JP2010217089A - 中性子線の単色集光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si、GeまたはSiGeの半導体結晶バルクウェハーに、その半導体結晶の任意の塑性変形を可能とする塑性変形能を有する温度範囲内で高温加圧加工法により湾曲加工を施して作成されている。中性子ビームの単色化と高輝度化とを同時に行うことができる中性子線のモノクロメータまたはアナライザーとして利用される。
【選択図】図1
Description
図1に、Si湾曲結晶ウェーハを構成要素とする、本発明の実施の形態のモノクロメータあるいはアナライザーから成る中性子線の単色集光装置を示す。また、図2に、それを用いた空間集光の一実施例の模式図を示す。図2に示すように、入射平行中性子ビームが湾曲結晶モノクロメータあるいはアナライザーにより反射され、反射中性子ビームが空間的に集光される。
Claims (2)
- Si、GeまたはSiGeの半導体結晶バルクウェハーに、前記半導体結晶の任意の塑性変形を可能とする塑性変形能を有する温度範囲内で高温加圧加工法により湾曲加工を施して作成されていることを特徴とする、中性子線の単色集光装置。
- 中性子ビームの単色化と高輝度化とを同時に行う中性子線のモノクロメータまたはアナライザーであることを特徴とする請求項1記載の中性子線の単色集光装置。
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