JP2010204588A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010204588A5
JP2010204588A5 JP2009052773A JP2009052773A JP2010204588A5 JP 2010204588 A5 JP2010204588 A5 JP 2010204588A5 JP 2009052773 A JP2009052773 A JP 2009052773A JP 2009052773 A JP2009052773 A JP 2009052773A JP 2010204588 A5 JP2010204588 A5 JP 2010204588A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
plane
pattern
along
mask
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009052773A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5282895B2 (ja
JP2010204588A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009052773A priority Critical patent/JP5282895B2/ja
Priority claimed from JP2009052773A external-priority patent/JP5282895B2/ja
Publication of JP2010204588A publication Critical patent/JP2010204588A/ja
Publication of JP2010204588A5 publication Critical patent/JP2010204588A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5282895B2 publication Critical patent/JP5282895B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009052773A 2009-03-06 2009-03-06 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 Active JP5282895B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009052773A JP5282895B2 (ja) 2009-03-06 2009-03-06 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009052773A JP5282895B2 (ja) 2009-03-06 2009-03-06 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010204588A JP2010204588A (ja) 2010-09-16
JP2010204588A5 true JP2010204588A5 (enExample) 2012-08-16
JP5282895B2 JP5282895B2 (ja) 2013-09-04

Family

ID=42966103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009052773A Active JP5282895B2 (ja) 2009-03-06 2009-03-06 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5282895B2 (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014010274A1 (ja) * 2012-07-13 2014-01-16 株式会社ニコン 基板処理装置、及びデバイス製造方法
WO2014024594A1 (ja) * 2012-08-06 2014-02-13 株式会社ニコン 処理装置およびデバイス製造方法
JP6069941B2 (ja) * 2012-08-08 2017-02-01 株式会社ニコン 投影露光装置及びデバイス製造方法
KR101973349B1 (ko) * 2012-09-14 2019-04-26 가부시키가이샤 니콘 기판 처리 장치 및 디바이스 제조 방법
TWI683345B (zh) * 2012-11-06 2020-01-21 日商尼康股份有限公司 偏光分束器、使用該偏光分束器之曝光裝置、以及元件製造方法
CN107908083B (zh) * 2013-04-18 2020-09-18 株式会社尼康 扫描曝光方法以及电子器件的制造方法
WO2015060972A1 (en) * 2013-10-22 2015-04-30 Applied Materials, Inc. Roll to roll mask-less lithography with active alignment

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001313241A (ja) * 2000-04-28 2001-11-09 Canon Inc 露光装置および露光方法
JP3652329B2 (ja) * 2002-06-28 2005-05-25 キヤノン株式会社 走査露光装置、走査露光方法、デバイス製造方法およびデバイス
JP2006098719A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010204588A5 (enExample)
JP2016001308A5 (ja) 露光装置、およびデバイス製造方法
JP2008544531A5 (enExample)
JP2012168543A5 (ja) 投影光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
JP2010020017A5 (enExample)
CN109031899A (zh) 一种高分辨率高效率投影光刻成像系统及曝光方法
JP2013543274A5 (enExample)
RU2018103206A (ru) Светодиодный прожектор с настраиваемой формой пучка, цветом пучка и однородностью цвета
JP2017215419A5 (enExample)
CN102308364A (zh) 激光曝光装置
JP5282895B2 (ja) 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
WO2018014361A1 (zh) 基于数字微镜阵列的紫外曝光机及其控制方法
JP7070598B2 (ja) 走査露光方法及びデバイス製造方法
JP2013037044A5 (enExample)
JP2005257740A5 (enExample)
JP2013238670A (ja) 露光装置、露光方法、デバイスの製造方法及び開口板
JP2013219089A5 (enExample)
JP2013142719A (ja) 露光装置及び露光済み材製造方法
JP2014103171A5 (enExample)
JP2009088358A5 (enExample)
JP2005243904A5 (enExample)
WO2013187300A1 (ja) 光照射装置、露光装置
TW200942979A (en) Scanning exposure apparatus and device manufacturing method
JP2017116769A5 (enExample)
JP2006245085A5 (enExample)