JP2010170624A - 樹脂スタンパー、その製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1次型締め力で型締めを行った後、第1の型締め力に対し1/7ないし1/25の第2次型締め力で型締めを行なって、熱硬化性樹脂を2段階で加圧する。
【選択図】図2
Description
該磁気記録媒体の中心孔の孔径よりも3mm以上小さい孔径を持つ中心孔を有することを特徴とする。
固定側金型上に凹凸パターンを有する原盤を設け、該固定側金型上に移動側金型を合わせて配置し、該原盤と該移動側金型と間のキャビティー内に溶融した射出成形樹脂材料を射出し、第1次型締め力で型締めを行った後、該第1の型締め力に対し1/7ないし1/25の第2次型締め力で型締めを行なって、該射出成形樹脂材料を2段階で加圧し、冷却することにより樹脂を成形し、成形された樹脂に中心孔を設けることを特徴とする。
ビスフェノールA・エチレンオキサイド変性ジアクリレート(BPEDA)
ジペンタエリスリトールヘキサ(ペンタ)アクリレート(DPEHA)
ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート(DPEHPA)
ジプロピレングリコールジアクリレート(DPGDA)
エトキシレイテドトリメチロールプロパントリアクリレート(ETMPTA)
グリセリンプロポキシトリアクリレート(GPTA)
4-ヒドロキシブチルアクリレート(HBA)
1,6-ヘキサンジオールジアクリレート(HDDA)
2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)
2-ヒドロキシプロピルアクリレート(HPA)
イソボルニルアクリレート(IBOA)
ポリエチレングリコールジアクリレート(PEDA)
ペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)
テトラヒドロフルフリルアクリレート(THFA)
トリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)
トリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA)
・メタクリレート類
テトラエチレングリコールジメタクリルレート(4EDMA)
アルキルメタクリレート(AKMA)
アリルメタクリレート(AMA)
1,3-ブチレングリコールジメタクリレート(BDMA)
n-ブチルメタクリレート(BMA)
ベンジルメタクリレート(BZMA)
シクロヘキシルメタクリレート(CHMA)
ジエチレングリコールジメタクリレート(DEGDMA)
2-エチルヘキシルメタクリレート(EHMA)
グリシジルメタクリレート(GMA)
1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート(HDDMA)
2-ヒドロキシエチルメタクリレート(2-HEMA)
イソボルニルメタクリレート(IBMA)
ラウリルメタクリレート(LMA)
フェノキシエチルメタクリレート(PEMA)
t-ブチルメタクリレート(TBMA)
テトラヒドロフルフリルメタクリレート(THFMA)
トリメチロールプロパントリメタクリレート(TMPMA)
特に、イソボルニルアクリレート(IBOA)、トリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA)、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート(HDDA)、ジプロピレングリコールジアクリレート(DPGDA)、ネオペンチルグリコールジアクリレート(NPDA)、
エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(TITA)などが粘度10CP以下にすることができるため良好である。
ディスクは半径9mm〜22mmのデータゾーンにおいて、トラック密度が325kTPI(track per inch、78nmトラックピッチに相当)である。
まず、本発明に係る樹脂スタンパを作製した。
スタンパの型となる原盤の基板として6インチ径のSiウエハーを用意した。一方、日本ゼオン社製のレジストZEP−520Aをアニソールで2倍に希釈し、0.05μmのフィルタでろ過した。Siウエハー上にレジスト溶液をスピンコートした後、200℃で3分間プリベークして、厚さ約50nmのレジスト層を形成した。
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:55℃
pH:4.0
電流密度:20A/dm2。
まず、次に中心孔径12mm、外径48mmの磁気ディスク媒体の場合を記す。
第1次型締め力、第2次型締め力を種々変化させて、樹脂スタンパーを作成した。
樹脂スタンパーの中心孔径は磁気ディスク原料媒体の中心孔径よりも3mm以上小さくし、型締め力の比(第1次型締め力/第2次型締め力)が7以上25以下の範囲で実施例2と同様にして樹脂スタンパーを得たところ、高次偏芯量及びラジアルチルトが良好な樹脂スタンパーが得られた。さらに、外径を7mm以上大きくすること以外は同様にして樹脂スタンパーを得たところ、高次偏芯量及びラジアルチルトが良好な樹脂スタンパーが得られた。
Claims (4)
- 磁気記録媒体の磁気記録層をドライエッチングして、該磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、該凹凸パターンを転写するための樹脂スタンパーであって、
該磁気記録媒体の中心孔の孔径よりも3mm以上小さい孔径を持つ中心孔を有することを特徴とする樹脂スタンパー。 - 前記磁気記録媒体の外径よりも7mm以上大きい外径を有することを特徴とする請求項1に記載の樹脂スタンパー。
- 磁気記録媒体の磁気記録層をドライエッチングして、該磁気記録層の表面に凹凸パターンからなるディスクリートトラックを形成するためのマスクとして使用される紫外線硬化性樹脂に、該凹凸パターンを転写するための樹脂スタンパーの製造方法であって、
固定側金型上に凹凸パターンを有する原盤を設け、該固定側金型上に移動側金型を合わせて配置し、該原盤と該移動側金型と間のキャビティー内に溶融した射出成形樹脂材料を射出し、第1次型締め力で型締めを行った後、該第1の型締め力に対し1/7ないし1/25の第2次型締め力で型締めを行なって、該射出成形樹脂材料を2段階で加圧し、冷却することにより樹脂を成形し、成形された樹脂に中心孔を設けることを特徴とする樹脂スタンパーの製造方法。 - 前記中心孔は、該磁気記録媒体の中心孔の孔径よりも3mm以上小さい孔径を持つことを特徴とする樹脂スタンパの製造方法。
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JP2009013471A JP2010170624A (ja) | 2009-01-23 | 2009-01-23 | 樹脂スタンパー、その製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102115123B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2020-05-26 | 이상원 | 단말기 커버 제조용 금형 및 이를 이용한 단말기 커버 제조방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003228891A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-15 | Sony Disc Technology Inc | 光学記録媒体の製造方法 |
JP2008198335A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-08-28 | Tdk Corp | 磁気記録媒体、記録再生装置および磁気記録媒体の製造方法 |
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2009
- 2009-01-23 JP JP2009013471A patent/JP2010170624A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003228891A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-15 | Sony Disc Technology Inc | 光学記録媒体の製造方法 |
JP2008198335A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-08-28 | Tdk Corp | 磁気記録媒体、記録再生装置および磁気記録媒体の製造方法 |
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KR102115123B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2020-05-26 | 이상원 | 단말기 커버 제조용 금형 및 이를 이용한 단말기 커버 제조방법 |
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