JP2010129290A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱装置10は、密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材11,12と、電気絶縁性基材11,12同士を接合するため電気絶縁性基材11の凹溝15内に充填された状態で融着された抵抗発熱材13と、を備え、抵抗発熱材13はケイ素若しくはケイ素化合物を含んでいる。抵抗発熱材13は、電気絶縁性基材11,12同士の接触領域14における一方の電気絶縁性基材11に形成された凹溝15内に隙間無く充填された状態で融着されている。電気絶縁性基材11,12は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成されている。また、電気絶縁性基材11,12同士の接触領域14の外周14aの一方の電気絶縁性基材11の全周に渡って形成された開先部11a内にも抵抗発熱材13aが充填された状態で融着されている。
【選択図】図3
Description
11,12,21,22,31,32 電気絶縁性基材
11a,31a,32a 開先部
11c,21c 上面
12a,12b,23 貫通孔
12c 下面
12h,22h,32h 上面
13,13a,13b 抵抗発熱材
13m 抵抗発熱素材
14 接触領域
14a 外周
15 凹溝
15a,15b 端部
16a,16b 通電部材
17 アース
18 真空加熱炉
24 凹部
Claims (4)
- 密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材と、前記電気絶縁性基材同士の接触領域における少なくとも一方の面に形成された凹溝内に充填された状態で融着された抵抗発熱材と、を備え、前記抵抗発熱材がケイ素若しくはケイ素化合物を含むことを特徴とする加熱装置。
- 前記電気絶縁性基材を、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成した請求項1記載の加熱装置。
- 前記電気絶縁性基材同士の接触領域の外周の少なくとも一部に形成された開先部内にケイ素若しくはケイ素化合物を含む抵抗発熱材を充填した状態で融着させた請求項1〜3のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記電気絶縁性基材の外面から前記電気絶縁性基材同士の接触領域に至るように形成された貫通孔内にケイ素若しくはケイ素化合物を含む抵抗発熱材を充填した状態で融着させた請求項1〜3のいずれかに記載の加熱装置。
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