JP2010206059A - シールドケース部品用の吸着ノズルおよび部品実装装置 - Google Patents

シールドケース部品用の吸着ノズルおよび部品実装装置 Download PDF

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Abstract

【課題】シールドケース部品を対象として汎用性に優れた吸着ノズルおよびこの吸着ノズルが装着された部品実装装置を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置の搭載ヘッドに装着されてシールドケース部品を真空吸着するシールドケース部品用の吸着ノズル31において、シールドケース部品の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面33bが設けられ、本体部32の下面32bに着脱自在に装着された状態において吸着面33bに設けられた吸着孔33cが吸引開口部32dと連通する複数のノズルブロック33を備え、これらのノズルブロック33のうち少なくとも1つを本体部32の下面32bに沿ってスライドさせる構成とする。これにより、ノズルブロック33の間隔を吸着保持する対象のシールドケース部品に応じて調整することができ、複数種類のシールドケース部品を対象として、汎用性に優れた吸着ノズルを実現することができる。
【選択図】図4

Description

本発明は、シールドケース部品用の吸着ノズルおよびこの吸着ノズルが装着された部品実装装置に関するものである。
基板に各種の部品を実装して実装基板を製造する部品実装分野において、実装対象となる部品に、基板に実装された部品を電磁的にシールドする機能を有するシールドケース部品がある。このシールドケース部品は、基板に既に実装された複数の部品を囲う形で基板に装着されるため、一般に基板における部品配置に対応した複雑な形状となる。このため、このようなシールドケース部品のハンドリングには、通常の部品を対象とする汎用型の吸着ノズルを用いることが困難な場合が多く、特殊な移載形態の部品実装装置が従来より用いられている(例えば特許文献1参照)。
この特許文献に示す例では、ボールフィーダから供給されたシールドケース部品をこのシールドケース部品の形状に応じて製作されたガイドブロックに導いて、対象とする基板に位置合わせして実装するようにしている。また、シールドケース部品が真空吸着が可能な被吸着部を有する形状のものである場合には、この被吸着部を特定して吸着することが可能な形状の専用の吸着ノズルが用いられる場合がある。
特開2002−205224号公報
しかしながらシールド対象となる基板の種類や形状は種々様々であるため、シールドケース部品もこれらの形状に合わせて様々なものが準備される。このため、特許文献に示す例を含め従来の先行技術例においては、新たな品種を対象とする都度、各シールドケース部品の種類に応じて専用のガイドブロックや吸着ノズルを個別に製作する必要があった。このため、多種類の特殊形状の吸着ノズルを製作することに伴う製作コストと共に、これら多種類の吸着ノズルを製品毎に使い分けるための管理コストの負担が避けがたいものであった。このように、従来のシールドケース部品を対象とした部品実装においては、部品の移載設備に汎用性を持たせることが困難であることに起因して、生産性向上が妨げられるという課題があった。
そこで本発明は、シールドケース部品を対象として汎用性に優れた吸着ノズルおよびこの吸着ノズルが装着された部品実装装置を提供することを目的とする。
本発明のシールドケース部品用の吸着ノズルは、部品実装装置の搭載ヘッドに装着され、この搭載ヘッドと連通した吸引孔から真空吸引することにより、下端部にシールドケース部品を真空吸着するシールドケース部品用の吸着ノズルであって、前記搭載ヘッドに装着され前記吸引孔が設けられた本体部と、前記本体部の下面に開口して設けられ前記吸引孔と連通する複数の吸引開口部と、前記シールドケース部品の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面が設けられ、前記本体部の下面に装着された状態において前記吸着面に設けられた吸着孔が前記吸引開口部と連通する複数のノズルブロックとを備え、前記複数のノズルブロックのうちの少なくとも1つは、前記本体部の下面に沿ってスライド自在に装着される。
本発明の部品実装装置は、シールドケース部品を真空吸着により保持して基板に実装す
る部品実装装置であって、前記シールドケース部品を供給する部品供給部と、このシールドケース部品の上面に当接して真空吸着する吸着ノズルと、この吸着ノズルが装着される搭載ヘッドと、この搭載ヘッドを前記部品供給部と前記基板との間で移動させるヘッド移動機構と、前記搭載ヘッドを介して前記吸着ノズルから真空吸着する真空吸引源とを備え、前記吸着ノズルは、請求項1または2のいずれかに記載のシールドケース部品用の吸着ノズルである。
本発明によれば、シールドケース部品用の吸着ノズルを、シールドケース部品の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面が設けられ吸着ノズルの本体部の下面に着脱自在に装着された状態において吸着面に設けられた吸着孔が吸引開口部と連通する複数のノズルブロックを備え、これらのノズルブロックのうち少なくとも1つを本体部の下面に沿ってスライドさせる構成とすることにより、ノズルブロックの間隔を吸着保持する対象のシールドケース部品に応じて調整することができ、複数種類のシールドケース部品を対象として、汎用性に優れた吸着ノズルを実現することができる。
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図、図2は本発明の一実施の形態の部品実装装置の搭載ヘッドの構成説明図、図3は本発明の一実施の形態の部品実装装置による実装対象となるシールドケース部品の平面図、図4は本発明の一実施の形態の部品実装装置における単位搭載ヘッドへの吸着ノズルの装着状態を示す説明図、図5は本発明の一実施の形態のシールドケース用部品の吸着ノズルに用いられるノズルブロックの構造説明図、図6、図7は本発明の一実施の形態のシールドケース用部品の吸着ノズルにおけるノズルブロックの装着状態の説明図である。
まず図1を参照して部品実装装置1の構造を説明する。図1において、基台2の中央部には、搬送路3がX方向(基板搬送方向)に配列されている。搬送路3は部品が実装される基板を複数保持したキャリア4を搬送し、実装作業位置に位置決めする。ここでは、キャリア4は携帯電話などの端末機器に用いられる小型の基板4aを複数個保持している。搬送路3の両側には、これらの基板4aに実装される部品を供給する第1部品供給部5A、第2部品供給部5Bが配置されている。
第1部品供給部5Aには複数のテープフィーダ6が並設されている。テープフィーダ6は、端子型のチップ部品などの部品を保持したキャリアテープをピッチ送りして、以下に説明する搭載ヘッドのピックアップ位置にこれらの部品を供給する。第2部品供給部5Bには、2つの第1部品トレイ7A、第2部品トレイ7Bが配設されている。第2部品トレイ7Bは、基板4aに実装されるCSPなどの部品を供給する。また第1部品トレイ7Aは、電磁波を遮蔽するために部品実装済みの基板4aを覆って装着されるシールドケース用部品9を供給する。
基台2のX方向の端部には、Y軸テーブル10AおよびY軸ガイド10Bが配設されており、Y軸テーブル10AおよびY軸ガイド10BにはX軸テーブル11が架設されている。X軸テーブル11には、複数(ここでは3個)の単位搭載ヘッド13を備えた多連型の搭載ヘッド12が移動ベース12aを介して装着されており、X軸テーブル11は単位搭載ヘッド13と一体的に移動する。Y軸テーブル10AおよびX軸テーブル11を駆動することにより、X軸テーブル11はXY方向に移動し、第1部品供給部5A、第2部品供給部5Bから部品をX軸テーブル11に備えられた複数の搭載ヘッド12によって取り出して、搬送路3上に位置決めされたキャリア4に保持されたそれぞれの基板4aに移送搭載する。Y軸テーブル10AおよびX軸テーブル11は、搭載ヘッド12を第1部品供
給部5A、第2部品供給部5Bと搬送路3との間で移動させるヘッド移動機構を構成する。
第2部品供給部5Bと搬送路3との間の搭載ヘッド12の移動経路には、部品認識カメラ15、ノズルストッカ16、ペースト転写テーブル17が配設されている。第1部品供給部5A、第2部品供給部5Bから部品をとりだして搭載ヘッド12がキャリア4へ移動する途中で、搭載ヘッド12が部品認識カメラ15の上方を通過することにより、搭載ヘッド12に保持された状態の部品を認識する。ノズルストッカ16は、基板4aに搭載される部品の種類に応じた吸着ノズルを複数種類収納しており、搭載ヘッド12がノズルストッカ16にアクセスすることにより、搭載対象の部品の種類に応じた吸着ノズルを選択して装着することができるようになっている。ペースト転写テーブル17は、半田接合に際して接合補助剤として用いられるフラックスなどのペーストをテーブル上に膜状にして供給する。搭載ヘッド12に保持された部品をペースト転写テーブル17に対して下降させることにより、部品のバンプなどの接続用端子にはペーストが転写により供給される。
次に図2を参照して、搭載ヘッド12の構成を説明する。搭載ヘッド12は、X軸テーブル11によってX方向へ移動する移動ベース12aに、3つの単位搭載ヘッド13および基板認識カメラ14を配設した構成となっている。それぞれの単位搭載ヘッド13はZ軸モータ20によって駆動されて昇降する昇降部21を備えており、各昇降部21にはθ軸モータ23を備えたノズル機構部22が装着されている。ノズル機構部22の下端部に設けられた装着部24には、通常部品用の吸着ノズル30やシールドケース用の吸着ノズル31などの種類の異なる吸着ノズルが交換自在に装着される。
部品用吸着ノズル30は、装着部24に設けられた装着孔部24aに嵌合する装着部30aを備えており、装着部30aの下部に結合して設けられた鍔部30bからはノズル軸30cが下方に延出している。部品用吸着ノズル30は、テープフィーダ6によって供給されるチップ型の部品や、第2部品トレイ7Bによって供給されるバンプ付き部品8などをノズル軸30cによって吸着保持する。
シールドケース用の吸着ノズル31は、第1部品トレイ7Aによって供給されるシールドケース用部品9を吸着保持するための専用の吸着ノズルであり、部品用吸着ノズル30と装着互換性を有している。すなわちシールドケース用の吸着ノズル31は、本体部32に装着部30aと同様形状の装着部32a(図4参照)を備えており、装着部32aは本体部32の一部を構成する。本体部32の下面には、2つのノズルブロック33が装着されており、ノズルブロック33は以下に説明するシールドケース用部品9の細長形状の被吸着面を吸着するための吸着面33bを備えている。
図3は、シールドケース用の吸着ノズル31によって吸着保持の対象となるシールドケース用部品9の平面形状を示している。前述のように、電磁波を遮断するためのシールドケース用部品9は部品実装済みの基板4aを覆って装着されることから、基板4aにおいて部品と干渉しないように、筐体の内側面に沿う残余スペースや部品間相互の隙間など、シールド用部材を配置するのに許容された僅かなスペースを利用して配置される。このため、シールドケース用部品9は細長形状の線状部分を組み合わせた形状となっている。シールドケース用部品9は品種の異なる製品毎に、線状部分の形状や組み合わせが異なる個別部品(例えば図3(a)、(b)に示すシールドケース用部品9A、9B)として準備される。
そしてシールドケース用の吸着ノズル31によってこれらのシールドケース用部品9を吸着保持する際には、シールドケース用部品9を構成する複数の線状部分のうち、シールドケース用の吸着ノズル31の2つのノズルブロック33によって吸着保持するのに最も
適切な部分を選定する。この選定においては、シールドケース用部品9の複数の線状部分のうち、真空吸着において吸着されるのに適した複数の被吸着面を組み合わせて選定する。この被吸着面としては、シールドケース用部品9を構成する線状部分のうち、真空吸着が可能な幅を有する線状面要素となる部分を選定する。すなわち、このようなシールドケース用部品9において、シールドケース用部品9を吸着保持するための被吸着面は平面視して細長形状の線状面要素を組み合わせて構成される。
例えば、図3(a)に示すシールドケース用部品9Aは、線状面要素18a、18b
、18c、18d、18e、18fなどの複数の線状部分によって構成される。シールドケース用の吸着ノズル31によってシールドケース用部品9Aを吸着保持する際には、最も外側に位置して相平行する位置関係にある2つの線状面要素18a、18b(幅寸法b1,b2)が、吸着ノズル31のノズルブロック33によってシールドケース用部品9Aを吸着保持するための被吸着面として選定される。そして吸着ノズル31における2つのノズルブロック33の間隔は、線状面要素18a、18bを隔てる間隔D1に設定される。
同様に、図3(b)に示すシールドケース用部品9Bは、線状面要素19a、19b
、19c、19d、19e、19fなどの複数の線状部分によって構成される。シールドケース用の吸着ノズル31によってシールドケース用部品9Bを吸着保持する際には、最も外側に位置して相平行する位置関係にある2つの線状面要素19a、19b(幅寸法b3,b4)が、吸着ノズル31のノズルブロック33によってシールドケース用部品9Bを吸着保持するための被吸着面として選定される。そして吸着ノズル31における2つのノズルブロック33の間隔は、線状面要素19a、19bを隔てる間隔D2に設定される。
次に図4、図5を参照して、このようなシールドケース用部品9を吸着保持するために部品実装装置1の単位搭載ヘッド13に装着して用いられる吸着ノズル31の構成および吸着ノズル31のノズル機構部22への装着について説明する。吸着ノズル31は、上部に装着部32aが設けられた本体部32の下面32bに、2つのノズルブロック33を装着して構成される。ノズル機構部22の下部に設けられた装着部24には、装着部32aが交換自在に着脱(矢印b)される装着孔部24aが設けられており、装着孔部24aと連通する吸引孔24bには、真空吸引源25が接続されている。
単位搭載ヘッド13に装着される本体部32の装着部32aには、吸引孔32cが上下に挿通して設けられている。吸引孔32cは、本体部32の下面32bに開口して設けられた複数(ここでは2つ)の長穴形状の吸引開口部32d(図7(a)参照)と連結孔32eを介して連通している。ノズルブロック33は、下面32bに当接して装着される装着面33eが設けられたベース部33dの下面から、矩形ブロック形状の吸着凸部33aを下方に延出させた構成となっており、吸着凸部33aの下端部の吸着面33bには、細長形状の吸着孔33c(図5参照)が形成されている。このような細長形状の吸着孔33cは、図3に示すシールドケース用部品9A、9Bにおいて被吸着面として選定される線状面要素の幅寸法(b1,b2,b3,b4)に対応して、これらの線状面要素の幅よりも小さい吸着幅b5で設けられている。すなわち、ノズルブロック33の吸着凸部33aに設けられた吸着面33bは、吸着対象となるシールドケース用部品9A,9Bの線状面要素に対応した細長形状の吸着孔33cを有する形態となっている。
ノズルブロック33は本体部32に対して着脱自在(矢印c)となっており、下面32bに装着面33eを当接させてベース部33dをボルト締結(図6参照)することにより、複数のノズルブロック33は本体部32に装着される。複数のノズルブロック33には、シールドケース部品9の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面33bが設けられてい
る。ノズルブロック33が本体部32の下面32bに装着された状態においては、吸着面33bに設けられた吸着孔33cが吸引開口部32dと連通し、この状態では吸着孔33cは、吸引開口部32dを介して吸引孔32cと連通する。
そして装着部32aを装着孔部24aに嵌合させることにより、吸引孔32cは吸引孔24bを介して真空吸引源25と接続された状態となる。そしてこの状態で真空吸引源25を作動させることにより、吸着孔33cから真空吸引し、これにより本体部32は、シールドケース用部品9Aやシールドケース用部品9Bの被吸着面を吸着保持することができる。すなわち、シールドケース用の吸着ノズル31は、単位搭載ヘッド13と連通した吸引孔32cから真空吸引することにより、本体部32の下端部に設けられた吸着面33bにシールドケース部品9を真空吸着する。
ノズルブロック33の詳細構造について図5を参照して説明する。なお図5は、ノズルブロック33の実際の装着状態における姿勢から反転した状態を示している。ベース部33dは平面視して矩形の板状部材であり、ベース部33dの下面(図5においては上面)には、X方向における中央、Y方向における左端に位置して、矩形ブロック形状の吸着凸部33aが立設されている。吸着凸部33aのY方向の断面形状(A−A断面)に示すように、吸着凸部33aにはY方向に細長形状の吸着孔33cが開口して設けられており、吸着孔33cはベース部33dの装着面33eまで貫通して設けられた吸引孔33gと連通している。ベース部33dにおいて吸着凸部33aが設けられていない位置には、ベース部33dをボルト締結するための装着用長穴33fが長円方向をX方向に合わせて、ベース部33dを貫通して設けられている。
図6、図7は、ノズルブロック33を本体部32に装着する際のノズルブロック33の位置調整方法を示している。図7(a)は本体部32の下面32bを平面的に示しており、下面32bには、1対の吸引開口部32dおよびそれぞれの吸引開口部32dと対応した締結孔32fが形成されている、ノズルブロック33を本体部32に装着する際には、図6(a)に示すように、装着用長穴33fが締結孔32fに重なる位置にあり、且つ吸着孔33cの長手方向がY方向と一致ようにノズルブロック33の位置を合わせた状態で、ベース部33dの装着面33e(図5)を吸引開口部32dに当接させる。そしてボルト34を装着用長穴33fに挿通させて締結孔32fに螺合させて締結することにより、ノズルブロック33を本体部32に固定する。ボルト34、装着用長穴33fおよび締結孔32fは、ノズルブロック33を本体部32の下面32bに固定する固定手段を構成する。
このとき、装着用長穴33fはX方向に長径方向を合わせて設けられていることから、ノズルブロック33を下面32bに沿ってX方向にスライドさせることにより、吸着孔33cの位置をX方向(矢印d方向)に装着用長穴33fの長円寸法L1に相当する調整代だけ調整することが可能となっている。このとき、吸引開口部32dも長円寸法L1に対応した長円寸法L2で形成されていることから、吸着孔33cと連通して設けられた吸引孔33g(図5参照)は、ノズルブロック33のX方向の位置に拘わらず、必ず吸引開口部32dと連通する。
なお図6(b)に示すように、ノズルブロック33を本体部32に装着する際の位置合わせ用に、X方向のガイド機構を設けるようにしてもよい。すなわち、図6(b)の(イ)は、本体部32の下面32bにノズルブロック33のベース部33dを正しくX方向に整列させるためのガイド凸部32gをX方向に設けた例を示している。この場合には、ベース部33dの一方側の側面をガイド凸部32gに沿わせた状態でノズルブロック33を位置合わせする。これにより、吸着孔33cをY方向に正確に一致させることができる。
また図6(b)の(ロ)は、本体部32の下面32bに、ノズルブロック33のベース部33dを正しくX方向に整列させるためのガイド溝部32hをX方向に設けた例を示している。この場合には、ベース部33dの下面に、ガイド溝部32hに嵌合する形状のガイド凸部33hを突設し、ノズルブロック33を装着する際にはガイド凸部33hをガイド溝部32h内に嵌合させた状態でノズルブロック33を位置合わせする。これにより、同様に吸着孔33cをY方向に正確に一致させることができる。
図7(b)は、このようにして2つのノズルブロック33を装着した状態における本体部32の下面32bを示している。すなわち本体部32の下面32bにおける2つの本体部32のX方向の位置を調整する(矢印e)ことにより、それぞれのノズルブロック33の吸着凸部33aに設けられた吸着孔33cの相互の間隔Bを、装着用長穴33fの長円寸法L1によって許容される調整代の範囲内で任意に設定することができる。
ここで、図3(a)に示すシールドケース用部品9Aを対象とする場合には、間隔Bが線状面要素18a、18bの間隔D1に一致するように2つのノズルブロック33の位置を調整する。また図3(b)に示すシールドケース用部品9Bを対象とする場合には、間隔Bが線状面要素19a、19bの間隔D2に一致するように2つのノズルブロック33の位置を調整する。もちろん、上述のシールドケース用部品9A,9B以外のシールドケースを対象とする場合にあっても、被吸着面として選定された2つの線状面要素間の間隔が、装着用長穴33fの長円寸法L1によって許容される調整代の範囲内であれば、吸着対象とすることができる。なお、上記実施の形態においては、2つのノズルブロック33のいずれをもスライド自在として位置調整を可能とした例を示したが、必要とされる調整代の範囲が小さい場合には、2つのノズルブロック33のうち一方のみをスライド自在としてもよい。
上記説明したように、本実施の形態に示すシールドケース部品用の吸着ノズルは、部品実装装置1の単位搭載ヘッド13に装着されこの単位搭載ヘッド13と連通した吸引孔32cから真空吸引することにより、下端部に設けられた吸着面33bにシールドケース部品9を真空吸着するシールドケース部品用の吸着ノズルであって、単位搭載ヘッド13に装着され吸引孔32cが設けられた本体部32と、本体部32の下面32bに開口して設けられ吸引孔32cと連通する複数の吸引開口部32dと、シールドケース部品9の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面33bが設けられ、本体部32の下面32bに装着された状態において吸着面33bに設けられた吸着孔33cが吸引開口部32dと連通する複数のノズルブロック33とを備えた構成となっている。そして複数のノズルブロック33のうちの少なくとも1つは、本体部32の下面32bに沿ってスライド自在に装着される形態となっている。
このような構成を採用することにより、種々様々な種類や形状の基板に装着されるシールドケース部品を対象として、汎用性に優れた吸着ノズルを実現することが可能となっている。すなわち従来技術においては、新たな品種を対象とする都度、各シールドケース部品の種類に応じて専用のガイドブロックや吸着ノズルを個別に製作する必要があった。このため、多種類の特殊形状の吸着ノズルを製作することに伴う製作コストと共に、これら多種類の吸着ノズルを製品毎に使い分けるための管理コストの負担が避けがたいものであった。
これに対し、本実施の形態に示すシールドケース部品用の吸着ノズル31においては、被吸着面として選定された線状面要素間の間隔が異なる場合にあっても、この間隔が装着用長穴33fの長円寸法L1によって許容される調整代の範囲内であれば、吸着ノズル31による吸着対象とすることができる。したがって、シールドケース部品を対象として汎用性に優れた吸着ノズルが実現される、そしてこの吸着ノズルを装着することにより、汎
用性に優れた部品実装装置が実現される。
本発明のシールドケース部品用の吸着ノズルおよび部品実装装置は、シールドケース部品を対象として汎用性に優れるという利点を有し、端末機器などの部品実装後の基板に対してシールドケースを装着する分野において有用である。
本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の搭載ヘッドの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品実装装置による実装対象となるシールドケース部品の平面図 本発明の一実施の形態の部品実装装置における単位搭載ヘッドへの吸着ノズルの装着状態を示す説明図 本発明の一実施の形態のシールドケース用部品の吸着ノズルに用いられるノズルブロックの構造説明図 本発明の一実施の形態のシールドケース用部品の吸着ノズルにおけるノズルブロックの装着状態の説明図 本発明の一実施の形態のシールドケース用部品の吸着ノズルにおけるノズルブロックの装着状態の説明図
1 部品実装装置
4a 基板
5B 第2部品供給部
9、9A、9B シールドケース用部品
12 搭載ヘッド
13 単位搭載ヘッド
18a、18b、19a、19b 線状面要素
22 ノズル機構部
24 装着部
24a 装着孔部
30 部品用吸着ノズル
31 シールドケース用の吸着ノズル
32 本体部
32a 装着部
32b 下面
33 ノズルブロック
33a 吸着凸部
33b 吸着面
33c 吸着孔
33d ベース部
33f 装着用長穴
34 ボルト

Claims (3)

  1. 部品実装装置の搭載ヘッドに装着され、この搭載ヘッドと連通する吸引孔から真空吸引することにより、下端部にシールドケース部品を真空吸着するシールドケース部品用の吸着ノズルであって、
    前記搭載ヘッドに装着され前記吸引孔が設けられた本体部と、前記本体部の下面に開口して設けられ前記吸引孔と連通する複数の吸引開口部と、前記シールドケース部品の被吸着面に当接して吸着保持する吸着面が設けられ、前記本体部の下面に装着された状態において前記吸着面に設けられた吸着孔が前記吸引開口部と連通する複数のノズルブロックとを備え、
    前記複数のノズルブロックのうちの少なくとも1つは、前記本体部の下面に沿ってスライド自在に装着されることを特徴とするシールドケース部品用の吸着ノズル。
  2. 前記被吸着面は平面視して細長形状の線状面要素を組み合わせて構成され、前記吸着面は前記線状面要素に対応した細長形状の前記吸着孔を有することを特徴とする請求項1記載のシールドケース部品用の吸着ノズル。
  3. シールドケース部品を真空吸着により保持して基板に実装する部品実装装置であって、
    前記シールドケース部品を供給する部品供給部と、このシールドケース部品の上面に当接して真空吸着する吸着ノズルと、この吸着ノズルが装着される搭載ヘッドと、この搭載ヘッドを前記部品供給部と前記基板との間で移動させるヘッド移動機構と、前記搭載ヘッドを介して前記吸着ノズルから真空吸着する真空吸引源段とを備え、
    前記吸着ノズルは、請求項1または2のいずれかに記載のシールドケース部品用の吸着ノズルであることを特徴とする部品実装装置。
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