けられた空気が、磁気ディスク101の外周端部と衝突し、この外周端部に付着した異物を管状部材120の他端120b側へ吹き飛ばす。磁気ディスク101の外周端部から吹き飛ばされた異物は、エアー吸引装置140の吸引によって、管状部材120の他端120bから外部へ排出される。
ここで、図2の矢印Aで示す方向に流れる空気は、管状部材120の外部の空気を案内部121を介して管状部材120の内部へ引き寄せる。すなわち、図2の矢印Aで示す方向に流れる空気は、管状部材120の外部から案内部121を介して管状部材120の内部へ向かう方向(図2の矢印Bで示す方向)の空気の流れを発生させる。そして、図2の矢印Bで示す方向に流れる空気は、磁気ディスク101の外周端部から吹き飛ばされた異物に対して、磁気ディスク101の径方向外側へ向かう力を付与する。したがって、磁気ディスク101の外周端部から一旦吹き飛ばされた異物が、磁気ディスク101の径方向内側の表面(以下、「データ面」と呼ぶ。)に向かって飛散することはない。
このように、本実施例では、長孔形状の案内部121が側面に形成された管状部材120の一端にエアー吹付装置130を、他端にエアー吸引装置140を接続する。そして、案内部121から内部に案内された磁気ディスク101の外周端部に対してエアー吹付装置130によって空気を吹き付けると共に、吹き付けた空気をエアー吸引装置140によって吸引する。このため、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去することができる。
ところで、上述のように、図2の矢印Aで示す方向に流れる空気は、図2の矢印Bで示す方向の空気の流れを発生させる。ただし、エアー吹付装置130から供給される空気の流量が比較的に高流量である場合、図2の矢印Bと反対方向の空気の流れを発生させることがある。すなわち、エアー吹付装置130から供給される空気の流量が比較的に高流量である場合、管状部材120の内部の空気が、案内部121から漏れ出ることがある。管状部材120の内部の空気が案内部121から漏れ出ると、磁気ディスク101の外周端部から一旦吹き飛ばされた異物が、磁気ディスク101のデータ面に向かって飛散し、再付着する恐れがある。
そこで、本実施例では、図2に示すように、エアー吹付装置130に接続された管状部材120の一端120a側の内径Dinが、エアー吸引装置140に接続された管状部材120の他端120b側の内径Doutよりも小さい形状にしている。かかる形状により、管状部材120の一端120aから管状部材120の他端120bへ向かう空気の流れを促進することができ、管状部材120の内部の空気が案内部121から漏れ出ることを防止することができる。すなわち、本実施例では、管状部材120の内部を末広がりの形状とすることで、磁気ディスク101の外周端部から一旦吹き飛ばされた異物が、磁気ディスク101のデータ面に向かって飛散し、再付着する問題を解消することができる。
また、本実施例では、図2に示すように、管状部材120の案内部121が、エアー吸引装置140に接続された管状部材120の他端120bよりも、エアー吹付装置130に接続された管状部材120の一端120aに近い位置に形成されている。言い換えると、案内部121よりも下流(他端120b)側の管状部材120の長さLoutが、案内部121よりも上流(一端120a)側の管状部材120の長さLinよりも長い形状にしている。かかる形状により、案内部121よりも下流側における管状部材120内部の空気の流れを整流化することができる。この結果、管状部材120の一端120aから管状部材120の他端120bへ向かう空気の流れを促進することができ、管状部材120の内部の空気が案内部121から漏れ出ることを防止することができる。すなわち、本実施例では、管状部材120の側面における上流側に近接した位置に案内部121を形成することで、磁気ディスク101の外周端部から一旦吹き飛ばされた異物が、磁気ディスク101のデータ面に向かって飛散し、再付着する問題を解消することができる。
次に、本実施例に係るディスククリーニング装置100の効果について説明する。図4及び図5は、本実施例に係るディスククリーニング装置100の効果について説明するための図である。なお、図4では、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物の個数を、ディスククリーニング装置100によるクリーニング前後で比較した検証結果を示す。また、図5では、磁気ディスク101のデータ面に付着した異物の個数を、ディスククリーニング装置100によるクリーニング前後で比較した検証結果を示す。
図4に示すように、ディスククリーニング装置100によるクリーニングを行うことで、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物の個数は、10個から3個に減少している。すなわち、案内部121から管状部材120の内部に案内された磁気ディスク101の外周端部に対してエアー吹付装置130によって空気を吹き付けると共に、吹き付けた空気をエアー吸引装置140によって吸引することで、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物を効率的に除去することができることが分かる。
一方、図5に示すように、ディスククリーニング装置100によるクリーニングを行ったとしても、磁気ディスク101のデータ面に付着した異物の個数は、不変である。すなわち、ディスククリーニング装置100によるクリーニングを行ったとしても、磁気ディスク101に外周端部から一旦除去された異物が、磁気ディスク101のデータ面に向かって飛散し、再付着していないことが分かる。
上述してきたように、本実施例に係るディスククリーニング装置100では、長孔形状の案内部121が側面に形成された管状部材120の一端にエアー吹付装置130を、他端にエアー吸引装置140を接続する。そして、案内部121から内部に案内された磁気ディスク101の外周端部に対してエアー吹付装置130によって空気を吹き付けると共に、吹き付けた空気をエアー吸引装置140によって吸引する。このため、磁気ディスク101の外周端部に付着した異物を、周囲へ飛散させることなく除去することができる。
さて、これまで本発明の実施例について説明したが、本発明は上述した実施例以外にも、上記特許請求の範囲に記載した技術的思想の範囲内において種々の異なる実施例にて実施されてもよいものである。
例えば、上記実施例では、磁気ディスク101の外周端部に対する空気の吹き付け方向が磁気ディスク101の回転方向と反対の方向となる例を示したが、磁気ディスク101の外周端部に対する空気の吹き付け方向が磁気ディスク101の回転方向と同じ方向となるようにしてもよい。
また、上記実施例では、磁気ディスク101を垂直方向に起立した状態で保持する例を示したが、磁気ディスク101を水平方向に倒伏した状態で保持して、クリーニングするようにしてもよい。
100 ディスククリーニング装置
101 磁気ディスク
110 回転駆動機構
111 保持部
112 スピンドルモータ
120 管状部材
120a 一端
120b 他端
121 案内部
122 接続チューブ
123 接続チューブ
130 エアー吹付装置
140 エアー吸引装置

Claims (5)

  1. ディスクを保持する保持部を有し、当該保持部に保持された前記ディスクを回転する回転駆動機構と、
    前記保持部によって保持されたディスクの外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材と、
    前記管状部材の一端に接続され、前記案内部から前記管状部材の内部に案内された状態の前記ディスクの外周端部に対して気体を吹付ける気体吹付手段と、
    前記管状部材の他端に接続され、前記気体吹付手段によって前記ディスクの外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引する気体吸引手段と
    を備えたことを特徴とするディスククリーニング装置。
  2. 前記気体吹付手段は、気体の吹き付け方向が前記回転駆動機構によって回転されるディスクの回転方向と反対の方向となるように、前記ディスクの外周端部に対して気体を吹きつけることを特徴とする請求項1に記載のディスククリーニング装置。
  3. 前記気体吹付手段に接続された前記管状部材の一端側の内径は、前記気体吸引手段に接続された前記管状部材の他端側の内径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載のディスククリーニング装置。
  4. 前記案内部は、前記気体吸引手段に接続された前記管状部材の他端よりも、前記気体吹付手段に接続された前記管状部材の一端に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のディスククリーニング装置。
  5. 保持部によって保持されたディスクを回転するステップと、
    前記保持部によって保持されたディスクの外周端部を、管状部材の側面に形成された長孔形状の案内部から前記管状部材の内部へ案内し、前記管状部材の一端から、前記管状部材の内部に案内された状態の前記ディスクの外周端部に対して気体を吹き付けるステップと、
    前記管状部材の他端から、前記ディスクの外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引するステップと
    を含んだことを特徴とするディスククリーニング方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06302014A (ja) * 1993-04-20 1994-10-28 Global Mach Kk ディスク状記録媒体の洗浄装置
JPH08250390A (ja) * 1995-03-09 1996-09-27 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板端縁部被膜の除去方法及び除去装置
JPH11226872A (ja) * 1998-02-12 1999-08-24 Yac Co Ltd 磁気ディスククリーニング装置
JP2004096086A (ja) * 2002-07-08 2004-03-25 Tokyo Electron Ltd 処理装置及び処理方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06302014A (ja) * 1993-04-20 1994-10-28 Global Mach Kk ディスク状記録媒体の洗浄装置
JPH08250390A (ja) * 1995-03-09 1996-09-27 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板端縁部被膜の除去方法及び除去装置
JPH11226872A (ja) * 1998-02-12 1999-08-24 Yac Co Ltd 磁気ディスククリーニング装置
JP2004096086A (ja) * 2002-07-08 2004-03-25 Tokyo Electron Ltd 処理装置及び処理方法

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