JP2010194667A - 樹脂板の歪み取り装置、および歪み取り方法 - Google Patents
樹脂板の歪み取り装置、および歪み取り方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】(1)樹脂板を加熱する機構、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定する機構、および樹脂板を吸着したまま冷却を行う機構を有することを特徴とする樹脂板の歪み取り装置。(2)樹脂板を加熱し、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定し、樹脂板を吸着したまま冷却する樹脂板の歪み取り方法であって、樹脂板の加熱温度が70℃以上130℃以下である樹脂板の歪み取り方法。
【選択図】なし
Description
「(1)樹脂板を加熱する機構、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定する機構、および樹脂板を吸着したまま冷却を行う機構を有することを特徴とする樹脂板の歪み取り装置。
(2)樹脂板を加熱し、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定し、樹脂板を吸着したまま冷却する樹脂板の歪み取り方法であって、樹脂板の加熱温度が70℃以上130℃以下である樹脂板の歪み取り方法。」
、設備メンテナンスや作業性の利点から、エアーカーテンを用いることが好ましいが、特にこれらに限定されることはない。加熱によって軟化させた樹脂板を歪みのない状態で吸着固定し、この吸着固定した状態のまま冷却することにより、効率よく歪みを取ることが可能となる。冷却を行わない場合、一度加熱した樹脂板の温度が低下するまで時間がかかり、冷却前に樹脂板を動かすと、再度歪みを生じる場合がある。
平面研削により平面度(面内バラツキ)0.1mm以下に抑えたアクリル板(1000mm×1000mm×15mm)上に樹脂板を載せ、樹脂板外周部とアクリル板の隙間をJIS1級スケールを用いて測定を行った。
樹脂板を使用した研磨パッドの研磨評価は以下のようにして行った。
ポリウレタンに対する、メチルメタクリレートの含有率60%、発泡倍率1.5倍、大きさが1m×1m×15cmの樹脂発泡体ブロックを、バンドナイフ式スライサーを用いてシート2mm厚みの樹脂板にスライスした。得られた樹脂板の歪みは最大30mmであった。
実施例1と同様にスライスした樹脂板を作製し、110℃の熱風オーブンにて20分加熱した後、多孔質吸着板であるタテ1000mm、ヨコ1000mm、厚み12mmの中密度繊維板の上に載せ、−60kPaの減圧度で90秒間吸着を行った。なお、吸着中はスポットクーラーにより樹脂板に平均風速5.0m/secにて送風を行い、樹脂板の冷却を行った。歪み取り後の樹脂板の歪みは最大3mmであった。
次に該樹脂板を研磨層に用いた研磨パッドを作製し、研磨圧力4psiで研磨評価を行った。研磨特性結果を表1に示す。研磨パッドの立ち上げに要した時間が短く、研磨レートと面内均一性のバラツキも少ない良好な結果となった。
樹脂板の歪み取りを行わなかった以外は、実施例1と同様にして研磨パッドの作製,研磨評価を行った。研磨特性結果を表1に示す。研磨パッドの立ち上げに要した時間が長く、研磨レートと面内均一性のバラツキも大きい結果となった。
実施例1と同様にスライスした樹脂板を作製し、該樹脂板の上から重さ10kgの樹脂ブロックを載せ、16時間静置した。得られた樹脂板の歪みは最大15mmであった。
ガラス板の上に発泡樹脂シートであるダイヤフィット(ダイヤミック(株)製)の発泡吸着面が上になるようにし、両面粘着テープを使用して貼り付けた。次に実施例1と同様にスライスした樹脂板を作製し、ダイヤフィットの発泡吸着面に該樹脂板を吸着させようと試みたが、機械加工による影響により、うねりや激しい歪みを有し、発泡樹脂シートに完全に固定することが不可能であった。この状態で加熱オーブンに入れて、120℃で60分間加熱後、冷却して取り出し、該樹脂板を分離したが、得られた樹脂板の歪みは最大18mmであった。
Claims (3)
- 樹脂板の歪み取り装置であって、樹脂板を加熱する機構、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定する機構、および樹脂板を吸着したまま冷却を行う機構を有することを特徴とする樹脂板の歪み取り装置。
- 該樹脂板を吸着したまま冷却する機構が送風機構である請求項1に記載の樹脂板の歪み取り装置。
- 樹脂板を加熱し、樹脂板を減圧機構と多孔質吸着板によって吸着して固定し、樹脂板を吸着したまま冷却する樹脂板の歪み取り方法であって、樹脂板の加熱温度が70℃以上130℃以下である樹脂板の歪み取り方法。
Priority Applications (1)
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JP2009041905A JP2010194667A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 樹脂板の歪み取り装置、および歪み取り方法 |
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JP (1) | JP2010194667A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013187217A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Ulvac Japan Ltd | 基板保持装置 |
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JPS6179626A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-23 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 樹脂基板のアニ−リング装置 |
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JP2008055624A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱可塑性樹脂板のアニーリング方法 |
-
2009
- 2009-02-25 JP JP2009041905A patent/JP2010194667A/ja active Pending
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