JP2010085705A - 拡大観察装置及び拡大観察装置用治具 - Google Patents

Abstract

【課題】大きさの異なる観察対象物を観察する場合にも、容易に事前準備を行うことが可能な拡大観察装置及び拡大観察装置用治具を提供する。
【解決手段】拡大観察装置１は、少なくとも一部が透明部２６ｃとされるとともに、透明部２６ｃの上面２６ａ側に観察領域Ａが設定される透明板２６と、透明板２６の下面２６ｂ側に固定され、透明部２６ｃに対して下面２６ｂ側から斜めに入射する照射光を出射可能な照明手段３０と、透明板２６の下方に配置され、透明部２６ｃの上面２６ａに近接又は当接するようにして観察領域Ａ内に位置決めされたワークＷの観察対象部分を透明部２６ｃ越しに撮像可能なマイクロスコープ１１と、マイクロスコープ１１によって撮像された画像を表示可能な表示手段２０とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、拡大観察装置及び拡大観察装置用治具に関するものである。

従来、納品チェック時などにワーク（観察対象物）が適切に加工されているかを検査するために、寸法測定等を伴う目視観察が行われている。こうした目視観察を行う際に、ワークの微細な状態を観察するために、例えば特許文献１に挙げられる拡大観察装置が用いられている。

特許文献１の拡大観察装置においては、観察台上に載置されたワークの観察対象部分である上面を、固定具を備えたスタンドに支持されることで観察台の上方に配置されたマイクロスコープ（撮像手段）によって撮像して制御装置に取り込み、制御装置において拡大等の処理を施した画像をモニタ（表示手段）に表示させて目視観察を行うようにしていた。そして、マイクロスコープの観察倍率が低倍率と高倍率とに切り換え可能になっている場合には、モニタに表示された拡大画像を見ながら、まず低倍率でピントが合うように固定具及びマイクロスコープを上下に移動させてワークの観察対象部分とマイクロスコープとの距離が適切な作動距離となるように調整した後に、高倍率に切り換えて目視観察を行っていた。
特開２００８−３２６４５号公報

ところで、特許文献１の拡大観察装置において大きさ（高さ）の異なるワークを観察する際には、その都度、固定具及びマイクロスコープを移動させて作動距離を調整するという作業が事前準備として必要であった。すなわち、従来の拡大観察装置においては、ワークの大きさ（高さ）が異なると、観察対象部分とマイクロスコープとの距離が変化してしまうため、ピントを合わせるための調整作業を行う必要があった。

こうした調整作業においては、モニタでピントがあっているかを確認しながら手元の固定具を操作する必要があるため、調整に時間がかかっていた。そのため、こうした調整作業を伴う事前準備時間を短縮することが、検査効率を向上させるにあたっての大きな課題となっていた。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、大きさの異なる観察対象物を観察する場合にも、容易に事前準備を行うことが可能な拡大観察装置及び拡大観察装置用治具を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の拡大観察装置は、少なくとも一部が光透過領域とされるとともに、該光透過領域の上面側に観察領域が設定される位置決め部材と、該位置決め部材の下面側に固定され、該位置決め部材の前記光透過領域に対して前記位置決め部材の下面側から斜めに入射する照射光を出射可能な照明手段と、前記位置決め部材の下方に配置され、前記光透過領域の上面に近接又は当接するようにして前記観察領域内に位置決めされた観察対象物の観察対象部分を前記光透過領域越しに撮像可能な撮像手段と、該撮像手段によって撮像された画像を表示可能な表示手段とを備えた。

この構成によれば、撮像手段は位置決め部材における光透過領域の上面側に設定された観察領域内の観察対象物を光透過領域越しに撮像するので、位置決め部材の上面から倍率に応じた作動距離となるように離間した位置に撮像手段を予め配置しておくことが可能となる。すなわち、位置決め部材の上面に近接又は当接するようにして観察領域内に観察対象物の観察対象部分を位置決めすることで、大きさ（高さ）の異なる観察対象物を観察する場合であっても、撮像手段を動かして作動距離の調整を行う必要がない。

なお、観察対象部分が平坦である場合には、観察領域が上面側に設定された位置決め部材の光透過領域に観察対象部分が当接するように観察対象物を載置することで、容易に観察対象物の位置決めを行うことができる。また、観察対象部分が平坦でない場合にも、観察対象物を直接目視しながら位置決めを行うことができるので、表示手段に表示された画像を確認しながらピントを合わせるよりも、容易に調整を行うことができる。さらに、照明手段も位置決め部材の下面側に固定されているので、照明手段の位置調整を行う必要もない。したがって、大きさの異なる観察対象物を観察する場合にも、容易に事前準備を行うことが可能となる。

また、照明手段が光透過領域に対して垂直に入射する照明光を出射した場合には、光透過領域の表面で反射した光が撮像手段に入射してハレーション（映り込み）が生じてしまう虞がある。そして、こうした映り込みが生じる状況下では、良好な画像を得るために照明手段の位置等を調整したり、撮像した画像に対して処理を施したりする必要があった。しかし、上記構成では、照明手段が光透過領域に対して位置決め部材の下面側から斜めに入射する照射光を出射可能であることから、簡易な構成で映り込みを抑制して、良好な画像を得ることが可能となる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の拡大観察装置において、前記照明手段は、前記位置決め部材の前記透明部に対する前記照射光の入射角度が異なる複数の光出射手段を有する。

この構成により、位置決め部材の光透過領域に対して照射光の入射角度が異なる複数の光出射手段を有する照明手段によって、より広い範囲を照明することが可能となる。したがって、照明手段の位置調整を行うことなく、適切な拡大画像を得ることができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の拡大観察装置において、前記照明手段は、前記位置決め部材の前記光透過領域に対して相対向する方向から前記照射光を出射する複数の光出射手段を有する。

この構成により、位置決め部材の光透過領域に対して相対向する方向から照射光を出射する複数の光出射手段を有する照明手段によって影の発生を抑制し、観察領域を満遍なく照明することが可能となる。したがって、照明手段の位置調整を行うことなく、適切な拡大画像を得ることができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、前記位置決め部材は透明板からなる。
この構成により、位置決め部材は全体が光透過領域とされる透明板からなるので、任意の位置に観察領域を設定することが可能となる。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、前記位置決め部材における前記光透過領域の上面側には、グリッドが記されている。

この構成により、撮像手段により観察領域を撮像した場合には、観察対象物とともにグリッドも等倍率で撮像されるため、表示手段に表示された画像の拡大倍率にかかわらず、実際のサイズを視覚的に把握することができる。したがって、特に撮像手段の観察倍率を変更しながら観察を行う場合には、サイズの誤認を抑制しつつ、拡大観察を行うことが可能となる。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、前記観察対象物の観察対象部分が前記位置決め部材における前記光透過領域の上面側に近接又は当接するように、前記観察対象物を保持する保持部材をさらに備えた。

この構成により、位置決め部材における光透過領域の上面側に観察対象部分が近接又は当接するように保持部材によって観察対象物を保持することで、観察対象物の位置ずれを抑制することができる。さらに、観察対象物の観察対象部分が平坦でない場合にも、保持部材によって観察対象物を保持することで、確実に位置決めを行うことができる。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、支柱部材と、該支柱部材に対して前記撮像手段を固定する第１固定具と、前記支柱部材に対して前記位置決め部材を固定する第２固定具と、前記第１固定具及び前記固定具の少なくとも一方を前記支柱部材に対して多段階に位置決めするための位置決め機構とをさらに備えた。

この構成により、第１固定具及び第２固定具の少なくとも一方は、位置決め機構によって支柱部材に対して多段階に位置決めされる。すなわち、撮像手段と位置決め部材とが倍率に対応した作動距離となるように位置決め機構によって第１，第２固定具を位置決めするとともに、この位置決めを多段階にすることによって、複数の倍率に対応した作動距離を容易に設定することが可能となる。したがって、撮像手段の倍率を変更した場合にも、容易に事前準備を行うことが可能となる。

上記課題を解決するために、請求項８に記載の拡大観察装置用治具は、少なくとも一部が光透過領域とされるとともに、該光透過領域の上面側に観察領域が設定される位置決め部材と、該位置決め部材の下面側に固定され、該位置決め部材の前記光透過領域に対して前記位置決め部材の下面側から斜めに入射する照射光を出射可能な照明手段と、前記位置決め部材を保持可能であるとともに、前記光透過領域の上面に近接又は当接するようにして前記観察領域内に位置決めされた観察対象物の観察対象部分を前記光透過領域越しに撮像可能な撮像手段を前記位置決め部材の下方となる位置に保持可能な保持手段とを備えた。

この構成により、請求項１と同様の作用効果を得ることができる。
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の拡大観察装置用治具において、前記保持手段は、支柱部材と、該支柱部材に対して前記撮像手段を固定する第１固定具と、前記支柱部材に対して前記位置決め部材を固定する第２固定具と、前記第１固定具及び前記固定具の少なくとも一方を前記支柱部材に対して多段階に位置決めするための位置決め機構とを備えた。

この構成により、請求項７と同様の作用効果を得ることができる。

本発明によれば、大きさの異なる観察対象物を観察する場合にも、容易に事前準備を行うことが可能な拡大観察装置及び拡大観察装置用治具を提供することができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。
図１は一実施形態の拡大観察装置の構成を示す模式図であり、図２は位置決め部材の一部平面図である。そして、拡大観察装置１は、撮像装置１００と、観察対象物としてのワークＷを支持する支持装置２００と、照明装置３００とを備えている。

まず、撮像装置１００の構成について、図１に基づいて説明する。
撮像装置１００は、撮像手段としてのマイクロスコープ１１を備えている。マイクロスコープ１１はカメラ本体１２とカメラ本体１２の先端側に取り付けられたレンズ１３とを有しているとともに、カメラ本体１２の側面には切り換えスイッチ１４が設けられている。そして、切り換えスイッチ１４を操作することにより、低倍率と高倍率（例えば５０倍と８０倍）とに観察倍率を切り換えることが可能となっている。

マイクロスコープ１１はケーブル１５を介して例えばパーソナルコンピュータで構成される制御装置１６に接続されている。また、制御装置１６には、ケーブル１７を介して例えばマウス等の入力手段１８が接続されているとともに、ケーブル１９を介してモニタ等の表示手段２０が接続されている。そして、制御装置１６はマイクロスコープ１１によって撮像された画像を表示手段２０に表示させるとともに、作業者は表示手段２０に表示されるポインタＰを入力手段１８によって操作しつつ観察を行うようになっている。

次に、マイクロスコープ１１及びワークＷを支持する支持装置２００について図１及び図２に基づいて説明する。
図１に示すように、支持装置２００は、ベースとなる基台２２を有し、その基台２２上には支柱部材としての支持棒２３が立設されている。支持棒２３における上下方向（長手方向）の中途二箇所には、第１固定具としての固定具２４と第２固定具としての固定具２５が各々上下方向への移動自在に支持されている。そして、マイクロスコープ１１は、二つの固定具２４，２５のうち下側の固定具２４によって、レンズ１３が上方を向く姿勢態様で支持棒２３に対して固定されている。

また、支持装置２００における二つの固定具２４，２５のうち上側の固定具２５は、観察台及び位置決め部材として機能する透明樹脂又はガラス板からなる透明板２６を水平状態となるように支持棒２３に対して固定している。透明板２６の上面２６ａ側には一定範囲の観察領域Ａが設定されているとともに、マイクロスコープ１１は観察領域Ａが設定された光透過領域としての透明部２６ｃの下面２６ｂと対向する位置に、透明部２６ｃの上面２６ａから倍率に応じた作動距離Ｌとなるように離間して配置されている。

具体的には、支持棒２３には、透明板２６とマイクロスコープ１１とをマイクロスコープ１１の観察倍率に応じて多段階に位置決めするための位置決め機構を構成する位置決め孔２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄが設けられている。また、固定具２４，２５は位置決め機構を構成するピン２４ａ，２５ａをそれぞれ備えている。そして、固定具２４はピン２４ａが位置決め孔２３ｄに挿通された状態で支持棒２３に対して位置決めされているとともに、固定具２５はピン２５ａが位置決め孔２３ａに挿通された状態で支持棒２３に対して位置決めされている。

なお、マイクロスコープ１１のレンズ１３を異なる倍率のもの（例えば１８０倍と３００倍）に取り替えた場合には、いずれかの位置決め孔２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄにピン２４ａ，２５ａを挿通させて固定具２４，２５を多段階に位置決めするだけで、取り替えたレンズ１３に応じたピント調整がなされるようになっている。すなわち、位置決め孔２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄは、支持棒２３において、マイクロスコープ１１に取り付け可能なレンズ１３に応じた作動距離Ｌを設定可能な位置に設けられている。

そして、本実施形態において、位置決め孔２３ａ〜２３ｄ及びピン２４ａ，２５ａからなる位置決め機構と、支持棒２３と、固定具２４，２５とにより保持手段が構成されている。また、このように構成された保持手段と、透明板２６と、照明装置３００とにより拡大観察装置用治具が構成されている。

固定具２５には、ワークＷの観察対象部分（本実施形態では、下面部分）が観察領域Ａの設定された透明部２６ｃの上面２６ａに当接又は近接するように、ワークＷを保持するための保持部材２５ｂが設けられている。なお、ワークＷの観察対象部分が平坦でない場合などには、ワークＷを保持部材２５ｂによって支持することが可能となっている。

すなわち作業者は、観察対象部分が透明部２６ｃの上面２６ａに近接又は当接するようにして位置決めしつつ、ワークＷを観察領域Ａ内に配置する。そして、透明板２６における透明部２６ｃの上面２６ａから作動距離Ｌ分離間して配置されることで、観察領域Ａに対してピント調整がなされたマイクロスコープ１１により、観察領域Ａ内に配置されたワークＷの下面部分（観察対象部分）を透明部２６ｃ越しに撮像するようになっている。

図２に示すように、観察領域Ａが設定された透明部２６ｃの上面２６ａには、縦横１ｍｍの等間隔に配置された格子状のグリッド線２７が記されている。したがって、マイクロスコープ１１の倍率を切り換えた場合にも、表示手段２０には図１に示すように実サイズの指標となるグリッド線２７がワークＷとともに等倍率で表示されるので、拡大表示された観察対象部分の大きさを視覚的に把握することが可能となっている。

図１に示すように、透明板２６の下面２６ｂには、照明装置３００を構成する照明手段３０が固着されている。照明手段３０はケーブル３１を介して制御装置３２に接続されているとともに、制御装置３２には照明手段３０を操作するための電源スイッチ３３や調整ダイヤル３４が備えられている。

次に、照明手段３０について図３及び図４に基づいて説明する。なお、図３は拡大観察装置１における照明手段３０周辺を示す断面図で、図４は照明手段３０の上面図（平面図）である。

図３及び図４に示すように、照明手段３０は、環状に形成されたフレーム部材３５を備えている。フレーム部材３５の上端面３５ａは環状の平坦面となっており、この上端面３５ａが透明板２６の下面２６ｂに固着されている。

また、フレーム部材３５の内周側にはすり鉢状の傾斜面３５ｂが形成されているとともに、この傾斜面３５ｂには周方向に沿って光出射手段としてのＬＥＤ３６，３７が複数個固定されている。具体的には、各ＬＥＤ３６は傾斜面３５ｂの上部に、各ＬＥＤ３７は傾斜面３５ｂの下部に、それぞれ周方向へ等間隔の配置態様をなすように固定されている。

したがって、相対向する位置に配置された各ＬＥＤ３６，３７は、それぞれ相対向する方向から観察領域Ａに対して照射光を出射可能になっている。これにより、出射方向に生じる影を、その相対向する位置から出射された照明光によって打ち消すことで、影の発生を抑制し、観察領域Ａ内を満遍なく照明することが可能となっている。

また、ＬＥＤ３６，３７はいずれも透明部２６ｃに対して下面２６ｂ側から斜めに入射する照射光を出射可能となっているが、各ＬＥＤ３６と各ＬＥＤ３７とは、透明板２６に対する照射光の入射角度が異なるように、傾斜面３５ｂに対して異なる角度で固定されている。すなわち、各ＬＥＤ３６と各ＬＥＤ３７とで光を照射する角度範囲を異ならせることにより、より広い範囲を照らすことが可能となっている。

なお、本実施形態においては、傾斜面３５ｂの上部に固定された各ＬＥＤ３６が観察領域Ａの外側を、傾斜面３５ｂの下部固定された各ＬＥＤ３７が観察領域Ａの内側をそれぞれ照明するようになっている。そして、観察領域Ａの内側を照らす各ＬＥＤ３７は透明部２６ｃに対して下面２６ｂ側から鋭角に入射する照射光を出射可能となっている。したがって、透明部２６ｃの下面２６ｂで反射した光がマイクロスコープ１１に入射して生じるハレーション（映り込み）をより効果的に抑制するようになっている。

次に、撮像装置１００の電気的構成を図５に基づいて説明する。なお、図５は、撮像装置１００の電気的構成を示すブロック図である。
図５に示すように、制御装置１６は、装置全体の制御を行う制御部４０、画像の表示領域の配置、大きさ、拡大縮小率等を含む表示情報が記憶された記憶部４１、フレームメモリ４２、ビデオメモリ４３、出力部４４及び入力部４５が設けられている。

マイクロスコープ１１は制御部４０により制御されるとともに、切り換えスイッチ１４が操作された場合には、その情報が制御部４０に伝達される。また、マイクロスコープ１１により撮像された画像データはフレームメモリ４２に出力される。

制御部４０は、フレームメモリ４２に格納された画像データに対して、記憶部４１に記憶された表示情報に基づいて、拡大等の処理を行ってビデオメモリ４３に格納する。そして、ビデオメモリ４３に格納された画像データは出力部４４によって読み出されて表示手段２０に出力される。したがって、表示手段２０には、マイクロスコープ１１によって撮像され、表示情報に応じて拡大等の処理が施された画像が表示される。

また、制御部４０には入力部４５及び入力手段１８が接続されている。そして、作業者が入力部４５又は入力手段１８を操作して制御部４０に対して表示内容の変更等を指示すると、制御部４０は指示に応じた内容を表示手段２０に表示するようになっている。例えば作業者が入力部４５又は入力手段１８を操作して所定領域の画像を選択すると、制御部４０が指示に応じた領域の画像を表示手段２０に表示するようになっている。

次に、以上のように構成された拡大観察装置１による観察方法について説明する。
まず、透明板２６における透明部２６ｃの上面２６ａ側に設定された観察領域Ａに、ワークＷを配置する。このとき、ワークＷの全体サイズが観察領域Ａよりも大きい場合には、観察対象部分が観察領域Ａ内に配置されるようにワークＷの位置決めを行い、ワークＷの観察対象部分が透明部２６ｃの上面２６ａに近接又は当接するように保持部材２５ｂによってワークＷを固定する。

次に、照明装置３００における制御装置３２の電源スイッチ３３を投入し、透明板２６の透明部２６ｃに対して透明板２６の下面２６ｂ側から斜めに入射する照明光を各ＬＥＤ３６，３７から照射して、観察領域Ａを下方から照明する。このとき、各ＬＥＤ３６，３７の照射光は透明部２６ｃに対して斜めに入射するので、反射光がマイクロスコープ１１に入射することによる映り込みを効果的に抑制することができる。

続いて、透明板２６における透明部２６ｃの下面２６ｂと対向する位置に、透明板２６の上面２６ａから倍率（５０倍）に応じた作動距離Ｌとなるように離間して配置されたマイクロスコープ１１によって、透明部２６ｃ越しに観察領域Ａを撮像する。

すると、マイクロスコープ１１によって撮像されたワークＷとグリッド線２７の画像が、制御装置１６を介して表示手段２０に表示される。したがって、作業者は表示手段２０に表示された画像の拡大倍率を５０倍から８０倍に切り換えて詳細な拡大観察を行ったり、入力手段１８によってポインタＰを操作することで加工部分の計測を行ったりして、ワークＷの目視観察を行う。

次に、本実施形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）マイクロスコープ１１は透明板２６における透明部２６ｃの上面２６ａ側に設定された観察領域Ａ内のワークＷを透明部２６ｃ越しに撮像するので、透明板２６の上面２６ａから倍率に応じた作動距離Ｌとなるように離間した位置にマイクロスコープ１１を予め配置しておくことが可能となる。すなわち、透明板２６の上面２６ａに近接又は当接するようにして観察領域Ａ内にワークＷの観察対象部分を位置決めすることで、大きさ（高さ）の異なる観察対象を観察する場合であっても、事前準備としてマイクロスコープ１１を動かして作動距離Ｌの調整を行う必要がない。

（２）ワークＷの観察対象部分が平坦である場合には、観察領域Ａが上面２６ａ側に設定された透明板２６の透明部２６ｃに観察対象部分が当接するようにワークＷを載置することで、容易にワークＷの位置決めを行うことができる。また、観察対象部分が平坦でない場合にも、ワークＷを直接目視しながら位置決めを行うことができるので、表示手段２０に表示された画像を確認しながらピントを合わせるよりも、容易に事前準備を行うことができる。したがって、大きさの異なるワークＷを観察する場合にも、容易に事前準備を行うことが可能となる。

（３）照明手段３０が透明板２６の下面２６ｂ側に固定されているので、観察領域Ａに対して照明手段３０の位置調整を行う必要がない。
（４）マイクロスコープ１１によって透明部２６ｃ越しに撮像を行うために、照明手段３０が透明部２６ｃに対して垂直に入射する照明光を出射した場合には、透明部２６ｃの表面で反射した光がマイクロスコープ１１に入射してハレーション（映り込み）が生じてしまう虞がある。そして、こうした映り込みが生じる状況下では、良好な画像を得るために照明手段の位置等を調整したり、撮像した画像に対して処理を施したりする必要がある。しかし、上記構成では、照明手段３０が透明部２６ｃに対して透明板２６の下面２６ｂ側から斜めに入射する照射光を出射可能であることから、簡易な構成で映り込みを抑制して、良好な画像を得ることが可能となる。

（５）透明部２６ｃに対して照射光の入射角度が異なるＬＥＤ３６，３７を有する照明手段３０によって、より広い範囲を照明することが可能となる。したがって、照明手段３０の位置調整を行うことなく、適切な拡大画像を得ることができる。

（６）透明部２６ｃに対して相対向する方向から照射光を出射する複数のＬＥＤ３６，３７を有する照明手段３０によって、影の発生を抑制し、観察領域Ａを満遍なく照明することが可能となる。したがって、照明手段３０の位置調整を行うことなく、適切な拡大画像を得ることができる。

（７）位置決め部材は全体が光透過領域とされる透明板２６からなるので、任意の位置に観察領域Ａを設定することが可能となる。
（８）マイクロスコープ１１により観察領域Ａを撮像した場合には、ワークＷとともにグリッド線２７も等倍率で撮像されるため、表示手段２０に表示された画像の拡大倍率にかかわらず、実際のサイズを視覚的に把握することができる。したがって、特にマイクロスコープ１１の観察倍率を切り換えながら観察を行ったり、倍率の異なるレンズ１３に取り替えて観察を行ったりする場合にも、サイズの誤認を抑制しつつ、拡大観察を行うことが可能となる。

（９）透明板２６における透明部２６ｃの上面２６ａ側に観察対象部分が近接又は当接するように保持部材２５ｂによってワークＷを保持することで、ワークＷの位置ずれを抑制することができる。さらに、ワークＷの観察対象部分が平坦でない場合にも、保持部材２５ｂによってワークＷを保持することで、確実に位置決めを行うことができる。

（１０）固定具２４，２５は、位置決め孔２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ及びピン２４ａ，２５ａによって支持棒２３に対して多段階に位置決めされる。すなわち、透明板２６とマイクロスコープ１１とが倍率に対応した作動距離Ｌとなるように固定具２４，２５を位置決めするとともに、この位置決めを多段階にすることによって、複数の倍率に対応した作動距離Ｌを容易に設定することが可能となる。したがって、マイクロスコープ１１のレンズ１３を異なる倍率のものに取り替えた場合にも、容易に事前準備を行うことが可能となる。

なお、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・上面２６ａ側に観察領域Ａが設定される透明板（位置決め部材）２６は、少なくとも観察領域Ａと対応する部分が透明部２６ｃとされていればよい。すなわち、透明板２６は、観察領域Ａと対応する部分が透明部２６ｃとされるとともにその透明部２６ｃ以外の部分が不透明とされた位置決め部材に置換してもよい。

・位置決め部材は板形状に限らず、一部が網状になっていてもよいし、ワークＷを嵌め込むための孔（穴）やワークＷを支持するための突出部を備えるようにしてもよい。
・拡大観察装置１は保持部材２５ｂを備えなくてもよい。

・保持部材２５ｂはワークＷの側面を把持するようにしてもよいし、ワークＷを上側から押さえるようにしてもよい。また、保持部材２５ｂは透明板２６に固着されるようにしてもよい。

・照明手段３０のフレーム部材３５は環状のものに限らず、例えば四角枠形状やバー形状であってもよい。
・照明手段３０において、フレーム部材３５の周方向に沿って配置されるＬＥＤの固定角度は２パターン以上であってもよいし、１パターンであってもよい。

・透明板２６に記されるグリッド線２７は必ずしも等間隔でなくてもよいし、格子状でなくてもよい。例えば、水平距離を示すスケールや、複数の同心円、又は所定間隔で配置されるドット等のマークであってもよい。

・透明板２６に倍率毎の観察可能範囲をグリッド線２７とともに記しておいてもよい。この場合には、観察倍率に応じて容易にワークＷの位置決めを行うことが可能となる。
・照明手段３０は必ずしも透明板２６の下面２６ｂに直接貼り付ける必要はなく、例えば照明手段３０を透明板２６の下面２６ｂ側に近接又は当接した状態で支持するための支持手段を備えるようにしてもよい。

・照明手段３０を制御装置１６に接続して制御するようにしてもよい。
・拡大観察装置１は位置決め機構を備えず、固定具２４，２５を支持棒２３の任意の位置に固定するようにしてもよい。この場合には、固定具２４，２５を上下方向に無段階に移動させることにより、透明部２６ｃの上面２６ａに記されたグリッド線２７に焦点が合うようにピント調整を行って、マイクロスコープ１１が透明部２６ｃの上面２６ａから作動距離Ｌ分離間するように位置決めすればよい。

・位置決め機構を構成する位置決め孔は、レンズ１３の倍率に応じて任意の位置に設定することができる。
・位置決め機構は、位置決め孔及びピンから構成されるものに限らない。例えば、ラチェット機構（歯止め装置）等で位置決めをするようにしてもよいし、制御装置を介して自動的に位置決めが行われるようにしてもよい。

・固定具２４，２５を支持棒２３に対して位置決めする場合には、いずれか一方の固定具のみを移動させるようにしてもよいし、両方の固定具を移動させるようにしてもよい。
・本実施形態では、光出射手段としてＬＥＤ（発光ダイオード）を直接光源として複数個フレーム部材３５の周方向に沿って並べているが、光源を１つとして、その光源から周方向に沿って配置された光ファイバなどを経由して、間接的に観察領域Ａに光を照射するようにしてもよい。

拡大観察装置の構成を示す模式図。 位置決め部材の一部平面図。 拡大観察装置における照明手段周辺を示す断面図。 照明手段の平面図。 撮像装置の電気的構成を示すブロック図。

符号の説明

１…拡大観察装置、１１…マイクロスコープ（撮像手段）、２０…表示手段、２３…支持棒（支柱部材）、２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ…位置決め機構を構成する位置決め孔、２４…固定具（第１固定具）、２４ａ，２５ａ…位置決め機構を構成するピン、２５…固定具（第２固定具）、２５ｂ…保持部材、２６…透明板（位置決め部材）、２６ａ…上面、２６ｂ…下面、２６ｃ…透明部（光透過領域）、２７…グリッド線（グリッド）、３０…照明手段、３６，３７…ＬＥＤ（光出射手段）、Ａ…観察領域、Ｗ…ワーク（観察対象物）。

Claims (9)

1. 少なくとも一部が光透過領域とされるとともに、該光透過領域の上面側に観察領域が設定される位置決め部材と、
   該位置決め部材の下面側に固定され、該位置決め部材の前記光透過領域に対して前記位置決め部材の下面側から斜めに入射する照射光を出射可能な照明手段と、
   前記位置決め部材の下方に配置され、前記光透過領域の上面に近接又は当接するようにして前記観察領域内に位置決めされた観察対象物の観察対象部分を前記光透過領域越しに撮像可能な撮像手段と、
   該撮像手段によって撮像された画像を表示可能な表示手段とを備えたことを特徴とする拡大観察装置。
2. 請求項１に記載の拡大観察装置において、
   前記照明手段は、前記位置決め部材の前記光透過領域に対する前記照射光の入射角度が異なる複数の光出射手段を有することを特徴とする拡大観察装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の拡大観察装置において、
   前記照明手段は、前記位置決め部材の前記光透過領域に対して相対向する方向から前記照射光を出射する複数の光出射手段を有することを特徴とする拡大観察装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、
   前記位置決め部材は透明板からなることを特徴とする拡大観察装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、
   前記位置決め部材における前記光透過領域の上面側には、グリッドが記されていることを特徴とする拡大観察装置。
6. 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、
   前記観察対象物の観察対象部分が前記位置決め部材における前記光透過領域の上面側に近接又は当接するように、前記観察対象物を保持する保持部材をさらに備えたことを特徴とする拡大観察装置。
7. 請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の拡大観察装置において、
   支柱部材と、該支柱部材に対して前記撮像手段を固定する第１固定具と、前記支柱部材に対して前記位置決め部材を固定する第２固定具と、前記第１固定具及び前記固定具の少なくとも一方を前記支柱部材に対して多段階に位置決めするための位置決め機構とをさらに備えたことを特徴とする拡大観察装置。
8. 少なくとも一部が光透過領域とされるとともに、該光透過領域の上面側に観察領域が設定される位置決め部材と、
   該位置決め部材の下面側に固定され、該位置決め部材の前記光透過領域に対して前記位置決め部材の下面側から斜めに入射する照射光を出射可能な照明手段と、
   前記位置決め部材を保持可能であるとともに、前記光透過領域の上面に近接又は当接するようにして前記観察領域内に位置決めされた観察対象物の観察対象部分を前記光透過領域越しに撮像可能な撮像手段を前記位置決め部材の下方となる位置に保持可能な保持手段とを備えたことを特徴とする拡大観察装置用治具。
9. 請求項８に記載の拡大観察装置用治具において、
   前記保持手段は、支柱部材と、該支柱部材に対して前記撮像手段を固定する第１固定具と、前記支柱部材に対して前記位置決め部材を固定する第２固定具と、前記第１固定具及び前記固定具の少なくとも一方を前記支柱部材に対して多段階に位置決めするための位置決め機構とを備えたことを特徴とする拡大観察装置用治具。

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