JP2010153575A - クリーニング機能付搬送部材およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、クリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材であって、該クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、該クリーニング層は、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成されている。
【選択図】図1
Description
クリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材であって、
該クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、
該クリーニング層は、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成されている。
実質的に粘着力を有さないクリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材の製造方法であって、
該クリーニング層を、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成する。
<A−1.全体構成>
図1は、本発明の好ましい実施形態によるクリーニング機能付搬送部材の概略断面図である。図1に示すように、クリーニング機能付搬送部材200は、クリーニング層20が、搬送部材50の一方の面51の全面と、搬送部材50のエッジ部分52と、搬送部材50のもう一方の面53の一部とを連続的に覆うように形成されている。図1に示す実施形態において、クリーニング層20は、搬送部材50の一方の面51の全面を覆うクリーニング層部分と、搬送部材50のエッジ部分52を覆うクリーニング層部分と、搬送部材50のもう一方の面53の一部を覆うクリーニング層部分とが同じクリーニング層である。
本発明のクリーニング機能付搬送部材における搬送部材としては、例えば、異物除去の対象となる基板処理装置の種類に応じて任意の適切な基板が用いられ得る。具体例としては、半導体ウェハ(例えば、シリコンウェハ)、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ用基板、コンパクトディスク、MRヘッドなどの基板が挙げられる。
本発明のクリーニング機能付搬送部材において、クリーニング層は、実質的に粘着力を有さない。すなわち、例えば、粘着性物質から形成されたクリーニング層や、粘着テープを固着することで形成したクリーニング層は、本発明におけるクリーニング層からは除外される。粘着力を有するクリーニング層を備えると、該クリーニング層と装置との接触部分が強く接着しすぎて離れないおそれがある。その結果、基板を確実に搬送できないという問題や、搬送装置を破損させるという問題、除塵性に劣るという問題が生じるおそれがある。また、粘着力を有するクリーニング層の形成に工数が多く必要となり、生産性が悪いという問題もある。
本発明のクリーニング機能付搬送部材の製造方法は、実質的に粘着力を有さないクリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材の製造方法であって、該クリーニング層を、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成する。
本発明のクリーニング機能付搬送部材を用いた、好ましい実施形態によるクリーニング方法は、上記クリーニング機能付搬送部材を所望の基板処理装置内に搬送して、その被洗浄部位に接触させることにより、当該被洗浄部位に付着した異物を簡便かつ確実にクリーニング除去することができる。
JIS K7127に準じて測定した。具体的には、所定の基材上にクリーニング層を形成した後、当該クリーニング層を剥離し、動的粘弾性測定装置を用いて測定した。
ポリエーテルジアミン(サンテクノケミカル製、XTJ−510(D4000))44.0g、および、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル25.3gを、NMP(N−メチルピロリドン)397.4g中で溶解した。次に、PMDA(ピロメリット酸二無水物)30.0gを加え、反応させた。冷却し、樹脂溶液のワニスAを得た。
このワニスAを、8インチシリコンウェハのミラー面全面、エッジ部分、裏面の一部(端部から10mm幅の部分)に、該ミラー面全面にはスピンコート法にて、該エッジ部分はエッジコート法にて、該裏面の一部はノズル噴射によるエッジ近傍コート法にて、ウェット厚みが約40μmとなるようにそれぞれ同時に塗布した。
レーザー式厚み測定器でウェット厚みを測定したところ、平均で39.5μmであった。
ウェハのエッジ部分の近傍にはクラウン状の凸部は見られなかった。
次いで、ホットプレートにて110℃で10分乾燥後、真空乾燥炉にて280℃×180分でキュアし、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うようにクリーニング層が形成された、8インチウェハ状のクリーニング機能付搬送部材Aを得た。
クリーニング層の引っ張り弾性率(JIS K7127に準ずる)を測定した結果、200MPaであった。
クリーニング機能付搬送部材Aのエッジ部分の周辺を全周にわたり、キーエンス社製のマイクロスコープで観察したところ、ウェハベベルと呼ばれるエッジ部分に途切れなく均一にクリーニング層が形成されていることが確認できた。
クリーニング機能付搬送部材Aを、ウェハエッジハンドラー機構と機械式固定方式を有するウェハ処理装置に、クリーニング面を下側に向けて搬送した後,ウェハエッジハンドラー部、機械式固定方式のウェハ接触部、およびチャックテーブルを確認したところ、ウェハエッジハンドラー部、およびチャックテーブルの汚れは除去されていたが、機械式固定方式のウェハ接触部の汚れは部分的に除去できていなかった。
クリーニング層の引っ張り弾性率が150MPaになるようD−4000の配合量を増やし、4,4´−ジアミノジフェニルエーテルを減らした以外は実施例1と同様にして、ポリアミド酸のワニスBを得た。
ワニスBをエッジ部分および裏面の一部(端部から10mm幅の部分)のコートに用いた以外は実施例1と同様にして、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うようにクリーニング層が形成された、8インチウェハ状のクリーニング機能付搬送部材Bを得た。
クリーニング機能付搬送部材Bのエッジ部分の周辺を全周にわたり、キーエンス社製のマイクロスコープで観察したところ、ウェハベベルと呼ばれるエッジ部分に途切れなく均一にクリーニング層が形成されていることが確認できた。
クリーニング機能付搬送部材Bを、ウェハエッジハンドラー機構と機械式固定方式を有するウェハ処理装置に、クリーニング面を下側に向けて搬送した後,ウェハエッジハンドラー部、機械式固定方式のウェハ接触部、およびチャックテーブルを確認したところ、ウェハエッジハンドラー部、およびチャックテーブルの汚れのみならず機械式固定方式のウェハ接触部の汚れも完全に除去できていた。
ワニスAを、8インチシリコンウェハのミラー面全面にスピンコート法にてウェット厚みが約40μmとなるように塗布した以外は実施例1と同様にして塗布した。搬送部材の一方の面の全面を連続的に覆うように形成されたクリーニング層の、エッジ部分近傍の塗布厚みを測定したところ、60μm〜70μmの厚みであった。
ホットプレートにて110℃で10分乾燥後、真空乾燥炉にて280℃×180分でキュアし、搬送部材の一方の面の全面を連続的に覆うようにクリーニング層が形成された、8インチウェハ状のクリーニング機能付搬送部材Cを得た。
クリーニング機能付搬送部材Cのエッジ部分を全周にわたり、キーエンス社製のマイクロスコープで観察したところ、ウェハベベルと呼ばれるエッジ部分にはところどころクリーニング層が見られたが、ほとんどの部分でシリコン面が露出していた。
クリーニング機能付搬送部材Cを、ウェハエッジハンドラー機構と機械式固定方式を有するウェハ処理装置に、クリーニング面を下側に向けて搬送した後,ウェハエッジハンドラー部、機械式固定方式のウェハ接触部、およびチャックテーブルを確認したところ、ウェハエッジハンドラー部および機械式固定方式のウェハ接触部には汚れが固着したままであった。また、チャックテーブルも、中心部付近は汚れが除去されていたが、エッジ部分近傍付近は汚れが固着したままであった。
21 搬送部材の一方の面の全面を覆うクリーニング層部分
22 搬送部材のエッジ部分を覆うクリーニング層部分
23 搬送部材のもう一方の面の一部を覆うクリーニング層部分
50 搬送部材
51 搬送部材の一方の面
52 搬送部材のエッジ部分
53 搬送部材のもう一方の面
200 クリーニング機能付搬送部材
Claims (10)
- クリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材であって、
該クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、
該クリーニング層は、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成されている、
クリーニング機能付搬送部材。 - 前記搬送部材の一方の面の全面へ形成されたクリーニング層と、前記搬送部材のエッジ部分へ形成されたクリーニング層および前記搬送部材のもう一方の面の一部へ形成されたクリーニング層とが異なる、請求項1に記載のクリーニング機能付搬送部材。
- 実質的に粘着力を有さないクリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材の製造方法であって、
該クリーニング層を、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成する、
クリーニング機能付搬送部材の製造方法。 - 前記搬送部材の一方の面の全面へクリーニング層を形成する方法と、前記搬送部材のエッジ部分へクリーニング層を形成する方法および前記搬送部材のもう一方の面の一部へクリーニング層を形成する方法とが異なる、請求項3に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記搬送部材の一方の面の全面へクリーニング層を形成する方法がコーティング式の塗布方法であり、前記搬送部材のもう一方の面の一部へクリーニング層を形成する方法が噴射式の塗布方法である、請求項4に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記コーティング式の塗布方法がスピンコート法である、請求項5に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記噴射式の塗布方法がノズル噴射によるエッジ近傍コート法である、請求項5または6に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記搬送部材のエッジ部分へクリーニング層を形成する方法がエッジコート法である、請求項4から7までのいずれかに記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記搬送部材の一方の面の全面へ形成するクリーニング層の材料と、前記搬送部材のエッジ部分へ形成するクリーニング層の材料および前記搬送部材のもう一方の面の一部へ形成するクリーニング層の材料とが異なる、請求項3から8までのいずれかに記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
- 前記搬送部材の一方の面の全面へのクリーニング層の形成と、前記搬送部材のエッジ部分へのクリーニング層の形成と、前記搬送部材のもう一方の面の一部へのクリーニング層の形成とが同時に行われる、請求項3から9までのいずれかに記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
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