JP2010093044A - 描画装置、空間光変調ユニットおよび描画方法 - Google Patents
描画装置、空間光変調ユニットおよび描画方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】複数の微小ミラーを備えたDMD(Digital Micromirror Device)のような空間光変調デバイスと、各微小ミラーの向きを変更する動作を開始信号により開始させるミラー制御部とを設ける。レーザ光を所定の周期Tで照射し、各微小ミラーが所望する配置角度となっているときに当該レーザ光が当該微小ミラーに入射するように、各微小ミラーに与える開始信号のタイミングを制御する。
【選択図】図6
Description
図1は、発明に係る描画装置1を示す図である。なお、以下の説明では、図1に示すようにX軸、Y軸およびZ軸を定義する。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
10 可動ステージ
11 描画ヘッド
12 制御部
13 レーザ発振器
14 照明光学系
15 結像光学系
150 アパーチャ
2 空間光変調ユニット
20 空間光変調デバイス(複数のミラー)
21 ミラー制御部
210 開始信号生成部
211 メモリ
212 演算部
9 基板
T 周期
Claims (17)
- 照射する光によってパターンを描画する描画装置であって、
光を照射する光源と、
前記光源からの光を変調する空間光変調ユニットと、
前記空間光変調ユニットによって変調された光を導く光学系と、
を備え、
前記空間光変調ユニットは、
反射面の配置角度が第1角度となる状態と前記反射面の配置角度が第2角度となる状態との間で状態の切り替えが可能であるとともに、前記状態の切り替えが行われたときに、前記反射面の配置角度が前記第1角度と前記第2角度との間で連続的に変位する複数のミラーと、
前記光源から照射される光を前記複数のミラーのそれぞれが反射させるべき方向に応じて、前記複数のミラーのそれぞれについて前記状態の切り替えを行うタイミングを個別に決定しつつ、前記複数のミラーの状態を個別に制御するミラー制御手段と、
を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1に記載の描画装置であって、
前記複数のミラーのそれぞれが反射させるべき方向は、前記複数のミラーのそれぞれに対応した画素を描画するために必要とされる光の光量に応じて決定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1または2に記載の描画装置であって、
前記ミラー制御手段は、反射面の配置角度が前記第1角度と前記第2角度との間で変位中の状態において、前記反射面が前記光源からの光を反射するように、前記反射面を有するミラーの状態の切り替えタイミングを決定することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の描画装置であって、
前記光源は、所定の周期で光を照射することを特徴とする描画装置。 - 請求項4に記載の描画装置であって、
前記ミラー制御手段は、前記所定の周期に応じてタイミングを決定することを特徴とする描画装置。 - 請求項4または5に記載の描画装置であって、
前記光源は、パルスレーザであることを特徴とする描画装置。 - 請求項6に記載の描画装置であって、
前記パルスレーザは、エキシマレーザであることを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の描画装置であって、
前記光学系は、通過する光の位置によって光量が変化する光学素子を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項8に記載の描画装置であって、
前記光学素子は、アパーチャであることを特徴とする描画装置。 - 外部の光源からの光を変調して外部の光学系に入射させる空間光変調ユニットであって、
反射面の配置角度が第1角度となる状態と前記反射面の配置角度が第2角度となる状態との間で状態の切り替えが可能であるとともに、前記状態の切り替えが行われたときに、前記反射面の配置角度が前記第1角度と前記第2角度との間で連続的に変位する複数のミラーと、
前記光源から照射される光を前記複数のミラーのそれぞれが反射させるべき方向に応じて、前記複数のミラーのそれぞれについて前記状態の切り替えを行うタイミングを個別に決定しつつ、前記複数のミラーの状態を個別に制御するミラー制御手段と、
を備えることを特徴とする空間光変調ユニット。 - 請求項10に記載の空間光変調ユニットであって、
前記複数のミラーのそれぞれが反射させるべき方向は、前記複数のミラーのそれぞれに対応した画素を描画するために必要とされる光の光量に応じて決定されることを特徴とする空間光変調ユニット。 - 請求項10または11に記載の空間光変調ユニットであって、
前記ミラー制御手段は、反射面の配置角度が前記第1角度と前記第2角度との間で変位中の状態において、前記反射面が前記光源からの光を反射するように、前記反射面を有するミラーの状態の切り替えタイミングを決定することを特徴とする空間光変調ユニット。 - 光源から照射される光を光学系から照射することによってパターンを描画する描画方法であって、
(a) 反射面の配置角度が第1角度と第2角度との間で連続的に変位する複数のミラーのそれぞれが前記光源から照射される光を反射させるべき方向に応じて、前記反射面の配置角度が前記第1角度となる状態と前記反射面の配置角度が前記第2角度となる状態との間で前記複数のミラーの状態を切り替えるタイミングを、前記複数のミラーのそれぞれについて個別に決定する工程と、
(b) 前記(a)工程において、前記複数のミラーのそれぞれについて決定されたタイミングに応じて前記複数のミラーの状態を個別に制御する工程と、
(c) 前記(b)工程により制御された状態の前記複数のミラーに前記光源から照射される光を反射させることにより、前記光源から照射される光を変調して前記光学系に入射させる工程と、
を有することを特徴とする描画方法。 - 請求項13に記載の描画方法であって、
前記複数のミラーのそれぞれが反射させるべき方向は、前記複数のミラーのそれぞれに対応した画素を描画するために必要とされる光の光量に応じて決定されることを特徴とする描画方法。 - 請求項13または14に記載の描画方法であって、
前記(c)工程における複数のミラーは、反射面の配置角度が前記第1角度と前記第2角度との間で変位中の状態のものを含むことを特徴とする描画方法。 - 請求項13ないし15のいずれかに記載の描画方法であって、
前記(c)工程において、前記光源は所定の周期で光を照射することを特徴とする描画方法。 - 請求項16に記載の描画方法であって、
前記(a)工程において、前記複数のミラーの状態を切り替えるタイミングは、前記所定の周期に応じて決定されることを特徴とする描画方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012123128A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
JP2013048237A (ja) * | 2011-08-19 | 2013-03-07 | Ultratech Inc | フォトリソグラフシステムに用いられるプログラム可能な発光体 |
JP2015099258A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 株式会社リコー | 画像処理装置及び方法、並びに画像形成装置 |
JP2018036544A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002506234A (ja) * | 1998-03-02 | 2002-02-26 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 改良型パターン・ジェネレータ |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2006128194A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2006245556A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画装置及び描画方法 |
JP2011519172A (ja) * | 2008-04-30 | 2011-06-30 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvマイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を含む照明系並びに投影露光装置 |
-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002506234A (ja) * | 1998-03-02 | 2002-02-26 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 改良型パターン・ジェネレータ |
JP2002506233A (ja) * | 1998-03-02 | 2002-02-26 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 高画質パターン作成方法 |
JP2002506235A (ja) * | 1998-03-02 | 2002-02-26 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | アドレス・レゾリューションが改善されたパターン・ジェネレータ |
JP2005022250A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び画像記録装置 |
JP2006128194A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2006245556A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画装置及び描画方法 |
JP2011519172A (ja) * | 2008-04-30 | 2011-06-30 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvマイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を含む照明系並びに投影露光装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012123128A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
JP2013048237A (ja) * | 2011-08-19 | 2013-03-07 | Ultratech Inc | フォトリソグラフシステムに用いられるプログラム可能な発光体 |
US8823921B2 (en) | 2011-08-19 | 2014-09-02 | Ultratech, Inc. | Programmable illuminator for a photolithography system |
JP2015099258A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 株式会社リコー | 画像処理装置及び方法、並びに画像形成装置 |
JP2018036544A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
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