JP2010205348A - メモリ試験システム及び救済演算装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コストの低減を図ることができるとともに、ユーザの作業を軽減して試験効率を向上させることができるメモリ試験システム及び救済演算装置を提供する。
【解決手段】メモリ試験システム1は、メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置10a〜10nと、ネットワークNを介して複数のメモリ試験装置10a〜10nの各々と接続され、複数のメモリ試験装置10a〜10nからネットワークNを介してそれぞれ送信される試験結果(フェイルデータ)を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置20とを備える。救済演算装置20で作成された不良救済データは、不良救済装置30に送信され、メモリ試験装置10a〜10nで不良と判定されたメモリデバイスの不良救済が行われる。
【選択図】図1
【解決手段】メモリ試験システム1は、メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置10a〜10nと、ネットワークNを介して複数のメモリ試験装置10a〜10nの各々と接続され、複数のメモリ試験装置10a〜10nからネットワークNを介してそれぞれ送信される試験結果(フェイルデータ)を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置20とを備える。救済演算装置20で作成された不良救済データは、不良救済装置30に送信され、メモリ試験装置10a〜10nで不良と判定されたメモリデバイスの不良救済が行われる。
【選択図】図1
Description
本発明は、メモリデバイスの試験及び不良救済を行うメモリ試験システム、並びに当該システムで用いられる救済演算装置に関する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)、フラッシュメモリ等のメモリデバイスは、製造時においてメモリセルに欠陥があると不良になる。このため、通常は、本来のメモリセル(メインセル)の周囲に予備のメモリセル(予備セル)を形成しておき、メモリ試験装置の試験で不良(フェイル)が検出された場合に、レーザリペア装置等を用いて欠陥が生じたメモリセル(不良セル)を予備セルで代替して不良を救済することにより、製造歩留まりの低下を防止している。
メモリ試験装置は、メモリデバイスを試験して得られたメモリセル毎のパス/フェイルを示すフェイル情報から、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置(リダンダンシ演算装置)を備えている。メモリ試験装置が備える救済演算装置で作成された不良救済データはレーザリペア装置に転送され、レーザリペア装置において不良救済データを用いたメモリデバイスの不良救済処理が実行される。尚、従来の救済演算装置及びメモリ試験装置の詳細については、例えば以下の特許文献1を参照されたい。
ところで、上述したメモリ試験装置は、メモリデバイスに対する試験を実行している最中に、その前に実行されたメモリデバイスの試験により得られたフェイル情報を用いて上述した救済演算を行っている。これは、メモリデバイスの試験が中断された状態で救済演算が行われる状況を無くし、救済演算の状況に拘わらずにメモリデバイスの試験を連続して実行可能とすることで、メモリデバイスの試験効率を高めるためである。
従って、従来のメモリ試験装置には、メモリデバイスの試験効率を高める観点から、あるメモリデバイスの試験が終了するまでにその前に試験が行われたメモリデバイスについての救済演算を完了し得るだけの処理能力を有する救済演算装置が設けられていた。近年においては、メモリデバイスの容量が飛躍的に増大しており、救済演算に要する時間が長くなる傾向があることから、メモリ試験装置には、高価なCPU(中央処理装置)を複数備え、上述した救済演算を複数のCPUで並列して実行する救済演算装置が設けられることが多い。
このような複数のCPUを有する救済演算装置をメモリ試験装置に設けることで、確かにメモリデバイスの試験効率を高めることはできる。しかしながら、救済演算装置で救済演算が行われる時間はごく僅かな時間である場合が多く、メモリデバイスの試験が行われている間の殆どの時間はCPUが使用されていない状況である。このため、従来のメモリ試験装置では、高価なCPUを複数備える高コストの救済演算装置が有効活用されていないという問題があった。
また、メモリデバイスの製造工場等において、メモリ試験装置及びレーザリペア装置等からなるメモリ試験システムの全体が1つのメーカーによって提供されることは極めて希であり、一般的には複数のメーカーから提供されるメモリ試験装置等が混在する状況である。ここで、メモリ試験装置に設けられる救済演算装置の仕様はメーカー毎に異なるため、同一の欠陥を有するメモリデバイスを試験した場合であっても、最終的に得られる不良救済データが相違することがある。すると、メモリ試験装置を立ち上げる際、或いは救済算斬装置の仕様をバージョンアップ等により改変する際に、正しく救済されるか否かをメーカー毎に確認する作業が必要になるという問題があった。
更に、異なるメーカーによって提供されるメモリ試験装置及びレーザリペア装置が混在していると、メモリ試験装置間のデータの引き継ぎ、及びメモリ試験装置とレーザリペア装置との間のデータの引き継ぎに支障が生ずる場合がある。これは、メモリ試験装置が出力する不良救済データのフォーマット、メモリ試験装置が受付可能な不良救済データのフォーマット、及びレーザリペア装置が受付可能な不良救済データのフォーマットがメーカー毎に異なるからである。
従来、あるメモリ試験装置で得られた不良救済データを、そのメモリ試験装置のメーカーとは異なるメーカーから提供されるメモリ試験装置又はレーザリペア装置に引き継く必要がある場合には、ユーザが変換ツールを用いて不良救済データのフォーマット変換を行う必要があった。このため、ユーザにとって煩雑な作業が強いられるとともに、試験効率が低下する一因になっているという問題があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、コストの低減を図ることができるとともに、ユーザの作業を軽減して試験効率を向上させることができるメモリ試験システム及び救済演算装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明のメモリ試験システムは、メモリデバイス(40)の試験を行う複数のメモリ試験装置(10a〜10n)を備えるメモリ試験システム(1)において、ネットワーク(N)を介して前記複数のメモリ試験装置の各々と接続され、前記複数のメモリ試験装置から前記ネットワークを介してそれぞれ送信される試験結果(FD1〜FDn)を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データ(RD1〜RDn)を作成する救済演算装置(20)を備えることを特徴としている。
この発明によると、複数のメモリ試験装置で得られた試験結果はネットワークを介して救済演算装置に送信され、救済演算装置において、送信された各々の試験結果を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データが一括して作成される。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記救済演算装置が、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を、前記メモリ試験装置の種類に応じた変換規則に従って所定のデータ形式に変換する第1変換部(24)を備えることを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記ネットワークを介して前記救済演算装置に接続され、前記救済演算装置で作成された前記不良救済データを用いて前記メモリデバイスの不良救済を行う不良救済装置(30)を備えており、前記救済演算装置は、前記不良救済データを前記不良救済装置が読み込み可能なデータ形式に変換する第2変換部(26)を備えることを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記救済演算装置が、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を蓄積する蓄積部(23)を備えており、当該蓄積部に蓄積された試験結果を用いて前記不良救済データを作成することを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果が、所定の圧縮アルゴリズムを用いて圧縮されており、前記救済演算装置は、圧縮された前記試験結果を伸長する伸長部(22)を備えることを特徴としている。
本発明の救済演算装置は、メモリデバイス(40)の不良救済を行う上で必要な不良救済データ(RD1〜RDn)を作成する救済演算装置(20)であって、メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置(10a〜10n)の各々とネットワーク(N)を介して接続可能であり、前記複数のメモリ試験装置から前記ネットワークを介してそれぞれ送信される試験結果(FD1〜FDn)を用いて前記不良救済データを作成することを特徴としている。
この発明によると、複数のメモリ試験装置で得られた試験結果はネットワークを介して救済演算装置に送信され、救済演算装置において、送信された各々の試験結果を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データが一括して作成される。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記救済演算装置が、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を、前記メモリ試験装置の種類に応じた変換規則に従って所定のデータ形式に変換する第1変換部(24)を備えることを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記ネットワークを介して前記救済演算装置に接続され、前記救済演算装置で作成された前記不良救済データを用いて前記メモリデバイスの不良救済を行う不良救済装置(30)を備えており、前記救済演算装置は、前記不良救済データを前記不良救済装置が読み込み可能なデータ形式に変換する第2変換部(26)を備えることを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記救済演算装置が、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を蓄積する蓄積部(23)を備えており、当該蓄積部に蓄積された試験結果を用いて前記不良救済データを作成することを特徴としている。
また、本発明のメモリ試験システムは、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果が、所定の圧縮アルゴリズムを用いて圧縮されており、前記救済演算装置は、圧縮された前記試験結果を伸長する伸長部(22)を備えることを特徴としている。
本発明の救済演算装置は、メモリデバイス(40)の不良救済を行う上で必要な不良救済データ(RD1〜RDn)を作成する救済演算装置(20)であって、メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置(10a〜10n)の各々とネットワーク(N)を介して接続可能であり、前記複数のメモリ試験装置から前記ネットワークを介してそれぞれ送信される試験結果(FD1〜FDn)を用いて前記不良救済データを作成することを特徴としている。
本発明によれば、複数のメモリ試験装置で得られた試験結果をネットワークを介して救済演算装置に送信し、救済演算装置において、送信されてきた各々の試験結果を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを一括して作成しており、従来のように不良救済データを作成する救済演算装置をメモリ試験装置の各々に設ける必要は無い。このため、メモリ試験システムのコストの低減を図ることができるとともに、ユーザの作業を軽減して試験効率を向上させることができるという効果がある。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態によるメモリ試験システム及び救済演算装置について詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態によるメモリ試験システムの全体構成を示すブロック図である。図1に示す通り、本実施形態のメモリ試験システム1は、複数のメモリ試験装置10a〜10n、救済演算装置20、及び不良救済装置30を備えており、被試験対象としてのメモリデバイス(以下、DUT(Device Under Test)という)の試験を行うとともに、試験によって得られたフェイルデータ(フェイル情報:試験結果)に基づいて不良と判定されたDUTの不良救済を行う。
メモリ試験システム1をなすメモリ試験装置10a〜10n、救済演算装置20、及び不良救済装置30は、ネットワークNを介して相互に接続されており、互いに各種データの送受信が可能である。尚、ネットワークNは、例えばイーサネット(登録商標)等のローカルネットワークで実現され、TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)等の通信プロトコルを用いてネットワークNを介した通信が実現される。
メモリ試験装置10a〜10nは、DUTの試験を実行するとともに、DUTの試験によって得られたフェイルデータをネットワークNを介して救済演算装置20に出力する。図2は、メモリ試験装置10aの要部構成を示すブロック図である。尚、メモリ試験装置10a〜10nはおおよそ同様の構成であるため、以下ではメモリ試験装置10aについてのみ詳細に説明し、メモリ試験装置10b〜10nの詳細な説明は省略する。また、これらメモリ試験装置10a〜10nは、全てが1つのメーカーから提供されたものではなく、複数のメーカーから提供されたものであるとする。
図2に示す通り、メモリ試験装置10aは、パターン発生部11、アドレス変換部12、コンパレータ13、メモリコントローラ14、フェイルメモリ15、圧縮伸長部16、及び通信部17を備えており、DUT40の試験を実行する。尚、DUT40は、Xアドレス(列アドレス)及びYアドレス(行アドレス)からなる二次元アドレスにより個々のメモリセルが特定される複数のメモリセル(メインセル)と、複数の予備セルからなる複数のスペアラインとを備える。
パターン発生部11は、DUT40に与える試験パターンD1及び二次元のアドレスA1を発生するとともに、パス/フェイル判定時に用いる期待値D3を発生する。アドレス変換部12は、所定の変換規則に従って、パターン発生部11で発生した二次元のアドレスA1を一次元のアドレスA2に変換する。コンパレータ13は、DUT40から読み出されたデータD2とパターン発生部11から出力される期待値D3とを比較してパス/フェイルを示すフェイルデータFDを出力する。
メモリコントローラ14は、フェイルメモリ15に対するフェイルデータFDの書き込み制御及び読み出し制御を行う。フェイルメモリ15は、DUT40の試験結果を示すフェイルデータFDを記憶するメモリであり、例えば数百ギガビット程度の容量を有するDDR2 SDRAM(Double-Data-Rate2 Synchronous Dynamic Random Access Memory)等を用いて実現される。
圧縮伸長部16は、メモリコントローラ14によってフェイルメモリ15から読み出されたフェイルデータFDを所定の圧縮アルゴリズムを用いて圧縮する。また、通信部17で受信されるデータのうち、圧縮されているデータを所定の伸長アルゴリズムを用いて伸長する。この圧縮伸長部16を設けるのは、ネットワークNを介して救済演算装置20に送信すべきフェイルデータの量を低減して、データ送信に要する時間を短縮するためである。
圧縮伸長部16で用いられる圧縮アルゴリズム及び伸長アルゴリズムとしては任意のものを用いることが可能であるが、圧縮及び伸長にさほど時間を要せず、且つは圧縮率が高いものであることが望ましい。通信部17は、ネットワークNに物理的に接続されており、ネットワークNを介してメモリ試験装置10b〜10n、救済演算装置20、及び救済装置30との間の通信を行う。尚、従来のメモリ試験装置には不良救済データを作成する救済演算装置が設けられていたが、本実施形態で用いられるメモリ試験装置10a〜10nは救済演算装置が省略された構成である。
救済演算装置20は、メモリ試験装置10a〜10nからネットワークNを介して送信されてくるフェイルデータを用いてDUTの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する。尚、本実施形態では、説明を簡単にするために、ネットワークNに1つの救済演算装置20が接続されている場合を例に挙げて説明するが、メモリ試験装置10a〜10の総数に応じて複数設けられていても良い。
図3は、救済演算装置20の要部構成を示すブロック図である。図3に示す通り、救済演算装置20は、通信部21、圧縮伸長部22(伸長部)、データ格納部23(蓄積部)、データ変換部24(第1変換部)、不良救済演算部25、及びフォーマット変換部26(第2変換部)を備える。通信部21は、ネットワークNに物理的に接続されており、ネットワークNを介してメモリ試験装置10a〜10n及び救済装置30との間の通信を行う。
圧縮伸長部22は、通信部21で受信されるフェイルデータ(メモリ試験装置10a〜10nの圧縮伸長部16で圧縮されて送信されたフェイルデータ)を所定の伸長アルゴリズムを用いて伸長する。また、通信部21を介してネットワークNに送信すべきデータのうち、圧縮すべきデータがある場合には、所定の圧縮アルゴリズムを用いて圧縮する。尚、圧縮伸長部22で用いられる圧縮アルゴリズム及び伸長アルゴリズムは、メモリ試験装置10a〜10nに設けられる圧縮伸長部16で用いられるものとそれぞれ同じである。
データ格納部23は、圧縮伸長部22で伸長されたフェイルデータ、不良救済演算部25で作成された不良救済データ等の各種データを記憶する。このデータ格納部23は、大容量(例えば、数ギガ〜数テラバイト)のメモリ又はハードディスク等によって実現される。尚、本実施形態では、説明の便宜のために、メモリ試験装置10a〜10nから送信されたフェイルデータ(正確には、圧縮伸長部22で伸長されて後述のデータ変換部24で変換されたフェイルデータ)をそれぞれフェイルデータFD1〜FDnとする。また、これらフェイルデータFD1〜FDnを用いて作成された不良救済データをそれぞれ不良救済データRD1〜RDnとする。
データ変換部24は、メモリ試験装置10a〜10nから送信されたフェイルデータを、メモリ試験装置10a〜10nの種類に応じた変換規則に従って所定のデータ形式に変換する。前述した通り、メモリ試験システム1に設けられるメモリ試験装置10a〜10nは複数のメーカーから提供されたものであるため、メモリ試験装置10a〜10nの各々から送信されるフェイルデータは形式が異なることがある。データ変換部24は、このフェイルデータの形式の相違を吸収するために設けられる。
具体的に、データ変換部24は、予め作成された変換テーブル(メモリ試験装置10a〜10nの各々についての変換規則を示すテーブル)TB1を用いてフェイルデータの変換を行う。尚、本実施形態では、説明を簡単にするために、変換テーブルTB1が予めデータ変換部24に記憶されている場合を例に挙げて説明するが、変換テーブルTB1をデータ格納部23に格納しておき、必要に応じてデータ変換部24がデータ格納部23から変換テーブルTB1を読み出すようにしても良い。
データ変換部24は、メモリ試験装置10a〜10nから送信されたフェイルデータを、任意のデータ形式に変換することができる。例えば、メモリ試験装置を提供するあるメーカで用いられているフェイルデータのデータ形式に変換することも可能である。しかしながら、特定のメーカーから提供されるメモリ試験装置で用いられているデータ形式には依存しない独自のデータ形式に変換するのが望ましい。かかる独自のデータ形式にすれば、メモリ試験装置10a〜10nから送信されるフェイルデータのデータ形式が変更された場合であっても、変換テーブルTB1を変更するだけで対応可能になる。
不良救済演算部25は、データ格納部23に格納されたフェイルデータFD1〜FDn(データ変換部24で変換されたフェイルデータ)を読み出して所定の演算(リダンダンシ演算)を行い、DUTの不良救済を行う上で必要な不良救済データRD1〜RDnを作成する。フォーマット変換部26は、データ格納部23に格納された不良救済データRD1〜RDnを読み出し、読み出した不良救済データのフォーマットを、不良救済装置30が受付可能なフォーマットに変換する。そして、変換した不良救済データを、通信部21を介して不良救済装置30に向けて送信する。
このフォーマット変換部26は、救済演算装置20を提供するメーカーと不良救済装置30を提供するメーカーとが異なる場合に、不良救済データの形式の相違を吸収するために設けられる。具体的に、フォーマット変換部26は、予め作成された変換テーブルTB2を用いて、読み出した不良救済データの変換を行う。尚、前述したデータ変換部24で用いられる変換テーブルTB1と同様に、変換テーブルTB2をデータ格納部23に格納しておき、必要に応じてフォーマット変換部26がデータ格納部23から変換テーブルTB2を読み出すようにしても良い。
不良救済装置30は、救済演算装置20からネットワークNを介して送信されてくる不良救済データに基づいて、メモリ試験装置10a〜10nで不良と判定されたDUTに対する不良救済を行う。この不良救済装置20は、例えばレーザ等を用いてDUT内の所定のパターンを不良救済データに基づいて切断して欠陥が生じたメモリセル(不良セル)を予備セルで代替して不良を救済するレーザリペア装置を用いることができる。
次に、上記構成におけるメモリ試験システム1の動作について説明する。メモリ試験システム1では、メモリ試験装置10a〜10nにおけるDUT40の試験、救済演算装置20における不良救済データの作成、及び不良救済装置30におけるDUTの不良救済の動作が繰り返し行われる。以下、これらの動作の詳細について順に説明する。
メモリ試験装置10a〜10nにおけるDUT40の試験が開始されると、まずメモリ試験装置10a〜10nの各々に設けられたパターン発生部11(図2参照)から試験パターンD1とアドレスA1とが出力されて、試験パターンD1がDUT40に書き込まれる。試験パターンD1の書き込みが終了すると、パターン発生部11からアドレスA1と期待値D3とが出力される。
パターン発生部11から出力されたアドレスA1がDUT40に与えられると、DUT40に予め書き込んだ試験パターンがデータD2として読み出されてコンパレータ13に入力される。そして、入力されたデータD2とパターン発生部11から出力された期待値D3とが比較されてパス/フェイルが判定され、パス/フェイルを示すフェイルデータFDがメモリコントローラ14に入力される。
また、パターン発生部11から出力されたアドレスA1は、アドレス変換部12に出力されて一次元のアドレスA2に変換されメモリコントローラ14に入力される。メモリコントローラ14は、アドレスA2で示されるフェイルメモリ15の記憶領域に、コンパレータ13から出力されたフェイルデータFDを書き込む。メモリ試験装置10a〜10nの各々において、試験パターン発生部11からアドレスA1及び期待値D3が出力される度に上記の動作が繰り返し行われ、これによりメモリ試験装置10a〜10nの各々に設けられたフェイルメモリ15にフェイルデータFDが順次記憶される。
DUT40の試験が終了すると、メモリ試験装置10a〜10nの各々に設けられたメモリコントローラ14によってフェイルメモリ15に記憶されたフェイルデータが読み出される。このフェイルデータは、圧縮伸長部16で圧縮された後に通信部17からネットワークNを介して救済演算装置20に送信される。以上の動作と同様の動作がメモリ試験装置10a〜10nでそれぞれ行われる。
メモリ試験装置10a〜10nから送信されたフェイルデータは、救済演算装置30が備える通信部21で受信されて圧縮伸長部22に出力され、圧縮伸長部22で伸長された後にデータ格納部23にそれぞれ格納される。データ格納部23に格納されたフェイルデータはデータ変換部24によって順次読み出され、変換テーブルTB1を用いて救済演算装置20で定められる独自のデータ形式に変換される。尚、データ形式が変換されたフェイルデータは、フェイルデータFD1〜FDnとしてデータ格納部23に順次記憶される。
データ変換部24によって変換されたフェイルデータFD1〜FDnは、不良救済演算部25によって順次読み出され、不良救済演算部25においてリダンダンシ演算が行われる。そして、DUT40の不良救済を行う上で必要な不良救済データRD1〜RDnが順次作成され、データ格納部23に格納される。尚、不良救済演算部25で行われるリダンダンシ演算は、従来のメモリ試験装置に設けられた救済演算装置で行われていたリダンダンシ演算と同様の演算であるため、詳細な説明は省略する。
データ格納部23に格納された不良救済データRD1〜RDnは、所定のタイミングでデータ格納部23からフォーマット変換部26に読み出される。ここで、不良救済データRD1〜RDnが読み出されるタイミングとしては、例えばメモリ試験装置10a〜10nで試験されたDUT40が不良救済装置30に搬送されて、不良救済が行われるタイミングが挙げられる。尚、ここでは説明を簡単にするために、データ格納部23に格納された不良救済データRD1〜RDnの全てが読み出されるとするが、これらは所定のタイミングで順次読み出されても良い。
フォーマット変換部26に読み出された不良救済データRD1〜RDnは、変換テーブルTB2を用いて不良救済装置30が受付可能なフォーマットに変換され、通信部21からネットワークNを介して不良救済装置30に向けて送信される。この不良救済データRD1〜RDnが不良救済装置30に受信されると、メモリ試験装置10a〜10nで不良と判定されたDUTに対する不良救済が行われる。具体的には、不良救済データRD1〜RDnに基づいてDUT内の所定のパターンが切断され、欠陥が生じたメモリセル(不良セル)が予備セルで代替されて不良が救済される。
以上説明した通り、本実施形態によれば、救済演算を行う救済演算装置を省略したメモリ試験装置10a〜10nを備えるとともに、ネットワークNを介してメモリ試験装置10a〜10nの各々と接続され、メモリ試験装置10a〜10nからネットワークNを介してそれぞれ送信されるフェイルデータを用いて、DUTの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置20を備えてる。このように、本実施形態では、メモリ試験装置10a〜10nの各々から高価なCPUを複数備える救済演算装置を省略することができるため、メモリ試験システム全体のコストを低減することができる。
また、メモリ試験装置10a〜10nとは別に救済演算装置20を備えることで、メモリ試験装置10a〜10nにおけるDUT40の試験状況に拘わらずに、救済演算装置20でリダンダンシ演算を行うことができる。この結果、従来のメモリ試験装置の各々に設けられていた救済演算装置よりも救済演算装置20の稼働率を高めることができ、救済演算装置20を有効活用することができる。
また、救済演算装置20は、メモリ試験装置10a〜10nから送信されるフェイルデータのデータ形式を救済演算装置20で定められる独自のデータ形式に変換するデータ変換部24を備えており、また、不良救済演算部25で作成された不良救済データRD1〜RDnを不良救済装置30が受付可能なフォーマットに変換するフォーマット変換部26を備えている。このため、不良と判定されたDUTが正しく救済されるか否かをメーカー毎に確認する作業や、変換ツールを用いて不良救済データのフォーマット変換を行う作業を省略することができ、ユーザの作業を軽減することができるとともに、試験効率を向上させることもできる。
以上、本発明の一実施形態によるメモリ試験システム及び救済演算装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、不良救済装置30がネットワークNを介して救済演算装置20に接続されている態様を例に挙げて説明したが、不良救済装置30は必ずしもネットワークNを介して救済演算装置20に接続されている必要はない。不良救済装置30がネットワークNに接続されていない場合には、例えば救済演算装置20が備えるフォーマット変換部26で変換された不良救済データを、USB(Universal Serial Bus)メモリ、CD−R等の情報記録媒体に記憶して不良救済装置30に読み込ませれば良い。
また、上記実施形態で説明した救済演算装置20の機能は、ハードウェアにより実現されていても良く、ソフトウェアにより実現されていても良い。ソフトウェアにより実現する場合には、図3に示す圧縮伸長部22、データ変換部24、不良救済演算部25、及びフォーマット変換部26の機能を実現するプログラムを、例えばパーソナルコンピュータやワークステーションに実行させることにより実現される。
上記のプログラムは、ネットワークを介してダウンロードすることにより、コンピュータにインストールすることができる。或いは、例えばCD−ROM又はDVD(登録商標)−ROM等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されていてもよい。この記録媒体に記録されたプログラムをCD−ROMドライブ又はDVD(登録商標)−ROMドライブ等のドライブ装置を用いて読み取れば、コンピュータにインストールすることができる。
1 メモリ試験システム
10a〜10n メモリ試験装置
20 救済演算装置
22 圧縮伸長部
23 データ格納部
24 データ変換部
26 フォーマット変換部
30 不良救済装置
40 DUT
FD1〜FDn フェイルデータ
N ネットワーク
RD1〜RDn 不良救済データ
10a〜10n メモリ試験装置
20 救済演算装置
22 圧縮伸長部
23 データ格納部
24 データ変換部
26 フォーマット変換部
30 不良救済装置
40 DUT
FD1〜FDn フェイルデータ
N ネットワーク
RD1〜RDn 不良救済データ
Claims (6)
- メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置を備えるメモリ試験システムにおいて、
ネットワークを介して前記複数のメモリ試験装置の各々と接続され、前記複数のメモリ試験装置から前記ネットワークを介してそれぞれ送信される試験結果を用いて、メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置を備えることを特徴とするメモリ試験システム。 - 前記救済演算装置は、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を、前記メモリ試験装置の種類に応じた変換規則に従って所定のデータ形式に変換する第1変換部を備えることを特徴とする請求項1記載のメモリ試験システム。
- 前記ネットワークを介して前記救済演算装置に接続され、前記救済演算装置で作成された前記不良救済データを用いて前記メモリデバイスの不良救済を行う不良救済装置を備えており、
前記救済演算装置は、前記不良救済データを前記不良救済装置が読み込み可能なデータ形式に変換する第2変換部を備える
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のメモリ試験システム。 - 前記救済演算装置は、前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果を蓄積する蓄積部を備えており、当該蓄積部に蓄積された試験結果を用いて前記不良救済データを作成することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のメモリ試験システム。
- 前記複数のメモリ試験装置からそれぞれ送信される試験結果は、所定の圧縮アルゴリズムを用いて圧縮されており、
前記救済演算装置は、圧縮された前記試験結果を伸長する伸長部を備えることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載のメモリ試験システム。 - メモリデバイスの不良救済を行う上で必要な不良救済データを作成する救済演算装置であって、
メモリデバイスの試験を行う複数のメモリ試験装置の各々とネットワークを介して接続可能であり、前記複数のメモリ試験装置から前記ネットワークを介してそれぞれ送信される試験結果を用いて前記不良救済データを作成することを特徴とする救済演算装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009050590A JP2010205348A (ja) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | メモリ試験システム及び救済演算装置 |
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JP2009050590A JP2010205348A (ja) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | メモリ試験システム及び救済演算装置 |
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JP (1) | JP2010205348A (ja) |
Cited By (1)
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JP2017182871A (ja) * | 2015-08-17 | 2017-10-05 | 株式会社アドバンテスト | テストシステム、試験装置 |
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2009
- 2009-03-04 JP JP2009050590A patent/JP2010205348A/ja active Pending
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