JP2010195042A - 液滴発生器 - Google Patents

Abstract

【課題】実質的に一定の液滴質量を有する液滴を放出させる、液滴発生器を提供する。
【解決手段】液滴発生器は、圧力チャンバと、圧力チャンバ上に配置され、圧力チャンバの壁を形成する、可撓性ダイヤフラム・プレートとを含む。ダイヤフラム・プレートは、変換器の底面を囲む外周を形成する凹みを含み、凹みは、部分的に底面の少なくとも１つの縁部の下に重なる。圧力チャンバからインクを受け取るための出口チャネルが、圧力チャンバに接続され、この出口チャネルは、ダイヤフラム・プレートに対して垂直なチャネル軸線を有する。出口チャネルは、第１の出口チャネル区域と第２の出口チャネル区域とを含む。第１の出口チャネル区域は、交互の直径を有する複数のサブ区域を含む。第２の出口チャネル区域は、その終端部に配置された開口部を含む。第２の出口チャネル区域は、実質的に連続的な断面形状を有し、第１の出口チャネル区域より長い長さを有する。
【選択図】図２

Description

この開示は、一般的にはインクジェット画像形成装置に関し、特に、インクジェット画像形成装置において使用するための液滴発生器に関する。

印刷された媒体を生成するためのドロップ・オン・デマンド・インクジェット技術は、プリンタ、プロッタ、及びファクシミリ機のような商品に使用されてきた。一般に、インクジェット画像は、印字ヘッド又は印字ヘッド組立体内に実装された、液滴発生器とも呼ばれる複数のインクジェットによって放出されたインク滴を、受像体表面上に選択的に配置することによって形成される。例えば、印字ヘッド組立体と受像体表面とは、互いに相対的に動かされ、液滴発生器は、適切な時点で液滴を放出するように、例えば適切なコントローラによって制御される。受像体表面は、転写部材表面、又は紙のような印刷媒体とすることができる。転写部材表面である場合には、その上に印刷された画像は、引き続き、紙のような出力印刷媒体へと転写される。

図４Ａ及び図４Ｂは、インクジェット・アレイ印字ヘッドにおける使用に適した単一のインクジェット１０の一例を示す。インクジェット１０は、本体を有し、該本体は、インクがその中を通ってインクジェット印字ヘッドへと分配されるインクマニホルド１２を定める。この本体はまた、インク滴形成オリフィス又はノズル１４を、インクマニホルド１２からノズル１４へのインク流路と共に定める。一般に、インクジェット印字ヘッドは、紙のシート又は転写ドラムのような受像媒体（図示せず）上へのインク滴の放出の際に使用するための、近接した間隔で配置されたノズル１４のアレイを含むことが好ましい。インクジェット印字ヘッドは、様々な色のインクを受け入れるための複数のマニホルドを有することができる。

インクは、マニホルド１２から、入口ポート１６、入口チャネル１８、圧力チャンバ・ポート２０を通って、インク圧力チャンバ２２に流入する。インクは、圧力チャンバ２２から出口ポート２４を介して流出し、出口チャネル２８を通ってノズル１４に流入し、そこからインク滴が排出される。インク圧力チャンバ２２は、一方の側で可撓性ダイヤフラム３０に界接する。圧電変換器３２が、いずれかの適当な技法でダイヤフラム３０に固定され、インク圧力チャンバ２２の上に重ね合わされる。金属膜層３４を、圧電変換器３２の両側に配置することができ、該金属膜層３４に、電子式変換器ドライバ３６を電気的に接続することができる。

圧電変換器３２は、金属膜層３４を横断する電圧が印加されたときに変換器３２がその寸法を変化させようとするような屈曲モードで動作する。しかしながら、圧電変換器３２はダイヤフラム３０に堅く固定されているので、屈曲してダイヤフラム３０を変形させ、その結果、インク圧力チャンバ２２のインクを変位させ、出口ポート２４と出口チャネル２８を通ってノズル１４へと向かう、外向きのインクの流れを生じさせる。インク滴が放出された後のインク圧力チャンバ２２の再充填は、圧電変換器３２の逆方向への屈曲とそれに付随するダイヤフラム３０の運動によって増強され、これにより、インクがマニホルド１２から圧力チャンバ２２内へと吸引される。

インクジェット・アレイ印字ヘッドの製造を容易にするために、インクジェット１０は、複数の成層されたプレート又はシートから形成することができる。これらのシートは、上に重ねるようにして積み重ねられる。再び、図４Ａ及び図４Ｂを参照すると、これらのシート又はプレートは、ダイヤフラム３０とマニホルド１２の一部分とを形成するダイヤフラム・プレート４０、インク圧力チャンバ２２とマニホルド１２の一部分とを定めるインク圧力チャンバ・プレート４２、入口チャネル１８と出口ポート２４とを定める入口チャネル・プレート４６、出口チャネル２８を定める出口プレート５４、及びインクジェット１０のノズル１４を定めるオリフィス・プレート５６を含む。圧電変換器３２は、ダイヤフラム・プレート４０のうちのインク圧力チャンバ２２を覆う領域であるダイヤフラム３０に接合される。

印字ヘッド、特に、印字ヘッドに組み込まれたインクジェットの設計における１つの目標は、印刷速度を高めることである。周知のとおり、印刷速度は、主として、印字ヘッドにおけるジェットの実装密度（単位面積当たりのジェット数）、及びジェットの動作周波数（各ジェットがインク滴を放出することができる速度）に依存する。個別のジェットの設計は、最大実装密度及び最大動作周波数を決定する際に主要な役割を果たす。例えば、インクジェットの実装密度を増大させるためには、典型的には、発生可能な液滴の大きさを縮小することなく、圧電変換器、ダイヤフラム及びインクチャンバといったインクジェット構造体の大きさを削減することが必要とされる。

以前から知られているインクジェット装置では、実装密度の増大という目標に適合するようにジェットの大きさを削減すると、ジェット効率が低下することがある。ここで用いられる場合、ジェット効率又はドライバ効率は、所与のドライバ電圧に対する容積の変位（液滴の大きさ）として定義される。インクジェットによって発生する液滴の大きさは、所与の駆動電圧に応答する変換器のたわみ又は変位の度合いに実質的に対応する。そしてまた、変換器のたわみ又は変位の度合いは、駆動電圧の大きさに対応し、たわみの度合いは駆動電圧が高まるにつれて増大する。したがって、既知のインクジェットにおいて変換器の大きさを削減するためには、同じ容積変位を維持するために変換器のたわみの増大が必要とされ得るが、そのことが、そのジェットについてのジェット効率の減少に相関することになる。

以前から知られているインクジェットの動作周波数を増大させることもまた、ジェット効率を低下させることがある。例えば、インクジェットの動作周波数を増大させるためには、インクジェット変換器は、そのジェットのために所望さえる動作周波数と同じか又はそれより高い固有周波数を有することが必要とされる。変換器の固有周波数は、変換器の剛性に関連する。したがって、より高い動作周波数は、より剛性の高い変換器を必要とすることになる。そしてまた、より剛性の高い変換器は、所与の変位容積又は液滴の大きさを維持するのに十分なほど変換器をたわませ又は変位させるためには、駆動電圧を高めることを必要とすることがある。

ジェット効率が低下するにつれて、必要とされる駆動電圧は増大する。１つのインクジェットについての駆動電圧の増大の要求値に、ジェットの総数の増加が組み合わされると、そのプリンタのための電源についての要求値は、容認できないか又は非実用的なレベルにまで上昇することになり得る。

インクジェットの実装密度及びドライバ効率を低下させることなく、実質的に一定の液滴質量を有する液滴を放出させるとともに、少なくとも４３ｋＨｚの液滴放出周波数を可能にする、印字ヘッド・ジェット積層体内に実装するための液滴発生器が開発された。特に、１つの実施形態において、液滴発生器は、圧力チャンバと、該圧力チャンバ上に配置され、圧力チャンバの壁を形成する、可撓性ダイヤフラム・プレートとを含む。底面を有する圧電変換器が、ダイヤフラム・プレートに取り付けられる。ダイヤフラム・プレートは、変換器の底面を囲む外周を形成する凹みを含み、該凹みは、部分的に該底面の少なくとも１つの縁部の下に重なる。入口チャネルが圧力チャンバに接続され、この入口チャネルは、マニホルドから圧力チャンバにインクを送るように構成される。圧力チャンバからインクを受け取るための出口チャネルが、圧力チャンバに接続され、この出口チャネルは、ダイヤフラム・プレートに対して垂直なチャネル軸線を有する。出口チャネルは、第１の出口チャネル区域と第２の出口チャネル区域とを含む。第１の出口チャネル区域は、交互の直径を有する複数のサブ区域を含む。第２の出口チャネル区域は、その終端部に配置された開口部を含む。第２の出口チャネル区域は、実質的に連続的な断面形状を有し、第１の出口チャネル区域より長い長さを有する。

上述の態様及び本開示の他の特徴は、添付図面に関連して、以下の記載において説明される。

ドロップ・オン・デマンド液滴放出装置の実施形態の略ブロック図である。 図１の液滴放出装置において使用することができる液滴発生器の実施形態の略立面図である。 図２の液滴発生器の略平面図である。 従来技術のインクジェットの実施形態の略側断面図である。 図４Ａの従来技術のインクジェットの実施形態の略平面図である。

ここで用いられる「画像形成装置」という用語は、一般に、印刷媒体に画像を付与するための装置のことを指す。「印刷媒体」は紙、プラスチック、又は画像のための他の適切な物理的印刷媒体基材の物理的なシートとすることができ、予め切断されたものでも、又はウェブ状態で供給されるものでもよい。画像形成装置は、仕上げ機、給紙機などのような他のさまざまな構成要素を含むものとすることができ、コピー機、プリンタ、又は多機能機として具体化されることができる。「プリントジョブ」又は「文書」は、普通は、一組の関連するシートであり、通常は、特定のユーザ、又はそれ以外の関連する出所に由来する一組の原本のプリントジョブ・シート又は電子文書ページ画像から複写された、丁合をとられた複写物の１つ又はそれ以上の組である。画像は、一般に、マーキング・エンジンによって印刷媒体上にレンダリングされる電子形態で情報を含むことができ、文字、図形、写真などを含むことができる。

図１は、ドロップ・オン・デマンド印刷装置の実施形態の略ブロック図であり、コントローラ１０と印字ヘッド組立体２０とを含み、印字ヘッド組立体２０は、液滴発生器とも呼ばれる複数のインクジェットを実装するための、ジェット積層体を含む。コントローラ１０は、各々の液滴発生器にそれぞれの駆動信号を送ることによって、液滴発生器を選択的に作動させる。液滴発生器の各々は、屈曲モードで動作する圧電変換器を使用することができる。他の例として、液滴発生器の各々は、剪断モード変換器、環状収縮型変換器、電歪型変換器、電磁型変換器、又は磁歪型（magnetorestrictive）変換器を使用することができる。印字ヘッド組立体２０において利用されるインクは、初期には固体形態であり、熱エネルギーを加えると溶融状態に変化する、相変化インクとすることができる。溶融インクは、必要なときにジェット積層体に送出するために、印字ヘッド組立体と一体型の、又は印字ヘッド組立体から分離したリザーバ（図示せず）内に格納されるものとすることができる。

印字ヘッド組立体２０は、ステンレス鋼板のような複数の成層されたシート又はプレートから形成されたジェット積層体を含む。各プレート内に食刻された空洞は、印字ヘッドのための液滴発生器を定めるチャネル及び通路を形成するように位置合わせされる。より大きい空洞は、ジェット積層体の長さ方向に延びる、より大きな通路を形成するように位置合わせされる。これらのより大きい通路は、液滴発生器にインクを供給するように配置されたインクマニホルドである。プレートを、互いに面と面が向き合うように位置合わせして積み重ね、次に、ろう付け又はその他の方法で互いに接合して、機械的に単一な、動作可能なジェット積層体を形成する。

図２及び図３は、ジェット積層体の複数のプレートによって形成することができる液滴発生器３０の実施形態の略立面図及び略平面図である。液滴発生器３０は、マニホルド、リザーバ又は他のインク収容構造体からインク３３を受け入れる入口チャネル３１を含む。インク３３は、入口チャネルから、例えば可撓性ダイヤフラム３７に一方の側が界接する、本体チャンバとも呼ばれる圧力又はポンプ・チャンバ３５内に流入する。電気機械変換器３９が可撓性ダイヤフラム３７に取り付けられ、これは、例えば、圧力チャンバ３５の上に重なるものとすることができる。電気機械変換器３９は、例えば、コントローラ１０から液滴の発射信号及び非発射信号を受信する電極４３の間に配置された、圧電素子４１を含む圧電変換器とすることがでる。電気機械変換器３９が作動すると、インクは圧力チャンバ３５から液滴形成出口チャネル４５へと流され、そこから、インク滴４９が、例えば転写部材表面とすることができる受像媒体（図示せず）の方へ向かって放出される。出口チャネル４５は、その終端部にノズル又はオリフィス４７を含み、そこを通って、変換器３９の作動に応答してインク滴が放出される。

出口チャネル４５は、複数の区域又はセグメントを含み、それらは、様々な厚みを有するとともに同じ又は異なる断面積の開口部を有するジェット積層体の異なるプレートによって定められる。ここで用いられる「区域」、「サブ区域」、「セグメント」などの用語は、インクチャネルに関して用いられる場合、特定のインクチャネルの軸方向長さのことを指す。インクチャネルは、１つ又は複数の同軸の区域を含むことができ、インクチャネル区域又はセグメントは、１つ又は複数の同軸のサブ区域又はサブセグメントを含むことができる。図２の実施形態において、出口チャネル４５は、圧力チャンバ３５に流体接続された第１の出口チャネル区域４５ａと、第１の出口チャネル４５ａに流体接続された、第１の出口チャネルと同軸の第２の出口チャネル区域４５ｂとを含み、第２の出口チャネル区域４５ｂは、圧力チャンバ３５と反対側の終端部に開口部４７を含む。第１及び第２の出口チャネル区域４５ａ、４５ｂを含む出口チャネル４５の合計の長さは、液滴発生器とジェット積層体のインクマニホルドとを形成するジェット積層体のプレートにわたる。

図２を参照すると、第１の出口チャネル区域４５ａは、複数のサブ区域、５０、５２、５４、５６、５８、６０及び６２を含むことができる。図示された実施形態においては、第１の出口チャネル区域のサブ区域５０、５２、５４、５６、５８、６０及び６２は、すべてが実質的にチャネル軸線ＣＡに関して同軸の、ほぼ円形の断面形状を有する。代替的な実施形態においては、出口チャネルのサブ区域のうちの１つ又はそれ以上は、例えば楕円形又は卵形のような非円形の形状を有するものとすることができる。サブ区域５０、５２、５４、５６、５８、６０及び６２は、各々のサブ区域が隣接する両側のサブ区域とは異なる直径を有するという事実によって特徴付けられる。例えば、チャネル・サブ区域５２、５６及び６０は各々、第１の直径を有し、サブ区域５２、５６及び６０と交互に配置されるチャネル・サブ区域５４、５８及び６２は、第１の直径より小さい第２の直径を有する。第１の出口チャネル区域において交互の直径を使用することの１つの利点は、出口チャネルが、プレートを組み立ててジェット積層体を形成する際のプレートの位置合わせ不良にそれほど影響されないことである。

１つの特定の実施形態において、第１のサブ区域５０は、約３．０ミルである長さＬ１、及び約８．１ミルの有効直径を有する。第２のサブ区域５２は、約３．０ミルである長さＬ２、及び約１３．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。第３のサブ区域５４は、約３．０ミルである長さＬ３、及び約９．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。第４のサブ区域５６は、約６．０ミルである長さＬ４、及び約１３．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。第５番目のサブ区域５８は、約１．０ミルである長さＬ５、及び約９．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。第６のサブ区域６０は、約６．０ミルである長さＬ６、及び約１３．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。第７のサブ区域６２は、約１．０ミルである長さＬ７、及び約９．０ミルの有効直径を有するものとすることができる。それゆえ、ひとまとめにすると、第１の出口チャネル区域は約２３．０ミルの長さを有し、第１の出口チャネル区域のサブ区域は、直径約９．０ミルと１３．０ミルとの間で直径が交互に配置される。ここで用いられる「約」という用語は、長さ、幅、厚さ、角度及び直径のような寸法に対して適用される場合、記述された寸法の±２０％を意味するものとする。有効直径とは、それぞれの出口チャネル区域、又はサブ区域の断面積と同じ面積を有する円の直径のことを指す。

図２に示されるように、第２出口チャネル区域４５ｂは、第１のチャネル区域と実質的に同軸であり、縦方向のサブ区域６４と片寄りサブ区域６６とを含む。特に、縦方向サブ区域６４は、第１の出口チャネル区域のサブ区域５０、５２、５４、５６、５８、６０及び６２と同軸であり、連続的な断面形状を有し、この断面形状は、図２の実施形態においては実質的に円形であるが、楕円形又は卵形のような非円形形状を使用することもでき、第１の出口チャネル区域のサブ区域５２、５６及び６０の有効直径と同じ、約１３．０ミルの有効直径を有する。

開口部４７は、片寄りサブ区域６６の遠位端に配置される。縦方向サブ区域６４と同様に、片寄りサブ区域６６は円形の断面形状を有するが、楕円形又は卵形のような非円形形状を使用することもできる。例示的な実施形態においては、片寄りチャネル・サブ区域６６の中心ポイントは、出口チャネルに対する開口部の位置決めにおける柔軟性を許容するように、軸線ＣＡからわずかに変位されている。開口部４７は、軸線ＣＡに対して必ずしも片寄っている必要はなく、いくつかの実施形態においては、片寄り出口チャネル区域を取り払うことができ、縦方向サブ区域６４を開口部プレートまで延長することができる。

図２の実施形態においては、縦方向サブ区域６４は長さＬ８を有し、この長さＬ８は、出口チャネル４５の縦方向サブ区域６４を形成することに加えて、液滴発生器にインクを供給するためのインクマニホルド（図示せず）をジェット積層体内に形成する、ジェット積層体の１つ又はそれ以上のプレートを貫通して、チャネル・サブ区域６４が延びることを可能にする。それゆえ、縦方向サブ区域６４は、実質的にジェット積層体インクマニホルドの厚さに対応する長さを有し、この長さは、第１の出口チャネル区域のサブ区域５０、５２、５４、５６、５８、６０及び６２を合計した長さよりも長い。１つの実施形態においては、縦方向サブ区域６４は、約４９．０ミルである長さＬ８を有する。片寄り出口チャネル区域６６は、約３．０ミルである長さＢ、及び約１４．７ミルの有効直径を有するものとすることができる。ノズル又は開口部４７は、約１．５ミルである長さＡ、及び約１．５ミルの有効直径を有するものとすることができる。

ここで図３を参照すると、インクチャンバ３５は、角が丸みを帯びたほぼ平行四辺形の形状を有するものとすることができる。しかしながら、代替的な実施形態においては、インクチャンバは、例えば、ほぼ長方形又は正方形を含む、他の適切な形状を有するものとすることができる。１つの実施形態においては、インクチャンバ３５は、約４．０ミルの厚さＨを有するものとすることができる。インクチャンバ３５の一方の側に界接する可撓性ダイヤフラム３７は、約１．５ミルの厚さＪを有する。可撓性ダイヤフラム３７に取り付けられた電気機械変換器３９は、約３．７５ミルの厚さＫを有する。さらに、ダイヤフラム３７は、変換器を囲む外周を形成する凹み又は切り溝の形態のリリーフ構造部７８、８０を含み、これは、変換器の変位誤差に対する感度を低下させ、ドライバ効率を高めるために、変換器３９を隣接する液滴発生器の変換器から隔離することを補助する。リリーフ構造部７８、８０は、約０．８ミルの深さ又は厚さ、及び約７．０ミルの幅を有する。

インクチャンバ３５、ダイヤフラム（リリーフ構造部７８、８０によって定められた外周内の）、及び変換器は、インクジェット周発数応答に悪影響を及ぼすことなく駆動電圧及びアレイ実装の要件を満たすように選択された、長さ及び幅を有する。１つの実施形態おいては、インクチャンバは、約４５．１ミルの幅Ｗ（図３）、及び約２５．５ミルの長さＬ（図３）を有する。ダイヤフラム３７は、約４５．１ミルの幅（インクチャンバの幅Ｗと同じ寸法）、及び約２５．５ミルの長さを有する。変換器３９は、約４９．０ミルの幅、及び約２８．０ミルの長さを有する。幅及び長さは、出口チャネル４５の軸線ＣＡを横切る方向の寸法のことを指す。

入口３１及び出口チャネル４５は、例えば、ほぼ平行四辺形の形状のインクチャンバ３５の対向する角領域でインクチャンバ３５に接続されるものとすることができる。入口３１は、終端部６８と７０との間の長さが約４７．２ミル、側部７２と７４との間の幅が約６．０ミルであり、出口チャネル区域５４の厚さと実質的に同じ高さ又は厚さ、すなわち、約３．０ミルの厚さを有する。図３の実施形態においては、平行四辺形の形状のインクチャンバ３５、ダイヤフラム３７、及び変換器３９は、約７５．５°の本体角度（ｂｏｄｙ ａｎｇｌｅ）Ａを有する。

このように、出口チャネル４５は、約７５．０ミルの全長を有するものとすることができる。出口チャネルの合計の長さは、液滴発生器とインクマニホルドとを形成するジェット積層体のプレートにわたるものであり、かつ、安定なマニホルド圧力降下要件に基づくものである。出口チャネル区域５２、５４、５６、５８、６０、６２及び６４の有効直径は、約１３．０ミルの有効直径と約９．０ミルの有効直径との間で交互に定められる。出口チャネル区域５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２、６４、６６の直径及び長さは、入口チャネルの長さ、幅及び厚さによって導入される流体インダクタンスより大きい流体インダクタンス又は抵抗を作り出すことなく、所定の周発数応答を得るように選択される。

上記の構造及び寸法を有する液滴発生器は、約１Ｈｚから４３ｋＨｚまでの液滴放出周波数又は発射速度において動作することができる。さらに、例示的な液滴発生器は、４３ｋＨｚの周波数において２２ｎｇの液滴質量を有する液滴を放出することができ、約３８ｋＨｚ未満の周波数において１８．５ｎｇの液滴質量を有する液滴を放出することができる。

１０：コントローラ
２０：印字ヘッド組立体
３１：入口チャネル
３３：インク
３５：圧力チャンバ
３７：ダイヤフラム
３９：電子機械変換器
４１：圧電素子
４３：電極
４５：出口チャネル
４５ａ：第１の出口チャネル区域
４５ｂ：第２の出口チャネル区域
４７：開口部
４９：インク滴
５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２：サブ区域
ＣＡ：チャネル軸線
６４：縦方向サブ区域
６６：片寄りサブ区域
７８、８０：リリーフ構造部

Claims (4)

1. 圧力チャンバと、
   前記圧力チャンバ上に配置され、該圧力チャンバの壁を形成する、可撓性ダイヤフラム・プレートと、
   前記ダイヤフラム・プレートに取り付けられた底面を有する、圧電変換器と
   を備え、該ダイヤフラム・プレートは、前記変換器の前記底面を囲む外周を形成する凹みを含み、前記凹みは、部分的に該底面の少なくとも１つの縁部の下に重なっており、
   前記圧力チャンバに接続され、該圧力チャンバにマニホルドからインクを送るように構成された入口チャネルと、
   前記圧力チャンバに接続され、前記圧力チャンバからインクを受け取るように構成され、前記ダイヤフラム・プレートに対して垂直なチャネル軸線を有する、出口チャネルと
   をさらに備え、前記出口チャネルは、第１の出口チャネル区域と第２の出口チャネル区域とを含み、前記第１の出口チャネル区域は、交互の直径を有する複数のサブ区域を含み、前記第２の出口チャネル区域は、その終端部に配置された開口部を含み、該第２の出口チャネル区域は、実質的に連続的な断面形状を有し、かつ該第１の出口チャネル区域より長い長さを有することを特徴とする液滴発生器。
2. 前記第１の出口チャネル区域が、前記チャネル軸線に沿って約２３．０ミルの長さを有し、前記第２出口チャネル区域が、該チャネル軸線に沿って約５２．０ミルの長さを有することを特徴とする、請求項１に記載の液滴発生器。
3. 前記圧力チャンバが、約１Ｈｚから約４３ｋＨｚまでの周波数において動作可能であることを特徴とする、請求項１に記載の液滴発生器。
4. 前記開口部が、前記圧力チャンバが４３ｋＨｚの周波数で動作する場合に２２ｎｇの質量を有する液滴を放出し、該圧力チャンバが約３８ｋＨｚ未満の周波数で動作する場合に１８．５ｎｇの質量を有する液滴を放出するようになった大きさであることを特徴とする、請求項１に記載の液滴発生器。

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