JP2010087533A - インプリントリソグラフィ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 インプリント方法は、媒体にインプリントを形成するために、テンプレートにインプリント力を加えて、テンプレートをして、基板の第一表面の目標領域にインプリント可能媒体を接触させることと、インプリント力を加える間に、インプリント力を加えることによって引き起こされる基板の変形を軽減するように、第一表面に対して反対にある基板の第二表面に補償力を加えることと、インプリントした媒体からテンプレートを分離することとを含む。
【選択図】 図5
Description
Claims (17)
- インプリント方法であって、
媒体にインプリントを形成するために、テンプレートをして、基板の第一表面の目標領域にインプリント可能媒体を接触させることと、
インプリント可能媒体と接触するテンプレートによって引き起こされる基板の変形を緩和するように、第一表面に対して反対にある基板の第二表面に補償力を加えることと、
インプリントした媒体からテンプレートを分離することとを含む方法。 - 補償力を、基板の第一表面の目標領域に対してちょうど反対にある基板の第二表面の部分に加える、請求項1に記載のインプリント方法。
- 基板をキャリアの第一表面上で支持し、キャリアの第一表面に対して反対にあるキャリアの第二表面と直接接触する補償部材によって、補償力を加える、請求項1に記載のインプリント方法。
- 補償力が、媒体にインプリントを形成するためにテンプレートに加えて媒体と接触させるインプリント力とほぼ等しい、請求項1に記載のインプリント方法。
- 補償力が、媒体にインプリントを形成するためにテンプレートに加えて媒体と接触させるインプリント力より大きい、請求項1に記載のインプリント方法。
- 弾性部材を使用して、補償力を加える、請求項1に記載のインプリント方法。
- ばね、圧電起動部材、および電流を流せるコイル内に変位自在に装着されたロッドで構成されたグループから選択した補償部材を使用して、補償力を加える、請求項1に記載のインプリント方法。
- さらに、基板の第一表面の目標領域にある量のインプリント可能媒体を提供することを含む、請求項1に記載のインプリント方法。
- インプリント装置であって、基板を保持するように構成された基板ホルダと、
テンプレートを保持するように構成されたテンプレートホルダとを有し、テンプレートホルダは、媒体にインプリントを形成するために、テンプレートをして基板の第一表面の目標領域にインプリント可能媒体を接触させ、インプリントした媒体からテンプレートを分離させるように動作可能であり、さらに、
基板と接触するテンプレートによって引き起こされる基板の変形を軽減するように、インプリント可能媒体にテンプレートが接触している間に、第一表面に対して反対にある基板の第二表面に補償力を加えるように動作可能である補償部材を有する装置。 - 補償部材は、基板の第一表面の第一目標領域とはちょうど反対にある基板の第二表面の部分に補償力を加えるように動作可能である、請求項9に記載のインプリント装置。
- キャリアの第一表面が、基板を保持するように構成され、補償部材が、キャリアの第一表面の反対にあるキャリアの第二表面と直接接触する、請求項9に記載のインプリント装置。
- 補償部材が、媒体にインプリントを形成するためにテンプレートに加えて媒体に接触させるインプリント力とほぼ等しいか、それより大きい補償力を提供するように動作可能である、請求項9に記載のインプリント装置。
- 補償部材が、媒体にインプリントを形成するためにテンプレートに加えて媒体に接触させるインプリント力より大きい補償力を提供するように動作可能である、請求項9に記載のインプリント装置。
- 補償部材を基板ホルダに接続する、請求項9に記載のインプリント装置。
- 補償部材が弾性部材である、請求項9に記載のインプリント装置。
- ばね、圧電起動部材、および電流を流せるコイル内に変位自在に装着されたロッドで構成されたグループから、補償部材を選択する、請求項9に記載のインプリント装置。
- さらに、基板ホルダ上に保持された基板の第一表面の目標領域に、ある量のインプリント可能媒体を提供するように構成された供給装置を有する、請求項9に記載のインプリント装置。
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