JP2010102693A5 - 基板処理装置、ガス給排状態の表示方法及び状態表示プログラム - Google Patents

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  1. ガス配管路に設けられたバルブの開閉要求状態及び開閉状態を検出する状態検出部と、
    前記バルブの開閉要求状態により予測される前記ガス配管路を流れるガスの予測状態と、
    前記バルブを開いて前記ガス配管路を流れるガスの状態とを状態毎に識別表示する表示部とを具備することを特徴とする基板処理装置。
  2. ガス配管路に設けられたバルブの開閉要求状態及び前記バルブの開閉状態を検出し、
    前記バルブの開閉要求状態によりシミュレーションされる前記ガス配管路を流れるガスの予測状態と、前記バルブを開放して前記ガス配管路を流れるガスの状態とを状態毎に識別表示することを特徴とするガス給排状態の表示方法。
  3. ガス配管路に設けられたバルブの開閉要求状態及び前記バルブの開閉状態を検出する検出工程と、ガス配管路に設けられたバルブの開閉要求状態によりシミュレーションされる前記ガス配管路を流れるガスの予測状態と、前記開閉要求状態から開状態への移行により前記バルブを開放して前記ガス配管路を流れるガスの状態とを状態毎に識別可能に表示する工程を少なくとも有する状態表示プログラム。
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