JP2010182867A - 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
剛性を高めつつ高精度な制御が可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】
本発明の位置決め装置は、所定の自由度で物体を位置決めする位置決め装置であって、前記物体を駆動し、前記自由度よりも多い複数の駆動手段と、前記物体の目標位置を表す座標系を、前記自由度に対応する座標系から前記複数の駆動手段に対応する座標系へ変換する変換手段と、前記物体が前記目標位置に近づくように、前記複数の駆動手段を制御する制御手段とを有し、前記変換手段は、前記物体の形状の計測結果を利用して、前記複数の駆動手段の間の相対位置関係を保持するように変換する。
【選択図】図2
Description
5:レチクル
8:ウエハ
9:ウエハステージ
10:制御手段
102:センサ
103:光学素子
104:支持枠
108:リニアモータ
110:微動ステージ
111:ステージ天板
115:駆動手段
116:余剰駆動手段
120、120a:調整機構
200:露光装置
Claims (6)
- 所定の自由度で物体を位置決めする位置決め装置であって、
前記物体を駆動し、前記自由度よりも多い複数の駆動手段と、
予め計測された前記物体の形状の計測結果を用いて、前記物体の目標位置から前記複数の駆動手段の目標位置を算出する算出手段と、
前記複数の駆動手段の前記目標位置に近づくように該複数の駆動手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする位置決め装置。 - 前記複数の駆動手段は、前記自由度と同数の複数の第1駆動手段と、該第1駆動手段とは異なる位置に設けられた第2駆動手段とを有し、
前記算出手段は、前記物体の目標位置から前記複数の第1駆動手段の目標位置を算出し、該複数の第1駆動手段の目標位置により定まる平面上に前記第2駆動手段の目標位置を設定することを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。 - 前記複数の駆動手段の実位置を検出する検出手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記複数の駆動手段の前記目標位置と前記実位置との差が小さくなるように、前記複数の駆動手段を制御することを特徴とする請求項1又は2記載の位置決め装置。 - 前記複数の駆動手段は、ピエゾアクチュエータであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の位置決め装置。
- 原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、
請求項1乃至4のいずれか一に記載の位置決め装置を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項5記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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