JP2010201383A - 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 - Google Patents
液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010201383A JP2010201383A JP2009051611A JP2009051611A JP2010201383A JP 2010201383 A JP2010201383 A JP 2010201383A JP 2009051611 A JP2009051611 A JP 2009051611A JP 2009051611 A JP2009051611 A JP 2009051611A JP 2010201383 A JP2010201383 A JP 2010201383A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- droplet discharge
- discharge head
- cooling
- nozzle surface
- functional liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面21aの各ノズルから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッド2と、ノズル面21aをワイピングするワイプ部70と、を備え、ワイプ部70は、シートに無機材料の粉末を保持させたワイプ材71を有する。
【選択図】図5
Description
特許文献1では、吐出ヘッドを払拭する払拭部を介してノズル開口面と熱伝導可能な温度センサが設けられ、払拭部によってノズル開口面の任意の位置の温度を検出することができるようになっている。
ここで、ワイプ材としてシートを用いることで、ブレード状のワイプ材と比較してノズル面とワイプ材との接触面積が大きくなる。また、ワイプ材には無機材料の粉末が保持されているので、ノズル面の熱を無機材料の粉末に吸熱させることができる。また、ノズル面の熱を吸熱して温度が上昇したワイプ材をノズル面から離間させることで、ノズル面から吸収した熱を大気中に放熱させることができる。したがって、ワイプ材を用いてノズル面を冷却する際に、より効率よくノズル面を冷却することができる。
また、液滴吐出ヘッドのノズル面を冷却することで、液滴吐出ヘッド内部の機能液の温度を低下させることができる。そのため、従来のような機能液の温度を低下させるための吸引工程が不要になる。したがって、機能液の消費量を削減し、かつ、生産性を向上させることができる。
ここで、ワイプ材としてシートを用いることで、ブレード状のワイプ材と比較してノズル面とワイプ材との接触面積の大きくなる。また、ワイプ材には無機材料の粉末が保持されているので、ノズル面の熱を無機材料の粉末に吸熱させることができる。また、ノズル面の熱を吸熱して温度が上昇したワイプ材をノズル面から離間させることで、ノズル面から吸収した熱を大気中に放熱させることができる。したがって、ワイプ材を用いてノズル面を冷却する際に、より効率よくノズル面を冷却することができる。
また、液滴吐出ヘッドのノズル面を冷却することで、液滴吐出ヘッド内部の機能液の温度を低下させることができる。そのため、従来のような機能液の温度を低下させるための吸引工程が不要になる。したがって、機能液の消費量を削減し、かつ、生産性を向上させることができる。
図1に示すように、液滴吐出装置1は、インク等の機能液の液滴を吐出する吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)2と、基板Pを載置するステージ3と、吐出ヘッド2を移動させる第1駆動ユニット4と、ステージ3を移動させる第2駆動ユニット5と、吐出ヘッドに冷却用の空気を供給する空気供給装置(空気供給手段)6と、液滴吐出装置1全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。
図2(a)に示すように、吐出ヘッド2は、ヘッド本体10と、流路ユニット20と、アクチュエーターユニット30と、導入針ユニット40と、空冷部50と、を有している。
流路ユニット20の下端面(ノズル面21a)には、図2(b)に示すように、流路ユニット20に供給された機能液を吐出する複数のノズル22が形成されている。
ステージ3は、図1及び図4に示すようにスライド部材3Aとホルダ部材3Bとにより構成されている。スライド部材3Aは、ベース部材9上のY軸方向に延在するレール状のガイド部材8に沿ってスライド可能に設けられている。スライド部材3A上には、基板Pを位置決めした状態で保持するホルダ部材3Bが設けらている。ホルダ部材3Bは、基板Pをその表面がXY平面と略平行となるように保持する。
制御装置7は、第1駆動ユニット4及び第2駆動ユニット5を制御することで、ステージ3上の所望の位置に吐出ヘッド2を配置させるようになっている。
液滴吐出装置1は、図5(a)に示すワイプ部70を備えている。なお、図1においてはワイプ部70の図示を省略している。ワイプ部70は、図1に示すベース部材9上に配置され、主に、吐出ヘッド2のノズル面21aをワイピングするワイプ材71と、ワイプ材71に張力を付与する一対のローラー72,73とにより構成されている。
無機材料としては、窒化アルミニウム以外にも、カオリン、石英、長石、タルタ、セリサイト、フライアッシュ、炭酸カルシウム等を用いることができる。無機材料の粉末は、可能な限り比重の小さいものを用いることが望ましい。
制御装置7は、吐出ヘッド2の温度を温度センサー61によって測定し、所定の温度以上の温度を検出した場合に、以下の冷却工程を実施する。
制御装置7は、図5(b)に示すように吐出ヘッド2を移動させて、ワイプ部70のワイプ材71と吐出ヘッド2のノズル面21aを接触させる。さらに不図示の巻取り部によってワイプ材71を巻き取ることでワイプ材71を吐出ヘッド2のノズル面21aに対して相対的に移動させる。このとき、吐出ヘッド2をワイプ材71の巻き取り方向と逆の方向に移動させてワイプ材71と吐出ヘッド2の相対速度を増加させるようにしてもよい。
また、ワイプ材71に保持させる無機材料の粉末として、吸熱性が良好な窒化アルミニウムの粉末を用いることで、ワイプ材71の吸熱性を良好にしてより効率よくノズル面21aを冷却することが可能になる。
このように、吐出ヘッド2の温度を温度センサー61によって測定し、制御装置7によって吐出ヘッド2の温度を所定の温度に制御することで、吐出ヘッド2及び内部の機能液の温度が許容温度以上の温度に上昇することを防止することができる。これにより、液滴の吐出性能が低下することを防止できる。
Claims (8)
- 複数のノズルが設けられたノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ノズル面をワイピングするワイプ部と、を備えた液滴吐出装置であって、
前記ワイプ部は、シートに無機材料の粉末を保持させたワイプ材を有することを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記無機材料は、窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記液滴吐出ヘッドに対して冷却用の空気を供給する空気供給手段を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液滴吐出装置。
- 前記液滴吐出ヘッドの表面に放熱シートが貼付されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
- 複数のノズルが設けられたノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの冷却方法であって、
前記ノズル面に、シートに無機材料の粉末を保持させたワイプ材を接触させて冷却する冷却工程を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの冷却方法。 - 前記冷却工程は、前記ワイプ材によって前記ノズル面をワイピングするワイピング工程と同時に行うことを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出ヘッドの冷却方法。
- 前記液滴吐出ヘッドに空気を供給して冷却することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の液滴吐出ヘッドの冷却方法。
- 前記液滴吐出ヘッドの温度を測定し、前記温度を所定の温度に制御することを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの冷却方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009051611A JP5326668B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009051611A JP5326668B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010201383A true JP2010201383A (ja) | 2010-09-16 |
JP5326668B2 JP5326668B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=42963417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009051611A Active JP5326668B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5326668B2 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03187753A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Canon Inc | 記録装置 |
JPH05259671A (ja) * | 1992-01-07 | 1993-10-08 | Toshiba Corp | 放熱シートおよびその製造方法 |
JPH10100443A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-21 | Canon Inc | インクジェット記録装置及び記録方法 |
JPH119540A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-19 | Toray Ind Inc | ワイピングテープ |
JP2002023545A (ja) * | 2000-04-26 | 2002-01-23 | Japan Vilene Co Ltd | 定着部材用クリーニングシート、クリーニングシート供給体、及びクリーニング装置 |
JP2004014393A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成方法及び蛍光面形成装置 |
JP2006026900A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Miyakoshi Printing Machinery Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2006142804A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-06-08 | Ricoh Co Ltd | 除去部材及び画像記録装置 |
JP2007091987A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Tsuchiya Co Ltd | 耐熱フレキシブル層形成用塗布液及びそれを用いて作製した硬化物 |
JP2008155114A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 |
-
2009
- 2009-03-05 JP JP2009051611A patent/JP5326668B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03187753A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Canon Inc | 記録装置 |
JPH05259671A (ja) * | 1992-01-07 | 1993-10-08 | Toshiba Corp | 放熱シートおよびその製造方法 |
JPH10100443A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-21 | Canon Inc | インクジェット記録装置及び記録方法 |
JPH119540A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-19 | Toray Ind Inc | ワイピングテープ |
JP2002023545A (ja) * | 2000-04-26 | 2002-01-23 | Japan Vilene Co Ltd | 定着部材用クリーニングシート、クリーニングシート供給体、及びクリーニング装置 |
JP2004014393A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成方法及び蛍光面形成装置 |
JP2006026900A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Miyakoshi Printing Machinery Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2006142804A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-06-08 | Ricoh Co Ltd | 除去部材及び画像記録装置 |
JP2007091987A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Tsuchiya Co Ltd | 耐熱フレキシブル層形成用塗布液及びそれを用いて作製した硬化物 |
JP2008155114A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5326668B2 (ja) | 2013-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10059107B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and manufacturing method of liquid ejecting head | |
JP2009208462A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5326668B2 (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法 | |
JP2004223914A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器、液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法、液滴吐出ヘッドの乾燥抑制方法 | |
JP4979453B2 (ja) | インクジェットヘッドのメンテナンス装置およびインクジェットヘッドのメンテナンス方法 | |
JP2008229530A (ja) | 液滴吐出方法及びデバイス製造方法 | |
JP2009248311A (ja) | 液滴吐出装置及びその制御方法 | |
US11123988B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2011093254A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US9016827B2 (en) | Liquid ejecting apparatus | |
JP4844420B2 (ja) | 流体噴射装置、及び流体噴射装置の制御方法 | |
JP2008229529A (ja) | 液滴吐出装置及びデバイス製造方法 | |
JP2009247920A (ja) | 液滴吐出装置及びそのメンテナンス方法 | |
JP2009247922A (ja) | 液滴吐出装置及びそのメンテナンス方法 | |
JP2009247924A (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 | |
JP2009247921A (ja) | 液滴吐出装置及びそのメンテナンス方法 | |
JP2009247923A (ja) | フラッシングユニット及び液滴吐出装置 | |
US9346272B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2010221133A (ja) | ワイピング装置、及び液滴吐出装置 | |
JP2007105661A (ja) | パターン形成方法及び液滴吐出装置 | |
JP4492051B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6094777B2 (ja) | 流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010266633A (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2024039178A (ja) | 液体噴射装置および液体噴射ヘッドのメンテナンス方法 | |
JP2019155814A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5326668 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |