JP2010109183A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010109183A JP2010109183A JP2008280181A JP2008280181A JP2010109183A JP 2010109183 A JP2010109183 A JP 2010109183A JP 2008280181 A JP2008280181 A JP 2008280181A JP 2008280181 A JP2008280181 A JP 2008280181A JP 2010109183 A JP2010109183 A JP 2010109183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- interlayer insulating
- film
- forming
- plug
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】ビアホール下方でのスペーサ膜の閉塞を回避するとともに、ビアプラグの上方で隣接する配線層との間の余裕距離を確保することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板1上に設けられた上面から下面まで貫通するコンタクトプラグ32を有する第1の層間絶縁膜30と、第1の層間絶縁膜30上に形成され、コンタクトプラグ32の形成位置に対応する位置の上面から下面まで貫通するビアホール41を有する第2の層間絶縁膜40と、ビアホール41内にコンタクトプラグ32と電気的に接触するように導電性材料が埋め込まれたビアプラグ43と、を備え、ビアホール41を形成する側壁は、第2の層間絶縁膜40の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、ビアホールの上端部から所定の深さまでの側壁に、第2の層間絶縁膜40とは異なる絶縁性材料からなるスペーサ膜42が埋め込まれている。
【選択図】 図3
【解決手段】シリコン基板1上に設けられた上面から下面まで貫通するコンタクトプラグ32を有する第1の層間絶縁膜30と、第1の層間絶縁膜30上に形成され、コンタクトプラグ32の形成位置に対応する位置の上面から下面まで貫通するビアホール41を有する第2の層間絶縁膜40と、ビアホール41内にコンタクトプラグ32と電気的に接触するように導電性材料が埋め込まれたビアプラグ43と、を備え、ビアホール41を形成する側壁は、第2の層間絶縁膜40の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、ビアホールの上端部から所定の深さまでの側壁に、第2の層間絶縁膜40とは異なる絶縁性材料からなるスペーサ膜42が埋め込まれている。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関するものである。
たとえばNAND型フラッシュメモリ装置においては、微細化が進められるにしたがってメモリセル領域におけるビット線の線幅や配置間隔も狭くなってきている。このため、リソグラフィ処理工程でコンタクトホールやビアホールを形成する場合に、微細な開口パターンを形成するのが厳しい状況になってきている。
そこで、従来では、ビアホールに埋め込まれるビアプラグの基板面に平行な方向の断面積を縮小(シュリンク)させるようにしてビアプラグを形成する方法が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。この方法によるビアホールの加工工程では、まず、層間絶縁膜にリソグラフィ処理で可能な大きさのビアホールを形成して下層配線層を露出させる。その後、ビアホールの側面および底面を覆うように層間絶縁膜上に絶縁膜を形成し、エッチバックすることで、ビアホールの側面にのみスペーサ膜を形成する。そして、このスペーサ膜によって狭められたビアホール内に接続用導体を埋め込んだ後に、層間絶縁膜上に上層配線層を形成するようにしている。
しかしながら、特許文献1に記載の方法でビアホールの小径化を行う場合には、ビアホールの底までエッチバックがされずに、ビアホール下方でスペーサ膜が閉塞し、コンタクトオープン不良となる場合があった。そこで、ビアホール下方でのスペーサ膜の閉塞を回避するためにスペーサ膜を薄膜化する方法が考えられるが、この場合には、目標とするビアホール径よりも大きく仕上がってしまい、ビアホール上方の隣接する配線層との間の余裕距離が減少してしまう。余裕距離が減少すると、ビアホールに埋め込まれるビアプラグとビアプラグ上方の隣接する配線層との間で電位差が生じた場合に、リークが発生してしまう虞があった。このように、ビアホール内にスペーサ膜を設けて半導体装置を製造する方法は、ビアホールの下方での未開孔と、ビアホール上方での隣接配線とのショートとのトレードオフの関係にあり、両者を同時に解決することは困難であった。
本発明は、ビアホール下方でのスペーサ膜の閉塞を回避するとともに、ビアプラグの上方で隣接する配線層との間の余裕距離を確保することができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様によれば、電界効果型トランジスタが形成された基板上に設けられ、上面から下面まで貫通するホールを有し、第1の絶縁性材料からなる層間絶縁膜と、前記ホール内に導電性材料が埋め込み形成されたプラグとを備え、前記ホールを形成する側壁は、前記層間絶縁膜の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、前記ホールの上端部から前記下面に到達しない所定の深さまでの側壁に、前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置が提供される。
また、本発明の一態様によれば、電界効果型トランジスタが形成された基板上に設けられ、上面から前記基板の表面まで貫通するコンタクトホールを有する第1の層間絶縁膜と、前記コンタクトホール内に導電性材料が埋め込み形成された第1のプラグと、第1の絶縁性材料からなり、前記第1の層間絶縁膜上に形成され、前記第1のプラグの形成位置に対応する位置の上面から下面まで貫通するビアホールを有する第2の層間絶縁膜と、前記ビアホール内に前記第1のプラグと電気的に接触するように導電性材料が埋め込み形成された第2のプラグと、を備える半導体装置において、前記ビアホールを形成する側壁は、前記第2の層間絶縁膜の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、前記ビアホールの上端部から前記下面に到達しない所定の深さまでの側壁に、前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置が提供される。
さらに、本発明の一態様によれば、電界効果型トランジスタが形成された基板上に第1の絶縁性材料からなる層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜の上面から、前記層間絶縁膜の下面に到達しない、前記層間絶縁膜内の所定の深さまで、開口部を形成する工程と、前記開口部の側面に前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜を形成する工程と、前記スペーサ膜をマスクとして、前記開口部の底面から前記層間絶縁膜の下面までエッチングして、前記層間絶縁膜の上面から下面にわたるホールを形成する工程と、前記ホール内に導電性材料を埋め込んでプラグを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
また、本発明の一態様によれば、電界効果型トランジスタが形成された基板上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、前記第1の層間絶縁膜の上面から下面まで貫通するコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホール内に導電性材料を埋め込んで第1のプラグを形成する形成工程と、前記第1の層間絶縁膜上および前期第1のプラグ上に、第1の絶縁性材料からなる第2の層間絶縁膜を形成する成工程と、前記第2の層間絶縁膜上に前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなる犠牲膜を形成する工程と、前記第1のプラグの形成位置に対応する位置の、前記犠牲膜の上面から、前記第2の層間絶縁膜の下面に到達しない、前記第2の層間絶縁膜内の所定の深さまで、開口部を形成する開口部形成工程と、前記開口部の側面と底面を被覆するように前記犠牲膜上に前記第1の絶縁性材料とは異なる第3の絶縁性材料からなる絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜をエッチバックして、前記開口部の側面にのみ前記絶縁膜を残してスペーサ膜を形成する工程と、前記犠牲膜およびスペーサ膜をマスクとして、前記開口部の底面から前記第2の層間絶縁膜の下面までエッチングして、前記第2の層間絶縁膜の上面から下面にわたるビアホールを形成する工程と、前記ビアホール内に導電性材料を埋め込んで第2のプラグを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、ビアホール下方でのスペーサ膜の閉塞を回避するとともに、ビアプラグの上方で隣接する配線層との間の余裕距離を確保することができる半導体装置およびその製造方法を提供することができるという効果を奏する。
以下に添付図面を参照して、本発明の実施の形態にかかる半導体装置およびその製造方法を詳細に説明する。なお、これらの実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の実施の形態で用いられる図は模式的なものであり、層の厚さと平面寸法との関係や、各層の厚さの比率などは現実のものとは異なる。
以下では、本発明をNAND型フラッシュメモリ装置に適用した場合の実施の形態について説明する。図1は、NAND型のフラッシュメモリ装置のメモリセル領域に形成されるメモリセルアレイの一部を示す等価回路図である。NAND型フラッシュメモリ装置のメモリセルアレイは、2個の選択ゲートトランジスタTrs1,Trs2と、これらの選択ゲートトランジスタTrs1,Trs2間に直列接続された複数個(たとえば、2n乗個(nは正の整数))のメモリセルトランジスタTrmとからなるNANDセルユニット(メモリユニット)Suが行列状に形成されることにより構成されている。NANDセルユニットSu内において、複数個のメモリセルトランジスタTrmは隣接するもの同士でソース/ドレイン領域を共用して形成されている。
図1中のX方向(ワード線方向、ゲート幅方向に相当)に配列されたメモリセルトランジスタTrmは、ワード線(制御ゲート線)WLにより共通接続されている。また、図1中のX方向に配列された選択ゲートトランジスタTrs1は選択ゲート線SGL1で共通接続され、選択ゲートトランジスタTrs2は選択ゲート線SGL2で共通接続されている。選択ゲートトランジスタTrs1のドレイン領域にはビット線コンタクトCBが接続されている。このビット線コンタクトCBは図1中のX方向に直交するY方向(ゲート長方向、ビット線方向に相当)に延びるビット線BLに接続されている。また、選択ゲートトランジスタTrs2はソース領域を介して図1中のX方向に延びるソース線SLに接続されている。
図2はメモリセル領域の一部のレイアウトパターンを示す平面図である。半導体基板としてのシリコン基板1に、素子分離領域としてのSTI(Shallow Trench Isolation)2が図2中のY方向に延在して、X方向に所定の間隔で複数本形成され、これによって隣接する活性領域3が図2中のX方向に分離した状態に形成されている。活性領域3と直交する図2中のX方向に延在して、Y方向に所定間隔でメモリセルトランジスタのワード線WLが形成されている。
また、図2中のX方向に延在した2本の選択ゲート線SGL1が、隣接して並行に形成されている。2本の選択ゲート線SGL1間の活性領域3にはビット線コンタクトCBa,CBbがそれぞれ形成されている。ビット線コンタクトCBa,CBbは、隣接する活性領域3にY方向の位置を交互に変えて配置され、このうち、ビット線コンタクトCBaは、2本の選択ゲート線SGL1の間において、一方の選択ゲート線SGL1側に寄せて配置され、ビット線コンタクトCBbは、他方の選択ゲート線SGL1側に寄せて配置された、いわゆる千鳥状に配置された状態である。
選択ゲート線SGL1と所定本数のワード線WLを存した位置に、選択ゲート線SGL1の場合と同様にして、図2中のX方向に延在した2本の選択ゲート線SGL2が並行して形成されている。そして、2本の選択ゲート線SGL2間の活性領域3にはソース線コンタクトCSa,CSbが同じく千鳥状に配置形成されている。
ワード線WLと交差する活性領域3上にはメモリセルトランジスタTrmの積層ゲート構造MGが、選択ゲート線SGL1,SGL2と交差する活性領域3上には選択ゲートトランジスタTrs1,Trs2のゲート構造SGが形成されている。
図3は、図2のA−A断面図である。すなわち、ビット線コンタクトCBaを含む活性領域3上を切断して模式的に示したものである。この図3において、シリコン基板1上には、複数個のメモリセルトランジスタTrmと、2つの選択ゲートトランジスタTrs1が示されている。
メモリセルトランジスタTrmは、シリコン基板1上にゲート絶縁膜12、電荷蓄積層13、電極間絶縁膜14および制御ゲート電極15が順に積層された積層ゲート構造MGを有し、この積層ゲート構造MGの下のチャネル領域を挟んだシリコン基板1表面の両側にソース/ドレイン領域16が形成される。このソース/ドレイン領域16は、隣接するメモリセルトランジスタTrm間で共有されて、メモリセルトランジスタTrmは、Y方向(ビット線方向)に直列に接続される構造となる。
選択ゲートトランジスタTrs1は、直列接続されたメモリセルトランジスタTrm列の端部に配置され、ゲート絶縁膜13、第1のゲート電極23、電極間絶縁膜24および第2のゲート電極25が順に積層されたゲート構造SGを有し、このゲート構造SGの下のチャネル領域を挟んだシリコン基板1表面の両側にソース/ドレイン領域26が形成される。なお、選択ゲートトランジスタTrs1のゲート構造SGの電極間絶縁膜24には、第1のゲート電極23と第2のゲート電極25を導通するための開口が形成され、この開口内に第2のゲート電極25が埋め込まれている。このソース/ドレイン領域26のうちの一方は、同じNANDセルユニットSu内の隣接するメモリセルトランジスタTrmのソース/ドレイン領域16と共有され、他方は、隣接する選択ゲートトランジスタTrs1のソース/ドレイン領域26と共有される。なお、選択ゲートトランジスタTrs2も選択ゲートトランジスタTrs1と同様の構造を有している。
これらのメモリセルトランジスタTrmおよび選択ゲートトランジスタTrs1(Trs2)が形成されたシリコン基板1上には、シリコン酸化膜などからなる第1の層間絶縁膜30が形成される。第1の層間絶縁膜30の、隣接する選択ゲートトランジスタTrs1間のソース/ドレイン領域26に対応する位置には、第1の層間絶縁膜30を貫通するコンタクトホール31が形成されている。このコンタクトホール31は、上端部から下端部にかけて基板面に平行な方向の断面積が減少するように、すなわち、その側面が順テーパ状となるように形成されている。そして、このコンタクトホール31内には、窒化チタン(TiN)膜などのバリアメタル膜33を介してタングステン(W)などの導電性材料34が埋め込まれ、コンタクトプラグ32が形成されている。
第1の層間絶縁膜30上には、シリコン酸化膜などからなる第2の層間絶縁膜40が形成される。第2の層間絶縁膜40の、コンタクトプラグ32に対応する位置には、第2の層間絶縁膜40を貫通して形成されたビアホール41が形成されている。このビアホール41も、上端部から下端部にかけて基板面に平行な方向の断面積が減少するように、その側面が順テーパ状となるように形成されている。このビアホール41内には、窒化チタンなどのバリアメタル膜44を介してタングステンなどの導電性材料45が埋め込まれ、ビアプラグ43が形成されている。なお、第1および第2の層間絶縁膜30,40を貫通して形成されるコンタクトプラグ32とビアプラグ43が、ビット線コンタクトCBaに対応する。
そして、第2の層間絶縁膜40上には、第2の層間絶縁膜40に形成したビアプラグ43の形成位置を含むようにY方向に延在するようにパターニングされた配線層であるビット線BLが形成される。なお、図3には、ビット線コンタクトCBaについてしか示されていないが、ビット線コンタクトCBbも同様にして形成される。この場合には、コンタクトプラグ32とビアプラグ43の位置が、左側の選択ゲートトランジスタTrs1のゲート構造SG側に寄った構造となる。また、ソース線コンタクトCSa,CSbは、隣接する選択ゲートトランジスタTrs2間のソース/ドレイン領域26と第1の層間絶縁膜30上に形成されるソース線SLとの間を接続するコンタクトプラグによって形成されるが、このコンタクトプラグは、上記したビット線コンタクトCBaを構成するコンタクトプラグ32と同様の構造を有している。
ここで、第2の層間絶縁膜40に形成されるビアホール41において、その上端部から第2の層間絶縁膜40の下端部まで到達しない所定の深さの範囲の側面に、開口面積を縮小させるためのスペーサ膜42が形成されている。このスペーサ膜42は、後述するように、ビアホール41を形成する際のRIE(Reactive Ion Etching)処理において、第2の層間絶縁膜40に比してエッチングされ難い材料であればよい。たとえば、第2の層間絶縁膜40がシリコン酸化膜で構成される場合には、シリコン窒化膜(SiN膜)などを用いることができる。
このスペーサ膜42の下端部の位置は、ビアプラグ43の形成工程において、形成したビアホール41の側面および底面にスペーサ膜42を形成した後、エッチバックによってビアホール41の底面に形成されたスペーサ膜42を完全に除去することが可能な位置で、第2の層間絶縁膜40の下面よりも浅い位置に設けられればよい。また、このビアホール41を構成する側面は、上部においてはスペーサ膜42で形成され、下部では第2の層間絶縁膜40で形成されているが、これらの膜の境界部分は連続的に構成され、段差などはほとんどない。つまり、ビアホール41の側面は、上端部から下端部に向かって面一で、滑らかな面を形成している。
このようにスペーサ膜42を、ビアホール41の上端部から所定の深さの範囲に形成するようにしたので、ビアプラグ43の上面において、基板面に平行な方向の断面積を縮小することができ、ビアプラグ43とこのビアプラグ43の上方でX方向に隣接するビット線BL(配線層)との間の余裕距離を長く取ることができる。その結果、両者の間に電位差が生じたときのリークに対する耐性を高めることができる。
また、ビアホール41において、第2の層間絶縁膜40の上端部から第2の層間絶縁膜40の下端部に到達しない深さまでスペーサ膜42を形成するようにしたので、ビアホール41の底部がスペーサ膜42で閉塞されることがなく、ビアプラグ43とコンタクトプラグ32とが電気的に接続不良となることなく、良好な状態で接触させることができる。
つぎに、このような半導体装置の製造方法について説明する。図4−1〜図4−4は、この実施の形態にかかる半導体装置の製造方法の手順の一例を模式的に示す断面図である。まず、シリコン基板1にゲート絶縁膜12,22、およびメモリセルトランジスタTrmの電荷蓄積層13と選択ゲートトランジスタTrs1(Trs2)の第1のゲート電極23の基となる多結晶シリコン膜、シリコン窒化膜などを積層形成した状態で、STI2を形成するためのトレンチをRIE処理によって形成する。そして、トレンチ内部にSOG(Spin On Glass)膜または埋め込み性の良好なシリコン酸化膜を埋め込み、STI2を形成する。その後、前述のシリコン窒化膜を剥離し、電極間絶縁膜14,24、およびメモリセルトランジスタTrmの制御ゲート電極15と選択ゲートトランジスタTrs1(Trs2)の第2のゲート電極25の基となるシリコン多結晶膜、シリコン酸化膜などを、シリコン基板1上の全面に積層形成する。続いて、RIE処理によって、ワード線WLや選択ゲート線SGL1,SGL2などの形状にエッチングを行うことによって、各トランジスタの形成領域には、積層ゲート構造MGとゲート構造SGのパターンが形成される。そして、形成した積層ゲート構造MGとゲート構造SGをマスクとして、所定の導電型の不純物元素を活性領域3にイオン注入して活性化させることによって、各トランジスタの形成領域には、ソース/ドレイン領域16,26が形成される。以上によって、メモリセルトランジスタTrmと選択ゲートトランジスタTrs1(Trs2)が形成される。
この後、メモリセルトランジスタTrmや選択ゲートトランジスタTrs1(Trs2)などが形成されたシリコン基板1上に、シリコン酸化膜などからなる第1の層間絶縁膜30を、各素子間または各配線間に埋め込むとともに、各素子および各配線上を覆うように形成する。ついで、隣接して設けられる2つの選択ゲート線SGL1(SGL2)間のソース/ドレイン領域26に対応してコンタクトホール31を形成する。コンタクトホール31は、上端部の開口部から下端部にいくにしたがって断面積がやや縮小する順テーパ形状を有するが、ほぼ垂直に近い側面が形成されている。このコンタクトホール31内に窒化チタンなどのバリアメタル膜33およびタングステンなどの導電性材料34を埋め込むように成膜する。この後、第1の層間絶縁膜30の上面に堆積したバリアメタル膜33と導電性材料34をCMP(Chemical Mechanical Polishing)処理などで除去すると共に、第1の層間絶縁膜30を研削して除去することでコンタクトプラグ32を形成する(図4−1(a))。
ついで、第1の層間絶縁膜30の上面にシリコン酸化膜からなる第2の層間絶縁膜40と、後の工程でのビアホール形成位置における第2の層間絶縁膜40をエッチングする際の犠牲膜51と、を順に成膜する。この犠牲膜51として、たとえばシリコン窒化膜を用いることができる。その後、犠牲膜51上にレジスト52を塗布し、フォトリソグラフィ処理によってコンタクトプラグ32に対応する位置にビアホールを形成するための開口53を設けるように、パターニングを行う(図4−1(b))。
その後、開口53を形成したレジスト52をマスクとして、RIE処理により犠牲膜51と第2の層間絶縁膜40をエッチングして、第2の層間絶縁膜40の下端よりも浅い所定の位置で止めた開口部54を形成する(図4−2(a))。なお、この開口部54は、後にビアホールとなる部分である。また、この開口部54の深さは、後の工程のスペーサ膜のエッチバック時に、開口部54の底部付近がスペーサ膜で閉塞されないような深さ、つまり、開口部54の底部付近のスペーサ膜が完全に除去される深さ、であればよい。
所定の深さの開口部54を形成した後、レジスト52を有機溶媒などで除去する(図4−2(b))。ついで、開口部54内と犠牲膜51上に、スペーサ膜となる絶縁膜42Aを形成する(図4−3(a))。この絶縁膜42Aを開口部54の側面と底面を覆うように形成することができれば、どのような成膜技術を用いてもよい。ここでは、CVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて、絶縁膜42Aとしてシリコン窒化膜を形成するものとする。
その後、RIE法によって、開口部54の底面に形成された絶縁膜42Aを除去するように、絶縁膜42Aをエッチバックする(図4−3(b))。これによって、犠牲膜51上の絶縁膜42Aと開口部54の底面上の絶縁膜42Aが除去され、開口部54の上端部から第2の層間絶縁膜40の下端部まで到達しない所定の深さまでの側面にのみ絶縁膜42Aが残り、スペーサ膜42が形成される。
ついで、RIE法によって、犠牲膜51およびスペーサ膜42をマスクとして、コンタクトプラグ32の上面が露出するまで、第2の層間絶縁膜40のエッチングを行う(図4−4(a))。これによって、第2の層間絶縁膜40を貫通するビアホール41が形成される。
その後、第2の層間絶縁膜40上に形成された犠牲膜51および犠牲膜51の側面に形成されたスペーサ膜42を除去し、ビアホール41に窒化チタンなどのバリアメタル膜44と、タングステンなどの導電性材料45を埋め込むように形成し、第2の層間絶縁膜40の上面に堆積したバリアメタル膜44と導電性材料45をCMP処理などで除去することでビアプラグ43を形成する(図4−4(b))。このとき、第2の層間絶縁膜40の上部を研削して除去してもよい。なお、このCMP処理では、ビアホール41の内周壁の形状が順テーパ状となる角度に形成されているので、研削量を多くすると(第2の層間絶縁膜40の厚さを薄くすると)、ビアホール41の上面開口の径寸法が小さくなる。そのため、研削量を調整することによって、上面開口の径寸法を調整することができる。その結果、X方向に隣接する上層配線(ビット線BL)との余裕距離を多くとることが可能となる。そして、第2の層間絶縁膜40上にビット線BLを形成することによって、図3に示される半導体装置が得られる。
この実施の形態によれば、ビアホール41の上端部から第2の層間絶縁膜40の下端部よりも浅い位置に達する側面にスペーサ膜42を形成するとともに、スペーサ膜42とその下部の第2の層間絶縁膜40との境界を滑らかに接続するようにしたので、ビアホール41下方でのスペーサ膜42を形成するために堆積した絶縁膜42Aがエッチバックされずに残ることによって生じる閉塞を回避するとともに、ビアプラグ43の上方で隣接する配線層との間の余裕距離を確保することができるという効果を有する。
また、ビアホール41の形成時に、最初に、第2の層間絶縁膜40の上端部から第2の層間絶縁膜40の厚さよりも浅い所定の位置まで開口部54を形成し、そこに絶縁膜42Aを形成し、エッチバックして開口部54の側面にスペーサ膜42を形成してから、開口部54の下の第2の層間絶縁膜40をエッチングするようにした。その結果、開口部54の底部に形成される絶縁膜42Aが、エッチバック時に除去されずに残ってしまうという状態を回避することができ、完全に開口部54底部の絶縁膜42Aを除去することができる。そして、この状態で第2の層間絶縁膜40の下部までエッチングして、ビアプラグ43を形成するようにしたので、下層のコンタクトプラグ32との接触不良を抑制することができるという効果を有する。
さらに、ビアプラグ43の上端部では、リソグラフィ処理で形成可能な最小の径で形成した開口部54の周縁部にスペーサ膜42が形成されているので、ビアホール41の径に比して、ビアプラグ43の径が小さくなっている。その結果、上方で隣接する配線層とビアプラグ43との間に電位差が生じたときでも、リークを起こさない余裕距離を確保することができるという効果も有する。
なお、ここでは、ビット線コンタクト付近における断面図を用いて説明を行ったが、ソース線コンタクトや他の位置で形成するコンタクトも同様にして形成される。
また、この例では、層間絶縁膜が2層積層された場合を示しているが、これに限られず、層間絶縁膜が3層以上積層された場合に対しても、上記した実施の形態のビアプラグの構造および製造方法を適用することができる。また、ビアプラグを省略して、コンタクトに上述した構造および製造方法を適用することもできる。
さらに、上述した説明では、NAND型フラッシュメモリ装置を例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、NOR型フラッシュメモリ装置や他のコンタクトプラグおよびビアプラグを有する構成の半導体装置全般にこの実施の形態を適用することができる。また、上述した説明では、半導体基板上に層間絶縁膜を形成する場合を例に挙げたが、ガラス基板などの他の基板上に電界効果型トランジスタを形成し、その上に層間絶縁膜を形成するような場合に対しても適用することが可能である。
1…シリコン基板、3…活性領域、12…ゲート絶縁膜、13…電荷蓄積層、14,24…電極間絶縁膜、15…制御ゲート電極、16,26…ソース/ドレイン領域、23…第1のゲート電極、25…第2のゲート電極、30…第1の層間絶縁膜、31…コンタクトホール、32…コンタクトプラグ、40…第2の層間絶縁膜、41…ビアホール、42…スペーサ膜、42A…絶縁膜、43…ビアプラグ、51…犠牲膜、52…レジスト、53…開口、54…開口部、BL…ビット線、CB,CBa,CBb…ビット線コンタクト、CSa,CSb…ソース線コンタクト、MG…積層ゲート構造、SG…ゲート構造、Trm…メモリセルトランジスタ、Trs1,Trs2…選択ゲートトランジスタ。
Claims (5)
- 電界効果型トランジスタが形成された基板上に設けられ、上面から下面まで貫通するホールを有し、第1の絶縁性材料からなる層間絶縁膜と、
前記ホール内に導電性材料が埋め込み形成されたプラグとを備え、
前記ホールを形成する側壁は、前記層間絶縁膜の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、前記ホールの上端部から前記下面に到達しない所定の深さまでの側壁に、前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。 - 電界効果型トランジスタが形成された基板上に設けられ、上面から前記基板の表面まで貫通するコンタクトホールを有する第1の層間絶縁膜と、
前記コンタクトホール内に導電性材料が埋め込み形成された第1のプラグと、
第1の絶縁性材料からなり、前記第1の層間絶縁膜上に形成され、前記第1のプラグの形成位置に対応する位置の上面から下面まで貫通するビアホールを有する第2の層間絶縁膜と、
前記ビアホール内に前記第1のプラグと電気的に接触するように導電性材料が埋め込み形成された第2のプラグと、
を備える半導体装置において、
前記ビアホールを形成する側壁は、前記第2の層間絶縁膜の上面から下面に向かって、基板面に平行な方向の断面積が徐々に減少する順テーパ状を有し、前記ビアホールの上端部から前記下面に到達しない所定の深さまでの側壁に、前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の層間絶縁膜はシリコン酸化膜からなり、前記スペーサ膜はシリコン窒化膜からなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 電界効果型トランジスタが形成された基板上に第1の絶縁性材料からなる層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜の上面から、前記層間絶縁膜の下面に到達しない、前記層間絶縁膜内の所定の深さまで、開口部を形成する工程と、
前記開口部の側面に前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなるスペーサ膜を形成する工程と、
前記スペーサ膜をマスクとして、前記開口部の底面から前記層間絶縁膜の下面までエッチングして、前記層間絶縁膜の上面から下面にわたるホールを形成する工程と、
前記ホール内に導電性材料を埋め込んでプラグを形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 電界効果型トランジスタが形成された基板上に第1の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の層間絶縁膜の上面から下面まで貫通するコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホール内に導電性材料を埋め込んで第1のプラグを形成する形成工程と、
前記第1の層間絶縁膜上および前期第1のプラグ上に、第1の絶縁性材料からなる第2の層間絶縁膜を形成する成工程と、
前記第2の層間絶縁膜上に前記第1の絶縁性材料とは異なる第2の絶縁性材料からなる犠牲膜を形成する工程と、
前記第1のプラグの形成位置に対応する位置の、前記犠牲膜の上面から、前記第2の層間絶縁膜の下面に到達しない、前記第2の層間絶縁膜内の所定の深さまで、開口部を形成する開口部形成工程と、
前記開口部の側面と底面を被覆するように前記犠牲膜上に前記第1の絶縁性材料とは異なる第3の絶縁性材料からなる絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜をエッチバックして、前記開口部の側面にのみ前記絶縁膜を残してスペーサ膜を形成する工程と、
前記犠牲膜およびスペーサ膜をマスクとして、前記開口部の底面から前記第2の層間絶縁膜の下面までエッチングして、前記第2の層間絶縁膜の上面から下面にわたるビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に導電性材料を埋め込んで第2のプラグを形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008280181A JP2010109183A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008280181A JP2010109183A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010109183A true JP2010109183A (ja) | 2010-05-13 |
Family
ID=42298319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008280181A Pending JP2010109183A (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010109183A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9196609B2 (en) | 2013-09-18 | 2015-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
US10304743B2 (en) | 2016-06-02 | 2019-05-28 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
CN112271181A (zh) * | 2015-05-26 | 2021-01-26 | 爱思开海力士有限公司 | 半导体器件及其制造方法 |
-
2008
- 2008-10-30 JP JP2008280181A patent/JP2010109183A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9196609B2 (en) | 2013-09-18 | 2015-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
CN112271181A (zh) * | 2015-05-26 | 2021-01-26 | 爱思开海力士有限公司 | 半导体器件及其制造方法 |
US10304743B2 (en) | 2016-06-02 | 2019-05-28 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100806339B1 (ko) | 3차원적으로 배열된 메모리 셀들을 구비하는 낸드 플래시메모리 장치 및 그 제조 방법 | |
US8895400B2 (en) | Methods of fabricating semiconductor devices having buried word line interconnects | |
US7800155B2 (en) | Semiconductor device | |
US8378409B2 (en) | Non-volatile memory device and method for fabricating the same | |
US8592978B2 (en) | Method of fabricating semiconductor device and the semiconductor device | |
US8058734B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US20120241978A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US20120205805A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2010080853A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 | |
US9853052B1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing same | |
KR20130023993A (ko) | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2016018899A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2007103652A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010040538A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US9685451B2 (en) | Nonvolatile memory device and method for fabricating the same | |
JP2011211111A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
US20080203586A1 (en) | Integrated Circuit and Methods of Manufacturing a Contact Arrangement and an Interconnection Arrangement | |
JP2011066052A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP2010109183A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20100008942A (ko) | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2004152878A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
US7948053B2 (en) | Semiconductor device and method of fabricating the same | |
US9761490B2 (en) | Method for forming contact holes in a semiconductor device | |
US20070196983A1 (en) | Method of manufacturing non-volatile memory device | |
JP2008192891A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |