JP2010180097A - シリコン製造に用いるカーボンヒータの再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シランガスと水素ガスとの反応により生成するシリコンを析出させるためのシリコン芯線が立設されている反応器内に取り付けられており、シリコン芯線を通電可能な温度に加熱するためのカーボンヒータ9について、シリコンの析出終了後、カーボンヒータ9を反応器から取り外し、取り外されたカーボンヒータ9を誘導加熱し、カーボンヒータ9に析出しているシリコンを溶融落下させて除去する。
【選択図】図3
Description
(1)前記カーボンヒータが、一対のカーボンロッドと、該カーボンロッドの上端同士に着脱自在に電気的に連結されているカーボン製橋絡部材とから構成されており、該カーボンロッドの下端部を反応器の底部基板に設けられた電極に接続することにより、該反応器内に該カーボンヒータが取り付けられること、
(2)前記カーボンヒータのカーボンロッドを、反応容器内に生成するシリコンロッドよりも長く設定しておくこと、
(3)前記一対のカーボンロッドからカーボン製橋絡部材を取り外し、次いで、該カーボンロッドを、反応器の底部基板から取り外し、この後、該カーボンロッド及びカーボン製橋絡部材のそれぞれを高周波加熱すること、
(4)高周波加熱を、高周波コイルを用いて行うこと、
が好適である。
図1は、再生すべきカーボンヒータが使用されるシリコン製造装置の概略構造を示す側断面であり、
図2は、再生すべきカーボンヒータの分解斜視図であり、
図3は、カーボンヒータの誘導加熱を説明するための図である。
即ち、始めにカーボンヒータ9に通電し、このカーボンヒータ9からの放熱により、シリコン芯線7を、通電可能な温度(具体的には、400℃以上)に加熱する。シリコン芯線7が、通電可能な温度に到達した段階で、カーボンヒータ9への通電を停止し、シリコン芯線7への通電を開始し、通電加熱によって、シリコン芯線7の温度をシリコンの析出温度以上に加熱する。シリコンの析出温度は、約600℃以上であるが、シリコン芯線7上にシリコンを迅速に析出されるため、一般的には、1000〜1100℃程度の温度に保持されるように、シリコン芯線7を通電加熱するのがよい。
SiHCl3 +H2 → Si + 3HCl
尚、上記の反応性ガスにおいては、一般に還元性ガス(水素ガス)が過剰に使用される。
また、上記の還元反応と共に、下記のように、トリクロロシランの熱分解によってもシリコンが生成する。
4SiHCl3 → Si+ 3SiCl4 + 2H2
尚、カーボン製橋絡部材13とカーボンロッド11との連結は、上記のような螺子を用いた手段に限定されるものではなく、種々の手段を採用することができる。例えば、カーボンロッド11の上端に、螺子のない通常の突起を形成し、これを、カーボン製橋絡部材13の端部に形成されている孔に嵌め込むことにより、両者を連結することもできる。
このようにして再生されたカーボンヒータ9は、再び反応室A内に立設されて、次のシリコンロッドの生産に再利用される。
9:カーボンヒータ
10:シリコンロッド
11:カーボンロッド
13:カーボン製橋絡部材
Claims (5)
- シランガスと水素ガスとの反応により生成するシリコンを析出させるためのシリコン芯線が立設されている反応器内に取り付けられており、該シリコン芯線を通電可能な温度に加熱するためのカーボンヒータについて、シリコンの析出終了後、該カーボンヒータを反応器から取り外し、取り外されたカーボンヒータを誘導加熱し、該カーボンヒータに析出しているシリコンを溶融落下させて除去することを特徴とするカーボンヒータの再生方法。
- 前記カーボンヒータが、一対のカーボンロッドと、該カーボンロッドの上端同士に着脱自在に電気的に連結されているカーボン製橋絡部材とから構成されており、該カーボンロッドの下端部を反応器の底部基板に設けられた電極に接続することにより、該反応器内に該カーボンヒータが取り付けられる請求項1に記載の再生方法。
- 前記カーボンヒータのカーボンロッドを、反応容器内に生成するシリコンロッドよりも長く設定しておく請求項1または2に記載の再生方法。
- 前記一対のカーボンロッドからカーボン製橋絡部材を取り外し、次いで、該カーボンロッドを、反応器の底部基板から取り外し、この後、該カーボンロッド及びカーボン製橋絡部材のそれぞれを高周波加熱する請求項3に記載の再生方法。
- 高周波加熱を、高周波コイルを用いて行う請求項1乃至4の何れかに記載の再生方法。
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JPS61209953A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-18 | ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 炭素成形体を再生する方法及び装置 |
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