JPH0653128A - 試料搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 実際の装置の本来の作業を中断することな
く、更に実際の装置に対して一対一の関係で搬送シーケ
ンスの開発を行う。 【構成】 アーム５及びテーブル６に対応して仮想アー
ム５Ｇ及び仮想テーブル６Ｇを表示装置２に表示し、ア
ーム５及びテーブル６の動作を制御する実動作制御部２
６−１，２６−２と、仮想アーム５Ｇ及び仮想テーブル
６Ｇの表示画面上での動きを制御する仮想動作制御部２
７−１，２７−２と、必要に応じて、仮想アーム５Ｇ及
び仮想テーブル６Ｇの表示画面上での動きに追従してア
ーム５及びテーブル６を動作させる追従制御部２８−
１，２８−２とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体素子等を
製造する際に使用される電子ビーム露光装置用のウエハ
搬送系に適用して好適な試料搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置のウエハ搬送系は、一般
にそれぞれウエハを吸着（チャック）して所定の区間を
搬送する多数のアームと、それぞれそれらアームの一つ
からウエハを受け取ると共にそれらアームの一つにウエ
ハを渡す多数のテーブルとより構成されている。テーブ
ルもそれぞれウエハを吸着する機能を有すると共に、テ
ーブルの中にはウエハを上下に移動させる機能を有する
ものがある。

【０００３】また、半導体製造装置の中でも取り分け電
子ビーム露光装置のように真空中でのウエハの取り扱い
を必要とする装置においては、複雑なウエハ搬送系が使
用されている。即ち、電子ビーム露光装置では、ウエハ
は常時大気圧の大気室中のウエハ用のキャリアから、大
気圧と真空とが切り替わる準備室を経て最終的に常時高
真空の真空室に搬入され、この真空室でウエハ上にパタ
ーンの描画が行われる。この場合、大気室と準備室とは
第１ゲート弁で隔離され、準備室と真空室とは第２ゲー
ト弁で隔離されている。従って、電子ビーム露光装置用
のウエハ搬送系としては、大気中のウエハキャリアから
供給されるウエハを第１ゲート弁によって隔壁される予
備室を経由して、更に第２ゲート弁を経て真空室に搬送
するという複雑な動作が必要となる。

【０００４】このウエハ搬送系での搬送時間は比較的長
いオーバーヘッド（無駄時間）であるため、このウエハ
搬送系での搬送シーケンスの良否は装置全体のスループ
ットに影響を与えている。そのため従来より、種々の手
法によりその搬送シーケンスを搬送時間が最も短くなる
ように最適化して最適シーケンスを得るための提案がな
されているが、最終的には実際の露光装置に適用した場
合の評価によって目的とする最適シーケンスの決定がな
されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ搬送系の最適シーケンスを決定するための作業で
は実際に露光装置を使用するために、テスト用の露光装
置の確保が必要となり、テスト用の露光装置が入手でき
ない場合には開発スケジュールが遅れる不都合があっ
た。特に、既に稼働状態にある露光装置に対して搬送シ
ーケンスの改良を行う場合には、その露光装置の作業を
中断する必要があり、問題は更に深刻であった。

【０００６】また、ウエハ搬送系のアームやテーブルと
しては、精度上の理由によりセラミックスが用いられる
ことが多く、ウエハはシリコンウエハであったりする
が、セラミックスやシリコンウエハは僅かな衝突であっ
ても損傷することがある。そのため、ウエハ搬送系の搬
送シーケンスとして不完全な搬送シーケンスを不用意に
使用すると、機構部やウエハが損傷するという危険を常
にはらんでいた。

【０００７】このような問題を解決するために、実際の
搬送系の制御ロジックを別の計算機上でシミュレートす
る手法も用いられている。しかしながら、この手法は実
際の搬送系に対して厳密に一対一の関係を実現すること
が難しく、本質的には別物であるために、シミュレーシ
ョンではうまくいっても必ずしも実際の搬送系でうまく
いくとは限らないという不都合があった。

【０００８】本発明は斯かる点に鑑み、複数のアーム部
と複数のテーブル部とを組み合わせて構成される試料搬
送装置において、実際の装置の本来の作業を中断するこ
となく、更に実際の装置に対して一対一の関係で搬送シ
ーケンスの開発が行えるようにすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による試料搬送装
置は、例えば図１及び図２に示す如く、それぞれ試料を
保持して移動する複数のアーム部（５，１０）と、それ
ぞれそれら複数のアーム部の内の１つのアーム部から試
料を受けると共にそれら複数のアーム部の内の１つのア
ーム部に試料を渡す複数のテーブル部（６，７）とを組
み合わせて構成される試料搬送装置において、それら複
数のアーム部にそれぞれ対応して複数の仮想アーム部
（５Ｇ）を表示装置（２）に表示する仮想アーム表示手
段（２）と、それら複数のテーブル部にそれぞれ対応し
て複数の仮想テーブル部（６Ｇ）をその表示装置（２）
上に表示する仮想テーブル表示手段（２）と、それら複
数のアーム部及び複数のテーブル部の動作を制御する実
動作制御手段（２６−１，２６−２）と、それら複数の
仮想アーム部及び複数の仮想テーブル部のその表示装置
の表示画面上での動きを制御する仮想動作制御手段（２
７−１，２７−２）と、必要に応じて、それら複数の仮
想アーム部及び複数の仮想テーブル部のその表示装置の
表示画面上での動きに追従してそれら複数のアーム部及
び複数のテーブル部を動作させる追従制御手段（２８−
１，２８−２）とを有するものである。

【００１０】この場合、その追従制御手段（２８−１，
２８−２）は、更に必要に応じて、それら複数のアーム
部及び複数のテーブル部の動作に追従してその表示装置
の表示画面上でそれら複数の仮想アーム部及び複数の仮
想テーブル部を動作させることが望ましい。

【００１１】

【作用】斯かる本発明において、複数のアーム部及びテ
ーブル部は実際に試料を搬送するのに使用される部材で
あり、試料の搬送方向に実際に試料を移動させるものを
アーム部、試料を単に保持するか又は試料の搬送方向に
垂直な方向へ試料を移動させるものをテーブル部と呼ん
でいる。試料は第１のアーム部からテーブル部を経て第
２のアーム部へと渡されるか、あるいは第１のテーブル
部からアーム部を経て第２のテーブル部へと搬送され
る。また、複数の仮想アーム部及び複数の仮想テーブル
部は、表示装置（２）上のグラフィックオブジェクトと
して表示され、それら仮想アーム部及び仮想テーブル部
が実際のアーム部及びテーブル部の動きをシミュレート
する形状と機能とを有している。

【００１２】斯かる本発明における実際のアーム部及び
テーブル部の動作と仮想アーム部及び仮想テーブル部の
動作とについて、図３を参照して説明する。簡単のた
め、図３においては、それら複数のアーム部及びテーブ
ル部を１個の機構アーム及びテーブル２９、それら複数
の仮想アーム及びテーブルを１個の仮想アーム及びテー
ブル２９Ｇ、その実動作制御手段（２６−１，２６−
２）を実動作制御部２６、その仮想動作制御手段（２７
−１，２７−２）を仮想動作制御部２７、その追従制御
手段（２８−１，２８−２）を追従制御部２８として表
す。この場合、機構アーム及びテーブル２９は実動作制
御部２６によって位置制御及び試料のチャックのオンオ
フ制御がなされる。また、仮想アーム及びテーブル２９
Ｇは仮想動作制御部２７によって表示装置２上での位置
制御及び表示装置２上での試料のチャックのオンオフ制
御がなされる。これら２つの制御部２６及び２７に対す
る入力インターフェイスは全く同一となるよう構成され
ている。追跡制御部２８は所謂サーボ機構として機能す
るもので、次に示す３種類のモードを有する。

【００１３】モードＡ：機構アーム及びテーブル２９の
動きを仮想アーム及びテーブル２９Ｇの動きに追従させ
るように制御する。 モードＢ：仮想アーム及びテーブル２９Ｇの動きを機構
アーム及びテーブル２９の動きに追従させるように制御
する。このモードＢは備えているのが望ましいモードで
ある。 モードＣ：追跡制御を行わず、機構アーム及びテーブル
２９の動きと仮想アーム及びテーブル２９Ｇの動きとを
切り放す。

【００１４】図３では追従制御部２８に対するモード設
定信号Ｓ１によりそれら３個のモードの内の１つが設定
されるようになっている。また、図示省略したコンピュ
ータ等の制御装置から実動作制御部２６用の第１制御信
号Ｓ２及び仮想動作制御部２７用の第２制御信号Ｓ３が
それぞれ入力セレクタ２５に供給されている。そして、
モードＡにおいては、入力セレクタ２５を介して第２制
御信号Ｓ３を仮想アーム及びテーブル制御部２７に入力
して、仮想アーム及びテーブル制御部２７によって制御
される仮想アーム及びテーブル２９Ｇの動きを、追跡制
御部２８により機構アーム及びテーブル制御部２６を介
して機構アーム及びテーブル２９に伝える。これによ
り、機構アーム及びテーブル２９は仮想アーム及びテー
ブル２９Ｇの動きを忠実に追跡する。

【００１５】モードＢにおいては、入力セレクタ２５を
介して第１制御信号Ｓ２を機構アーム及びテーブル制御
部２６に入力して、機構アーム及びテーブル制御部２６
によって制御される機構アーム及びテーブル２９の動き
を、追跡制御部２８により仮想アーム及びテーブル制御
部２７を介して仮想アーム及びテーブル２９Ｇに伝え
る。これにより、仮想アーム及びテーブル２９Ｇは機構
アーム及びテーブル２９の動きを忠実に追跡する。

【００１６】モードＣにおいては、入力セレクタ２５を
介して第１制御信号Ｓ２及び第２制御信号Ｓ３をそれぞ
れ機構アーム及びテーブル制御部２６及び仮想アーム及
びテーブル制御部２７に供給することで、機構アーム及
びテーブル制御部２６と仮想アーム及びテーブル制御部
２７とは独立に機能し、機構アーム及びテーブル２９と
仮想アーム及びテーブル２９Ｇとは別々に動作する。

【００１７】そして、試料搬送装置が実際に使用されて
いる際に新しい搬送シーケンスの開発を行うためには、
モードＣを選択して機構アーム及びテーブル２９と仮想
アーム及びテーブル２９Ｇとを切り放した状態で、その
仮想アーム及びテーブル２９Ｇを表示装置２上で動作さ
せて種々のシーケンスの良否の検討を行う。また、その
新しい搬送シーケンスを実際に使用する場合には、モー
ドＡを選択して機構アーム及びテーブル２９の動きを仮
想アーム及びテーブル２９Ｇの動きに追従させればよ
い。更に、一般に機構アーム及びテーブル２９の動きは
カバー等に覆われて観察できないので、その機構アーム
及びテーブル２９の動きを確認するためには、モードＢ
を選択して仮想アーム及びテーブル２９Ｇの動きを機構
アーム及びテーブル２９の動きに追従させればよい。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の一実施例につき図１及び図２
を参照して説明する。本実施例は電子ビーム露光装置の
ウエハ搬送系へ本発明を適用したものである。図２は本
例のウエハ搬送系の機構的な配置及び構成を示したもの
であり、この図２において、１は装置全体の動作を制御
するメインコンピュータ、２は表示装置である。また、
本例の搬送系は常時大気圧の大気室３、大気圧と真空と
が切り替わる準備室９及び常時高真空で電子ビームによ
る描画が実行される真空室１５とに分かれており、大気
室３と準備室９との間には第１ゲート弁８を装着し、準
備室９と真空室１５との間には第２ゲート弁１４を装着
する。

【００１９】そして、大気室３には、シリコンウエハ等
の試料を外部から搬入して来るキャリア４、このキャリ
ア４に対する試料の出し入れを行う第１アーム５、第１
アーム５からの試料を準備室９に渡すための第１テーブ
ル６及び準備室９からの試料を第１アーム５に渡すため
の第２テーブル７を配置する。また、準備室９には、大
気室３の試料を真空室１５に搬送するための第２アーム
１０及び第３テーブル１１並びに真空室１５の試料を大
気室３に搬送するための第４テーブル１２及び第３アー
ム１３を配置する。

【００２０】更に、真空室１５には、準備室９からの試
料を受け入れるための第４アーム１６及び第５テーブル
１７と、この第５テーブル１７の試料を電子ビームが照
射される試料ホルダー１９上に運ぶと共に試料ホルダー
１９上の試料を第６テーブル２０に運ぶ第５アーム１８
と、第６テーブル２０の試料を準備室９に搬送するため
の第６アーム２１とを配置する。試料ホルダー１９の上
方には電子ビーム照射用の電子光学系が配置されてい
る。

【００２１】本例では、キャリア４、第１アーム５〜第
６アーム２１、第１テーブル６〜第６テーブル２０及び
試料ホルダー１９の動作をメインコンピュータ１が制御
する。また、表示装置２の表示画面２ａには、それらキ
ャリア４、第１アーム５〜第６アーム２１、第１テーブ
ル６〜第６テーブル２０及び試料ホルダー１９とそれぞ
れ相似な図形よりなる仮想キャリア４Ｇ、仮想第１アー
ム５Ｇ〜仮想第６アーム２１Ｇ、仮想第１テーブル６Ｇ
〜仮想第６テーブル２０Ｇ及び仮想試料ホルダー１９Ｇ
が表示されている。

【００２２】図１は図２のウエハ搬送系の制御系の構成
を示す機能ブロック図であり、この図１において、メイ
ンコンピュータ１は搬送シーケンス制御部２２とモード
制御部２３とを有し、搬送シーケンス制御部２２にはウ
エハ搬送系の実際の搬送シーケンス及び開発中の搬送シ
ーケンス等が記憶されている。また、モード制御部２３
には後述の３種類のモードを指定するためのモード設定
信号Ｓ１を出力する。そして、一点鎖線で囲まれた第１
ブロック２４−１は図２の第１アーム５の制御部、第２
ブロック２４−２は図２の第１アーム６の制御部であ
り、同様にブロック２４−３〜２４−Ｎはそれぞれ図２
の残りの第２アーム１０〜第６アーム２１及び第２テー
ブル７〜第６テーブル２０と一対一で対応する制御部で
ある。

【００２３】例えば第１ブロック２４−１においては、
搬送シーケンス制御部２２からの実際の搬送シーケンス
に対応する第１制御信号Ｓ２及び／又は表示装置２の表
示画面２ａ上の動作に対応する第２制御信号Ｓ３が入力
セレクタ２５−１に供給される。入力セレクタ２５−１
は選択されたモードに応じて、第１制御信号Ｓ２又は第
２制御信号Ｓ３をそれぞれ実動作制御部２６−１又は仮
想動作制御部２７−１に供給する。２８−１は追従制御
部であり、この追従制御部２８−１はモード制御部２３
から供給されるモード設定信号Ｓ１に応じて、次の３種
類のモードで動作する。

【００２４】モードＡ：第１テーブル５の動きを表示装
置２の仮想第１テーブル５Ｇの動きに追従させるように
制御する。 モードＢ：仮想第１テーブル５Ｇの動きを第１テーブル
５の動きに追従させるように制御する。 モードＣ：追跡制御を行わず、第１テーブル５の動きと
仮想第１テーブル５Ｇの動きとを切り放す。

【００２５】具体的に、モードＡにおいては、入力セレ
クタ２５−１を介して第２制御信号Ｓ３を仮想動作制御
部２７−１に入力して、仮想動作制御部２７−１によっ
て制御される表示装置２上の仮想第１テーブル５Ｇの動
きを、追跡制御部２８−１により実動作制御部２６−１
を介して第１テーブル５に伝える。これにより、第１テ
ーブル５は仮想第１テーブル５Ｇの動きを忠実に追跡す
る。

【００２６】モードＢにおいては、入力セレクタ２５−
１を介して第１制御信号Ｓ２を実動作制御部２６−１に
入力して、実動作制御部２６−１によって制御される第
１テーブル５の動きを、追跡制御部２８−１により仮想
動作制御部２７−１を介して仮想第１テーブル５Ｇに伝
える。これにより、仮想第１テーブル５Ｇは第１テーブ
ル５の動きを忠実に追跡する。モードＣにおいては、入
力セレクタ２５−１を介して第１制御信号Ｓ２及び第２
制御信号Ｓ３をそれぞれ実動作制御部２６−１及び仮想
動作制御部２７−１に供給することで、実動作制御部２
６−１と仮想動作制御部２７−１とは独立に機能し、第
１テーブル５と仮想第１テーブル５Ｇとは別々に動作す
る。

【００２７】また、第２ブロック２４−２も搬送シーケ
ンス制御部２２からの制御信号が供給される入力セレク
タ２５−２、第１テーブル６の動作を制御する実動作制
御部２６−２、表示装置２上の仮想第１テーブル６Ｇの
動作を制御する仮想動作制御部２７−２及び上記の３種
類のモードで動作する追従制御部２８−２より構成され
ている。同様に、他のブロック２４−３〜２４−Ｎもそ
れぞれ入力セレクタ、アーム又はテーブルの動作を制御
する実動作制御部、表示装置２上の仮想アーム又は仮想
テーブルの動作を制御する仮想動作制御部及び上記の３
種類のモードで動作する追従制御部より構成されてい
る。そして、各ブロック２４−１〜２４−Ｎの中の追従
制御部２８−１，２８−２，‥‥は全て同一のモードで
動作する。

【００２８】図２に戻って、本例の試料搬送装置の動作
の一例につき説明する。先ず、キャリア４から第１アー
ム５により抜き取られたシリコンウエハ等の試料が第１
テーブル６上に載置される。これと同時に予備室９が大
気に開放されて、第１ゲート弁８が開けられる。そし
て、第２アーム１０が試料を第１テーブル６から第３テ
ーブル１１へと搬送する。次に第１ゲート弁８が閉じら
れて、予備室９は真空排気される。排気が終了して予備
室９が所定の真空度に達すると、第２ゲート弁１４が開
けられて、第４アーム１６によって試料は第３テーブル
１１から第５テーブル１７へと搬送される。その後、試
料は第５アーム１８によって第５テーブル１７からステ
ージ上の試料ホルダー１９へと搬送される。また、帰り
の経路についても同様の操作により、図２に示すよう
に、試料ホルダー１９→第６ステージ２０→第４ステー
ジ１２→第２ステージ７と続く経路を通って、試料はキ
ャリア４へ格納される。

【００２９】以上が基本的な搬送方式についての説明で
ある。実際には搬送シーケンスのオーバーヘッド（無駄
時間）を最小にするために、最初の試料がステージ上の
試料ホルダー１９に到達して描画が開始される以前に、
次の試料あるいは次の次の試料の搬送を開始し、搬送系
の内部に複数枚の試料を滞留させる方式をとる。どこで
どの試料を待機させるかは、予備室９の真空排気に必要
な時間あるいは試料の描画にかかる時間等に依存し、全
ての場合において最適な搬送シーケンスを一意に決定す
ることは困難である。そこで使用される状況に応じて、
頻繁に搬送シーケンスを組み合えることが必要となる。

【００３０】例えば作成された搬送シーケンスのチェッ
クを行う際には、先ず各機構要素（一例として図１のブ
ロック２４−１を用いる）において追跡制御部２８−１
のモードをモードＣ、即ち「追跡しないモード」に設定
し、搬送シーケンス制御部２２からの第２制御信号Ｓ３
を仮想動作制御部２７−１に与えるように入力セレクタ
２５−１を設定する。これにより、表示装置２の表示画
面２ａ上で搬送シーケンスのシミュレーションが行われ
る。この状態では実動作制御部２６−１は動作しない
か、又はそれまでの搬送シーケンスでの動作を実行する
ので、作成されたばかりの搬送シーケンスの不備による
事故を未然に防ぎながら、安全に搬送シーケンスのテス
トを行うことができる。

【００３１】テストが正常に終了した時点で、追跡制御
部２８−１のモードをモードＡ、即ち「実際のアーム又
はテーブルの動きを仮想アーム又は仮想テーブルの動き
に追従させるモード」に設定し直すことにより、テスト
した搬送シーケンスがそのまま実際の試料の搬送に適用
される。また、搬送シーケンス制御部２２を２系統用意
しておけば、実際に試料を搬送させながら別の搬送シー
ケンスのテストを同時に実行するというようなことも出
来るようになり、テストのために装置の運用を停止する
ことなく運用状態のままテスト作業ができるという利点
が生ずる。

【００３２】また、追跡制御部２８−１のモードをモー
ドＢ、即ち「仮想アーム又は仮想テーブルの動きを実際
のアーム又はテーブルの動きに追従させるモード」に設
定し、入力セレクタ２５−１を第１制御信号Ｓ２が実動
作制御部２６−１に入るよう設定すると、表示装置２上
の仮想アーム又は仮想テーブルはそれぞれ実際のアーム
又はテーブルの現在の状態を反映する表示器としての機
能を果たす。電子ビーム露光装置等のように試料の搬送
経路が真空容器の中に隠れてしまう場合には有効であ
る。

【００３３】更に、他の例として追跡制御部２８−１の
モードをモードＡ、即ち「実際のアーム又はテーブルの
動きを仮想アーム又は仮想テーブルの動きに追従させる
モード」に設定し、入力セレクタ２５−１を第２制御信
号Ｓ３が仮想動作制御部２７−１に入るように設定す
る。そして、マウス等のポインティングデバイスを使用
して表示装置２上で仮想アーム及び仮想テーブルを操作
する機能を組み込むことにより、実際のアーム及びテー
ブルをマニュアル操作させることができる。これは何等
かの理由で搬送シーケンスが中断された場合に、装置の
オペレータが対話的に個々の実際のアーム及びテーブル
を操作して内部に滞留している試料を回収する作業等に
使用される。

【００３４】なお、本発明は上述実施例に限定されず、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る
ことは勿論である。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、必要に応じて、複数の
仮想アーム部及び複数の仮想テーブル部の表示画面上で
の動きに追従して複数のアーム部及び複数のテーブル部
を動作させる追従制御手段が設けられているので、実際
の装置の本来の作業を中断することなく、更に実際の装
置に対して一対一の関係で搬送シーケンスの開発が行え
る利点がある。従って、複雑な搬送シーケンスで動作す
る試料搬送装置の搬送シーケンスを迅速且つ安全にテス
トすることができ、試料搬送装置の開発及び改良スケジ
ュールの短縮に効果を発揮する。

【００３６】また、その追従制御手段が、更に必要に応
じて、それら複数のアーム部及び複数のテーブル部の動
作に追従してその表示画面上でそれら複数の仮想アーム
部及び複数の仮想テーブル部を動作させる場合には、そ
れら複数のアーム部及び複数のテーブル部がカバーで覆
われているような装置でも、それらアーム部及びテーブ
ル部の状態を表示できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の電子ビーム露光装置用のウ
エハ搬送系の制御系を示す機能ブロック図である。

【図２】その実施例のウエハ搬送系の機構部を示す構成
図である。

【図３】本発明の原理を示すもので、試料搬送装置にお
けるアーム部又はテーブル部と仮想アーム部又は仮想テ
ーブル部との制御系の構成図である。

【符号の説明】

１ メインコンピュータ ２ 表示装置 ３ 大気室 ９ 準備室 １５ 真空室 ５，１０，１３，１６，１８，２１ アーム ５Ｇ，１８Ｇ 仮想アーム ６，７，１１，１２，１７，２０ テーブル ６Ｇ，２０Ｇ 仮想テーブル ８，１４ ゲート弁 １９ 試料ホルダー ２２ 搬送シーケンス制御部 ２３ モード制御部 ２５−１，２５−２ 入力セレクタ ２６−１，２６−２ 実動作制御部 ２７−１，２７−２ 仮想動作制御部 ２８−１，２８−２ 追従制御部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ試料を保持して移動する複数の
   アーム部と、それぞれ前記複数のアーム部の内の１つの
   アーム部から試料を受けると共に前記複数のアーム部の
   内の１つのアーム部に試料を渡す複数のテーブル部とを
   組み合わせて構成される試料搬送装置において、 前記複数のアーム部にそれぞれ対応して複数の仮想アー
   ム部を表示装置に表示する仮想アーム表示手段と、 前記複数のテーブル部にそれぞれ対応して複数の仮想テ
   ーブル部を前記表示装置上に表示する仮想テーブル表示
   手段と、 前記複数のアーム部及び複数のテーブル部の動作を制御
   する実動作制御手段と、 前記複数の仮想アーム部及び複数の仮想テーブル部の前
   記表示装置の表示画面上での動きを制御する仮想動作制
   御手段と、 必要に応じて、前記複数の仮想アーム部及び複数の仮想
   テーブル部の前記表示装置の表示画面上での動きに追従
   して前記複数のアーム部及び複数のテーブル部を動作さ
   せる追従制御手段と、を有する事を特徴とする試料搬送
   装置。
2. 【請求項２】 前記追従制御手段は、更に必要に応じ
   て、前記複数のアーム部及び複数のテーブル部の動作に
   追従して前記表示装置の表示画面上で前記複数の仮想ア
   ーム部及び複数の仮想テーブル部を動作させる事を特徴
   とする請求項１記載の試料搬送装置。