JP2010214556A - シミュレーションシステム及びプログラム - Google Patents
シミュレーションシステム及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010214556A JP2010214556A JP2009065705A JP2009065705A JP2010214556A JP 2010214556 A JP2010214556 A JP 2010214556A JP 2009065705 A JP2009065705 A JP 2009065705A JP 2009065705 A JP2009065705 A JP 2009065705A JP 2010214556 A JP2010214556 A JP 2010214556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- simulation
- transfer robot
- signal
- transfer
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 シミュレーションシステム1は、半導体製造設備に備わる処理装置を制御する制御装置3と、処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするシミュレーション装置2と、制御装置3と前記シミュレーション装置2とを通信させるシリアル通信ケーブル4とを備える。制御装置3は、搬送ロボットの搬送動作を制御するために搬送ロボットに送信する制御指令をシミュレーション装置2に送信するようになっている。またシミュレーション装置2は、送信された制御指令が動作指令に対応している場合、対応する動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするようになっている。
【選択図】 図1
Description
及び制御指令を送信可能な装置であればよい。また、上述した通信プロトコル、制御指令及び動作指令は、一例に過ぎず、上記以外の通信プロトコル、制御指令及び動作指令であっても、同様に作用効果を得ることができる。
2 シミュレーション装置
3 制御装置
4 シリアル通信ケーブル
30 搬送ロボット
40 半導体製造設備
41 干渉部材
42 半導体ウェハ
Claims (5)
- 半導体製造設備に備わる処理装置を制御する制御装置と、
前記処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするシミュレーション装置と、
前記制御装置と前記シミュレーション装置とを通信させる通信手段とを備え、
前記制御装置は、前記搬送ロボットの搬送動作を制御するために前記搬送ロボットに送信する制御指令をシミュレーション装置に送信し、
前記シミュレーション装置は、送信された前記制御指令が前記動作指令に対応している場合、対応する前記動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするようになっていることを特徴とするシミュレーションシステム。 - 前記シミュレーション装置は、前記半導体製造設備に備わる干渉部材の位置を入力可能になっており、搬送動作をシミュレーションする際に、入力された前記干渉部材の位置に基づいて前記干渉部材が配置される半導体製造設備内における搬送ロボットの搬送動作をシミュレーションするようになっていることを特徴とする請求項1に記載のシミュレーションシステム。
- 前記シミュレーション装置は、前記搬送ロボットの搬送動作を表示する表示部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のシミュレーションシステム。
- 半導体製造設備に備わる処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行される搬送動作をシミュレーション装置にてシミュレーションさせるためのプログラムであって、
半導体製造設備に備わる処理装置の処理動作を制御する制御装置から前記搬送ロボットに送信して前記搬送ロボットの搬送動作を制御する制御指令が通信手段を介してシミュレーション装置に送信されると、送信された前記制御指令が前記動作指令に対応する場合、対応する前記動作指令に応じて実行される搬送動作をシミュレーション装置にシミュレーションさせるようになっていることを特徴とするプログラム。 - 前記搬送動作のシミュレーション時において、前記シミュレーション装置に入力される前記半導体製造設備に備わる干渉部材の位置に基づいて、前記干渉部材が配置される半導体製造設備内における搬送ロボットの搬送動作を前記シミュレーション装置にシミュレーションさせることを特徴とする請求項4に記載のプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009065705A JP5639341B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | シミュレーションシステム及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009065705A JP5639341B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | シミュレーションシステム及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010214556A true JP2010214556A (ja) | 2010-09-30 |
JP5639341B2 JP5639341B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=42973948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009065705A Active JP5639341B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | シミュレーションシステム及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5639341B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101337868B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2013-12-04 | 이상협 | 반도체 제조용 클러스터 툴의 웨이퍼 이송로봇 테스트 시뮬레이션 시스템 |
DE102017125190A1 (de) | 2016-10-28 | 2018-05-03 | Fanuc Corporation | Vorrichtung, Verfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium zur Simulation des durch Roboter durchgeführten Vorgangs zum Anordnen von Artikeln |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653128A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Nikon Corp | 試料搬送装置 |
JP2001150373A (ja) * | 2000-10-02 | 2001-06-05 | Fanuc Ltd | ロボットシミュレーション装置及びロボット制御装置 |
JP2004148434A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Honda Motor Co Ltd | シミュレーション装置 |
JPWO2004085120A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2006-06-29 | ローツェ株式会社 | ロボットシミュレーション装置、および、シミュレーションプログラム |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009065705A patent/JP5639341B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653128A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Nikon Corp | 試料搬送装置 |
JP2001150373A (ja) * | 2000-10-02 | 2001-06-05 | Fanuc Ltd | ロボットシミュレーション装置及びロボット制御装置 |
JP2004148434A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Honda Motor Co Ltd | シミュレーション装置 |
JPWO2004085120A1 (ja) * | 2003-03-25 | 2006-06-29 | ローツェ株式会社 | ロボットシミュレーション装置、および、シミュレーションプログラム |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101337868B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2013-12-04 | 이상협 | 반도체 제조용 클러스터 툴의 웨이퍼 이송로봇 테스트 시뮬레이션 시스템 |
DE102017125190A1 (de) | 2016-10-28 | 2018-05-03 | Fanuc Corporation | Vorrichtung, Verfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium zur Simulation des durch Roboter durchgeführten Vorgangs zum Anordnen von Artikeln |
US10857673B2 (en) | 2016-10-28 | 2020-12-08 | Fanuc Corporation | Device, method, program and recording medium, for simulation of article arraying operation performed by robot |
DE102017125190B4 (de) | 2016-10-28 | 2022-02-24 | Fanuc Corporation | Vorrichtung, Verfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium zur Simulation des durch Roboter durchgeführten Vorgangs zum Anordnen von Artikeln |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5639341B2 (ja) | 2014-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108000524B (zh) | 模拟装置、模拟方法、模拟程序以及存储介质 | |
WO2004085120A1 (ja) | ロボットシミュレーション装置、および、シミュレーションプログラム | |
JP4513663B2 (ja) | 自動組立システムにおける組立機構の動作教示方法 | |
JPWO2014013605A1 (ja) | ロボットシミュレータ、ロボット教示装置およびロボット教示方法 | |
JP2011088241A (ja) | ロボットシステム | |
JP2010099764A (ja) | 搬送システム及び自動化製造システム | |
US20210001484A1 (en) | Collaborative Robot System Incorporating Enhanced Human Interface | |
JP5639341B2 (ja) | シミュレーションシステム及びプログラム | |
JP2009045714A (ja) | ロボットアームの姿勢教示方法および姿勢教示装置 | |
US20220281111A1 (en) | Interference check for robot operation | |
TW201729959A (zh) | 機器人點位調節方法與系統 | |
US20230381962A1 (en) | System control device, robot control method, terminal device, terminal control method, and robot control system | |
WO2019111413A1 (ja) | 制御装置、ワーク作業装置、ワーク作業システム及び制御方法 | |
JP2019058954A (ja) | 作業支援ユニット及び自動作業システム | |
JP5983170B2 (ja) | ロボットのシミュレーション装置 | |
JP7114424B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP3991077B2 (ja) | ロボット教示方法およびロボット教示装置 | |
WO2022191218A1 (ja) | プログラム管理装置、ロボット制御システム、及びプログラム管理方法 | |
JP6996441B2 (ja) | マニピュレータ制御装置、マニピュレータ制御方法、及びマニピュレータ制御プログラム | |
JP2021041478A (ja) | ロボット制御装置 | |
JP5958166B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
KR102561706B1 (ko) | 원단 로봇의 그리퍼 시스템 및 그립 제어방법 | |
WO2017109851A1 (ja) | 教示用治具、教示システム、教示方法およびロボット | |
JP3705045B2 (ja) | ロボット教示データの作成方法 | |
JP7442413B2 (ja) | シミュレーション装置及びシミュレーションシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140106 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140707 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140930 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5639341 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |