JP2010159670A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010159670A JP2010159670A JP2009001756A JP2009001756A JP2010159670A JP 2010159670 A JP2010159670 A JP 2010159670A JP 2009001756 A JP2009001756 A JP 2009001756A JP 2009001756 A JP2009001756 A JP 2009001756A JP 2010159670 A JP2010159670 A JP 2010159670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- inductance
- magnetic body
- rotor
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
【解決手段】インダクタンス検出部44は、少なくとも一つの磁性体102が設けられたインダクタンス被検出面に対向するように隙間を設けて配設され、インダクタンス信号を出力する。演算手段313は、基準位相信号発生手段が発生する基準位相信号を基準とする複数の回転位相に関するインダクタンス信号S1〜S3に基づいて、回転基準位置に対する磁性体102の位置(位相差)を算出する。温度推定手段314は、演算手段313で算出された磁性体102の位置に基づいて、インダクタンス検出部44が磁性体102に対向したときのインダクタンス信号を抽出し、該インダクタンス信号に基づいてロータの温度を推定する。
【選択図】図5
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載の真空ポンプにおいて、回転位相の各々に対して、位相差を有する複数のインダクタンス信号をそれぞれ抽出し、回転基準位置に対する磁性体の位置を特定するための信号を生成する信号生成手段を備え、演算手段は、信号生成手段で生成された信号に基づいて、回転基準位置に対する前記磁性体の位置を算出することを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項2に記載の真空ポンプにおいて、インダクタンス被検出面に、凹部と磁性体とをそれぞれ1以上配設したものである。
図5に示す検出部31の信号抽出部312では、図6に示した信号から、位相の異なる複数の信号をサンプリングする。ここでは、45degの位相間隔で3点の信号をサンプリングする。演算部313では、サンプリングされた信号S1〜S3の各レベルに基づき、次式(1)に示す信号判定値SHを算出する。
SH=(S1−S3)/(S2−S3) …(1)
Claims (3)
- ステータに対してロータを回転することによりガスを排気する真空ポンプにおいて、
前記ロータのロータ回転軸を中心とした円周上に設けられたインダクタンス被検出面と、
前記インダクタンス被検出面に配設され、前記ロータの温度監視範囲内にキュリー温度を有する少なくとも一つの磁性体と、
前記インダクタンス被検出面に対向するように隙間を設けて配設され、インダクタンス信号を出力するインダクタンス検出部と、
前記ロータの回転基準位置を検出して基準位相信号を発生する基準位相信号発生手段と、
前記基準位相信号を基準とする複数の回転位相に関する前記インダクタンス信号に基づいて、前記回転基準位置に対する前記磁性体の位置を算出する演算手段と、
前記演算手段で算出された前記磁性体の位置に基づいて、前記インダクタンス検出部が磁性体に対向したときの前記インダクタンス信号を抽出し、該インダクタンス信号に基づいて前記ロータの温度を推定する温度推定手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記回転位相の各々に対して、位相差を有する複数の前記インダクタンス信号をそれぞれ抽出し、前記回転基準位置に対する前記磁性体の位置を特定するための信号を生成する信号生成手段を備え、
前記演算手段は、前記信号生成手段で生成された信号に基づいて、前記回転基準位置に対する前記磁性体の位置を算出することを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記インダクタンス被検出面に、凹部と前記磁性体とをそれぞれ1以上配設したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009001756A JP5267135B2 (ja) | 2009-01-07 | 2009-01-07 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009001756A JP5267135B2 (ja) | 2009-01-07 | 2009-01-07 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010159670A true JP2010159670A (ja) | 2010-07-22 |
JP5267135B2 JP5267135B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=42577018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009001756A Active JP5267135B2 (ja) | 2009-01-07 | 2009-01-07 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5267135B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111295528A (zh) * | 2017-11-22 | 2020-06-16 | 埃地沃兹日本有限公司 | 磁性轴承控制装置和真空泵 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006083825A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2006194094A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007170258A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007327639A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-12-20 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2008240688A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Shimadzu Corp | 回転真空ポンプ |
-
2009
- 2009-01-07 JP JP2009001756A patent/JP5267135B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006083825A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2006194094A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007170258A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007327639A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-12-20 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2008240688A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Shimadzu Corp | 回転真空ポンプ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111295528A (zh) * | 2017-11-22 | 2020-06-16 | 埃地沃兹日本有限公司 | 磁性轴承控制装置和真空泵 |
CN111295528B (zh) * | 2017-11-22 | 2022-01-14 | 埃地沃兹日本有限公司 | 磁性轴承控制装置和真空泵 |
US11767851B2 (en) | 2017-11-22 | 2023-09-26 | Edwards Japan Limited | Magnetic bearing control apparatus and vacuum pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5267135B2 (ja) | 2013-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7564670B2 (en) | Vacuum pump | |
US7166978B2 (en) | Motor temperature sensor system and method to determine motor performance | |
JP4821308B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP5613839B2 (ja) | 移動する物体の絶対的な位置特定のための方法及び装置 | |
EP2261614B1 (en) | Combined amplitude and frequency measurements for non-contacting turbomachinery blade vibration | |
EP2317148A1 (en) | Vacuum pump | |
US10590955B2 (en) | Turbo-molecular pump | |
JP2018003615A (ja) | ロータ寿命推定装置および真空ポンプ | |
JP4732304B2 (ja) | 回転計及び回転計用プログラム | |
JP5212789B2 (ja) | 回転体のアンバランス修正方法及び装置 | |
JP2001201362A (ja) | 回転検出装置 | |
CN114320989B (zh) | 一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置 | |
JP5267135B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP4725328B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2009168782A (ja) | 磁気式エンコーダ装置及びこれを用いた位置検出方法 | |
JP2000018189A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2007256034A (ja) | 回転角度検出装置および検出装置付き軸受 | |
JP6436731B2 (ja) | 真空ポンプ及び該真空ポンプの異常原因推定方法 | |
JP5660292B2 (ja) | バランス修正装置と方法 | |
JP4559912B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP4353610B2 (ja) | 工作機械用の磁気軸受装置 | |
JP4941047B2 (ja) | 回転真空ポンプ | |
JP2009013825A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2006042537A (ja) | 磁気エンコーダと信号処理回路を付加したブラシレスdcモータ | |
JPH10299688A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130422 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5267135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |