JP2010096541A - 損傷検査装置、方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】転動体転走面が形成される軌道体21と、軌道体21に沿って相対移動可能な移動体22と、移動体22に保持されて相対移動に用いられる複数の転動体と、を備えた運動機構20における転動体転走面の損傷を検査する装置1であって、軌道体21或いはその近傍に設置された加速度センサ33,34と、加速度センサ33,34の信号を処理する信号処理部40と、を備える。
【選択図】図1
Description
第1の発明は、転動体転走面が形成される軌道体と、前記軌道体に係合して前記軌道体に沿って相対移動可能な移動体と、前記移動体に保持されて前記相対移動に用いられる複数の転動体と、を備えた運動機構における前記転動体転走面の損傷を検査する装置であって、前記軌道体或いはその近傍に設置された加速度センサと、前記加速度センサの検出信号を処理する信号処理部と、を備えることを特徴とする。
図1は、本発明に係る損傷検査装置1の実施形態を示す概略平面図である。
損傷検査装置1は、ねじ軸11とナット12とボール(不図示)からなるボールねじ10と、ねじ軸11を回転させてねじ軸11に螺合するナット12を往復運動させるサーボモータ13と、を備える。
そして、カップリング15、サポート軸受16aは、サーボモータ13の取付ブラケットを兼ねたサポートケース17内に収納されている。そして、サポートケース17は、床面に固定される。
更に、ナット12には、移動テーブル18が固定されており、この移動テーブル18は、ねじ軸11の延在方向に対して平行配置された一対の直線運動装置20に沿って案内される。
直線運動装置20は、ガイドレール21と、このガイドレール21に沿って移動可能な移動ブロック22と、ガイドレール21と移動ブロック22との間に介在する複数のボール26と、を有するリニアガイドである。
ガイドレール21に沿って移動する移動ブロック22は、ボール転走溝21aと対向する面にボール26が転走するボール転走溝が形成された移動ブロック本体24と、不図示の転動体方向転換路が形成されるとともに移動ブロック本体24の移動方向の前後端に固定された蓋体25とから構成されている。
第一加速度センサ33,第二加速度センサ34は、ガイドレール21に発生する振動のうち、例えば10kHz以下の振動(音)を検出する。
第一加速度センサ33,第二加速度センサ34は、例えば一軸加速度センサであって、ガイドレール21の延在方向に交差する方向(鉛直方向)の振動を検出する。
ガイドレール21のボール転走溝21aに傷等の損傷が存在すると、傷等の損傷部分上をボール26が転動する際に、正常時とは異なった振動(音)が発生するので、この振動を第一,第二加速度センサ33,34の検出信号として取得する。
計測波形は、停止時間を含む片側ストロークの信号を計測する。アンプのゲインによる補正を除くために、計測電圧をゲインで割ったセンサ出力換算値を採用している。
すなわち、センサ出力電圧=計測電圧/ゲイン
である。
ここで、No.0は損傷のない新品の直線運動装置20である。そして、No.1〜No.5に従って、損傷度合いが大きくなっている。
ここで、損傷度合い(level)は、任意にてレベル分けを行っている。
アンプのフィルタが5Hz−10kHzであり、この周波数範囲において、損傷度合いがレベル2までは、ほとんど強度に変化がないが、損傷度合いがレベル3以上になると、損傷度合いに応じて、信号強度が大きくなる。
なお、周波数の演算に用いた波形は、停止時間を含む波形であり、絶対強度とはならない(相対比較は可能)。
レベル3以上で損傷度合いの大きさに依存して1kHz〜4kHz程度の周波数範囲の強度が徐々に大きくなっている。この周波数帯域は駆動速度で周波数は変化しない。
なお、周波数の演算に用いた波形は、停止時間を含む波形であり、絶対強度とはならない(相対比較は可能)。
レベル3以上で損傷度合いの大きさに依存して1kHz〜4kHz程度の周波数範囲の強度が大きくなっている。この周波数帯域は駆動速度で周波数は変化しない。このことから、損傷度合いの大きいものは、1kHz〜4kHzの周波数を評価すればよいことが分かる。
フィルタ条件:BW5次、HPF=1kHz、LPF=4kHz
計測波形をフィルタ処理した後の信号強度で比較すると、フィルタを使用しない場合に比べて、容易に損傷度合いの大きさの診断が可能である。
ガイドレール21又は移動テーブル18のいずれかに加速度センサ33,34を設置することで、損傷度合いの診断が可能になる。特に、診断の精度を向上させるために、特定の周波数帯域のバンドパスフィルタを使用することが望ましい。
そして、計測波形をフィルタ処理した後の信号強度が所定の閾値を超えるか否かを判定することで、損傷度合いの診断を的確に行うことができる。
Claims (3)
- 転動体転走面が形成される軌道体と、前記軌道体に係合して前記軌道体に沿って相対移動可能な移動体と、前記移動体に保持されて前記相対移動に用いられる複数の転動体と、を備えた運動機構における前記転動体転走面の損傷を検査する装置であって、
前記軌道体或いはその近傍に設置された加速度センサと、
前記加速度センサの検出信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とする損傷検査装置。 - 前記信号処理部は、バンドパスフィルタを有し、特定の周波数帯域の検出信号を取得することを特徴とする請求項1に記載の損傷検査装置。
- 転動体転走面が形成される軌道体と、前記軌道体に係合して前記軌道体に沿って相対移動可能な移動体と、前記移動体に保持されて前記相対移動に用いられる複数の転動体と、を備えた運動機構における前記転動体転走面の損傷を検査する方法であって、
前記軌道体或いはその近傍に設置された加速度センサと、
前記加速度センサの検出信号を処理する信号処理部と、
を備え、
前記信号処理部により特定の周波数帯域の検出信号を取得することを特徴とする損傷検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2010096541A true JP2010096541A (ja) | 2010-04-30 |
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ID=42258342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008265518A Pending JP2010096541A (ja) | 2008-10-14 | 2008-10-14 | 損傷検査装置、方法 |
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---|---|
JP (1) | JP2010096541A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6276817B1 (ja) * | 2016-09-09 | 2018-02-07 | Thk株式会社 | 故障検出用センサ付きアクチュエータ及びアクチュエータの故障検出方法 |
JP2018192585A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | ファナック株式会社 | リニアガイドの損傷検知装置及び損傷検知方法 |
US20190300032A1 (en) * | 2016-04-04 | 2019-10-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Rail break detection device |
WO2022219711A1 (ja) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 日本精工株式会社 | リニアガイドの状態監視装置および状態監視方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09113416A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Nippon Steel Corp | ころがり軸受の損傷診断方法 |
JP2002022617A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | 軸受診断装置 |
JP2002116114A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Nsk Ltd | 軸受の振動測定装置 |
JP2005172685A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Nsk Ltd | 機械設備の監視システム |
JP2006275954A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Railway Technical Res Inst | 軸受監視システム、及び軸受監視プログラム |
WO2007099730A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Thk Co., Ltd. | 状態検出装置及び状態検出方法並びに状態検出用プログラム及び情報記録媒体 |
-
2008
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09113416A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Nippon Steel Corp | ころがり軸受の損傷診断方法 |
JP2002022617A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | 軸受診断装置 |
JP2002116114A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Nsk Ltd | 軸受の振動測定装置 |
JP2005172685A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Nsk Ltd | 機械設備の監視システム |
JP2006275954A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Railway Technical Res Inst | 軸受監視システム、及び軸受監視プログラム |
WO2007099730A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Thk Co., Ltd. | 状態検出装置及び状態検出方法並びに状態検出用プログラム及び情報記録媒体 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11572088B2 (en) * | 2016-04-04 | 2023-02-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Rail break detection device |
US20190300032A1 (en) * | 2016-04-04 | 2019-10-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Rail break detection device |
CN109690277B (zh) * | 2016-09-09 | 2020-04-24 | Thk株式会社 | 带故障检测用传感器的致动器以及致动器的故障检测方法 |
WO2018047439A1 (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | Thk株式会社 | 故障検出用センサ付きアクチュエータ及びアクチュエータの故障検出方法 |
JP2018040768A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | Thk株式会社 | 故障検出用センサ付きアクチュエータ及びアクチュエータの故障検出方法 |
JP6276817B1 (ja) * | 2016-09-09 | 2018-02-07 | Thk株式会社 | 故障検出用センサ付きアクチュエータ及びアクチュエータの故障検出方法 |
CN109690277A (zh) * | 2016-09-09 | 2019-04-26 | Thk株式会社 | 带故障检测用传感器的致动器以及致动器的故障检测方法 |
DE112017004539T5 (de) | 2016-09-09 | 2019-05-23 | Thk Co., Ltd. | Mit einem fehlererkennungssensor ausgestattetes stellglied und verfahren zum erkennen eines fehlers im stellglied |
US10801919B2 (en) | 2016-09-09 | 2020-10-13 | Thk Co., Ltd. | Fault detection sensor-equipped actuator and method for detecting fault in actuator |
CN108943015A (zh) * | 2017-05-19 | 2018-12-07 | 发那科株式会社 | 直线导轨的损伤检测装置以及损伤检测方法 |
US10464220B2 (en) | 2017-05-19 | 2019-11-05 | Fanuc Corporation | Apparatus and method for detecting damage to linear guide |
DE102018111384B4 (de) | 2017-05-19 | 2020-06-18 | Fanuc Corporation | Beschädigungserkennungsvorrichtung und Beschädigungserkennungsverfahren für eine Linearführung |
CN108943015B (zh) * | 2017-05-19 | 2019-11-01 | 发那科株式会社 | 直线导轨的损伤检测装置以及损伤检测方法 |
JP2018192585A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | ファナック株式会社 | リニアガイドの損傷検知装置及び損傷検知方法 |
WO2022219711A1 (ja) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 日本精工株式会社 | リニアガイドの状態監視装置および状態監視方法 |
JPWO2022219711A1 (ja) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | ||
JP7322975B2 (ja) | 2021-04-13 | 2023-08-08 | 日本精工株式会社 | リニアガイドの状態監視装置および状態監視方法 |
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