JP2010157771A - 窒化物半導体レーザ素子及び、その製造方法 - Google Patents
窒化物半導体レーザ素子及び、その製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010157771A JP2010157771A JP2010091089A JP2010091089A JP2010157771A JP 2010157771 A JP2010157771 A JP 2010157771A JP 2010091089 A JP2010091089 A JP 2010091089A JP 2010091089 A JP2010091089 A JP 2010091089A JP 2010157771 A JP2010157771 A JP 2010157771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride semiconductor
- layer
- growth
- light emitting
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 224
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 199
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 230000012010 growth Effects 0.000 claims abstract description 170
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims 2
- 230000009647 facial growth Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 47
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】本発明の窒化物半導体発光素子及びその製造方法は、窒化物半導体基板の表面に、欠陥密度が106cm-2以下の低欠陥領域と、凹部が形成された掘り込み領域とが設けられ、前記凹部の断面形状において、前記凹部の側面部と前記凹部の底面部延長線との間の角度であるエッチング角度θが、75度≦θ≦140度であることを特徴とする。このことにより、クラックの発生を防止し、併せて、前記掘り込み領域の底面成長部からの這い上がり成長を抑制し、側面成長部の膜厚を抑えることで、表面平坦性の良好な窒化物半導体成長層が形成された窒化物半導体レーザ素子を高い歩留まりで得ることができる。
【選択図】図1
Description
11 窒化物半導体成長層
12 レーザストライプ
13 SiO2
14 p型電極
15 n型電極
16 掘り込み領域
17 上面成長部
18 側面成長部
19 底面成長部
60 n型GaN基板
70 n型GaN層
71 n型Al0.062Ga0.938N第1クラッド層
72 n型Al0.1Ga0.9N第2クラッド層
73 n型Al0.062Ga0.938N第3クラッド層
74 n型GaNガイド層
75 多重量子井戸活性層
76 p型Al0.3Ga0.7N蒸発防止層
77 p型GaNガイド層
78 p型Al0.062Ga0.938Nクラッド層
79 p型GaNコンタクト層
90 上面成長部
91 側面成長部
92 底面成長部
93 掘り込まれていない領域
94 掘り込み領域の側面部
95 掘り込み領域の底面部
Claims (16)
- 少なくとも表面側の一部が窒化物半導体である窒化物半導体基板と、該窒化物半導体基板の表面に形成される窒化膜半導体成長層と、を備える窒化物半導体発光素子において、
前記窒化物半導体基板の表面に、欠陥密度が106cm-2以下の低欠陥領域と、凹部が形成された掘り込み領域とが設けられ、
前記凹部の断面形状において、前記凹部の側面部と前記凹部の底面部延長線との間の角度であるエッチング角度θが、75度≦θ≦140度であることを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記エッチング角度θが、85度≦θ≦140度であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化膜半導体成長層において、前記窒化物半導体基板の表面と接する層がGaN層であり、当該GaN層の層厚が2μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化膜半導体成長層において、前記窒化物半導体基板の表面と接する層がAlGaN層であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記掘り込み領域の掘り込み深さが1μm以上30μm以下であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体成長層に形成される発光部分となるレーザストライプが前記掘り込み領域以外の前記低欠陥領域上に形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記レーザストライプが前記掘り込み領域から20μm以上離れた位置に形成されることを特徴とする請求項6に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記掘り込み領域の側面に形成される前記窒化膜半導体成長層の一部である側面成長部の膜厚が、20μm以下であることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも表面側の一部が前記窒化物半導体であるとともにその表面に欠陥密度が106cm-2以下の前記低欠陥領域を含む前記窒化物半導体基板と、該窒化物半導体基板の表面に形成される前記窒化膜半導体成長層と、を備える窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記窒化物半導体基板をエッチングして掘り込み領域を形成するする第1ステップと、
該第1ステップで得られた前記窒化物半導体基板に前記窒化物半導体成長層を積層する第2ステップと
を備え、
前記第1ステップにおいて、前記掘り込み領域による凹部の側面と該凹部の底面部延長線との間の角度であるエッチング角度θを75度≦θ≦140度とすることを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1ステップにおいて、前記エッチング角度θを85度≦θ≦140度とすることを特徴とする請求項9に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第2ステップにおいて、前記窒化物半導体基板に接する層を2μm以下のGaN層とすることを特徴とする請求項9に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第2ステップにおいて、前記窒化物半導体基板に接する層をAlGaN層とすることを特徴とする請求項9に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記窒化物半導体成長層に形成される発光部分となるレーザストライプを前記掘り込み領域以外の前記低欠陥領域上に形成することを特徴とする請求項9〜請求項12のいずれかに記載の窒化物半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記レーザストライプが前記掘り込み領域から20μm以上離れた位置に形成されることを特徴とする請求項13に記載の窒化物半導体発光素子の製造法。
- 前記掘り込み領域の側面に形成される前記窒化膜半導体成長層の一部である側面成長部の膜厚が、20μm以下であることを特徴とする請求項9〜請求項14のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第1ステップにおいて、まず、前記窒化物半導体基板に窒化物半導体層を成長させた後に、前記掘り込み領域を形成することを特徴とする請求項9〜請求項15のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010091089A JP5203412B2 (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010091089A JP5203412B2 (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004000328A Division JP4540347B2 (ja) | 2004-01-05 | 2004-01-05 | 窒化物半導体レーザ素子及び、その製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010157771A true JP2010157771A (ja) | 2010-07-15 |
JP5203412B2 JP5203412B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=42575373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010091089A Expired - Lifetime JP5203412B2 (ja) | 2010-04-12 | 2010-04-12 | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5203412B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124500A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-28 | Toshiba Corp | 窒化ガリウム系半導体装置 |
JP2000156524A (ja) * | 1998-09-14 | 2000-06-06 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置、半導体基板とそれらの製造方法 |
JP2002246698A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-30 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子とその製法 |
JP2002252422A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物半導体の形成方法 |
-
2010
- 2010-04-12 JP JP2010091089A patent/JP5203412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000156524A (ja) * | 1998-09-14 | 2000-06-06 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置、半導体基板とそれらの製造方法 |
JP2000124500A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-28 | Toshiba Corp | 窒化ガリウム系半導体装置 |
JP2002246698A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-30 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子とその製法 |
JP2002252422A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体素子および窒化物半導体の形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5203412B2 (ja) | 2013-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4540347B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子及び、その製造方法 | |
US7772611B2 (en) | Nitride semiconductor device with depressed portion | |
JP5146481B2 (ja) | ナイトライド系iii−v族化合物半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP3913194B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP4390640B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子、窒化物半導体発光素子、窒化物半導体ウェハおよびそれらの製造方法 | |
JP2003063897A (ja) | 窒化物系iii−v族化合物半導体基板およびその製造方法ならびに半導体発光素子の製造方法ならびに半導体装置の製造方法 | |
JP4322187B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP4772314B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2006134926A5 (ja) | ||
JP2008211261A (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP4679867B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子、及びその製造方法 | |
JP5203412B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP5620547B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2005322786A (ja) | 窒化物半導体素子及びその製造方法 | |
JP4689195B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2003081697A (ja) | 窒化物系iii−v族化合物半導体基板およびその製造方法ならびに半導体発光素子の製造方法ならびに半導体装置の製造方法 | |
JP5679699B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP5530341B2 (ja) | 半導体素子及びその製造方法 | |
JP2011018912A (ja) | 窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP4763818B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP4799399B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2013105864A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2011049583A (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2009016561A (ja) | 窒化物半導体発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100512 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5203412 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |