JP2010092961A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この太陽電池の製造方法は、p型シリコン基板1の表面上に、P2O5を含む拡散剤を塗布する工程と、そのp型シリコン基板1を熱拡散処理することによりpn接合を形成する工程とを備えている。そして、pn接合を形成する工程に先立って、p型シリコン基板1の裏面上に、ケイ酸アルキルおよびチタン酸アルキルの少なくとも一方を含む拡散防止剤を塗布する工程をさらに備え、p型シリコン基板1の裏面上に拡散防止剤を塗布する際に、p型シリコン基板1の周辺の除湿を行う。
【選択図】図2
Description
2 n+層
21 拡散防止膜
22 拡散膜
Claims (3)
- 第1導電型の半導体基板の表面上に、第2導電型のドーパントを含む拡散剤を塗布する工程と、
前記拡散剤が塗布された前記半導体基板を熱拡散処理することにより、前記半導体基板の表面側にpn接合を形成する工程とを備え、
前記半導体基板の表面側にpn接合を形成する工程に先立って、前記半導体基板の表面の反対側面である裏面上に、前記拡散剤の拡散を防止するための拡散防止剤を塗布する工程をさらに備え、
前記半導体基板の裏面上に前記拡散防止剤を塗布する際に、前記半導体基板の周辺の除湿を行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記半導体基板の裏面上に前記拡散防止剤を塗布する際に、前記半導体基板の周辺に乾燥した気体を吹き込むことによって、前記半導体基板の周辺の除湿を行うことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記拡散防止剤は、ケイ酸アルキルおよびチタン酸アルキルの少なくとも一方を含む薬液であることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016117073A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
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2008
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