JP2009025038A - 液面検出回路及び液面検出システム - Google Patents

Abstract

【課題】液体に大きな電流を流すことなく、液槽内の液体の液面の高さを検出する。
【解決手段】電解槽に設けられたＨＨＨ電極に接続されたＨＨＨ端子とＣＯＭ端子との間には、フォトカプラ４１ａ、４１ｂの発光ダイオード４４ａ、４４ｂが接続されており、、ＨＨ端子、Ｈ端子、Ｌ端子及びＬＬ端子とＣＯＭ端子との間には、それぞれ、フォトカプラ６１ａ〜６１ｄの発光ダイオード６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄが接続されている。発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄには、それぞれ、抵抗４２ａ、４２ｂ、６２ａ〜６２ｄが並列に接続されているとともに、抵抗３３、３３、６３ａ〜６３ｄが直列に接続されている。各電極が電解浴に浸ると、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄが発光し、対応するフォトトランジスタ４５ａ、４５ｂ、６５ａ〜６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液槽内の液体の液面を検出する液面検出回路及び液面検出回路を有する液面検出システムに関する。

特許文献１に記載のフッ素ガス発生装置においては、陽極と陰極との間に電圧を印加してフッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴を電気分解することにより、陽極室にフッ素を発生させるとともに陰極室に水素を発生させている。陽極室及び陰極室には、それぞれ、電解浴の液面を検出するための第１液面検出手段及び第２液面検出手段が設けられている。第１液面検出手段及び第２液面検出手段は、異なる高さに配置された複数の電極を有しており、電極が電解浴に浸かり導通しているか否かによって、液面がその電極の先端よりも高い位置にあるか否かを検出している。

このようなフッ素ガス発生装置においては、電解浴の液面が陽極室と陰極室とを隔てている隔壁の下端よりも下がってしまうと、陽極室と陰極室との間でフッ素と水素の移動が起こり、その結果、フッ素と水素とが反応して爆発してしまう虞があるが、第１液面検出手段及び第２液面検出手段により電解浴の液面を検出することにより、液面が下がってしまう前に、電気分解を停止したり装置への電力の供給を停止したりすることが可能となっている。

特開２００４−１６９８１４号公報

ここで、特許文献１のフッ素ガス発生装置においては、第１液面検出手段及び第２液面検出手段の電極に大きな電流が流れると、陽極室及び陰極室内で、それぞれ、電解浴の電気分解が生じてしまう。その結果、陽極室及び陰極室のそれぞれに、フッ素及び水素の両方が発生し、陽極室及び陰極室においてフッ素と水素との反応が生じて爆発する虞がある。したがって、第１液面検出手段、第２液面検出手段においては、このような化学反応が起こりにくいような構成にすることが要求される。また、フッ素発生装置以外の液槽に、このような第１、第２液面検出手段を設けた場合にも、第１、第２液面検出手段の電極に大きな電流が流れることにより、液槽内の液体が電気分解されて不要な気体等が発生し、発生する気体の種類によっては気体同士で反応が生じてしまう虞がある。

本発明の目的は、液槽内の液体に化学反応が生じるのを極力抑えつつ、液槽内の液体の液面の高さを検出することが可能な液面検出回路及びこのような液面検出回路を備えた液面検出システムを提供することである。

本発明の液面検出回路は、密閉された液槽の内部に設けられた一対の電極と、前記一対の電極に接続された交流電源と、前記一対の電極及び前記交流電源に直列に接続されており、前記液槽の外部に配置されたフォトカプラとを備えている（請求項１）。

これによると、一対の電極が液槽内の液体に浸かると、一対の電極、交流電源、フォトカプラの発光ダイオードを含む回路に電流が流れ、フォトカプラのフォトダイオードが導通する。これにより、液槽内の液体の液面が一対の電極の下端よりも上に位置しているか否かにより液槽内の液体の液面の高さを検出することができる。

また、一対の電極に交流電圧が印加されるとともに、発光ダイオードは比較的低電流で動作させることができるので、液槽内の液体に流れる電流により液槽内の液体の反応を極力抑えることができる。

また、本発明の液面検出回路においては、前記交流電源及び前記フォトカプラの発光ダイオードに直列に接続された第１抵抗をさらに備えていることが好ましい（請求項２）。これによると、交流電源及び発光ダイオードと直列に第１抵抗を接続することにより、一対の電極、交流電源、発光ダイオードを含む回路に流れる電流の値を調整することができる。その結果、液槽内の液体に過電流が流れ、液体が反応してしまうのを防止することができる。

また、本発明の液面検出回路においては、前記フォトカプラの発光ダイオードに並列に接続された第２抵抗をさらに備えていることが好ましい（請求項３）。これによると、発光ダイオードと並列に第２抵抗を接続することにより、発光ダイオードに流れる電流の値を調整し、発光ダイオードに適切な電流を流すことができる。

また、本発明の液面検出回路においては、前記液槽が、電気分解により気体を発生させるための電解槽であることが好ましい（請求項４）。これによると、液槽が電気分解により気体を発生させる電解槽である場合、気体が外部に逃げないようにするために液槽を密閉する必要があるが、この場合でも、液槽内の液面の位置を確認することができる。

このとき、前記気体がフッ素であることが好ましい（請求項５）。これによると、フッ素は反応性が高い気体であるため、フッ素が外部に逃げないように、電解槽を密閉して電気分解を行う必要があるが、この場合でも、液槽内の液面の位置を確認することができる。

本発明の液面検出システムは、請求項１〜５に記載の液面検出回路を複数備えており、
複数の前記液面検出回路における前記一対の電極の一方は、互いにその下端が異なる高さに位置するように配置されている（請求項６）。

これによると、複数の液面検出回路を有する液面検出システムにおいて、各液面検出回路における一対の電極の一方の下端が互いに異なる高さに配置されているため、液槽内の液面の高さを複数の段階で検出することができる。

また、本発明の液面検出システムにおいては、複数の前記液面検出回路における前記一対の電極の他方が１つの電極により兼用されていることが好ましい（請求項７）。これによると、液槽に設ける電極の数が少なくてすみ、システムの構成が簡単になる。

また、本発明の液面検出システムにおいては、複数の前記液面検出回路の１つを構成する前記一対の電極の前記一方が、正常な状態での液槽内の液面の高さよりも上方に位置する異常検知電極となっていることが好ましい（請求項８）。これによると、異常検知電極を含む一対の電極が互いに導通したときに、液面が上昇しすぎていることを検知することができる。

このとき、前記異常検知電極を含む前記一対の電極を互いに接続させる接続回路をさらに備えていることが好ましい（請求項９）。これによると、異常検知電極は正常に動作している間は液体に接触しないため、正常動作中にその動作確認を行うことができないが、接続回路により異常検知電極を含む一対の電極を互いに導通させることにより、その動作確認を行うことができる。

また、本発明の液面検出システムにおいては、前記異常検知電極を含む一対の電極が互いに導通していないときにのみ導通する第１接点、及び、前記第１接点が溶着しておらず、且つ、前記交流電源により前記一対の電極に交流電圧が印加されたときに導通する第２接点を有するガイド付きセーフティリレーと、システムに電力が供給されていない状態で、前記第２接点が導通している場合にのみ、システムへの電力供給を許可する電力供給許可手段と、前記システムに電力が供給された状態で、前記第１接点が導通しなくなったときに、前記システムへの電力供給を遮断する電力供給遮断手段とをさらに備えていることが好ましい（請求項１０）。

これによると、液面が上昇して異常検知電極を含む一対の電極が導通した場合には、第１接点の導通が切れるため、システムへの電力を確実に遮断することができる。また、第１接点が溶着してしまっている場合には、異常検知電極を含む一対の電極の導通を切ることができないが、システムに電力を供給する前に、第２接点が導通している場合、すなわち第１接点が溶着していない場合にのみシステムに電力が供給される。これにより、第１接点が溶着した状態でシステムに電力が供給されるのを防止することができる。

このとき、前記ガイド付きセーフティリレーを複数備えており、複数の前記ガイド付きセーフティリレーの前記第１接点同士及び前記第２接点同士が、それぞれ直列に接続されていることが好ましい（請求項１１）。これによると、ガイド付きセーフティリレーを複数設け、第１接点同士及び第２接点同士をそれぞれ直列に接続されている場合、複数の第１接点のいずれかの導通が切れたときに、システムへの電力供給が遮断されるため、異常検知電極を含む一対の電極同士が導通したことを確実に検出することができる。また、複数の第１接点のいずれかが溶着してしまっている場合にも、複数の第２接点のいずれかが導通しなくなるため、第１接点のいずれかが溶着した状態で、システムに電力が供給されるのを防止することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は、本実施の形態に係るフッ素ガス発生装置の概略構成図である。フッ素ガス発生装置１は、ＫＦ−２ＨＦ溶液を電気分解することによってフッ素及び水素を発生させるものであり、図１に示すように、電解槽２、制御装置３、交流電源４、液体供給装置５、ＨＨＨ電極６、１２、ＨＨ電極７、１３、Ｈ電極８、１４、Ｌ電極９、１５、ＬＬ電極１０、１６、ＣＯＭ電極１１、１７、ヒータ１８を備えている。

電解槽２は、外壁２１によって密閉されており、内部にＫＦ−２ＨＦを含む電解浴２２が設けられている。また、電解槽２は、隔壁２３によって図１中左右方向に関して２つの領域に分割されており、図１中左側が陽極室２４、右側が陰極室２５となっている。陽極室２４と陰極室２５とは、電解槽２の底部において連通している。

陽極室２４及び陰極室２５の内部には、それぞれ、陽極２６及び陰極２７が設けられており、陽極２６と陰極２７との間に電圧を印加することにより、
２ＨＦ→Ｈ_２＋Ｆ_２
の反応が生じ、陽極室２４内にフッ素（Ｆ_２）が、陰極室２５内に水素（Ｈ_２）が発生する。なお、電解槽２を密閉しているのは、反応性の高いフッ素が外部に流れ出てしまうのを防止するためであり、電解槽２を隔壁２３によって陽極室２４と陰極室２５とに分割しているのは、発生したフッ素と水素とが混ざって反応し、爆発してしまうのを防止するためである。また、電解槽２には、液体供給流路２８が接続されており、この反応により減少した分のＨＦは、液体供給流路２８を介して液体供給装置５から供給される。

ヒータ１８は、電解槽２内の電解浴２２を加熱する。これにより、ＫＦ−２ＨＦを含む電解浴２２が溶融する。

電極６〜１１は、陽極室２４内に設けられており、それぞれ図１の上下方向に延びている。電極６〜１１は、この順にその下端の高さが低くなるように配置されている、つまり、電極６〜１１はその下端の高さが互いに異なっている。電極６〜１１は、それぞれ制御装置３の後述するＨＨＨ端子、ＨＨ端子、Ｈ端子、Ｌ端子、ＬＬ端子及びＣＯＭ端子に接続されている。なお、これらの電極６〜１１のうち、ＨＨＨ電極６とＣＯＭ電極１１、ＨＨ電極７とＣＯＭ電極１１、Ｈ電極８とＣＯＭ電極１１、Ｌ電極９とＣＯＭ電極１１、及び、ＬＬ電極１０とＣＯＭ電極１１が、それぞれ、本発明に係る一対の電極に相当する。また、ＣＯＭ電極１１が各一対の電極の一方を兼ねており、これにより、陽極室２４内に設ける電極の数を少なくすることができる。

電極１２〜１７は、陰極室２５内に設けられており、それぞれ図１の上下方向に延びている。電極１２〜１７は、この順にその下端の高さが低くなるように配置されている、つまり、電極１２〜１７の下端の高さが互いに異なっている。電極１２〜１７は、それぞれ制御装置３の後述するＨＨＨ端子、ＨＨ端子、Ｈ端子、Ｌ端子、ＬＬ端子及びＣＯＭ端子に接続されている。なお、これらの電極１２〜１７のうち、ＨＨＨ電極１２とＣＯＭ電極１７、ＨＨ電極１３とＣＯＭ電極１７、Ｈ電極１４とＣＯＭ電極１７、Ｌ電極１５とＣＯＭ電極１７、及び、ＬＬ電極１６とＣＯＭ電極１７が、それぞれ、本発明に係る一対の電極に相当する。また、ＣＯＭ電極１７が各一対の電極の一方を兼ねており、これにより、陰極室２５内に設ける電極の数を少なくすることができる。さらに、ＨＨＨ電極１２、ＨＨ電極１３、Ｈ電極１４、Ｌ電極１５、ＬＬ電極１６及びＣＯＭ電極１７は、それぞれ、ＨＨＨ電極６、ＨＨ電極７、Ｈ電極８、Ｌ電極９、ＬＬ電極１０及びＣＯＭ電極１１と同じ高さに配置されている。

そして、電極６〜１０のうち電解浴２２に浸かっているものがＣＯＭ電極１１と導通し、電極１２〜１６のうち電解浴２２に浸かっているものがＣＯＭ電極１７と導通する。これにより、変圧器２０を介して交流電源４から供給された交流電圧により、互いに導通する電極の間に交流電流が流れる。

制御装置３は、交流電源４、陽極２６、陰極２７、電極６〜１７及び液体供給装置５に接続されており、電極６〜１０とＣＯＭ電極１１、及び、電極１２〜１６とＣＯＭ電極１７とが導通しているか否かの検知、陽極２６及び陰極２７への電圧の印加、及び、液体供給装置５の動作の制御を行う。

次に、制御装置３について詳細に説明する。図２は図１の制御装置３を示す回路図である。なお、図１に示すように、制御装置３にはＨＨＨ端子、ＨＨ端子、Ｈ端子、Ｌ端子及びＬＬ端子が２つずつ設けられているが、対応する２つの端子に接続されている回路の構成は同じであるため、図２においては、これらのうち一方の図示を省略している。

図２に示すように、制御装置３の１０Ｖ端子及びＣＯＭ端子は、変圧器２０を介して交流電源４の両端子に接続されている。そして、制御装置３においては、１０Ｖ端子とＣＯＭ端子との間に、２つのフォトカプラ３１ａ、３１ｂ、抵抗３２ａ、３２ｂ（第２抵抗）及び３３（第１抵抗）が接続されている。

フォトカプラ３１ａの発光ダイオード３４ａと抵抗３２ａ、及び、フォトカプラ３１ｂの発光ダイオード３４ｂと抵抗３２ｂとは、それぞれ並列に接続されており、交流電源４及び発光ダイオード３４ａと抵抗３３、並びに、交流電源４及び発光ダイオード３４ｂと抵抗３３とは、それぞれ直列に接続されている。フォトカプラ３１ａ、３１ｂのフォトトランジスタ３５ａ、３５ｂのコレクタ端子は、それぞれ図示しない外部の駆動電源に接続されており、エミッタ端子は、それぞれ、電解コンデンサ３６ａ、３６ｂ及び抵抗３７ａ、３７ｂを介して接地されているとともに、トランジスタ３８ａ、３８ｂのベース端子に接続されている。トランジスタ３８ａ、３８ｂのコレクタ端子及びエミッタ端子は、それぞれ、図示しない外部の駆動電源、及び、セーフティリレー３９ａ、３９ｂに接続されている。

そして、交流電源４により交流電圧が印加されていない状態では、発光ダイオード３４ａ、３４ｂに電流が流れないため、発光ダイオード３４ａ、３４ｂは発光せず、フォトトランジスタ３５ａ、３５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通していない。これにより、トランジスタ３８ａ、３８ｂのベース端子はグランド電位になっており、トランジスタ３８ａ、３８ｂのコレクタ端子とエミッタ端子との導通が遮断されている。したがって、セーフティリレー３９ａ、３９ｂに電流は流れない。

一方、交流電源４により交流電圧が印加されると、発光ダイオード３４ａ、３４ｂに電流が流れて発光ダイオード３４ａ、３４ｂが発光し、発光ダイオード３４ａ、３４ｂの発光によりフォトトランジスタ３５ａ、３５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通する。これにより、トランジスタ３８ａ、３８ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、セーフティリレー３９ａ、３９ｂに電流が流れる。

１０Ｖ端子とＨＨＨ端子との間には、２つのフォトカプラ４１ａ、４１ｂ、及び、抵抗４２ａ、４２ｂ（第２抵抗）、及び抵抗４３（第１抵抗）が接続されている。ここで、１０Ｖ端子及びＨＨＨ端子と、フォトカプラ４１ａ、４１ｂの発光ダイオード４４ａ、４４ｂ及び抵抗４２ａ、４２ｂ、４３の接続関係は、１０Ｖ端子及びＨＨＨ端子と、発光ダイオード３４ａ、３４ｂ及び抵抗３２ａ、３２ｂ、３３の接続関係と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。

ここで、抵抗４２ａ、４２ｂをそれぞれ発光ダイオード４４ａ、４４ｂに並列に接続しているのは、発光ダイオード４４ａ、４４ｂに流れる電流の値を調整し、発光ダイオード４４ａ、４４ｂに適切な値の電流を流すためである。また、抵抗４３を抵抗４２ａ、４２ｂ及び発光ダイオード４４ａ、４４ｂに直列に接続しているのは、電解浴２２に流れる電流の値を調整し、電解浴２２に過電流が流れて電気分解が発生するのを防止するためである。

フォトカプラ４１ａ、４１ｂのフォトトランジスタ４５ａ、４５ｂのエミッタ端子は、それぞれ抵抗４６ａ、４６ｂを介して接地されているとともに抵抗４９ａ、４９ｂを介してそれぞれトランジスタ５０ａ、５０ｂのベース端子に接続されている。また、フォトトランジスタ４５ａ、４５ｂのベース端子は、互いに並列に接続された電解コンデンサ４７ａ、４７ｂ及び抵抗４８ａ、４８ｂを介して図示しない外部の駆動電源に接続されており、この駆動電源がトランジスタ５０ａ、５０ｂのコレクタ端子に接続されている。また、トランジスタ５０ａ、５０ｂのエミッタ端子は、それぞれセーフティリレー５１ａ、５１ｂに接続されている。

そして、交流電源４により交流電圧が印加されていない状態、及び、交流電源４により交流電源が印加されているが、ＨＨＨ電極６が電解浴２２に浸っておらず、ＨＨＨ電極６とＣＯＭ電極１１とが導通していない状態では、フォトトランジスタ４５ａ、４５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とは導通しておらず、トランジスタ５０ａ、５０ｂのベース端子はグランド電位となっており、外部の駆動電源から抵抗４８ａ、４８ｂを介してトランジスタ５０ａ、５０ｂのベース端子に電流が流れる。これにより、トランジスタ５０ａ、５０ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、セーフティリレー５１ａ、５１ｂに電流が流れる。

一方、交流電源４により交流電圧が印加された状態で、ＨＨＨ電極６が電解浴２２に浸かり、ＨＨＨ電極６とＣＯＭ電極１１とが導通すると、発光ダイオード４４ａ、４４ｂが発光してフォトトランジスタ４５ａ、４５ｂのエミッタ端子とコレクタ端子とが導通し、フォトトランジスタ４５ａ、４５ｂのエミッタ端子の電位が外部の駆動電源の電位と同じになる。したがって、トランジスタ５０ａ、５０ｂのベース端子に電流が流れなくなる。これにより、トランジスタ５０ａ、５０ｂのコレクタ端子とエミッタ端子との間に電流が流れなくなり、セーフティリレー５１ａ、５１ｂに電流が流れなくなる。

また、ＣＯＭ端子とＨＨＨ端子とは、スイッチ４０（接続回路）を介して接続されている。ＨＨＨ電極６は、フッ素ガス発生装置１が正常に動作している間は電解浴２２に浸ることはなく、ＨＨＨ端子とＣＯＭ端子との間に接続された回路の動作を確認することができないが、スイッチ４０によりＣＯＭ端子とＨＨＨ端子とを接続することにより、回路の動作を確認することができる。なお、ＨＨＨ電極６、１２が本発明に係る異常検知電極に相当する。

このとき、電解浴２２に流れる電流は交流であり、さらに、発光ダイオード４４ａ、４４ｂは比較的小さい電流で発光させることができる。したがって、電解浴２２に流れる電流により電解浴２２の化学反応が生じ、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素の両方が発生してしまうのを極力抑制することができる。これにより、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素とが反応して爆発してしまうのを防止することができる。

ここで、上述した４つのセーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂは、それぞれ、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂに電流が流れていないときには導通しておらず、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂに電流が流れたときに導通するメーク接点８１と、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂに電流が流れていないときに導通しており、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂに電流が流れたときには導通しなくなるブレイク接点８２とを備え、メーク接点８１とブレイク接点８２とが同時に導通することがないように構成されたガイド付きセーフティリレーとなっている。

これにより、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１は、対応するブレイク接点８２が溶着しておらず、且つ、交流電源４のより交流電圧が印加されたときに導通し、それ以外のときにはその導通が切れる。また、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのブレイク接点は、ＨＨＨ電極６、１２とＣＯＭ電極１１、１７とが導通していないときに導通し、ＨＨＨ電極６、１２とＣＯＭ電極１１、１７とが導通したときには導通が切れる。すなわち、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１が本発明に係る第２接点に相当し、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのブレイク接点８２が本発明に係る第１接点に相当する。

なお、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂには、図示しないコイルが設けられており、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂに電流が流れることによりコイルにも電流が流れ、コイルに電流が流れることで発生する電磁力によってメーク接点８１及びブレイク接点８２の導通及びその切断が切り替わる。

そして、各セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂのメーク接点８１同士は直列に接続されているとともに、電力遮断回路８４に接続されている。また、各セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂのブレイク接点８２同士は直列に接続されているとともに、電力供給許可回路８５に接続されている。

電力遮断回路８４は、４つのメーク接点８１のうち、いずれかの導通が切れたときに、フッ素ガス発生装置１への電力供給を遮断する。また、電力遮断回路８４は、後述するフォトトランジスタ６５ｄのエミッタ端子から電流が出力されなくなったときにも、フッ素ガス発生装置１への電力供給を遮断する。電力供給許可回路８５は、電力が供給されていない状態のフッ素ガス発生装置１への電力供給を許可する。具体的には、フッ素ガス発生装置１に電力が供給されていない状態で、４つのブレイク接点８２の全てが導通しているときにのみ、フッ素ガス発生装置１への電力供給を許可する。

１０Ｖ端子と、ＨＨ端子との間には、フォトカプラ６１ａの発光ダイオード６４ａ及び抵抗６２ａが並列に接続されているとともに、交流電源４及び発光ダイオード６４ａと抵抗６３ａとが直列に接続されている。また、フォトカプラ６１ａのフォトトランジスタ６５ａは、コレクタ端子が図示しない外部の駆動電源に接続されているとともに、エミッタ端子が液面確認部７１に接続されている。

そして、交流電源４により交流電圧が印加されていない状態、及び、交流電源４により交流電源が印加されているが、ＨＨ電極７が電解浴２２に浸っておらず、ＨＨ電極７とＣＯＭ電極１１とが導通していない状態では、発光ダイオード６４ａに電流が流れず、発光ダイオード６４ａが発光しないため、フォトトランジスタ６５ａのコレクタ端子とエミッタ端子との間は導通していない。

一方、交流電源４により交流電圧が印加された状態で、ＨＨ電極７が電解浴２２に浸り、ＨＨ電極７とＣＯＭ電極１１とが導通すると、発光ダイオード６４ａに電流が流れて発光ダイオード６４ａが発光する。これにより、フォトトランジスタ６５ａのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、フォトトランジスタ６５ａのエミッタ端子に電流が流れる。この電流は液面確認部７１に出力される。

このとき、電解浴２２に流れる電流は交流であり、さらに、発光ダイオード６４ａは比較的小さい電流で発光させることができる。したがって、電解浴２２に流れる電流により電解浴２２の化学反応が生じ、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素の両方が発生してしまうのを極力抑制することができる。これにより、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素とが反応して爆発してしまうのを防止することができる。

１０Ｖ端子とＨ端子との間には、フォトカプラ６１ｂ、及び抵抗６２ｂ、６３ｂが接続されている。１０Ｖ端子とＬ端子との間には、フォトカプラ６１ｃ及び抵抗６２ｃ、６３ｃが接続されている。１０Ｖ端子とＬＬ端子との間には、フォトカプラ６１ｄ及び抵抗６２ｄ、６３ｄが接続されている。フォトカプラ６１ｂと抵抗６２ｂ、６３ｂ、フォトカプラ６１ｃと抵抗６２ｃ、６３ｃ、及び、フォトカプラ６１ｄと抵抗６２ｄ、６３ｄとの接続関係は、フォトカプラ６１ａと抵抗６２ａ、６３ａとの接続関係と同様であるので、ここではその説明を省略する。なお、抵抗６２ｂ、６２ｃ、６２ｄが本発明に係る第２抵抗に相当し、抵抗６３ｂ、６３ｃ、６３ｄが本発明に係る第１抵抗に相当する。

そして、交流電源４により交流電圧が印加されていない状態、及び、交流電源４により交流電源が印加されているが、Ｈ電極８及びＬ電極９がそれぞれ電解浴２２に浸っておらず、Ｈ電極８及びＬ電極９とＣＯＭ電極１１とがそれぞれ導通していない状態では、フォトトランジスタ６５ｂ、６５ｃのコレクタ端子とエミッタ端子との間は導通しておらず、交流電源４により交流電圧が印加された状態で、Ｈ電極８及びＬ電極９がそれぞれ電解浴２２に浸り、Ｈ電極８及びＬ電極９とＣＯＭ電極１１とが導通すると、発光ダイオード６４ｂ、６４ｃが発光することによってフォトトランジスタ６５ｂ、６５ｃのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、フォトトランジスタ６５ｂ、６５ｃのエミッタ端子に電流が流れる。

このとき、電解浴２２に流れる電流は交流であり、さらに、発光ダイオード６４ｂ、６４ｃは比較的小さい電流で発光させることができる。したがって、電解浴２２に流れる電流により電解浴２２の化学反応が生じ、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素の両方が発生してしまうのを極力抑制することができる。これにより、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素とが反応して爆発してしまうのを防止することができる。

フォトトランジスタ６５ｂのエミッタ端子に流れる電流は液体供給量調整部７０に出力され、フォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子に流れる電流は液面確認部７１に出力される。液体供給量調整部７０は、液体供給装置５から電解槽２に供給するＨＦの量を調整する。液面確認部７１は、電解浴２２の液面がＨＨ電極７の下端とＬ電極９の下端との間にあるか否かを判断する。

また、フォトカプラ６１ｄのフォトトランジスタ６５ｄのエミッタ端子は、互いに並列に接続された電解コンデンサ６６及び抵抗６８を介して接地されているとともに、トランジスタ６９のベース端子に接続されている。

そして、交流電源４により交流電圧が印加されていない状態、及び、交流電源４により交流電源が印加されているが、ＬＬ電極１０が電解浴２２に浸っておらず、ＬＬ電極１０とＣＯＭ電極１１とが導通していない状態では、発光ダイオード６４ｄが発光しないため、フォトトランジスタ６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子との間は導通していない。これにより、トランジスタ６９のベース端子には電流が流れず、トランジスタ６９のコレクタ端子とエミッタ端子とは導通していない。

一方、交流電源４により交流電圧が印加された状態で、ＬＬ電極１０が電解浴２２に浸り、ＬＬ電極１０とＣＯＭ電極１１とが導通すると、発光ダイオード６４ｄが発光する。これにより、フォトトランジスタ６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、フォトトランジスタ６５ｄのエミッタ端子に電流が流れる。その結果、トランジスタ６９のベース端子にも電流が流れて、トランジスタ６９のコレクタ端子とエミッタ端子とが導通し、エミッタ端子に電流が流れる。エミッタ端子に流れる電流は、前述の電力遮断回路８４に出力される。

このとき、電解浴２２に流れる電流は交流であり、さらに、発光ダイオード６４ｄは比較的小さい電流で発光させることができる。したがって、電解浴２２に流れる電流により電解浴２２の化学反応が生じ、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素の両方が発生してしまうのを極力抑制することができる。これにより、陽極室２４及び陰極室２５内で、それぞれ、フッ素と水素とが反応して爆発してしまうのを防止することができる。

以上のような構成を有していることから、セーフティリレー５１ａ、５１ｂが導通しているか否かにより、電解浴２２の液面がＨＨＨ電極６の下端よりも下方に位置しているか否かを検出し、これにより、電解浴２２の液面の高さを検出することができる。

また、フォトトランジスタ６５ａ〜６５ｄのエミッタ端子から電流が出力されているか否かにより、それぞれ、電解浴２２の液面が電極７〜１０の下端よりも下方に位置しているか否かを検出し、これにより、電解浴２２の液面の高さを検出することができる。

なお、電極１２〜１７にも、電極６〜１１と同様の回路が接続されており、上述したのと同様、セーフティリレー５１ａ、５１ｂに電流が流れているか否か、及び、フォトトランジスタ６５ａ〜６５ｄのエミッタ端子から出力されているか否かにより、電解浴２２の液面の位置を検出することができる。

加えて、電解槽２には、互いに異なる高さの電極６〜１１、及び、互いに異なる高さの電極１２〜１７が設けられているので、電解浴２２の液面の高さを複数の段階で検出することができる。

また、ＨＨＨ電極６、ＣＯＭ電極１１、交流電源４、フォトカプラ４１ａ、４１ｂ及び抵抗４２ａ、４２ｂ、４３により構成される回路、ＨＨ電極７、ＣＯＭ電極１１、交流電源４、フォトカプラ６１ａ及び抵抗６２ａ、６３ａにより構成される回路、Ｈ電極８、ＣＯＭ電極１１、交流電源４、フォトカプラ６１ｂ及び抵抗６２ｂ、６３ｂにより構成される回路、Ｌ電極９、ＣＯＭ電極１１、交流電源４、フォトカプラ６１ｃ及び抵抗６２ｃ、６３ｃにより構成される回路、並びに、ＬＬ電極１０、ＣＯＭ電極１１、交流電源４、フォトカプラ６１ｄ及び抵抗６２ｄ、６３ｄにより構成される回路が、それぞれ、本発明に係る液面検出回路に相当する。

同様に、ＨＨＨ電極１２、ＣＯＭ電極１７、交流電源４、フォトカプラ４１ａ、４１ｂ及び抵抗４２ａ、４２ｂ、４３により構成される回路、ＨＨ電極１３、ＣＯＭ電極１７、交流電源４、フォトカプラ６１ａ及び抵抗６２ａ、６３ａにより構成される回路、Ｈ電極１４、ＣＯＭ電極１７、交流電源４、フォトカプラ６１ｂ及び抵抗６２ｂ、６３ｂにより構成される回路、Ｌ電極１５、ＣＯＭ電極１７、交流電源４、フォトカプラ６１ｃ及び抵抗６２ｃ、６３ｃにより構成される回路、並びに、ＬＬ電極１６、ＣＯＭ電極１７、交流電源４、フォトカプラ６１ｄ及び抵抗６２ｄ、６３ｄにより構成される回路も、それぞれ、本発明に係る液面検出回路に相当する。

そして、これら複数の液面検出回路を全て合わせたものが、本発明に係る液面検出システムに相当する。

次に、フッ素ガス発生装置１の動作について説明する。フッ素ガス発生装置１を動作させるためには、まず、フッ素ガス発生装置１に電力の供給を行う。この際、前述したように、４つのブレイク接点８２が全て導通している場合にのみ、電力供給許可回路８５により、フッ素ガス発生装置１への電力の供給が許可され、４つのブレイク接点８２のうち１つでも導通していなければ、異常が発生しているとしてフッ素ガス発生装置１に電力が供給されない。

ここで、ブレイク接点８２が導通していない場合というのは、メーク接点８１が溶着してしまっており、対応するブレイク接点８２が導通状態となることができなくなっている場合である。これにより、フッ素ガス発生装置１に電力を供給する前にメーク接点８１の溶着を検出し、全てのメーク接点８１が溶着していない場合にのみフッ素ガス発生装置１に電力を供給することができる。

なお、フッ素ガス発生装置１に電力を供給する前にメーク接点８１が溶着してないことを確認しているのは、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１が溶着していると、ＨＨＨ電極６、１２とＣＯＭ電極１１、１７とが導通しても、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１の導通が切れず、電力遮断回路８４によりフッ素ガス発生装置１への電力の供給を遮断することができないからである。

フッ素ガス発生装置１に電力が供給されると、交流電源４により交流電圧が印加され、前述したようにセーフティリレー３９ａ、３９ｂに電流が流れる。また、電解浴２２の液面がＨＨＨ電極６、１２の下端よりも下方にあれば、前述したようにセーフティリレー５１ａ、５１ｂに電流が流れる。これにより、４つのメーク接点８１が導通するとともに、４つのブレイク接点８２の導通が切れる。

また、フッ素ガス発生装置１に電力が供給されると、電解浴２２がヒータ１８により加熱されて溶融する。電解浴２２が溶融すると、Ｌ電極９、１５及びＬＬ電極１０、１６はＣＯＭ電極１１、１７と導通していない状態からＣＯＭ電極１１、１７と導通した状態に切り替わる。これにより、Ｌ電極９、１５及びＬＬ電極１０、１６とＣＯＭ電極１１、１７との間の回路の動作確認を行うことができる。その後、陽極２６及び陰極２７との間に電圧が印加されて前述した電気分解が開始される。

電解浴２２の電気分解が行われている間、ＨＨ電極７、１３が電解浴２２に浸っておらず、且つ、Ｌ電極９、１５が電解浴２２に浸っているとき、すなわち、電解浴２２の液面がＨＨ電極７、１３の下端よりも下方で、且つ、Ｌ電極９、１５の下端以上にある場合に、液面確認部７１により、電解浴２２の液面の位置が正常であると判断され、電気分解が続行される。一方、ＨＨ電極７、１３が電解浴２２に浸たっている場合、又は、Ｌ電極９、１５が電解浴２２に浸っていない場合、すなわち、電解浴２２の液面がＨＨ電極７、１３の下端以上、又は、Ｌ電極９、１５の下端よりも下方にある場合に、液面確認部７１により、電解浴２２の液面の位置が異常であると判断され、陽極２６と陰極２７との間に電圧が印加されるのが停止されて電気分解が停止される。

そして、電解浴２２の液面がＨＨ電極７、１３の下端とＬ電極９、１５の下端との間にある場合、さらに、Ｈ電極８、１４が電解浴２２に浸っていないときには、すなわち、Ｈ電極８、１４とＣＯＭ電極１１、１７とが導通し、フォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子から液体供給量調整部７０に電流が出力されていないときには、液体供給装置５により電解槽２にＨＦを供給する。一方、Ｈ電極８、１４が電解浴２２に浸っているときには、すなわち、Ｈ電極８、１４とＣＯＭ電極１１、１７とが導通し、フォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子から液体供給量調整部７０に電流が出力されているときには、液体供給装置５により電解槽２にＨＦを供給するのを停止する。これにより、電解浴２２の液面は、Ｈ電極８、１４の下端近傍に保持される。

次に、電解浴２２の電気分解を行っている間に、フッ素ガス発生装置１に異常が発生したときの動作について説明する。

Ｈ電極８、１４に接続されたフォトカプラ６１ｂの両方が故障し、フォトトランジスタ６５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通した状態となったときには、電解浴２２の液面がＨ電極８、１４の下端よりも下方に位置するようになっても、液体供給装置５により電解槽２にＨＦが供給されない。この場合には、さらに電気分解が進み、電解浴２２の液面がＬ電極９、１４の下端よりも下方まで下がり、フォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子に電流が流れなくなったときに、液面確認部７１が電解浴２２の液面が下がりすぎていることを検知し、陽極２６と陰極２７との間に電圧を印加するのが停止されて電気分解が停止される。

ここで、さらに、Ｌ電極９、１４に接続されたフォトカプラ６１ｃの両方が故障し、フォトトランジスタ６５ｃのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通した状態となっているときには、電気分解が進んで電解浴２２の液面がさらに下がる。そして、電解浴２２の液面がＬＬ電極１０、１６の下端よりも下方まで下がり、ＬＬ電極１０、１６とＣＯＭ電極１１、１７とが導通しなくなったときには、前述したように、トランジスタ６９のエミッタ端子に電流が流れなくなる。電力遮断回路８４はこれを検知して、フッ素ガス発生装置１への電力供給を遮断する。

なお、Ｈ電極８、１４にそれぞれ接続されたフォトカプラ６１ｂの一方のみが故障してそのフォトトランジスタ６５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通した状態となっている場合には、他方のエミッタ端子から電流が出力されるか否かによって電解浴２２の液面がＨ電極８、１４の下端よりも下方にあるか否かを判別し、上述したように、液体供給装置５によるＨＦの供給及びその停止を行うことができる。

また、Ｌ電極９、１５に接続されたフォトカプラ６１ｃの一方のみが故障してそのフォトトランジスタ６５ｃのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通した状態となっている場合には、他方のフォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子から液面確認部７１に電流が出力されなくなったときに電気分解が停止される。

さらに、ＬＬ電極１０、１６に接続されたフォトカプラ６１ｄの一方のみが故障してそのフォトトランジスタ６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通した状態となっている場合には、他方のフォトトランジスタ６５ｄのエミッタ端子から液面確認部７１に電流が出力されなくなったときにフッ素ガス発生装置１への電力の供給が遮断される。

一方、Ｈ電極８、１４接続されたフォトカプラ６１ｂの両方が故障し、フォトトランジスタ６５ｂのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通しない状態となったときには、電解浴２２の液面がＨ電極８、１４の下端以上となっても、液体供給装置５により電解槽２にＨＦが供給され続ける。この場合には、液体供給装置５により電解槽２にさらにＨＦが供給され、電解浴２２の液面がＨＨ電極７、１３の下端以上に上昇し、フォトトランジスタ６５ｂのエミッタ端子に電流が流れたときに、液面確認部７１が電解浴２２の液面が上昇しすぎていることを検知し、陽極２６と陰極２７との間に電圧を印加するのが停止されて電気分解が停止し、ＨＦの供給も停止される。

ここで、さらに、ＨＨ電極７、１３に接続されたフォトカプラ６１ａの両方が故障し、フォトトランジスタ６５ａのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通しない状態となっているときには、ＨＦがさらに供給され続けて電解浴２２の液面が上昇する。そして、電解浴２２の液面がＨＨＨ電極６、１２の下端以上となり、ＨＨＨ電極６、１２とＣＯＭ電極１１、１７とが導通したときには、前述したようにセーフティリレー５１ａ、５１ｂに電流が流れなくなり、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１の導通が切れる。電力遮断回路８４はこれを検知して、フッ素ガス発生装置１への電力供給を遮断し、ＨＦの供給も停止する。

また、ＨＨ電極７、１３に接続されたフォトカプラ６１ａの一方のみが故障してそのフォトトランジスタ６５ｃのコレクタ端子とエミッタ端子とが常に導通しない状態となっている場合には、他方のフォトトランジスタ６５ｃのエミッタ端子から液面確認部７１への電流が遮断されたときに電気分解が停止される。

さらに、ＨＨＨ電極６、１２とＣＯＭ電極１１、１７との間には、それぞれ、２つのセーフティリレー５１ａ、５１ｂが設けられているため、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１の一方の導通が切れなかったとしても、他方の導通が切れれば電力遮断回路８４によりフッ素ガス発生装置１への電力の供給が遮断される。

このように、フッ素ガス発生装置１に異常が発生した場合には、電気分解が停止される、あるいは、フッ素ガス発生装置１への電力の供給が停止されるため、フッ素ガス発生装置１の安全性が保たれる。

以上に説明した本実施の形態によると、電解槽２に互いに高さの異なる電極６〜１１及び電極１２〜１７が設けられており、電極６〜１０、１２〜１６が電解浴２２に浸かると、電極６〜１０、１２〜１６と、ＣＯＭ電極１１、１７とが導通し、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄに電流が流れ、フォトトランジスタ４５ａ、４５ｂ、６５ａ〜６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子から電流が出力される。これにより、電解浴２２の液面の高さを複数の段階で検出することができる。

また、交流電源４により交流電圧が印加されるため、電極６〜１０、１２〜１６とＣＯＭ電極１１、１７との間に流れる電流により電解浴２２において電気分解が発生するのを抑制することができる。また、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄは比較的低電流で動作させることができるので、電解浴２２に流れる電流を小さくし、電極６〜１０、１２〜１６とＣＯＭ電極１１、１７との間に流れる電流により電解浴２２において電気分解が発生するのを抑制することができる。

また、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄと並列に、抵抗４２ａ、４２ｂ、６２ａ〜６２ｄがそれぞれ接続するとともに、交流電源４及び発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄと直列に抵抗４３、６３ａ〜６３ｄを接続することにより、電解浴２２に流れる電流の値を小さくして、電解浴２２において電気分解が発生するのを抑制することができるとともに、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄに適切な値の電流を流すことができる。

また、ＣＯＭ電極１１、１７が電極６〜１０、１２〜１６と導通する電極を兼ねているので、電極の数が少なくてすみ、フッ素ガス発生装置１全体の構成が簡単になる。

また、ＨＨＨ電極６、１２は、フッ素ガス発生装置１の動作が正常に行われている間は電解浴２２に接触しないため、正常動作中にその動作確認を行うことができないが、スイッチ４０によりＨＨＨ端子とＣＯＭ端子とを導通させることにより、ＨＨＨ端子とＣＯＭ端子との間に接続された回路の動作確認を行うことができる。

また、ＨＨＨ電極６、１２が電解浴２２に浸ったときに、セーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１の導通が切れるため、フッ素ガス発生装置１への電力を確実に遮断することができる。また、メーク接点８１が溶着してしまっている場合には、ＨＨＨ電極６、１２が電解浴２２に浸ってもセーフティリレー５１ａ、５１ｂのメーク接点８１の導通は切れないが、セーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂのブレイク接点８２の全てが導通している、すなわち、全てのメーク接点８１が溶着していないときにのみフッ素ガス発生装置１に電力が供給されるため、メーク接点８１が溶着した状態でフッ素ガス発生装置１に電力が供給されるのを防止することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。

例えば、本実施の形態では、４つのセーフティリレー３９ａ、３９ｂ、５１ａ、５１ｂのメーク接点８１同士が直列に接続されているとともに電力遮断回路８４に接続されており、ブレイク接点８２同士が直列に接続されているとともに電力供給許可回路８５に接続されていたが、メーク接点８１同士が直列に接続されておらず、別々に電力遮断回路８４に接続されていてもよく、ブレイク接点８２同士がそれぞれ直列に接続されておらず、別々に電力供給許可回路８５に接続されていてもよい。この場合にも、電力遮断回路８４は、接続されたメーク接点８１のいずれかの導通が切れたときにフッ素ガス発生装置１への電力の供給を遮断し、電力供給許可回路８５は、接続された全てのブレイク接点８２が導通しているときにのみ、フッ素ガス発生装置１への電力供給を許可する。

また、本実施の形態では、１０Ｖ端子とＣＯＭ端子との間にセーフティリレー３９ａ及びこれに接続された回路と、セーフティリレー３９ｂ及びこれに接続された回路が設けられていたが、これらのうちいずれか一方のみが設けられていてもよい。

また、本実施の形態では、１０Ｖ端子とＨＨＨ端子との間にセーフティリレー５１ａ及びこれに接続された回路と、セーフティリレー５１ｂ及びこれに接続された回路が設けられていたが、これらのうちいずれか一方のみが設けられていてもよい。

また、本実施の形態では、ＣＯＭ端子とＨＨＨ端子とを導通させるためのスイッチ４０が設けられていたが、スイッチ４０は設けられていなくてもよい。

また、本実施の形態では、液体供給装置５による電解槽２へのＨＦの供給及びその停止を切り替える際の基準となる電解浴２２の液面の高さを検知するためのＨ電極８、１４及びＣＯＭ電極１１、１７のほかに、種々の以上が発生したときに電気分解を停止させる際の基準となる電解浴２２の液面の高さを検知するためのＨＨ電極７、１３及びＬ電極９、１５、並びに、フッ素ガス発生装置１への電力の供給を停止する際の基準となる電解浴２２の液面の高さを検知するためのＨＨＨ電極６、１２及びＬＬ電極１０、１６が設けられていたが、ＨＨＨ電極６、１２、ＨＨ電極７、１３、Ｌ電極９、１５及びＬＬ電極１０、１６のうちのいくつかが設けられていなくてもよい。

また、本実施の形態においては、ＣＯＭ電極１１、１７が、電極６〜１０、１２〜１６と導通する電極となっていたが、電極６〜１０、１２〜１６と導通するＣＯＭ電極が個別に設けられていてもよい。

また、本実施の形態においては、電極１２〜１７が、それぞれ、電極６〜１１と同じ高さに設けられていたが、これらの電極うちＨ電極１４を除く電極１２、１３、１５、１６、１７が、それぞれ、電極６、７、９、１０、１１と異なる高さに配置されていてもよい。この場合にも、電極６、７、９、１０とＣＯＭ電極１１との間に接続されたフォトトランジスタ６５ａ、６５ｂ、６５ｄ、及び、電極１２、１３、１５、１６とＣＯＭ電極１７との間に接続されたフォトトランジスタ６５ａ、６５ｂ、６５ｄの一方が故障しても、他方により、電解浴２２の液面の高さを検出することができる。

また、本実施の形態においては、陽極室２４及び陰極室２５にそれぞれ電極６〜１１及び電極１２〜１７が設けられていたが、これらのうちの一方のみが設けられていてもよい。

また、本実施の形態では、発光ダイオードに直列及び並列に抵抗を接続していたが、これらの抵抗の一部又は全てが接続されていなくてもよい。この場合には、交流電源４により印加する交流電圧の値を調整するなどして、発光ダイオードに適切な電流が流れるとともに、電解浴２２に流れる電流の値が小さくなるようにすればよい。

また、本実施の形態では、電気分解を行うことによりフッ素ガスを発生させるフッ素ガス発生装置１に本発明を適用した例について説明したが、電気分解によりフッ素ガス以外の気体を発生させる装置に本発明を適用することも可能である。さらには、本発明を、電気分解を行う電解槽以外の液槽に対して適用することも可能である。

本発明における実施の形態に係るフッ素ガス発生装置の概略構成図である。 図１の制御装置の回路図である。 図２のセーフティリレーの回路図である。

符号の説明

１ フッ素ガス発生装置
２ 電解槽
４ 交流電源
６〜１７ 電極
３１ａ、３１ｂ フォトカプラ
３２ａ、３２ｂ、３３ 抵抗
３４ａ、３４ｂ 発光ダイオード
３５１、３５ｂ フォトトランジスタ
３９ａ、３９ｂ セーフティリレー
４０ スイッチ
４１ａ、４１ｂ フォトカプラ
４２ａ、４２ｂ、４３ 抵抗
４４ａ、４４ｂ 発光ダイオード
４５ａ、４５ｂ フォトトランジスタ
５１ａ、５１ｂ セーフティリレー
６１ａ〜６１ｄ フォトカプラ
６２ａ〜６２ｄ 抵抗
６３ａ〜６３ｄ 抵抗
６４ａ〜６４ｄ 発光ダイオード
６５ａ〜６５ｄ フォトトランジスタ
８１ メーク接点
８２ ブレイク接点
８４ 電力遮断回路
８５ 電力供給許可回路

Claims (11)

1. 密閉された液槽の内部に設けられた一対の電極と、
   前記一対の電極に接続された交流電源と、
   前記一対の電極及び前記交流電源に直列に接続されており、前記液槽の外部に配置されたフォトカプラとを備えていることを特徴とする液面検出回路。
2. 前記交流電源及び前記フォトカプラの発光ダイオードに直列に接続された第１抵抗をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の液面検出回路。
3. 前記フォトカプラの発光ダイオードに並列に接続された第２抵抗をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液面検出回路。
4. 前記液槽が、電気分解により気体を発生させるための電解槽であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液面検出回路。
5. 前記気体がフッ素であることを特徴とする請求項４に記載の液面検出回路。
6. 請求項１〜５に記載の液面検出回路を複数備えており、
   複数の前記液面検出回路における前記一対の電極の一方は、互いにその下端が異なる高さに位置するように配置されていることを特徴とする液面検出システム。
7. 複数の前記液面検出回路における前記一対の電極の他方が１つの電極により兼用されていることを特徴とする請求項７に記載の液面検出システム。
8. 複数の前記液面検出回路の１つを構成する前記一対の電極の前記一方が、正常な状態での液槽内の液面の高さよりも上方に位置する異常検知電極となっていることを特徴とする請求項６又は７に記載の液面検出システム。
9. 前記異常検知電極を含む前記一対の電極を互いに接続させる接続回路をさらに備えていることを特徴とする請求項８に記載の液面検出システム。
10. 前記異常検知電極を含む一対の電極が互いに導通していないときにのみ導通する第１接点、及び、前記第１接点が溶着しておらず、且つ、前記交流電源により前記一対の電極に交流電圧が印加されたときに導通する第２接点を有するガイド付きセーフティリレーと、
    システムに電力が供給されていない状態で、前記第２接点が導通している場合にのみ、システムへの電力供給を許可する電力供給許可手段と、
    前記システムに電力が供給された状態で、前記第１接点が導通しなくなったときに、前記システムへの電力供給を遮断する電力供給遮断手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項８又は９に記載の液面検出システム。
11. 前記ガイド付きセーフティリレーを複数備えており、
    複数の前記ガイド付きセーフティリレーの前記第１接点同士及び前記第２接点同士が、それぞれ直列に接続されていることを特徴とする請求項１０に記載の液面検出システム。

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