JP2010091329A - レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 - Google Patents
レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010091329A JP2010091329A JP2008259804A JP2008259804A JP2010091329A JP 2010091329 A JP2010091329 A JP 2010091329A JP 2008259804 A JP2008259804 A JP 2008259804A JP 2008259804 A JP2008259804 A JP 2008259804A JP 2010091329 A JP2010091329 A JP 2010091329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect inspection
- scan
- inspection
- laser
- test object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
- G01N2201/1045—Spiral scan
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/106—Acousto-optical scan
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のレーザー散乱式欠陥検査装置100は、被検物Wを回転しつつ一方向に移動させるステージ装置2と、ステージ装置2に設置された被検物Wに向けてレーザー光LBを射出するレーザー光源1と、レーザー光源1から射出されたレーザー光LBを被検物W上で走査する光偏光器15と、被検物Wの表面で散乱されたレーザー光LBを検出する光検出器16と、ステージ装置2による被検物Wの回転速度及び移動速度、並びに、光偏向器15による被検物W上でのビームのスキャン幅及びスキャン振動数を含む欠陥検査の条件を被検物Wの製造プロセスの検査工程毎に記憶する記憶装置24と、検査工程毎に記憶装置24に記憶された欠陥検査の条件を読み出し、当該条件でステージ装置2及び光偏向器15の駆動を制御する制御装置25と、を備えている。
【選択図】図1
Description
この構成によれば、被検物の欠陥検査を検査工程毎に適切な条件で実施することができる。そのため、欠陥検査に要する時間を大幅に短縮することができ、検査工程を含めたトータルの生産効率を向上することができる。
この構成によれば、MHzオーダーの高速走査が可能であるため、例えば、ガルバノミラー等の機械的に光の光路を制御する方式に比べて、効率的な欠陥検出が可能となる。
この方法によれば、被検物の欠陥検査を検査工程毎に適切な条件で実施することができる。そのため、欠陥検査に要する時間を大幅に短縮することができ、検査工程を含めたトータルの生産効率を向上することができる。
この方法によれば、高感度且つ高効率な欠陥検査が実現される。
ウエーハの最終出荷前検査として、スパイラルスキャンとクロススキャンとの複合方式を実施した。スポットサイズ10μmでのスパイラルスキャンで、θステージの回転数を2000rpm(revolution per minute)、クロススキャンのスキャン振動数を40MHz(1スキャン中での回転移動距離が最大0.785μm)、クロススキャンのスキャン幅を150μmとした。この場合、処理能力は60wph(wafer per hour)(ウエーハ搬送時間、信号処理時間を含まず)となる。レーザー光は、波長355nmの紫外線レーザーを用い、P偏光のレーザー光をウエーハの法線方向からY方向に70°傾いた方向より入射した。この方法では、PSL(polystyrene-latex)最小検出サイズは28nmであった。ただし、レビューSEM装置とのLPD座標の相対位置合わせ精度は100μm以内であった。
市販の欠陥検査装置Aを用いて、欠陥検査を実施した。欠陥検査装置Aはスパイラルスキャン方式の欠陥検査装置であり、光偏光器は備えていない。スポットサイズ50μmでのスパイラルスキャンで、回転数を2000rpmとし、重なり合うようにしてウエーハの全領域を2回スキャンした。この場合、処理能力は20wph(ウエーハ搬送時間、信号処理時間を含まず)となる。レーザー光は、波長355nmの紫外線レーザーを用い、P偏光のレーザー光をウエーハの法線方向からY方向に70°傾いた方向より入射した。この場合、PSL最小検出サイズは37nmであった。また、レビューSEM装置とのLPD座標の相対位置合わせ精度は40μm以内であった。
市販の欠陥検査装置Bを用いて、欠陥検査を実施した。欠陥検査装置Bは、200mmまでの小口径用の欠陥検査装置で、偏向素子としてスキャン速度の遅い1軸ガルバノミラーを使用したレーザー側Xスキャンと、ステージ側Yスキャンとの組み合わせで、ウエーハの全領域をスキャンするものである。この装置では、X方向を全面に渡ってスキャンする構造となるため、ウエーハへの入射角度、レーザー経路の違いから、ウエーハ面内のX方向での感度変動が生じやすい、という欠点が見られた。したがって、この機構は、300mm以上の大口径ウエーハへの適用が困難である。レーザー光は、波長488nmの可視光レーザーを用い、P偏光のレーザー光をウエーハの法線方向からY方向に70°傾いた方向より入射した。この場合、PSL最小検出サイズは100nmであった。また、レビューSEM装置とのLPD座標の相対位置合わせ精度は悪く、少なくとも400μm以上であった。
市販の欠陥検査装置Cを用いて、欠陥検査を実施した。欠陥検査装置Cは、スパイラルスキャンとクロススキャンとを組み合わせた複合型の走査方式を採用している。スポットサイズ30μmでのスパイラルスキャンで、最低回転数(外周部)を50rpm、最高回転数(中心)を200rpm(平均回転数125rpm)、光偏光器であるガルバノミラーのスキャン振動数を1.5kHz(1スキャン中での回転移動距離が50μm)、ウエーハ上でのビームのスキャン幅を4mmとし、この幅が重なり合うようにしてウエーハの全領域を2回スキャンした。この場合、処理能力は100wph(ウエーハ搬送時間・信号処理時間を含まず)となる。レーザー光は、波長532nmの可視光レーザーを用い、P偏光のレーザー光をウエーハの法線方向からY方向に65°傾いた方向より入射した。この場合、PSL最小検出サイズは45nmであった。また、レビューSEM装置とのLPD座標の相対位置合わせ精度は悪く、少なくとも600μm以上であった。
Claims (5)
- 被検物の表面にレーザー光を照射し、その散乱光を検出することにより、欠陥検出を行うレーザー散乱式欠陥検査装置であって、
前記被検物を回転しつつ一方向に移動させるステージ装置と、
前記ステージ装置に設置された被検物に向けてレーザー光を射出するレーザー光源と、
前記レーザー光源から射出されたレーザー光を前記被検物上で走査する光偏光器と、
前記被検物の表面で散乱されたレーザー光を検出する光検出器と、
前記ステージ装置による前記被検物の回転速度及び移動速度、並びに、前記光偏向器による前記被検物上でのビームのスキャン幅及びスキャン振動数を含む欠陥検査の条件を前記被検物の製造プロセスの検査工程毎に記憶する記憶装置と、
前記検査工程毎に前記記憶装置に記憶された欠陥検査の条件を読み出し、当該条件で前記ステージ装置及び前記光偏向器の駆動を制御する制御装置と、を備えていることを特徴とするレーザー散乱式欠陥検査装置。 - 前記光偏向器は、音響光学媒体と、前記音響光学媒体に超音波を伝搬させる圧電振動子とを備えた音響光学偏向器であり、
前記制御装置は、前記圧電振動子の振動条件を制御することにより、前記光偏向器による前記被検物上でのビームのスキャン幅及びスキャン振動数を制御することを特徴とする請求項1に記載のレーザー散乱式欠陥検査装置。 - 被検物を回転しつつ一方向に移動させることによりレーザー光を前記被検物上で渦巻状に走査するスパイラルスキャンと、前記レーザー光を光偏向器で偏向して前記被検物上で走査するクロススキャンとを組み合わせた複合型のスキャン方法により前記被検物の表面を走査し、前記被検物の表面で散乱した前記レーザー光を検出することにより、欠陥検出を行うレーザー散乱式欠陥検査方法であって、
実態観察を行うための予備検査として欠陥検査を行う第1検査工程では、前記クロススキャンのスキャン幅を相対的に小さくし、実態観察が必要でなく欠陥の個数のみが必要とされる欠陥検査を行う第2検査工程では、前記クロススキャンのスキャン幅を相対的に大きくすることを特徴とするレーザー散乱式欠陥検査方法。 - 前記第1検査工程における欠陥検査の条件は、前記被検物上のビーム径が0.5μm以上25μm以下、前記クロススキャンのスキャン幅がゼロであることを特徴とする請求項3に記載のレーザー散乱式欠陥検査方法。
- 前記第2検査工程における欠陥検査の条件は、前記被検物上のビーム径が0.5μm以上25μm以下、前記クロススキャンのスキャン幅がビーム径以上で5mm以下、前記クロススキャンのスキャン振動数が10MHz以上1000MHz以下であることを特徴とする請求項3又は4に記載のレーザー散乱式欠陥検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008259804A JP5332478B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 |
US12/571,791 US8339593B2 (en) | 2008-10-06 | 2009-10-01 | System and method of two-stepped laser scattering defect inspection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008259804A JP5332478B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010091329A true JP2010091329A (ja) | 2010-04-22 |
JP2010091329A5 JP2010091329A5 (ja) | 2012-02-09 |
JP5332478B2 JP5332478B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=42075563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008259804A Active JP5332478B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8339593B2 (ja) |
JP (1) | JP5332478B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101214806B1 (ko) | 2010-05-11 | 2012-12-24 | 가부시키가이샤 사무코 | 웨이퍼 결함 검사 장치 및 웨이퍼 결함 검사 방법 |
KR101720567B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2017-03-29 | 삼성전자주식회사 | 기판 검사 장치 및 방법 |
JP6601119B2 (ja) | 2015-10-05 | 2019-11-06 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハ裏面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ裏面検査方法 |
CA3049647A1 (en) | 2017-01-10 | 2018-07-19 | Sunspring America, Inc. | Optical method for identifying defects on tube surfaces |
CN111426689A (zh) * | 2019-01-10 | 2020-07-17 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种线激光层析检测系统 |
CN113834817B (zh) * | 2021-09-06 | 2023-11-21 | 苏州奥克思光电科技有限公司 | 盘带料无需开卷式的检测方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04363649A (ja) * | 1991-04-02 | 1992-12-16 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5712701A (en) * | 1995-03-06 | 1998-01-27 | Ade Optical Systems Corporation | Surface inspection system and method of inspecting surface of workpiece |
US6118525A (en) * | 1995-03-06 | 2000-09-12 | Ade Optical Systems Corporation | Wafer inspection system for distinguishing pits and particles |
US7280200B2 (en) * | 2003-07-18 | 2007-10-09 | Ade Corporation | Detection of a wafer edge using collimated light |
WO2006066137A2 (en) | 2004-12-19 | 2006-06-22 | Ade Corporation | System and method for inspecting a workpiece surface using polarization of scattered light |
-
2008
- 2008-10-06 JP JP2008259804A patent/JP5332478B2/ja active Active
-
2009
- 2009-10-01 US US12/571,791 patent/US8339593B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04363649A (ja) * | 1991-04-02 | 1992-12-16 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8339593B2 (en) | 2012-12-25 |
US20100085561A1 (en) | 2010-04-08 |
JP5332478B2 (ja) | 2013-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5332478B2 (ja) | レーザー散乱式欠陥検査装置及びレーザー散乱式欠陥検査方法 | |
US9759666B2 (en) | Defect detection method and defect detection device and defect observation device provided with same | |
JP3801635B2 (ja) | 製品表面の検査システムおよび方法 | |
US7864310B2 (en) | Surface inspection method and surface inspection apparatus | |
JP5243699B2 (ja) | 試料のエッジ検査のためのシステム及び方法 | |
JP5714645B2 (ja) | 不良検出システムの改良 | |
JP3827733B2 (ja) | ウェハ表面上のピットと粒子を区別するための表面検査システム及び方法 | |
JP2010175560A (ja) | 半導体材料から成るインゴットブロックの機械的欠陥を検出する方法および装置 | |
JP2009283633A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2013235202A (ja) | ハイブリッドレーザ走査装置 | |
TWI663392B (zh) | 用於具有跟蹤邊緣輪廓之軌跡之晶圓邊緣檢查之系統及方法 | |
JP4388270B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
US20220317058A1 (en) | Defect Inspection Device and Defect Inspection Method | |
JP2007284288A (ja) | 基板のスクライブ方法及びスクライブ装置 | |
US8547547B2 (en) | Optical surface defect inspection apparatus and optical surface defect inspection method | |
JP5350012B2 (ja) | 基板表面のパターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP5417793B2 (ja) | 表面検査方法 | |
JP5450337B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5400548B2 (ja) | レジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法並びにdtm製造ライン | |
CN110208272A (zh) | 一种表面检测装置及方法 | |
KR102199976B1 (ko) | 웨이퍼 검사 방법 및 장치 | |
CN221007330U (zh) | 一种太赫兹硅片检测装置 | |
JP2008203151A (ja) | ウエハ表面検査方法及びその装置 | |
JP2991204B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2009063419A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111006 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130715 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5332478 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |