JP2010205779A - 配線基板の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送路の搬送に伴う第1のノズル列および第2ノズル列による洗浄水の噴射の軌跡Ta,TcおよびTb,Tdがノズルの噴射径の5/3未満の繰り返しピッチPでかつ第1のノズル列による洗浄水の噴射の軌跡Ta,Tcにおける谷部分に第2のノズル列による洗浄水の噴射の軌跡Tb,Tdにおける山部分が入り込むようにして第1ノズル列の間隔の半分以上の振幅で揺動させることにより配線基板を洗浄する。
【選択図】図3
Description
2 ノズル
2a,2c 第1のノズル列
2b,2d 第2のノズル列
3 洗浄水
G1 第1の間隔
G2 第2の間隔
Ta,Tb,Tc,Td 洗浄水の噴射の軌跡
Claims (1)
- 第1の方向に一定の速度で搬送される配線基板に対して、ストレート状の洗浄水を噴射する複数のノズルが前記配線基板の主面に平行かつ前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に第1の間隔で並んだ第1のノズル列と、ストレート状の洗浄水を噴射する複数のノズルが前記第1のノズル列から前記第1の方向に第2の間隔だけ離間して前記第1のノズル列の並びに対して平行かつ千鳥状の並びに配置された第2のノズル列とを少なくとも設けるとともに、前記第1のノズル列および第2のノズル列から前記配線基板に対して洗浄水をストレート状に噴射しながら前記第2の方向に、前記搬送路による搬送に伴う前記第1および第2のノズル列による洗浄水の噴射の軌跡が前記ノズルの噴射径の5/3未満の繰り返しピッチでかつ前記第1のノズル列による洗浄水の噴射の軌跡における谷部分に前記第2のノズル列による洗浄水の噴射の軌跡における山部分が入り込むようにして前記第1の間隔以上の振幅で揺動させることにより前記配線基板を洗浄することを特徴とする配線基板の洗浄方法。
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---|---|---|---|---|
JPH09171986A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2003037351A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Kinzoku Kagaku Kogyo Kk | プリント配線板の穴壁洗浄方法及び装置 |
JP2004275989A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-07 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 基板処理装置 |
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