JP2010216753A - Heat treatment device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、循環熱風によってワークを加熱するように構成された熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus configured to heat a workpiece with circulating hot air.
ワークに対して熱処理を行う熱処理装置の中には、炉体の内部を循環させた熱風によってワークを加熱するように構成された熱風循環方式の加熱装置が存在する。このような、熱風循環方式の熱処理装置では、ワークの風上と風下で温度分布が発生し、ワークの風下において温度が低下するという不具合が発生することがある。このような不具合は、ワークが大型化するほどより深刻になるため、このような不具合に対して、従来、さまざまな対処が為されてきた。 Among heat treatment apparatuses that perform heat treatment on a work, there is a hot air circulation type heating apparatus configured to heat the work with hot air circulated inside the furnace body. In such a hot air circulation type heat treatment apparatus, there may be a problem that temperature distribution occurs on the windward and leeward side of the workpiece and the temperature decreases on the leeward side of the workpiece. Since such a problem becomes more serious as the workpiece becomes larger, various countermeasures have been conventionally taken against such a problem.
例えば、従来技術の中には、平板状のワークを強制対流加熱する際に、風上側より風下側の方が仕切り板との間隔が狭くなるように仕切り板を傾斜させて配置することによって風上側より風下側の熱風流速を大きくさせ、それによってワークを均一加熱しようとする技術が存在する(例えば、特許文献1参照。)。 For example, in the prior art, when a flat work is subjected to forced convection heating, the partition plate is inclined so that the space between the leeward side and the partition plate is narrower than the windward side. There is a technique for increasing the flow rate of hot air on the leeward side from the upper side and thereby uniformly heating the workpiece (see, for example, Patent Document 1).
また、平板状のワークを強制対流加熱する際に、風上側および風下側の切り換えるために熱風の流れる方向を逆転させることによってワークを均一加熱しようとする技術も存在する(例えば、特許文献2参照)。 There is also a technique for uniformly heating a workpiece by reversing the direction in which hot air flows in order to switch between a windward side and a leeward side when forcing convection heating of a flat workpiece (see, for example, Patent Document 2). ).
上述の特許文献1に係る技術では、熱風流速を変化させる仕切板を傾斜させて配置しているため、ワーク設置場所が高さ方向に増大してしまい、その結果、ワークの処理量が少なくなってしまうという不都合がある。 In the technique according to Patent Document 1 described above, since the partition plate that changes the hot air flow velocity is arranged to be inclined, the work installation location increases in the height direction, and as a result, the work throughput is reduced. There is an inconvenience.
また、上述の特許文献2に係る技術では、循環熱風の進行方向を反転させているため、フィルタを通過する風量が急激に変化させることが原因でフィルタ自身が発塵源となり、その結果、炉体内部のクリーン度が低くなってしまうことがある。また、循環熱風の進行方向を反転させる際に、フィルタに捕集されていた塵埃等がフィルタから離脱して炉体内部を浮遊する虞もある。 Moreover, in the technique which concerns on the above-mentioned patent document 2, since the advancing direction of the circulating hot air is reversed, the filter itself becomes a dust generation source due to an abrupt change in the amount of air passing through the filter. As a result, the furnace Cleanliness inside the body may be reduced. Further, when the traveling direction of the circulating hot air is reversed, there is a possibility that dust or the like collected by the filter may be detached from the filter and float inside the furnace body.
本発明の目的は、単位枚数あたりのワークを処理するのに要する熱処理空間を拡張させることなく、また、炉体内部のクリーン度を維持しつつ、簡易な構成によって大型の平板状ワークを均一に加熱することが可能な熱処理装置を提供することである。 An object of the present invention is to uniformly form a large flat plate-like workpiece with a simple configuration without expanding the heat treatment space required for processing the workpiece per unit number of sheets and maintaining the cleanness inside the furnace body. It is providing the heat processing apparatus which can be heated.
本発明に係る熱処理装置は、循環熱風によって平板状のワークを加熱するように構成される。この熱処理装置は、炉体、循環ファン、加熱ヒータ、耐熱フィルタ、および熱風整流手段を備える。 The heat treatment apparatus according to the present invention is configured to heat a plate-shaped workpiece with circulating hot air. This heat treatment apparatus includes a furnace body, a circulation fan, a heater, a heat resistant filter, and hot air rectifying means.
炉体は、ワークを支持するワーク支持部を内部に有する。循環ファンは、炉体における第1の側面側および第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、循環熱風を発生させるように構成される。加熱ヒータは、炉体における第1の側面側および第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、循環熱風を加熱するように構成される。耐熱フィルタは、炉体における第1の側面側および第2の側面側のそれぞれに配置され、循環熱風を清浄化するように構成される。これらの循環ファン、加熱ヒータ、耐熱フィルタは、炉体の幅方向において左右対称に配置されることが好ましい。 The furnace body has a work support portion for supporting the work inside. The circulation fan is arranged on each of the first side surface side and the second side surface side in the furnace body, and is configured to generate circulating hot air. The heater is disposed on each of the first side surface side and the second side surface side in the furnace body, and is configured to heat the circulating hot air. The heat-resistant filter is arranged on each of the first side surface side and the second side surface side in the furnace body, and is configured to clean the circulating hot air. These circulation fans, heaters, and heat-resistant filters are preferably arranged symmetrically in the width direction of the furnace body.
熱風整流手段は、耐熱フィルタとワークとの間に配置されるとともに、第1の側面側からワークに供給される熱風の風量と、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量とをそれぞれ調整するように構成される。具体的には、熱風整流手段は、ワークの上面においては、第1の側面側からワークに供給される熱風の風量を、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くする一方で、同じワークの下面においては、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量を、第1の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くするようにする。熱風整流手段の代表例としては、第1の側面側および第2の側面側にそれぞれ配置された熱風調整板が挙げられる。 The hot air rectifying means is disposed between the heat-resistant filter and the work, and has an air volume of hot air supplied to the work from the first side surface side and an air volume of hot air supplied to the work from the second side surface side. Each is configured to adjust. Specifically, the hot air rectification means increases the air volume of the hot air supplied from the first side surface to the work on the upper surface of the work, more than the air volume of the hot air supplied from the second side surface to the work. On the other hand, on the lower surface of the same workpiece, the amount of hot air supplied from the second side surface to the workpiece is set to be larger than the amount of hot air supplied from the first side surface to the workpiece. As a representative example of the hot air rectifying means, there are hot air adjusting plates respectively arranged on the first side surface side and the second side surface side.
この構成のおいては、第1の側面側からワークに供給される熱風の風量が、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量と同じにならないように創意工夫されているため、左右から供給された熱風がワークの幅方向の中央部で押し合うようになって中央部に熱風が流れ難い環境が形成されるといった不具合が発生することがない。このため、ワークの幅方向の中央部において温度が低下することが防止される。 In this configuration, since the air volume of the hot air supplied to the workpiece from the first side surface is creatively devised so as not to be the same as the air volume of the hot air supplied to the workpiece from the second side surface, The hot air supplied from the left and right is pressed against each other at the center in the width direction of the workpiece, so that there is no problem that an environment in which the hot air does not flow easily is formed in the center. For this reason, it is prevented that temperature falls in the center part of the width direction of a workpiece | work.
また、ワークの上面および下面において、第1の側面側からワークに供給される熱風の風量と、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量との大小関係を反転させているため、ワークにおいて左右の温度差が発生することもない。 Further, on the upper surface and the lower surface of the workpiece, the magnitude relationship between the amount of hot air supplied to the workpiece from the first side surface and the amount of hot air supplied to the workpiece from the second side surface is reversed. There is no difference in temperature between the left and right sides of the workpiece.
また、耐熱フィルタを通過する熱風の移動方向が反転することがないため、耐熱フィルタにおいて発塵が生じにくい。さらに、ワークを支持するワーク支持部の構成を変化させる必要がないため、単位枚数あたりのワークを処理するために要するスペースが拡張してしまうこともない。 Moreover, since the moving direction of the hot air passing through the heat resistant filter does not reverse, dust generation is unlikely to occur in the heat resistant filter. Furthermore, since it is not necessary to change the structure of the work support part that supports the work, the space required to process the work per unit number of sheets is not expanded.
そして、ワークを多段状に積載する場合には、段毎に第1の側面側からワークに供給される熱風の風量と、第2の側面側からワークに供給される熱風の風量との大小関係を反転させることにより、多段状にワークを積載する場合にも左右の温度差が発生することを防止することが可能になる。 And when loading a workpiece | work in multistage form, the magnitude relationship between the air volume of the hot air supplied to a workpiece | work from the 1st side surface side and the air volume of the hot air supplied to a workpiece | work from the 2nd side surface side for every stage. By reversing, it is possible to prevent the temperature difference between the left and right from occurring even when workpieces are stacked in multiple stages.
本発明によれば、単位枚数あたりのワークを処理するのに要する熱処理空間を拡張させることなく、また、炉体内部のクリーン度を維持しつつ、簡易な構成によって大型の平板状ワークを均一に加熱することが可能になる。 According to the present invention, a large flat plate-like workpiece can be uniformly formed with a simple configuration without expanding the heat treatment space required for processing the workpiece per unit number of sheets and maintaining the cleanliness inside the furnace body. It becomes possible to heat.
図1(A)および図1(B)を用いて、本発明の実施形態に係る熱処理装置10の基本構成を説明する。熱処理装置10は、熱風循環式のクリーンオーブンであり、炉体12に搬入された平板状のワーク18を循環熱風によって加熱するように構成される。
A basic configuration of a
炉体12の内部には、ワーク18を多段状に支持するように構成された複数のラック部材28が設けられる。炉体12の前面には、ワークの搬入および搬出時に開閉するように構成された扉26が設けられる。扉26は、上下方向に配列された複数のシャッタによって構成されており、搬入または搬出されるべきワーク18に割り当てられた段に対応するシャッタのみが開閉するように構成されている。
Inside the
炉体12の背面側には、複数の加熱ヒータ20、複数の循環ファン22、複数のダクト24が設けられる。加熱ヒータ20、循環ファン22、およびダクト24は、炉体12の幅方向(図1(A)および図1(B)中の左右方向)の中央部を挟んで両側に配置されている。加熱ヒータ20は、炉体12の内部を循環する熱風を加熱するように構成される。循環ファン22は、炉体12の内部に循環風を発生させるように構成されており、加熱ヒータ20を通過した熱風を吸い込んでダクト24に送り出すように構成されている。この実施形態では、循環ファン22としてシロッコファンを用いているが、他の種類のファンを用いることも可能である。
A plurality of
炉体12の幅方向の両端部(両側面側)には、複数の耐熱フィルタ14が設けられる。耐熱フィルタ14は、ダクト24を通過した熱風に含まれる微粒子を捕集することによってワーク18に吹き付けられる熱風を清浄化するように構成される。なお、耐熱フィルタ14の例としては、HEPAフィルタが挙げられるが、必ずしもこれに限定されるものではない。
A plurality of heat-
耐熱フィルタ14とラック部材28との間には、熱風の循環経路を調整するように構成された複数の熱風整流板16が配置される。熱風整流板16は、図1(A)および図1(B)に示すように、耐熱フィルタ14の配置位置に対応する位置に配置される。熱風整流板16の構成および作用等については後述する。
Between the heat-
図2に示すように、熱処理装置10は、CPU50を備えており、このCPU50にROM52、RAM54、センサユニット56、I/F部58、ファン駆動部60、ヒータ駆動部62、および扉駆動部64等が接続される。ROM52は、CPU50の動作に必要な複数のプログラムを格納する。RAM54は、CPU50が一時的にデータを記録するため揮発性メモリである。センサユニット56は、炉体12の内部の温度や圧力等の情報を収集するための複数の計器によって構成される。I/F部58は、外部の機器と通信する機能を備える。ファン駆動部60は、CPU50からの信号に基づいて複数の循環ファン22のそれぞれを駆動するように構成される。ヒータ駆動部62は、CPU50からの信号に基づいて複数の加熱ヒータ20のそれぞれを駆動するように構成される。CPU50からの信号に基づいて扉駆動部64は、扉26の複数のシャッタのそれぞれの開閉動作を行うように構成される。
As shown in FIG. 2, the
続いて、図3(A)および図3(B)を用いて、熱風整流板16の構成を説明する。熱風整流板16は、熱風を分散および集合させることによって、各段のワークごとに供給する熱風の風量を調整するために設けられる。熱風整流板16は、熱風を斜め方向に案内するガイド面として機能する斜面を有する上側ガイド部161および下側ガイド部163と、上側ガイド部161および下側ガイド部163を連結するように構成された連結部165とを備えている。上側ガイド部161および下側ガイド部163にはそれぞれ熱風が通過可能な複数の貫通孔162が設けられる。連結部165は、図3(B)に示すように、ビス166等の締結部材を介して、炉体12の所定位置に設けられたフレーム164に固着されるように構成される。
Next, the configuration of the hot
図4に示すように、熱風整流板16の上側ガイド部161の端部は、ワーク18の配置位置とほぼ同じ高さに配置され、かつ、熱風整流板16の下側ガイド部163の端部は、このワーク18より1段下のワーク18の配置位置とほぼ同じ高さに配置される。さらに、熱風整流板16は、ワーク18の左右両側に配置されているが、左側に配置される熱風整流板16と、右側に配置される熱風整流板16とは、互いに高さ方向に1段ずつずれた位置に配置されている。
As shown in FIG. 4, the end portion of the
以上の構成において、熱風整流板16に当たった熱風の大部分は上側ガイド部161および下側ガイド部163の斜面に沿って進む一方で、熱風整流板16に当たった熱風の一部分が貫通孔162を通過しつつ進む。このため、上側ガイド部161の端部に対応する高さに配置されたワーク18の上面に供給される熱風の風量は多くなる一方で、このワーク18の下面に供給される熱風の風量は少なくなる。また、下側ガイド部163の端部に対応する高さに配置されたワークの下面に供給される熱風の風量は多くなる一方で、このワーク18の上面に供給される熱風の風量は少なくなる。そして、右側と左側の熱風整流板16が互いに1段ずつずれて配置されていることから、右から供給される熱風の風量が多い段では左から供給される熱風の風量が少なくなり、かつ、右から供給される熱風の風量が少ない段では左から供給される熱風の風量が多くなる。
In the above configuration, most of the hot air hitting the hot
図5(A)に示すように、左側から供給される熱風の風量が多く右側から供給される熱風の風量が少ない場合には、左から供給された熱風はワーク18の幅方向の中央部を通り越してワーク18の右側まで到達する。一方で、図5(B)に示すように、右側から供給される熱風の風量が多く左側から供給される熱風の風量が少ない場合には、右から供給された熱風はワーク18の幅方向の中央部を通り越してワーク18の左側まで到達する。このため、左右から同じ強さの熱風を供給したときのように、ワーク18の幅方向の中央部で左右からの熱風が押し合うことが原因でワーク18の中央部分の熱風が流れ難くなるといった不具合の発生が防止される。このため、ワーク18の幅方向の中央部の温度が低下するといった不具合の発生が防止される。しかも、ワーク18の上面において左側から強い熱風が供給されている場合には、同じワーク18の下面において右側から強い熱風が供給されているため、ワーク18の左右で温度差が発生することがない。例えば、この実施形態の場合には、ワーク18の加熱設定温度が230度に設定されているが、ワーク18の全域においてプラスマイナス3度以上のバラツキが発生しないという良好な結果が得られている。
As shown in FIG. 5 (A), when the amount of hot air supplied from the left side is large and the amount of hot air supplied from the right side is small, the hot air supplied from the left passes through the central portion of the
さらに、耐熱フィルタ14を通過する熱風の風量は変化していないため、耐熱フィルタ14からの発塵によって炉体12の内部のクリーン度が低下することがない。そして、ワーク18を支持するラック部材28の構成を変更していないため、単位枚数あたりのワーク18を配置するために必要な空間が拡張することもない。
Further, since the amount of hot air passing through the heat-
図6は、本発明の別の実施形態に係る熱処理装置102の概略を示している。熱処理装置102の基本的な構成は上述の熱処理装置10と同一であるため説明を省略する。熱処理装置102は、上述の熱風整流板16を備えない点が、熱処理装置10と相違する。
FIG. 6 schematically shows a
通常、上述の熱風整流板16を使用せずに、ワーク18の左右から同じ強さの熱風を供給する場合には、ワーク18の中央部に他の部分よりも温度が低くなる低温エリア70が発生することがある。
Normally, when hot air having the same strength is supplied from the left and right sides of the
このため、熱処理装置102では、CPU50がファン駆動部60を制御することによって、時間とともに左右からの熱風の強さを変化させるようにしている。
For this reason, in the
この実施形態では、徐々に右からの熱風を強めつつ左からの熱風を弱め、その後、図7(A)に示すように、所定時間だけ右から強い熱風を供給する。続いて、徐々に左右からの熱風の強さを同じにしていき、その後所定時間だけ、図7(B)に示すように、左右から同じ強さの熱風を供給する。続いて、徐々に左からの熱風を強めつつ右からの熱風を弱め、その後所定時間だけ、図7(C)に示すように左から強い熱風を供給する。 In this embodiment, the hot air from the left is gradually weakened while the hot air from the right is gradually strengthened, and then, as shown in FIG. 7A, strong hot air is supplied from the right for a predetermined time. Subsequently, the intensity of hot air from the left and right is gradually made the same, and thereafter, hot air having the same intensity is supplied from the left and right as shown in FIG. Subsequently, the hot air from the right is gradually weakened while the hot air from the left is gradually strengthened, and then the strong hot air is supplied from the left as shown in FIG.
熱処理装置102では、急激な風量の変化が発生しないように、所定時間が経過するごとに図7(A)→図7(B)→図7(C)→図7(B)→図7(A)→図7(B)→図7(C)…と状態を徐々に変化させる。
In the
以上の実施形態によれば、常時、左右から同じ強さの熱風を供給したときのように、ワーク18の中央部分に熱風が流れ難くなるといった不具合の発生が防止され、ワーク18の中央部の温度が低下するといった不具合の発生が防止される。しかも、所定時間ごとに左右からの熱風の強弱関係を反転させているため、ワーク18の左右で温度差が発生することがない。
According to the above embodiment, the occurrence of a problem that the hot air hardly flows into the central portion of the
また、耐熱フィルタ14を通過する熱風の風量に急激な変化はなく、また、耐熱フィルタ14を通過する熱風の移動方向が変化することもないため、耐熱フィルタ14から発塵することもなく、炉体12の内部のクリーン度を維持することが可能である。
Further, there is no sudden change in the amount of hot air passing through the heat-
ここでは、左右からの熱風の強弱関係を間歇的に変化させる例を説明したが、左右からの熱風の強弱関係を連続的に変化させるようにしても良い。例えば、左右の循環ファン22に印加する電圧について間歇的に傾斜出力制御(ランピング)を行っても良いし、また、連続的に傾斜出力制御(ランピング)を行うことによって常時印加電圧を変化させるようにしても良い。
Here, an example in which the hot air strength relationship from the left and right is intermittently changed has been described, but the hot air strength relationship from the left and right may be continuously changed. For example, the voltage applied to the left and
さらには、左右の循環ファン22に印加する電圧を、時間の経過とともに直線的に増加または減少させる制御のみならず、これらの電圧を、正弦波を描くように変化させることも可能である。いずれの場合であっても、左右の循環ファン22のうちの一方に印加する電圧を強めるときは他方に印加する電圧を弱め、逆に一方に印加する電圧を弱めるときは他方に印加する電圧を強めるようにして、左右からの熱風の強弱関係を反転させることが重要である。また、左右の循環ファン22に印加する電圧をステップ状に変化させることを避けることも重要である。
Furthermore, it is possible not only to control the voltage applied to the left and
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The above description of the embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.
10−熱処理装置
12−炉体
14−耐熱フィルタ
16−熱風整流板
18−ワーク
20−加熱ヒータ
22−循環ファン
28−ラック部材
10-heat treatment apparatus 12-furnace body 14-heat-resistant filter 16-hot air rectifying plate 18-work 20-heater heater 22-circulation fan 28-rack member
Claims (3)
ワークを支持するワーク支持部を有する炉体と、
前記炉体における第1の側面側および第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、前記循環熱風を発生させるように構成された複数の循環ファンと、
前記炉体における前記第1の側面側および前記第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、前記循環熱風を加熱するように構成された複数の加熱ヒータと、
前記炉体における前記第1の側面側および前記第2の側面側のそれぞれに配置された、前記循環熱風を清浄化するための耐熱フィルタと、
前記耐熱フィルタとワークとの間に配置されるとともに、前記第1の側面側からワークに供給される熱風の風量と、前記第2の側面側からワークに供給される熱風の風量とをそれぞれ調整するように構成された熱風整流手段と、
を備え、
前記熱風整流手段は、ワークの上面においては、前記第1の側面側からワークに供給される熱風の風量を、前記第2の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くする一方で、同じワークの下面においては、前記第2の側面側からワークに供給される熱風の風量を、前記第1の側面側からワークに供給される熱風の風量よりも多くするように構成された熱処理装置。 A heat treatment apparatus configured to heat a flat workpiece by circulating hot air,
A furnace body having a workpiece support portion for supporting the workpiece;
A plurality of circulation fans arranged on each of the first side surface side and the second side surface side of the furnace body and configured to generate the circulation hot air;
A plurality of heaters arranged on each of the first side surface side and the second side surface side in the furnace body and configured to heat the circulating hot air;
A heat-resistant filter for cleaning the circulating hot air, disposed on each of the first side surface and the second side surface of the furnace body;
Arranged between the heat-resistant filter and the workpiece, and adjusts the amount of hot air supplied to the workpiece from the first side surface and the amount of hot air supplied to the workpiece from the second side surface, respectively. Hot air rectifying means configured to:
With
While the hot air rectifying means increases the air volume of the hot air supplied to the work from the first side surface on the upper surface of the work, the air flow is larger than the air volume of the hot air supplied to the work from the second side surface side. In the lower surface of the same workpiece, heat treatment is configured such that the amount of hot air supplied from the second side surface to the workpiece is larger than the amount of hot air supplied from the first side surface to the workpiece. apparatus.
前記熱風整流手段は、
その端部が第1のワークに対応する高さに配置され、熱風を第1のワークの上面に案内するガイド面としての斜面を有する上側ガイド部と、
その端部が前記第1のワークの1段下に配置された第2のワークに対応する高さに配置され、熱風を第2のワークの下面に案内するガイド面としての斜面を有する下側ガイド部と、を少なくとも有し、前記第1の側面側および前記第2の側面側にそれぞれ配置された熱風調整板であり、
前記上側ガイド部および前記下側ガイド部はそれぞれ、前記第1のワークおよび前記第2のワークの間に熱風の一部を導く貫通孔を有しており、
前記第1の側面側に配置された熱風調整板と、前記第2の側面側に配置された熱風調整板とが高さ方向に1段ずつずれた位置に配置された
請求項1に記載の熱処理装置。 The work support part is a rack member that can support the work in multiple stages,
The hot air rectifying means is
An upper guide portion having an inclined surface as a guide surface, the end portion of which is disposed at a height corresponding to the first workpiece, and guides hot air to the upper surface of the first workpiece;
A lower side having an inclined surface as a guide surface, the end of which is arranged at a height corresponding to a second workpiece arranged one step below the first workpiece, and guides hot air to the lower surface of the second workpiece. A hot air adjusting plate that has at least a guide portion and is arranged on each of the first side surface side and the second side surface side,
The upper guide portion and the lower guide portion each have a through hole that guides a part of hot air between the first workpiece and the second workpiece,
2. The hot air adjustment plate disposed on the first side surface side and the hot air adjustment plate disposed on the second side surface side are disposed at positions shifted by one step in the height direction. Heat treatment equipment.
ワークを支持するワーク支持部を有する炉体と、
前記炉体における第1の側面側および第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、前記循環熱風を発生させるように構成された複数の循環ファンと、
前記炉体における前記第1の側面側および前記第2の側面側のそれぞれに配置され、かつ、前記循環熱風を加熱するように構成された複数の加熱ヒータと、
前記炉体における前記第1の側面側および前記第2の側面側のそれぞれに配置された、前記循環熱風を清浄化するための耐熱フィルタと、
少なくとも前記複数の循環ファンのそれぞれの動作を制御するように構成された制御部と、を備え、
前記制御部は、時間の経過に伴って、前記第1の側面側からワークに供給される熱風の風量と、前記第2の側面側からワークに供給される熱風の風量との比を変化させる熱処理装置。 A heat treatment apparatus configured to heat a flat workpiece by circulating hot air,
A furnace body having a workpiece support portion for supporting the workpiece;
A plurality of circulation fans arranged on each of the first side surface side and the second side surface side of the furnace body and configured to generate the circulation hot air;
A plurality of heaters arranged on each of the first side surface side and the second side surface side in the furnace body and configured to heat the circulating hot air;
A heat-resistant filter for cleaning the circulating hot air, disposed on each of the first side surface and the second side surface of the furnace body;
A control unit configured to control at least the operation of each of the plurality of circulation fans, and
The control unit changes the ratio of the amount of hot air supplied to the workpiece from the first side surface and the amount of hot air supplied to the workpiece from the second side surface over time. Heat treatment equipment.
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