JP2010158752A - フィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 コストを低減したフィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 複数のパンチ部５７ａが列設されたパンチ５７及び基台５５上に設けられた被打ち込み部材６０を用い、被打ち込み部材６０の上に載置された被加工板５１に複数の貫通孔５２を形成してフィルターとするフィルターの製造方法であって、被打ち込み部材６０は、被加工板５１が載置される側の第１の層５８と、この第１の層５８より軟質の第２の層５９とからなり、パンチ部５７ａを被打ち込み部材６０の上に載置された被加工板５１に打ち込み、その打ち抜き片６２を第２の層５９の内部に保持させることにより、被加工板５１に複数の貫通孔５２を形成する。
【選択図】 図７

Description

本発明は、被加工板に複数の貫通孔が設けられたフィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置に関する。

液体噴射装置は種々な液体を噴射するもので、中でも広く使用されているものに、インクジェット式記録装置がある。インクジェット式記録装置は、複数のノズル開口から液体であるインク滴を吐出するインク噴射ヘッドを備えている。このインク噴射ヘッドによりインク滴を媒体である記録紙等の表面に着弾させて画像や文字を印刷するようになっている。

そして、インク噴射ヘッド内に設けられたインクの供給流路には、インク内に混入した異物、即ち、何らかの原因で供給流路内に残留している合成樹脂等の微細片や気泡を取り除くための平板状のフィルターが配置されている。このフィルターとして、薄板にパンチ加工によって複数の貫通孔を設けたものが提案されている（特許文献１等参照）。特許文献１では、下受けダイとパンチとの間に軟質部材を設け、打ち抜き片を軟質部材の内部に押し込むことにより、パンチを受ける凹部を形成する必要がなくなると共にパンチとの位置あわせが不要となる。

特開２００６−２７２６３１号公報

しかしながら、パンチの先端のパンチ部を軟質部材内に押し込むとパンチ部に負荷がかかり、長期間に亘って使用するとパンチ部の湾曲や破断などの破損が生じ易いという問題があった。したがって、このようなパンチを長期間に亘って使用すると、所望の貫通孔を形成することができなくなり、歩留まりが低下してしまうという問題がある。

また、打ち抜き片が軟質部材に留まらず、パンチ部と共に軟質部材の表面まで出てきてしまうことがあった。軟質部材の表面に付着した打ち抜き片は、次の貫通孔の形成の際に、所望の貫通孔を形成することができず、歩留まりが低下してしまうという問題がある。

また、パンチ部は、微細な貫通孔を形成するためには高精度な寸法が要求されるものの、湾曲や破断といった破損によって寿命が短くなり、頻繁な交換が必要になってしまうという問題がある。
これらの問題により、フィルターのコストが高くなってしまう。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに搭載されるフィルターに限定されず、他の装置に搭載されるフィルターにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、コストを低減したフィルターの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、複数のパンチ部が列設されたパンチ及び基台上に設けられた被打ち込み部材を用い、被打ち込み部材の上に載置された被加工板に複数の貫通孔を形成するフィルターの製造方法であって、前記被打ち込み部材は、第１の層と、この第１の層より軟質の材料からなり且つ第１の層の基台側に設けられた第２の層とを有し、前記被打ち込み部材の上に載置された被加工板を前記パンチで打ち抜き、その打ち抜き片を前記第２の層の内部に保持させることにより、前記被加工板に複数の貫通孔を形成することを特徴とするフィルターの製造方法にある。
かかる態様では、被打ち込み部材が第１の層と第２の層とからなることにより、第１の層を薄くすることができる。これにより、被打ち込み部材（第１の層）の打ち抜き方向に交差する方向への肉寄せを低減して、パンチに生じる負荷を低減させることができる。また、被打ち込み部材の第２の層が確実に打ち抜き片を保持することにより、打ち抜き片の被打ち込み部材表面への付着が抑制される。さらに、パンチ部を貫通させる第１の層を薄くすることにより、パンチの打ち込み深さを浅く設定することができ、パンチに生じる負荷を低減させることができる。これにより、パンチ部の湾曲や破断などの破損が抑制され、フィルターの歩留まりが向上すると共にパンチの寿命が長くなり、フィルターを低コストで製造することができる。

ここで、前記被打ち込み部材は、前記第２の層の前記基台側にさらに第３の層を有するのが好ましい。
このように、第２の層の前記基台側に第３の層を設けることで、第２の層が反るのを抑制したり、基台と被打ち込み部材との接触状態を良好にしたりすることができ、パンチに生じる負荷をさらに低減させることができる。これにより、フィルターをより低コストで製造することができる。

また、前記第２の層は、多孔質部材からなることが好ましい。これにより、打ち抜きの際のパンチにかかる負荷を容易に低減させることができる。

また本発明の他の態様は、上記の製造方法により製造したフィルターを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体の吐出不良を防止して、信頼性を向上した液体噴射ヘッドを低コストで実現できる。

さらに本発明の他の態様は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の吐出不良を防止して、信頼性を向上した液体噴射ヘッドを低コストで実現できる。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係るフィルターの平面図である。 本発明の実施形態１に係る金型装置の断面図である。 本発明の実施形態１に係るパンチを示す斜視図である。 本発明の実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係るパンチの他の例を示す斜視図及び平面図である。 本発明の実施形態２に係る金型装置の断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
ここで本発明のフィルターの製造方法により製造したフィルターを具備する液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置について説明する。なお、図１は、本発明の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。

図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１は、例えば、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留される貯留室を有するインクカートリッジ（液体貯留手段）２が装着されたインクジェット式記録ヘッド１０（以下、記録ヘッド）を具備する。記録ヘッド１０はキャリッジ３に搭載されており、記録ヘッド１０が搭載されたキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、キャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。

次に、本実施形態に係る記録ヘッド１０について説明する。なお、図２は、実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図３はその断面図である。

図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を構成するヘッドホルダーの一例であるカートリッジケース１１は、上述したインクカートリッジ（図示なし）が装着されるカートリッジ装着部１２を有する。例えば、本実施形態では、このカートリッジ装着部１２に、ブラックインク及び複数色のカラーインクが充填された各インクカートリッジがそれぞれ装着されるようになっている。また、カートリッジケース１１の底面には、一端が各カートリッジ装着部１２に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路（第１の液体流路）１３がそれぞれ形成された管状の流路形成部１４が突設されている（図３参照）。

カートリッジケース１１の上面側、すなわち、カートリッジ装着部１２のインク連通路１３の開口部分には、インクカートリッジに挿入される複数のインク供給針１５が、インク内の気泡や異物を除去するためのフィルター１６を介して固定されている。

カートリッジケース１１の下面側には、シール部材１７及び回路基板１８を挟んで、ヘッド部材１９が固定されている。本実施形態に係るヘッド部材１９は、複数の圧電素子を有する圧電素子ユニット２０を収容するための中空箱体状の部材であるヘッドケース２１と、このヘッドケース２１のカートリッジケース１１とは反対側の端面に固定されるヘッド本体２２とで構成されている。ヘッド本体２２は、複数のノズル２３が穿設されたノズルプレート２４と、ノズル２３に連通する圧力発生室２５を含む流路が形成された流路形成基板２６と、流路形成基板２６のノズルプレート２４とは反対面側に配される振動板２７とで構成されている。これらノズルプレート２４及び振動板２７と流路形成基板２６とはそれぞれ接着剤によって接合されている。またヘッドケース２１には、一端側が圧力発生室２５に連通すると共に他端側がカートリッジケース１１のインク連通路１３に連通するインク供給路２８が設けられている。インク連通路１３とインク供給路２８との接続部分は、シール部材１７によって密封されている。

このようにカートリッジケース１１の下面側に、シール部材１７、回路基板１８、ヘッド部材１９を構成するヘッドケース２１及びヘッド本体２２の順で配し、これら各部材の外側にヘッド本体２２のノズル２３を露出する窓部２９を有する枠体３０をはめ込み、ネジ３１によってカートリッジケース１１に固定することで、インクジェット式記録ヘッド１０が形成される。

上述した記録ヘッド１０に設けられたフィルター１６が、本発明の実施形態１に係る製造方法によって製造される。ここで、フィルター１６について詳細に説明する。なお、図４は、フィルターの平面図である。

図４に示すように、フィルター１６は、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属材料や剛性の高い非金属材料からなる平坦な被加工板５１（例えば、厚さ１５μｍ）に多数の微細な貫通孔５２（例えば、内径が１５μｍの穴が１ｃｍ^２に数万穴）を穿設して円形に切断したものであり、直径は例えば、８〜９ｍｍ程度とされている。本実施形態では、フィルター１６は、ステンレス（ＳＵＳ）からなる平坦な被加工板５１に貫通孔５２を穿設したものとした。貫通孔５２の内径は、ノズル２３よりも小さく設定されている。なお、フィルター１６の貫通孔５２としては、正方形や六角形の穴とすることも可能であり、この場合、対角線の長さがノズル２３よりも小さく設定されていればよい。異物がフィルター１６を通過してもノズル２３から排出されるからである。また、本実施形態では、貫通孔５２は、隣接する貫通孔５２のピッチが、例えば、４μｍ程度に設定されている。

また、平坦な被加工板５１には格子状に延びる凹凸線５３が形成され、カール力（多数の微細な貫通孔５２が穿設されたことに基づく曲がり方向の残留応力）が除去されて平坦状態が維持されている。凹凸線５３を設けたことにより、極薄のフィルター１６であってもカールが除去されて平坦状態が維持され、取り扱いが容易になって組み立て時の生産性を向上させることが可能になる。凹凸線５３は、山の高さが、例えば、２０μｍ〜５０μｍ程度に設定され、隣接する凹凸線５３同士のピッチが、例えば、６０μｍ程度に設定されている。

ここで、実施形態１のフィルター１６の製造方法について説明する。まずは、フィルター１６の形成に用いる金型装置について説明する。

図５に示すように、金型装置５４は、平盤状の基台５５、パンチ５７、凹凸が形成されていない平盤状の被打ち込み部材６０を有する。パンチ５７は、平盤状の基台５５の上部にストリッパー５６を介して設けられている。

被打ち込み部材６０は、第１の層５８、及び第１の層５８より軟質の材料からなり且つ第１の層５８の基台側に設けられる第２の層５９を有する。本実施形態では、被打ち込み部材６０は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート：高分子材料）からなる第１の層５８と、発泡体である発泡スチロールからなる第２の層５９とを有するものとした。

第１の層５８は、被加工板５１よりも軟質材からなり、被加工板５１を打ち抜けるように被加工板５１を保持することができる所定の剛性を有しつつ、パンチ部５７ａで打ち抜くことができるものである。第１の層５８は、他の軟質の高分子材料も用いることができる。具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等を挙げられる。

第２の層５９は、第１の層５８よりも軟質の材料であればよく、他の材料も用いることができる。第２の層５９は、打ち抜き片６２を保持しやすいものが好ましく、打ち抜き片６２を押し込まれた際にパンチ部５７ａへの応力の発生が小さく且つ体積の膨張が小さいものが特に好ましい。すなわち、第２の層５９は、発泡体など低密度で軟質の材料からなるのが好ましい。具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の多孔質材や、接着剤をシート状に硬化させたもの等が挙げられる。ここで、第２の層５９に用いる多孔質材等には、加工油を染み込ませてもよい。このようにすることで、打ち抜きの際の負荷の低減を図ることができる。

なお、第１の層５８や第２の層５９の硬さは、被加工板５１の厚さ、貫通孔５２の大きさ、ピッチ等、及び第１の層５８及び第２の層５９のそれぞれの厚さを考慮して適宜選択する。

このような被打ち込み部材６０を用いることで、基台５５側にパンチ５７のパンチ部５７ａを受けるための凹部を設けることなく、貫通孔５２を打ち抜くことが可能になる。また、パンチ５７のパンチ部５７ａと凹部との位置合わせが不要になり、被加工板５１に貫通孔５２を容易に形成することができる。また、基台５５及び被打ち込み部材６０の表面は凹凸がなく平坦であるため、後述するように被打ち込み部材６０に多数の被加工板５１の打ち抜き片６２を押し込む際に、押し込み量を均一にすることができ、多数の打ち抜き片６２を確実に被打ち込み部材６０の内部に留めることができる。

ここで、パンチ５７は、図６に示すように、矩形体状の本体の端面に複数本（図示例では５本）の円形のパンチ部５７ａが列設されている。パンチ５７のパンチ部５７ａの一辺は、フィルター１６の貫通孔５２の一辺に対応している。パンチ部５７ａの一辺は、例えば、１３μｍに形成され、フィルター１６の貫通孔５２の対角線の長さが約１５μｍとなるように設定されている。なお、パンチ５７のパンチ部５７ａの形状は円形であってもよい。このパンチ５７を使用することにより、一度の打ち抜きで一列に並んだ複数（図示例では５個）の貫通孔５２を形成することができる。

このような金型装置５４を用いたフィルター１６の製造方法について詳細に説明する。
図７（ａ）に示すように、被打ち込み部材６０上に載置した被加工板５１にパンチ５７のパンチ部５７ａを貫通させて貫通孔５２を形成する。このとき、パンチ５７のパンチ部５７ａの先端は、被加工板５１と共に第１の層５８も貫通して、第２の層５９まで到達させる。これにより、被加工板５１の打ち抜き片６２は第１の層５８を介して第２の層５９の内部に保持される。このとき、第１の層５８は、打ち抜き片６２が被加工板５１側へ戻るのを防止する役割も果たす。

被打ち込み部材６０が、第１の層５８及び第２の層５９の二層を有することにより、パンチ５７に生じる負荷を低減させることができる。被加工板を打ち抜くためには、打ち込み部材がある程度剛性を有している必要があるが、打ち込み部材（第１の層）を厚すぎると肉寄せが生じてパンチ５７が破損する虞がある。一方、打ち込み部材を薄くしすぎると被加工板を保持しきれず良好に打ち抜くことができない虞がある。これに対し、本実施形態の被打ち込み部材６０は第１の層５８及び第２の層５９の二層からなることにより、第１の層５８の厚さを非常に薄くしても被加工板５１を良好に打ち抜くことができ、且つ被打ち込み部材６０の肉寄せを低減して、パンチ５７に生じる負荷を低減させることができる。これにより、パンチ部５７ａの湾曲や破断などの破損が抑制され、フィルターの歩留まりが向上すると共にパンチ５７の寿命が長くなり、フィルター１６を低コストで製造することができる。

また、第２の層５９に打ち抜き片６２を完全に保持させることができる。このため、打ち抜き片６２が被打ち込み部材に留まらず、パンチ部５７ａと共に被打ち込み部材の表面まで出てきてしまうという虞がない。すなわち、打ち抜き片６２の被打ち込み部材６０表面への付着による打ち込み不良が発生するという虞がない。

さらに、第１の層５８を薄くすることができることにより、パンチ５７の打ち込み深さを浅くするように設定することもでき、パンチ５７に生じる負荷を低減させることができる。

なお、被打ち込み部材６０の第１の層５８の厚さは、材質及び硬度によって異なるが、３〜１０μｍ程度あればよい。また、被打ち込み部材６０の第２の層５９の厚さは、少なくとも被加工板５１の厚さよりも大きく、２倍以上あるのが好ましく、３０μｍ〜０．１ｍｍ程度あればよい。例えば、本実施形態では、被加工板５１の厚さが１５μｍであるのに対し、第１の層５８の厚さを５μｍ、第２の層５９の厚さを３０μｍとした。被打ち込み部材６０をこのような厚さとすることで、被打ち込み部材６０の内部に打ち抜き片６２を確実に留めることができると共に、被加工板５１は完全に貫通させることができるので、貫通不良などによる貫通孔５２の周縁部のバリ発生を抑制できる。

次に、ストリッパー５６を上昇させ打ち抜き片が被打ち込み部材６０内にとどまった状態で、図７（ｂ）に示すように、被打ち込み部材６０と共に被加工板５１を１ピッチ分移動させて、再び被加工板５１にパンチ５７のパンチ部５７ａを貫通させて貫通孔５２を形成する。この動作を繰り返すことで、多数の貫通孔５２を被加工板５１に形成する。被打ち込み部材６０と共に被加工板５１を１ピッチ分移動させてパンチ５７による打ち込みが繰り返されるため、かえりが発生してもストリッパー５６の端面につぶされる等の横かえりが発生する虞が全くない。ちなみに、下側にパンチ５７のパンチ部５７ａが挿入される凹部を備えたダイを使用した場合、被加工板５１を移動させると、凹部以外のダイの上面とストリッパー５６の端面との間でかえりが潰されて貫通孔５２が変形する虞がある。上述した金型装置５４を用いることで、貫通孔５２が変形する虞が生じない。

なお、フィルター１６は、一枚の被加工板５１に複数個一体的に形成された後、１枚のフィルター１６のサイズに打ち抜く（切り抜く）ことで形成する。具体的には、図８に示すように、貫通孔５２が多数形成された被加工板５１は小判抜き型６５により抜かれてフィルター１６の形状に打ち抜かれる。小判抜き型６５の上型６５ａと下型６５ｂの対向面にはそれぞれ凹凸線５３を形成するための凹凸部６６が設けられ、フィルター１６の形状に打ち抜かれると同時に、表面に凹凸線５３が形成される。なお、フィルター１６の周囲に溶着代を残した状態で凹凸線５３を形成するようにしてもよい。凹凸部６６が設けられた小判抜き型６５を用いることにより小判抜き時に加圧矯正によるカール取りが同時に行える。

なお、パンチは、上述したパンチ５７に限定されるものではない。ここで、パンチの他の例を図９に示す。図９に示すように、パンチ７１は、立方体状の本体の端面に複数本（図示例では１６本）ののパンチ部７１ａが設けられたものであってもよい（剣山型）。図９に示したパンチ７１を使用することにより、一度の打ち抜きで複数（図示例では１６個）の貫通孔５２を形成することができる。

（実施形態２）
被打ち込み部材以外は、基本的構成及び製造方法は実施形態１と同様であるので、同一作用を示す部分には同一符号を付して重複する説明は省略する。
実施形態２では、図１０に示す金型装置９４を用いてフィルター１６を形成する。

金型装置９４は、平盤状の基台５５、パンチ５７、凹凸が形成されていない平盤状の被打ち込み部材９１を有する。被打ち込み部材９１は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート：高分子材料）からなる第１の層５８と、発泡スチロールからなる第２の層５９と、ＰＥＴからなる第３の層９０とからなり、基台５５の上面に設けられている。

第３の層９０を設けることにより、パンチ５７を打ち込んだ際の第２の層５９の反りを抑制することができる。第３の層９０の材質は、特に限定されないが、基台５５との接触状態が良好なものとするのが好ましい。具体的には、第３の層９０は、被打ち込み部材９１及び被加工板５１の基台５５上の移動を円滑に行える材質からなるのが好ましい。具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等を挙げることができる。

また、第３の層９０の厚さは、材質及び硬度によって異なるが、３０μｍ〜０．１ｍｍ程度あればよく、本実施形態では３０μｍとした。

このような金型装置９４を用いて、実施形態１と同様の方法により、フィルター１６の製造を行う。被打ち込み部材９１上に載置した被加工板５１にパンチ５７のパンチ部５７ａを貫通させて貫通孔５２を打ち抜く。このとき、パンチ５７のパンチ部５７ａの先端は、被加工板５１と共に第１の層５８も貫通して、第２の層５９まで到達する。これにより、被加工板５１の打ち抜き片６２は第１の層５８を介して第２の層５９の内部に保持される。そして、ストリッパー５６を上昇させ打ち抜き片６２が被打ち込み部材９１の第２の層５９内にとどまった状態で、被打ち込み部材６０と共に被加工板５１を１ピッチ分移動させて再びパンチ５７のパンチ部５７ａを被加工板５１に打ち込む。この動作を繰り返すことで、多数の貫通孔５２を被加工板５１に形成する。

実施形態２では、上述した実施形態１と同様に、被打ち込み部材９１の第１の層５８の打ち抜き方向に交差する方向への肉寄せを低減して、パンチ５７に生じる負荷を低減させることができる。

さらに、被打ち込み部材９１は、第３の層９０を具備することにより、第２の層５９の反りを抑制することができる。第２の層５９の反りを抑制することで、パンチに生じる負荷をさらに低減させることができる。また、第３の層９０が、基台５５と被打ち込み部材６０との接触状態を良好な材質からなることにより、被打ち込み部材６０と共に被加工板５１を１ピッチ分円滑に移動させて、フィルター１６の生産効率を向上させることができる。これにより、フィルター１６をさらに低コストで製造することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、カートリッジケース１１とインク供給針１５との間に設けられたフィルター１６について説明したが、本発明のフィルターは、インクジェット式記録ヘッド１０に代表される液体噴射ヘッドに用いられたフィルターであれば、その設置場所等については特に限定されるものではない。もちろん、フィルター１６は、インクジェット式記録ヘッド１０以外に、インクジェット式記録装置１に代表される液体噴射装置に搭載されるものであってもよい。液体噴射装置に搭載されるフィルターとしては、例えば、インク等の液体を貯留する貯留タンクなどの貯留手段が、キャリッジ３に搭載されず、装置本体４に固定されるものにおいて、貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１０との間に設けられたフィルターなどであってもよい。

もちろん、上述したインクジェット式記録装置１では、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載されるフィルターの製造方法に限られず、他の装置に搭載されるフィルターの製造方法にも適用することができる。

１ インクジェット式記録装置、 １６ フィルター、 １７ シール部材、 １８ 回路基板、 １９ ヘッド部材、 ２０ 圧電素子ユニット、 ２１ ヘッドケース、 ２２ ヘッド本体、 ２３ ノズル、 ２４ ノズルプレート、 ２５ 圧力発生室、 ２６ 流路形成基板、 ２７ 振動板、 ２８ インク供給路、 ２９ 窓部、 ３０ 枠体、 ３１ ネジ、 ５１ 被加工板、 ５２ 貫通孔、 ５３ 凹凸線、 ５４ 金型装置、 ５５ 基台、 ５６ ストリッパー、 ５７ パンチ、 ５８ 第１の層、 ５９ 第２の層、 ６０ 被打ち込み部材、 ６２ 打ち抜き片、 ６５ 小判抜き型、 ６６ 凹凸部

Claims (5)

1. 複数のパンチ部が列設されたパンチ及び基台上に設けられた被打ち込み部材を用い、被打ち込み部材の上に載置された被加工板に複数の貫通孔を形成するフィルターの製造方法であって、
   前記被打ち込み部材は、第１の層と、この第１の層より軟質の材料からなり且つ第１の層の基台側に設けられた第２の層とを有し、
   前記被打ち込み部材の上に載置された被加工板を前記パンチで打ち抜き、その打ち抜き片を前記第２の層の内部に保持させることにより、前記被加工板に複数の貫通孔を形成することを特徴とするフィルターの製造方法。
2. 前記被打ち込み部材は、前記第２の層の前記基台側にさらに第３の層を有することを特徴とする請求項１に記載のフィルターの製造方法。
3. 前記第２の層は、多孔質部材からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルターの製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の製造方法により製造したフィルターを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. 請求項４に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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