JP2010185654A - オゾン濃縮装置の運転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オゾン濃縮装置の運転方法は、オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面から気化部までを液封する配管と、を具備するオゾン濃縮装置の運転方法であって、配管における液封する部分に液体オゾンが規定以上貯まらないように、配管に流入するオゾン量を調整することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るオゾン濃縮装置を備えた高濃度オゾンガス生成装置を示す概略構成図、図2は、図1中のオゾン濃縮装置の冷却部、液封配管、気化部を示す概略構成図であり、本実施形態の高濃度オゾンガス生成装置は、例えば半導体製造装置の酸化膜の形成等に用いる高濃度オゾンガス(一般的にオゾンの体積比率が約10%以上)を生成するもので、この高濃度オゾンガスを連続して生成するのが可能な装置である。
図3は、本発明の第2の実施形態に係るオゾン濃縮装置を備えた高濃度オゾンガス生成装置を示す概略構成図である。この第2の実施形態が第1の実施形態と違う点は、導入配管3内のオゾンガスを取り出すための排出配管(排出口)21を、冷却管3cに対して設けた点である。この排出配管21は冷却管3cの後半部に設けられ、バルブV5を介して気体配管5に接続され、この排出配管21には圧力チャンバ22が接続されている。また、排出配管21を設けたのに伴い、気体配管5の排出配管21との接続先より下流にはバキュームポンプPが設けられると共に、接続先より上流側にはバルブV4が設けられ、更に、導入配管3の冷却管3cより上流側にはバルブV3が設けられている。
Claims (3)
- オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、
前記冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、
前記液体オゾンと前記非凝縮気体との分離境界面から前記気化部までを液封する配管と、を具備するオゾン濃縮装置の運転方法であって、
前記配管における液封する部分に前記液体オゾンが規定以上貯まらないように、前記配管に流入するオゾン量を調整することを特徴とするオゾン濃縮装置の運転方法。 - 前記分離境界面における前記オゾンの液位に基づいて前記配管における液封する部分に流入するオゾン量の調整を行うことを特徴とする請求項1記載のオゾン濃縮装置の運転方法。
- オゾナイザの放電圧調整または原料ガスの流量調整により、前記配管における液封する部分に流入するオゾン量の調整を行うことを特徴とする請求項1または2記載のオゾン濃縮装置の運転方法。
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