JP2010218638A - ディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ディスククリーニング装置100は、磁気ディスク101を保持する保持部を有し、当該保持部に保持された磁気ディスク101を回転する回転駆動機構110と、保持部によって保持された磁気ディスク101の外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材120と、管状部材120の一端に接続され、案内部121から管状部材120の内部に案内された状態の磁気ディスク101の外周端部に対して気体を吹付けるエアー吹付装置130と、管状部材120の他端に接続され、エアー吹付装置130によって磁気ディスク101の外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引するエアー吸引装置140とを備えた。
【選択図】図1
Description
101 磁気ディスク
110 回転駆動機構
111 保持部
112 スピンドルモータ
120 管状部材
120a 一端
120b 他端
121 案内部
122 接続チューブ
123 接続チューブ
130 エアー吹付装置
140 エアー吸引装置
Claims (5)
- ディスクを保持する保持部を有し、当該保持部に保持された前記ディスクを回転する回転駆動機構と、
前記保持部によって保持されたディスクの外周端部を内部へ案内する長孔形状の案内部が側面に形成された管状部材と、
前記管状部材の一端に接続され、前記案内部から前記管状部材の内部に案内された状態の前記ディスクの外周端部に対して気体を吹付ける気体吹付手段と、
前記管状部材の他端に接続され、前記気体吹付手段によって前記ディスクの外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引する気体吸引手段と
を備えたことを特徴とするディスククリーニング装置。 - 前記気体吹付手段は、気体の吹き付け方向が前記回転駆動機構によって回転されるディスクの回転方向と反対の方向となるように、前記ディスクの外周端部に対して気体を吹きつけることを特徴とする請求項1に記載のディスククリーニング装置。
- 前記気体吹付手段に接続された前記管状部材の一端側の内径は、前記気体吸引手段に接続された前記管状部材の他端側の内径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載のディスククリーニング装置。
- 前記案内部は、前記気体吸引手段に接続された前記管状部材の他端よりも、前記気体吹付手段に接続された前記管状部材の一端に近い位置に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のディスククリーニング装置。
- 保持部によって保持されたディスクを回転するステップと、
前記保持部によって保持されたディスクの外周端部を、管状部材の側面に形成された長孔形状の案内部から前記管状部材の内部へ案内し、前記管状部材の一端から、前記管状部材の内部に案内された状態の前記ディスクの外周端部に対して気体を吹き付けるステップと、
前記管状部材の他端から、前記ディスクの外周端部に対して吹き付けられた気体を吸引するステップと
を含んだことを特徴とするディスククリーニング方法。
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JP2004096086A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
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