JP2010089274A - ダイシングフレーム用金型 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相対向する第一、第二の型1・2を型締めし、この型締めした第一、第二の型1・2に成形材料を充填することにより、半導体ウェーハをダイシングテープを介して収容するフレーム11を中空板形に射出成形する金型で、第一、第二の型1・2のパーティングライン3を、フレーム11のダイシングテープが粘着される下面12から上面方向に0.3〜0.6mm移動させる。また、フレーム11の内周面下部と下面12とが形成するコーナ部30を半径0.2〜0.5mmの形状に形成する。
【選択図】図4
Description
第一、第二の型の分割面を、フレームのダイシングテープが粘着される下面から上面方向に0.3〜0.6mm移動させ、フレームの内周面と下面とが形成するコーナ部を半径0.2〜0.5mmの形状に形成したことを特徴としている。
2 第二の型
3 パーティングライン(分割面)
11 フレーム
12 下面
13 中空
14 内周面
22 ダイシングテープ
30 コーナ部
31 第一の傾斜面
32 第二の傾斜面
d ダイ
W 半導体ウェーハ
θ1 第一の傾斜面とフレームの下面とが形成する角度
θ2 第二の傾斜面とフレームの下面とが形成する角度
Claims (2)
- 第一、第二の型を型締めして成形材料を充填することにより、半導体ウェーハをダイシングテープを介して収容するフレームを中空板形に成形するダイシングフレーム用金型であって、
第一、第二の型の分割面を、フレームのダイシングテープが粘着される下面から上面方向に0.3〜0.6mm移動させ、フレームの内周面と下面とが形成するコーナ部を半径0.2〜0.5mmの形状に形成したことを特徴とするダイシングフレーム用金型。 - フレームのコーナ部は、フレームの内周面上方から下方向に向かうに従い徐々にフレームの半径内方向に傾斜する第一の傾斜面と、この第一の傾斜面からフレームの下面方向に向かうに従い徐々にフレームの半径外方向に傾斜する第二の傾斜面とを含み、
第一の傾斜面とフレームの下面とが形成する角度を90°未満とし、第二の傾斜面とフレームの下面とが形成する角度を90°以上95°以下とした請求項1記載のダイシングフレーム用金型。
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- 2008-10-03 JP JP2008258609A patent/JP5219721B2/ja active Active
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