JP2010137134A5 - - Google Patents

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更に、本発明の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備した洗浄装置において、洗浄ユニットとして、前記の洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。
また、本発明の洗浄装置では、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備した洗浄装置において、前記洗浄ユニットとして、前記の洗浄ユニットを用いたことを特徴としている。
以上の実験的事実から、マイクロバブルと超音波を組み合わせた圧壊利用の洗浄方法は、洗浄均一化に極めて有効であることが証明された。従って、機械的(揺動機構など)、電気的(周波数スウィープなど)対応策が不要となり、安価な装置製作が可能となる。
(第1の形態)
本発明の洗浄装置の実施例の第1の形態について図8を参照して説明すると、本形態の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備した洗浄装置において、洗浄ユニットとして、前述した洗浄ユニットを用いたことを特徴としている。即ち、電解アルカリ性水を洗浄として用いるとともに、マイクロバブル、超音波を組み合わせた洗浄方法を実施するための洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置としている。
(第2の形態)
本発明の洗浄装置の実施例の第2の形態について図9を参照して説明すると、本形態の洗浄装置も、前述の第1の形態と同様に、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備した洗浄装置において、洗浄ユニットとして、前述した洗浄ユニットを用いたことを特徴としている。

Claims (1)

  1. 被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備した洗浄装置において、前記洗浄ユニットとして、請求項3に記載の洗浄ユニットを用いたことを特徴とする洗浄装置。
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