JP4948962B2 - 高濃度オゾン水製造装置及び高濃度オゾン水製造方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 放電法で発生するオゾンガスを用いて液化法または吸着法によって体積比が20%以上の高濃度オゾンガスを製造する高濃度オゾンガス製造部と、
前記高濃度オゾンガスを溶解部で純水に溶解させることによって高濃度オゾン水を製造する高濃度オゾン水製造部と、を備え、
前記高濃度オゾンガス製造部から前記溶解部までの前記高濃度オゾンガスのオゾンガス密度を1800g/m3以下とすることを特徴とする高濃度オゾン水製造装置。 - 前記高濃度オゾンガス製造部と前記高濃度オゾン水製造部とを二重配管で接続し、
前記二重配管の内側配管の内部に前記高濃度オゾンガスを通過させ、前記内側配管と外側配管との間を真空とすることを特徴とする請求項1記載の高濃度オゾン水製造装置。 - 前記高濃度オゾン水製造部の溶解部は、前記純水を駆動流とし、前記高濃度オゾンガスを吸引流とし、これらを合流させて前記純水に前記高濃度オゾンガスを溶解させるエゼクタであることを特徴とする請求項1または2記載の高濃度オゾン水製造装置。
- 前記高濃度オゾンガスの前記エゼクタに対する流入経路に設けられた所定の容積を有する純水トラップと、
前記エゼクタから前記流入経路へ前記純水が漏れた場合に前記純水トラップの底部に貯留した前記純水を検出する純水検出手段と、
前記流入経路における前記純水トラップと前記エゼクタとの間に設けられ、前記純水検出手段が前記純水を検出した際に、前記エゼクタからの前記純水を遮断する遮断弁と、を備えることを特徴とする請求項3記載の高濃度オゾン水製造装置。 - 前記高濃度オゾンガスを加温する熱交換器を前記高濃度オゾンガス製造部と前記純水トラップとの間で前記純水トラップの近傍に設置することを特徴とする請求項4記載の高濃度オゾン水製造装置。
- 前記高濃度オゾンガスを溶解させる前記純水を脱気純水とすることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の高濃度オゾン水製造装置。
- 放電法で発生させたオゾンガスを用いて液化法または吸着法によって体積比が20%以上の高濃度オゾンガスを製造し、前記高濃度オゾンガスを製造してから前記高濃度オゾンガスを純粋に溶解させるまでオゾンガス密度1800g/m3以下として、前記高濃度オゾンガスを前記純水に溶解させることによって高濃度オゾン水を製造することを特徴とする高濃度オゾン水製造方法。
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