JP2010189676A - 液面検出装置および気体発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の液面検出装置SEAは測定プローブS1〜S5、対極S0、検出回路部50Aおよび交流電源回路510により構成される。検出回路部50Aの電流検出回路51〜55は、交流電源回路510の一方の出力端子O1と測定プローブS1〜S5との間に直列に接続されるコンデンサ501および抵抗502,503を含む。対極S0は、交流電源回路510の他方の出力端子O2に接続される。抵抗503に流れる電流がフォトカプラ504により検出される。
【選択図】図2
Description
図1は本実施の形態に係るフッ素ガス発生装置の構成を示す模式図である。
次に、図1のフッ素ガス発生装置の第1および第2の液面検出装置SEA,SEBの構成および動作について説明する。第2の液面検出装置SEBの構成および動作は第1の液面検出装置SEAの構成と同様であるので、ここでは、第1の液面検出装置SEAの構成および動作について説明する。図2は第1の液面検出装置SEAの構成を示す回路図である。
ここで、交流電源回路510による交流電流の周波数の最適な範囲を実験および電気化学的考察により求めた。
本実施の形態に係るフッ素ガス発生装置に用いられる第1の液面検出装置SEAおよび第2の液面検出装置SEBにおいては、電流制限抵抗として用いられる抵抗502,503に直列にコンデンサ501が挿入されている。それにより、電解浴30中に電位差が存在する場合でも、電解浴30中の対極S0,S10と測定プローブS1〜S5,S11〜S15との間に発生する直流成分がコンデンサ501により除去される。この場合、対極S0,S10および測定プローブS1〜S5,S11〜S15には交流成分のみが流れる。したがって、ガスの発生による対極S0,S10および測定プローブS1〜S5,S11〜S15の急速な消耗が防止される。その結果、対極S0,S10および測定プローブS1〜S5,S11〜S15を頻繁に交換することなく、長期にわたって電解槽1内の液面を安定して検出することが可能となる。したがって、フッ素ガス発生装置の長期にわたる安定した動作が確保される。
上記実施の形態では、第1の液面検出装置SEAおよび第2の液面検出装置SEBがそれぞれ5本の測定プローブS1〜S5,S11〜S15を有するが、測定プローブの本数は5本に限定されない。例えば、第1の液面検出装置SEAおよび第2の液面検出装置SEBがそれぞれ3本の測定プローブを有してもよく、2本、4本または6本以上の測定プローブを有してもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
2 隔壁
3 陰極室
4 陽極室
5 陰極
6 陽極
7 水素ガス排出管
8 フッ素ガス排出管
7a 陰極出口
8a 陽極出口
9 HF吸着塔
10,14 流量調整弁
11,15,21 自動弁
12 減圧器
13 HF吸着塔
16 減圧器
20 HF供給管
22 オリフィス
23 バイパス弁
25,26,27 圧力計
30 電解浴
50A,50B 検出回路部
51,52,53,54,55 電流検出回路
100 制御装置
SEA 第1の液面検出装置
SEB 第2の液面検出装置
S0,S10 対極
S1〜S5,S11〜S15 測定プローブ
500,502,503 抵抗
501 コンデンサ
504 フォトカプラ
505 発光ダイオード
506 フォトトランジスタ
D1〜D5 検出信号
Claims (6)
- 電気分解される化合物を含む電解液を収容する電解槽内の液面を検出する液面検出装置であって、
前記電解槽内に互いに離間するように配置される第1および第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧を印加する交流電源回路と、
前記第1の電極、前記交流電源回路および前記第2の電極により構成される電流径路中に挿入されるコンデンサと、
前記電流径路に流れる電流の有無を検出する電流検出回路とを備えることを特徴とする液面検出装置。 - 前記電流径路中に前記コンデンサと直列に設けられる抵抗をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の液面検出装置。
- 前記交流電源回路による交流電圧の周波数は50Hz以上10kHz以下であることを特徴とする請求項1または2記載の液面検出装置。
- 前記第1および第2の電極はニッケルにより形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液面検出装置。
- 電気分解により第1の気体および第2の気体を発生させる気体発生装置であって、
前記第1の気体が発生される第1室および前記第2の気体が発生される第2室に区画され、電気分解される化合物を含む電解液を収容する電解槽と、
前記第1室内の液面を検出する第1の液面検出装置と、
前記第2室内の液面を検出する第2の液面検出装置と、
前記第1の液面検出装置の検出結果および前記第2の液面検出装置の検出結果に基づいて前記第1室内の液面の高さおよび前記第2室内の液面の高さを制御する液面制御手段とを備え、
前記第1および第2の液面検出装置の各々は、
前記電解槽内に互いに離間するように配置される第1および第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧を印加する交流電源回路と、
前記第1の電極、前記交流電源回路および前記第2の電極により構成される電流径路中に挿入されるコンデンサと、
前記電流径路に流れる電流の有無を検出する電流検出回路とを備えることを特徴とする気体発生装置。 - 前記第1および第2の気体の一方は水素であり、前記第1および第2の気体の他方はフッ素であることを特徴とする請求項5記載の気体発生装置。
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---|---|---|---|---|
JPS63210628A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-01 | Shikoku Kakoki Co Ltd | 液面計 |
JP2002339090A (ja) * | 2000-04-07 | 2002-11-27 | Toyo Tanso Kk | フッ素ガス発生装置 |
JP2009025038A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Toyo Tanso Kk | 液面検出回路及び液面検出システム |
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- 2009-02-16 JP JP2009032992A patent/JP5578792B2/ja active Active
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