JP2010213845A - 針状体製造方法および針状体転写版 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の針状体製造方法は、側壁に傾斜を有する台座部に微細凹部が形成された転写版を用いることから、針状体材料の硬化収縮にあたり、針状体材料の収縮に伴う応力が、転写版と充填された針状体材料とを剥離する方向に働く。このため、転写版と針状体材料を剥離する工程にあたり、好適に転写版と針状体材料とを剥離することが出来る。
【選択図】 図1
Description
を特徴とする請求項4に記載の針状体転写版である。
これは、台座部が傾斜していることから、針状体材料の収縮に伴う応力が、転写版と充填された針状体材料とを剥離する方向に働くためである。
特に、寸法が小さく且つアスペクト比の高い構造を有する針状体を転写版から剥離する場合においては、剥離時の極僅かな傾斜や軸ずれによって、成形品の針状体が容易に破損するため、高い精度で成形品表面と転写版表面との平行を維持し、且つ剥離方向の軸ずれを抑制して剥離を実施する機構が必要となる。よって、剥離に際して、成型体全体に対し均一な力を加えないと、成型体の突起部が特に破損しやすい。
本発明は、「針状体材料の収縮に伴う応力が、転写版と充填された針状体材料とを剥離する方向に働く」ため、成型体全体に対し、剥離する方向へ均一な力を与えることが出来、特に、微細凹部を備えた転写版を用いるとき効果は多大である。
このような線膨張係数の差が大きい転写版材料と針状体材料の組み合わせとしては、例えば、下記のような組み合わせが挙げられる。
針状体材料:熱可塑性の樹脂など。
転写版材料:金属、セラミクス、シリコン、石英、など。
生体適合性を備えた材料としては、例えば、ポリカーボネート、キチン・キトサン、キチン・キトサン誘導体、ポリグリコール酸、ポリクエン酸、ポリリンゴ酸、ポリアミノ酸、マルトース、デキストラン、医療用シリコーン樹脂、などのポリマーが挙げられる。
当然のことながら、本発明の針状体の製造方法は下記実施例に限定されず、類推できる他の製造方法をも含むものとする。
まず、図3(a)に示すように、厚さ525μmの単結晶シリコンウェハ10を準備した。
このとき、逆円錐台形状の凹部は、開口部直径が15mm、底面直径が14.66mmとなるように加工したため、逆円錐台凹部側壁面と凹部底面との成す角度がおよそ130度になった。このとき、逆円錐台凹部底面に形成された25本の突起部は、一辺が約8mmの正方形領域内に配置された。
針状体原版11に、スパッタ法によってニッケル導電層を100nmの厚さに形成し、前記導電層上に、電解メッキ法によってニッケル膜20を1200μmの厚さに形成した。このとき、導電層は、電解メッキにおけるシード層として作用する。
このとき、90℃に加熱した重量パーセント濃度30%の水酸化カリウム水溶液を用いてウェットエッチングを行い、針状体原版11を完全に除去することにより、剥離を行なった。
このとき、ポリカーボネート30は針状体転写版21から容易に剥離され、ピンセットでポリカーボネート30の端部を摘んで針状体転写版21から剥離することが出来た。
得られた針状体は、図3(b)に示す針状体原版11と同様の形状を有し、逆円錐台形状の凹部底面の中央に概円錐形の突起部を、2mm間隔で、5列5行の格子状に計25本配列して具備した。また、得られた針状体を光学顕微鏡および走査電子顕微鏡によって観察したところ、25本全ての微細な突起部に破損は認められなかった。
実施例1と同様に、針状体製造方法を実施した。
ただし、針状体原版において、表面に逆円錐台形状の凹部を有さない形状の針状体原版を作製した。
このとき、突起部は実施例に示したような逆円錐台凹部の底面に配置された形態ではなく、突起部が配置されるシリコン基板表面が一様に平坦な面となる構造になるよう加工した。
2…基板部
3…傾斜部
4…突起部パターン
5…基部
6…台座部
7…基部表面
8…台座部側壁面
9…基部表面と台座部側壁面のなす角
10…原版材料
11…針状体原版
20…転写版材料
21…針状体転写版
30…針状体材料
31…針状体
40…分離手段
41…分離された針状体
42…分離片
Claims (6)
- 微細な針状体を製造する針状体製造方法において、
針状体形状を有する微細凹部が形成された転写版に針状体材料を充填する充填工程と、
前記転写版から前記針状体材料を剥離する剥離工程と、を備え、
前記転写版は、基部上に配置され側壁に傾斜を有する台座部に、微細凹部が形成された転写版であること
を特徴とする針状体製造方法。 - 前記転写版を構成する材料の線膨張係数は、前記針状体材料の線膨張係数よりも小さいこと
を特徴とする請求項1に記載の針状体製造方法。 - 前記剥離工程にあたり、前記転写版の台座部上面に対応する領域以外の針状体材料を除去すること
を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の針状体製造方法。 - 基部と、
前記基部上に配置された台座部と、
前記台座部上面に前記微細な針状体形状を凹凸反転した微細凹部と、を備え、
前記台座部は、側壁に傾斜を有する台座部であること
を特徴とする針状体転写版。 - 前記台座部の形状は、逆錐台形状であること
を特徴とする請求項4に記載の針状体転写版。 - 基部表面と、台座部側壁面との成す角度は、100度から150度の範囲にあること
を特徴とする、請求項4または5のいずれかに記載の針状体転写版。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009062817A JP2010213845A (ja) | 2009-03-16 | 2009-03-16 | 針状体製造方法および針状体転写版 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010213845A true JP2010213845A (ja) | 2010-09-30 |
Family
ID=42973346
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JP2009062817A Pending JP2010213845A (ja) | 2009-03-16 | 2009-03-16 | 針状体製造方法および針状体転写版 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010213845A (ja) |
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