JP2010079820A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の処理ユニットにより基板に対して処理を実行する場合において、各基板の処理状況および各処理ユニットにおける処理状況を容易に把握でき基板処理装置を提供する。
【解決手段】ガントチャート８５ｃは、各処理ユニットにおいてロット単位の基板に実行される処理のスケジュールを、時間軸ｔａ方向に延びる複数の帯グラフ９０として表示したものである。各帯グラフ９０は、対応する処理ユニット毎に、時間軸ｔａ方向に沿って配置される。また、各帯グラフ９０は、上段帯グラフ９１と下段帯グラフ９２を有している。上段帯グラフ９１上には、処理対象となるロットの識別情報が表示される。下段帯グラフ９２は、基板処理を構成する工程のスケジュールを各工程毎に示す。これにより、使用者は、各ロットに対して実行される基板処理の流れと、各処理ユニットで実行される工程のスケジュールと、を表示部８５ａの表示から容易に把握できる。
【選択図】図７

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に対して処理を施す基板処理装置に関するもので、特に、各基板に対して実行される処理の流れを表示する技術に関する

従来より、複数の生産ラインで生産される製品あるいは部品の生産スケジュールを、ガントチャートを使用して表示する技術が知られている（例えば、特許文献１および２）。

特開２００６−０４０２１１号公報 特開平０５−１２０２９６号公報

しかし、特許文献１および２のガントチャートからは、各生産ラインでどのような組立処理が実行されているかを把握することができない。また、各生産ラインで実行される組立処理の処理状況を確認する場合、装置のオペレータは、ガントチャートが表示されている画面を別の画面に切り替えて、対象となる組立処理に関する情報を表示させることが必要となる。

したがって、複数の生産ラインのうちのいずれかで、組立処理が正常に実行されず、その生産ラインで不具合が生じた場合において、どの組立処理が正常に実行されなかったかを確認するためには、ガントチャートとは別の画面を表示させ、不具合の原因となった組立処理を特定することが必要となる。すなわち、従来のガントチャートを使用して生産ラインの不具合を特定する場合、オペレータの作業負担が増大するという問題が生ずる。

そして、この問題は、複数の処理ユニットにより基板に対して処理を実行する基板処理装置において、不具合の原因となった基板処理工程を特定する場合にも、同様に生ずる。

そこで、本発明では、複数の処理ユニットにより基板に対して処理を実行する場合において、各基板の処理状況および各処理ユニットにおける処理状況を容易に把握でき基板処理装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置において、基板に対して処理を実行する複数の処理ユニットと、各処理ユニットにおいて基板に実行される処理のスケジュールを、時間軸方向に延びる図形要素として作成する作成部と、前記作成部により作成された図形要素を画面に表示する表示部とを備え、前記作成部は、基板の識別情報を示す第１図形要素と、基板に実行される処理を構成する工程のスケジュールを、各工程毎に示す第２図形要素とを有する前記図形要素を、作成するとともに、前記図形要素が対応する処理ユニット毎に前記時間方向に沿って配置されるように、各図形要素の配置を決定することを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記工程の計時結果が許容範囲内となるか否かを判定する第１判定部、をさらに備え、前記作成部は、前記第１判定部により前記計時結果が許容範囲外となると判定される場合、対応する前記図形要素に第１告知要素を付加し、前記表示部は、前記第１告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項２に記載の基板処理装置において、前記作成部は、前記図形要素のうち、少なくとも前記第２図形要素に前記第１告知要素を付加することを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項２に記載の基板処理装置において、前記作成部は、前記第１および第２図形要素のそれぞれに前記第１告知要素を付加することを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項３または請求項４に記載の基板処理装置において、前記第１告知要素が付加されている前記第２図形要素が、操作部からの第１指定動作により指定された場合、前記記憶部に記憶されている複数の実行タイミング関連情報から、指定された前記第２図形要素に対応する第１関連情報を抽出する第１抽出部、をさらに備え、前記作成部は、前記第１抽出部により抽出された前記第１関連情報を配置するための第１表示領域を、さらに作成し、前記表示部は、前記第１指定動作に応じて、前記作成部により作成された前記第１表示領域をさらに表示することを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、前記工程の実行にともなって動作する機器の実行パラメータについて、該実行パラメータの計測結果が、警告範囲内となるか否かを判定する第２判定部、をさらに備え、前記作成部は、前記第２判定部により前記計測結果が前記警告範囲内となると判定される場合、対応する前記図形要素に第２告知要素を付加し、前記表示部は、前記第２告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、前記工程の実行にともなって動作する機器の実行パラメータについて、該実行パラメータの計測結果が、異常範囲内となるか否かを判定する第２判定部、をさらに備え、前記作成部は、前記第２判定部により前記計測結果が前記異常範囲内となると判定される場合、対応する前記図形要素に第２告知要素を付加し、前記表示部は、前記第２告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする。

また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７に記載の基板処理装置において、前記作成部は、前記図形要素のうち、少なくとも、対応する前記第２図形要素に前記第２告知要素を付加することを特徴とする。

また、請求項９の発明は、請求項６または請求項７に記載の基板処理装置において、前記作成部は、前記第１および第２図形要素に前記第２告知要素を付加することを特徴とする。

また、請求項１０の発明は、請求項８または請求項９に記載の基板処理装置において、前記第２告知要素が付加されている前記第２図形要素が操作部からの第２指定動作により指定された場合、前記記憶部に記憶されている複数の実行パラメータ関連情報から、指定された前記第２図形要素に対応する第２関連情報を抽出する第２抽出部、をさらに備え、前記作成部は、前記第２抽出部により抽出された前記第２関連情報を配置するための第２表示領域を、さらに作成し、前記表示部は、前記第２指定動作に応じて、前記作成部により作成された前記第２表示領域をさらに表示することを特徴とする。

請求項１ないし請求項１０に記載の発明によれば、各処理ユニットで実行される基板処理のスケジュールは、時間軸方向に延びる図形要素として表示部に表示される。また、各図形要素は、対応する処理ユニット毎に配置されており、基板の識別情報を示す第１図形要素と、処理を構成する工程のスケジュールを各工程毎に示す第２図形要素と、を有している。

これにより、基板処理装置の使用者は、表示部に表示されている複数の図形要素から、同一の識別情報を有する図形要素を見出すことによって、処理ユニットを跨って処理される基板の処理状況を容易に把握できる。また、基板処理装置の使用者は、処理ユニット毎に配置されている複数の図形要素を確認することによって、各処理ユニットにおける処理状況を容易に把握できる。

このように、請求項１ないし請求項１０に記載の発明によれば、基板処理装置の使用者は、各基板に対して実行される処理の流れと、各処理ユニットで実行される工程のスケジュールと、を同時に把握できる。

特に、請求項２ないし請求項４に記載の発明によれば、工程の計時結果が許容範囲外となると判定される場合、この工程に対応する図形要素に第１告知要素が付加される。そのため、基板処理装置の使用者は、第１告知要素の有無を判断することによって、各工程が設定されたスケジュール通りに正常に実行されたか否かを容易に把握できる。

特に、請求項５に記載の発明によれば、第１告知要素が付加されている図形要素が指定されると、指定された図形要素に応じた実行タイミング関連情報（第１関連情報）が、抽出され、表示部の画面にさらに表示される。そのため、基板処理装置の使用者は、工程の計時結果が許容範囲外となった工程の詳細な情報を容易に確認できる。

特に、請求項６ないし請求項９に記載の発明によれば、実行パラメータの計測結果が警告範囲内または異常範囲内となる場合、この工程に対応する図形要素に第２告知要素が付加される。そのため、基板処理装置の使用者は、第２告知要素の有無を判断することによって、各工程が実行パラメータの設定値にしたがって正常に実行されたか否かを容易に把握できる。

特に、請求項１０に記載の発明によれば、第２告知要素が付加されている図形要素が指定されると、指定された図形要素に応じた実行パラメータ関連情報（第２関連情報）が、抽出され、表示部の画面にさらに表示される。そのため、基板処理装置の使用者は、実行パラメータの計測結果が許容範囲外（例えば、警告範囲内または異常範囲内）となった工程の詳細な情報を容易に確認できる。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。

＜１．基板処理装置の全体構成＞
図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置１の全体構成の一例を示す図である。ここで、基板処理装置１は、いわゆるバッチ式の装置であり、貯留された薬液または純水（以下、「処理液」とも称する）に同一ロットに属する複数の基板を浸漬させることによって、各基板に一括して基板処理を施す。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、複数の処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００と、搬送ロボット１５と、制御ユニット８０と、表示部８５ａと、操作部８７と、を有している。

搬送ロボット１５は、複数の基板Ｗを把持しつつ各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００との間で基板Ｗの受け渡しを実行する搬送機構である。図１に示すように、搬送ロボット１５は、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００の上方を、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００の配置方向（矢印ＡＲ１方向）に沿って移動する。

薬液処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）は、単一の処理槽３０内で、各種の薬液による薬液処理や純水による水洗処理を実行する多機能処理ユニットである。図１に示すように、薬液処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）は、主として、外槽２０と、処理槽３０と、リフター３１と、供給管５０と、循環路６１と、排液管６６、７１と、を有している。

なお、図１に示すように、薬液処理ユニット１０ａ、１０ｂは、処理槽３０に供給可能な薬液が相違する点（薬液処理ユニット１０ａは薬液Ｃ１、Ｃ２を、薬液処理ユニット１０ｂは薬液Ｃ３、Ｃ４を、それぞれ供給可能）を除いては、同様なハードウェア構成を有している。そこで、以下では、主として、薬液処理ユニット１０ａについて説明する。

外槽２０は、処理槽３０の上端付近を囲繞するように設けられた回収部である。処理槽３０の上端部から溢れ出た処理液は、外槽２０にて回収される。処理槽３０は、薬液Ｃ１、Ｃ２（薬液処理ユニット１０ｂの場合、薬液Ｃ３、Ｃ４）、または純水Ｗ１を貯留する貯留槽である。これにより、同一ロットに属する複数の基板Ｗ（基板群）が、処理槽３０内の処理液に浸漬されると、ロット単位で薬液処理または水洗処理が実行される。

リフター３１は、処理槽３０の上方の基板受渡位置と、処理槽３０内の処理液に基板Ｗを浸漬させる浸漬位置と、の間で昇降自在とされた昇降機構である。また、複数（本実施の形態では３本）の保持棒３２は、リフター３１の下端付近に取り付けられており、紙面鉛直方向に延びる棒状体である。各保持棒３２には、複数の保持溝（図示省略）が設けられている。各基板Ｗの外縁部が対応する保持溝に嵌め込まれることによって、各基板Ｗは、保持棒３２に対して起立姿勢で保持される。

したがって、リフター３１が基板受渡位置まで上昇させられると、保持棒３２と搬送ロボット１５との間で基板Ｗの受け渡しが行われる。一方、保持棒３２に基板Ｗが保持された状態で、リフター３１が浸漬位置まで下降させられると、基板Ｗには薬液処理または水洗処理が実行される。

供給管５０は、処理槽３０の底部側と連通する配管である。供給管５０は、バルブ５１〜５３の開閉状態によって、薬液Ｃ１、Ｃ２（薬液処理ユニット１０ｂの場合は薬液Ｃ３、Ｃ４）、および純水Ｗ１のいずれかを、選択的に処理槽３０内に供給する。例えば、バルブ５１が開放され、バルブ５２、５３が閉鎖されると、処理槽３０には薬液Ｃ１が供給される。

温調部５４は、バルブ５２および供給管５０を介して処理槽３０に供給される薬液Ｃ２（薬液処理ユニット１０ｂの場合は薬液Ｃ４）を所望の液温に温調する。したがって、処理槽３０には、所望温度に維持された薬液Ｃ２（薬液処理ユニット１０ｂの場合には薬液Ｃ４）が供給される。

循環路６１は、外槽２０で回収された処理液を処理槽３０に循環供給する配管である。図１に示すように、循環路６１の一端部は外槽２０の底部側と、他端部は処理槽３０の底部側と、それぞれ連通している。また、循環路６１には、外槽２０側から処理槽３０側に向かって、バルブ６２、ポンプ６３、およびフィルタ６４がこの順番に設けられている。

排液管６６は、外槽２０で回収された処理液を排液ドレインに排出する配管である。図１に示すように、排液管６６の一端部は循環路６１と、他端部は排液ドレイン側と、それぞれ連通している。

したがって、本実施の形態では、バルブ６２、バルブ６７の開閉状態を制御することによって、処理槽３０への循環供給と、排液ドレイン側への排出と、を切り替えることができる。例えば、バルブ６２が開放され、バルブ６７が閉鎖されるとともに、ポンプ６３が動作させられると、外槽２０で回収された処理液は、循環路６１を介して処理槽３０内に循環供給される。一方、バルブ６２が閉鎖され、バルブ６７が開放されると、外槽２０で回収された処理液は、排液ドレインに排出される。

ここで、図１に示すように、循環路６１を介して処理槽３０に供給される処理液は、フィルタ６４を通過する。そのため、循環供給される処理液に含まれるパーティクル等の不純物は、フィルタ６４により濾過され、除去される。

排液管７１は、処理槽３０に貯留されている処理液を排液ドレイン側に排出する配管である。バルブ７２が開放状態とされると、処理槽３０内の処理液は排液ドレイン側に排出される。

純水処理ユニット１００は、処理槽１３０内に貯留された純水により水洗処理を実行する水洗ユニットである。図１に示すように、純水処理ユニット１００は、主として、外槽１２０と、処理槽１３０と、リフター１３１と、供給管１５０と、排液管１６６、１７１と、を有している。

外槽１２０は、処理槽１３０の上端付近を囲繞するように設けられた回収部である。処理槽１３０の上端部から溢れ出た純水は、外槽１２０にて回収される。処理槽１３０は、純水Ｗ１を貯留する純水槽である。同一ロットに属する複数の基板Ｗが、処理槽１３０内の純水に浸漬されると、ロット単位で水洗処理が実行される。

リフター１３１は、リフター３１と同様に、処理槽１３０の上方の基板受渡位置と、処理槽１３０内の純水に基板Ｗを浸漬させる浸漬位置と、の間で昇降自在とされた昇降機構である。また、複数（本実施の形態では３本）の保持棒１３２は、リフター１３１の下端付近に取り付けられており、紙面鉛直方向に延びる棒状体である。保持棒１３２は、保持棒３２と同様に、各基板Ｗを起立姿勢にて保持する。

したがって、リフター１３１が基板受渡位置まで上昇させられると、保持棒１３２と搬送ロボット１５との間で基板Ｗの受け渡しが行われる。一方、保持棒１３２に基板Ｗが保持された状態で、リフター１３１が浸漬位置まで下降させられると、基板Ｗには純水による水洗処理が行われる。

供給管１５０は、図１に示すように、処理槽１３０の底部側と連通する配管である。バルブ１５３が開放されると、供給管１５０は、処理槽１３０内に純水Ｗ１を供給する。排液管１６６は、外槽１２０で回収された純水を排液ドレインに排出する配管である。図１に示すように、排液管１６６の一端部は外槽１２０の底部側と、他端部は排液ドレイン側と、それぞれ連通している。したがって、バルブ１６７が開放されると、外槽１２０で回収された純水は、排液ドレインに排出される。排液管１７１は、処理槽１３０に貯留されている純水を排液ドレイン側に排出する配管である。したがって、バルブ１７２が開放状態とされると、処理槽１３０内の純水は排液ドレイン側に排出される。

制御ユニット８０は、各構成要素の動作制御（例えば、搬送ロボット１５の移動制御、リフター３１、１３１の昇降制御、バルブ５１〜５３、６２、６７、７２、１５３、１６７、１７２の開閉制御、および温調部５４による液温制御等）や、データ演算を実現する。なお、制御ユニット８０の詳細な構成については後述する。

表示部８５ａは、いわゆる液晶ディスプレイにより構成されており、制御ユニット８０から送信される映像信号に基づいて画面内に文字や図形を表示する。操作部８７は、いわゆるキーボードやマウスによって構成される入力部である。基板処理装置１の使用者（以下、単に、「使用者」とも呼ぶ）は、表示部８５ａの表示内容に基づいた入力作業を行うことによって、基板処理装置１に対して所定の動作を実行させることができる。

なお、表示部８５ａとしては、指や専用のペンで画面に触れることにより、画面上の位置を指定することができる「タッチパネル」機能を有するものが使用されても良い。これにより、使用者は、表示部８５ａに表示された内容に基づき、表示部８５ａの「タッチパネル」機能を使用した指示を行うことによって、基板処理装置１に対して所定の動作を実行させることができる。この場合、表示部８５ａは、表示機能だけでなく、操作部と同様な入力機能をも実現でき、入力部としても使用される。

＜２．制御ユニットの構成＞
図２は、制御ユニット８０の構成の一例を示すブロック図である。図２に示すように、制御ユニット８０は、主として、ＲＡＭ８１と、ＲＯＭ８２と、大容量記憶部８３と、ＣＰＵ８４と、表示処理部８５と、入出力部８６と、を有している。ここで、ＲＡＭ８１、ＲＯＭ８２、大容量記憶部８３、ＣＰＵ８４、表示処理部８５、および入出力部８６のそれぞれは、信号線８８を介して電気的に接続されている。

ＲＡＭ（Random Access Memory）８１は、揮発性の記憶部であり、例えば、ＣＰＵ８４の演算で使用されるデータが格納されている。ＲＯＭ（Read Only Memory）８２は、いわゆる不揮発性の記憶部であり、例えば、プログラム８２ａが格納されている。なお、ＲＯＭ８２としては、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが使用されてもよい。

大容量記憶部８３は、シリコンディスクドライブやハードディスクドライブ等のようにＲＡＭ８１と比較して記憶容量の大きな素子により構成された記憶部であり、必要に応じてＲＡＭ８１との間でデータの授受を行う。また、図２に示すように、大容量記憶部８３は、レシピテーブル８３ａ、子レシピテーブル８３ｂ、計時結果格納テーブル８３ｃ、および実行パラメータ格納テーブル８３ｄの各テーブルを記憶可能とされている。なお、各テーブル８３ａ〜８３ｄの詳細については、後述する。

ＣＰＵ（Central Processing Unit）８４は、ＲＯＭ８２のプログラム８２ａに従った動作制御やデータ処理を実行する。また、図２中のＣＰＵ８４内に記載されているブロック（それぞれ符号８４ａ〜８４ｆが付与されている）に対応する演算機能は、ＣＰＵ８４により実現される。なお、各ブロック８４ａ〜８４ｆに対応する演算機能については後述する。

表示処理部８５は、いわゆるビデオコントローラにより構成されており、信号線８５ｂを介して表示部８５ａと電気的に接続されている。表示処理部８５は、描画処理を実行することにより表示部８５ａの画面に文字や図形等を表示させる。

入出力部８６は、いわゆるＩ／Ｏポート（Input/Output Port）により構成されており、信号線８６ａを介して制御ユニット８０外の機器（例えば、搬送ロボット１５、リフター３１、温調部５４、操作部８７等）と電気的に接続されている。したがって、入出力部８６は、制御ユニット８０と外部機器との間で授受されるデータの入出力に使用される。

＜３．各テーブルのデータ構成＞
図３ないし図６は、それぞれレシピテーブル８３ａ、子レシピテーブル８３ｂ、計時結果格納テーブル８３ｃ、および実行パラメータ格納テーブル８３ｄのデータ構造の一例を示す図である。ここでは、大容量記憶部８３に記憶されている各テーブル８３ａ〜８３ｄのデータ構造について説明する。

レシピテーブル８３ａは、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で実行される基板処理のスケジュールに関連するデータを、基板処理の実行に先立って予め格納したものである。図３に示すように、レシピテーブル８３ａは、主として、「レシピＮＯ」、「ユニット名」、「基板識別ＮＯ」、「基板識別名」、「開始時刻」、「終了時刻」、および「子レシピＮＯ」の各フィールド（列）を有している。

「レシピＮＯ」フィールドには、レシピテーブル８３ａに登録されている各レコード（各行）を一意に識別するための値が格納されている。すなわち、レシピテーブル８３ａの各レコードについて、「レシピＮＯ」に格納されている値が検索されることによって、所望の基板処理に対応するレコードが抽出される。

ここで、「レシピＮＯ」で指定される各基板処理は、１または複数の工程を有している。例えば、「レシピＮＯ」で指定される基板処理が純水処理ユニット１００（図１参照）で実行される「水洗処理」の場合、この基板処理には、工程の１つとして「処理槽１３０に純水を供給する工程」が含まれる。

「ユニット名」フィールドには、基板処理が実行される処理ユニットの名称が文字列データとして格納されている。また、「基板識別ＮＯ」フィールドには、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で処理されるロットを一意に識別するための値が格納されている。また、「基板識別名」フィールドには、「基板識別ＮＯ」で指定される各ロットの名称が文字列データとして格納されている。

「開始時刻」および「終了時刻」フィールドには、「基板識別ＮＯ」で指定されるロットが「ユニット名」で指定される処理ユニットで処理される場合において、その処理の開始時刻および終了時刻が格納されている。したがって、各基板処理のスケジュールは、レシピテーブル８３ａに予め格納された「開始時刻」および「終了時刻」により把握できる。また、「子レシピＮＯ」フィールドには、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピＮＯ」フィールドに格納されている値のうち、いずれかの値が格納されている。

子レシピテーブル８３ｂは、各基板処理を構成する工程のスケジュールに関連するデータを、基板処理の実行に先立って予め格納したものである。図４に示すように、子レシピテーブル８３ｂは、主として、「子レシピＮＯ」、「子レシピ名」、「開始時刻」、「終了時刻」、「パラメータ名」、「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、「警告上限値」の各フィールドを有している。

「子レシピＮＯ」フィールドには、子レシピテーブル８３ｂに登録されている各レコードを一意に識別するための値が格納されている。また、「子レシピ名」フィールドには、「子レシピＮＯ」で指定される工程の名称が文字列データとして格納されている。

「開始時刻」および「終了時刻」フィールドには、「子レシピＮＯ」で指定される工程の開始時刻および終了時刻が格納されている。したがって、各工程のスケジュールは、子レシピテーブル８３ｂに予め格納された「開始時刻」および「終了時刻」により把握できる。

「パラメータ名」には、「子レシピＮＯ」で指定される着目工程について、この着目工程の実行にともなって動作する基板処理装置１の構成要素（例えば、バルブ５１や温調部５４等の機器）の実行パラメータの名称が、文字列データとして格納されている。

ここで、実行パラメータとは、基板処理装置１を構成する機器の動作を設定するパラメータである。例えば、温調部５４（図１参照）については、「薬液温度」が実行パラメータの１つとして設定される。

「許容下限値」および「許容上限値」フィールドには、「パラメータ名」で指定される実行パラメータの「実測値」について、この「実測値」の許容範囲を規定する下限値および上限値が格納されている。したがって、実行パラメータの「実測値」が許容範囲内（「許容下限値」≦「実測値」≦「許容上限値」）となる場合、この実行パラメータに対応する機器が正常に動作しており、この実行パラメータに対応する工程が正常に実行されていると判断される。

「警告下限値」および「警告上限値」フィールドには、「パラメータ名」で指定される実行パラメータの「実測値」について、この「実測値」の警告範囲および異常範囲を規定する値が格納されている。

ここで、警告範囲は、「許容上限値」＜「実測値」≦「警告上限値」、または「警告下限値」≦「実測値」＜「許容下限値」のように表される。実行パラメータの「実測値」が警告範囲内となる場合、使用者は、対応する工程が警告状態となっていると判断できる。

そして、使用者は、基板の処理不良が発生していると判断して、この工程を停止させ、この工程の対象となっていたロットを処理ユニットから取り除く作業を行っても良い。一方、警告範囲は後述する異常範囲には含まれないため、使用者は、警告状態となっている工程および以降の工程を続行させても良い。また、使用者は、警告状態となっている工程を続行させる、させない、に関わらず、警告の原因となった機器の調整や交換等のメンテナンス作業を行っても良い。

また、異常範囲は、「警告上限値」＜「実測値」、または「実測値」＜「警告下限値」のように表される。実行パラメータの「実測値」が異常範囲内となる場合、使用者は、対応する工程で異常が発生していると判断できる。

そして、使用者は、基板の処理不良が発生していると判断して、この工程を停止させ、この工程の対象となっていたロットを処理ユニットから取り除く作業を行っても良い。また、使用者は、異常の原因となった機器の調整や交換等のメンテナンス作業を行っても良い。

ここで、上述のように、レシピテーブル８３ａの「子レシピＮＯ」フィールドには、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピＮＯ」フィールドに格納されている値のうちのいずれかの値が格納されており、両テーブル８３ａ、８３ｂの「子レシピＮＯ」フィールドは関連付けられている。

したがって、着目基板処理の「レシピＮＯ」が分かると、レシピテーブル８３ａから着目基板処理に対応するレコードを抽出し、抽出されたレコードから着目基板処理を構成する工程の「子レシピＮＯ」を取得できる。そして、取得された「子レシピＮＯ」と同一値となるレコードを子レシピテーブル８３ｂから抽出することによって、着目基板処理を構成する各工程のスケジュールを取得できる。

計時結果格納テーブル８３ｃは、実際に実行された工程の実行タイミングを格納したものである。図５に示すように、計時結果格納テーブル８３ｃは、主として、「実行タイミング格納ＩＤ」、「子レシピＮＯ」、「開始時刻」、および「終了時刻」の各フィールドを有している。

「実行タイミング格納ＩＤ」フィールドには、計時結果格納テーブル８３ｃに登録されている各レコードを一意に識別するための値が格納されている。また、「子レシピＮＯ」フィールドには、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピＮＯ」フィールドに格納されている値のうち、いずれかの値が格納されており、両テーブル８３ｂ、８３ｃの「子レシピＮＯ」フィールドは、関連付けられている。さらに、「開始時刻」および「終了時刻」フィールドには、対応する工程が実際に開始された時刻、および終了した時刻と、が格納されている。

したがって、着目工程の「子レシピＮＯ」が分かると、この「子レシピＮＯ」と同一値となるレコードを計時結果格納テーブル８３ｃから抽出することによって、着目工程の実行タイミング（すなわち、計時結果格納テーブル８３ｃの「開始時刻」および「終了時刻」）を取得できる。

実行パラメータ格納テーブル８３ｄは、各工程に対応して設定されている実行パラメータの計測結果（実測値）を格納したものである。図６に示すように、実行パラメータ格納テーブル８３ｄは、主として、「実行パラメータ格納ＩＤ」、「子レシピＮＯ」、「時刻」、「パラメータ名」、および「パラメータ値」の各フィールドを有している。

「実行パラメータ格納ＩＤ」フィールドには、実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録されている各レコードを一意に識別するための値が格納されている。また、「子レシピＮＯ」フィールドには、計時結果格納テーブル８３ｃと同様に、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピＮＯ」に格納されている値のうち、いずれかの値が格納されており、両テーブル８３ｂ、８３ｄの「子レシピＮＯ」フィールドは関連づけられている。

「時刻」フィールドには、「子レシピＮＯ」で指定される工程において、実行パラメータの計測結果が警告範囲または異常範囲となった時刻が格納されている。また、「パラメータ名」には、警告範囲または異常範囲となった実行パラメータの名称が格納される。さらに、「パラメータ値」には、警告範囲または異常範囲となった実行パラメータの計測結果が格納される。

したがって、着目工程の「子レシピＮＯ」が分かると、この「子レシピＮＯ」と同一値となるレコードを実行パラメータ格納テーブル８３ｄから抽出することによって、着目工程が警告状態となったり着目工程で異常が発生した時刻、並びに、警告または異常となった実行パラメータの名称および計測結果を取得できる。

＜４．ＣＰＵの機能構成＞
ここでは、ＣＰＵ８４（図２参照）により実現される演算機能について説明する。なお、図２において、ＣＰＵ８４で実現される演算機能は、ＣＰＵ８４内のブロック８４ａ〜８４ｆとして図示されている。

計時結果格納処理部８４ａは、各薬液処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で各工程が実行される毎に、各工程の計時結果に関する情報を計時結果格納テーブル８３ｃに登録する。

具体的には、「子レシピＮＯ」で指定される着目工程が実行されると、計時結果格納処理部８４ａは、計時結果格納テーブル８３ｃに新たなレコードを追加する。そして、計時結果格納処理部８４ａは、着目工程を一意に識別するための値と、工程が実際に開始および終了された時刻とを、計時結果格納テーブル８３ｃに追加されたレコードの「子レシピＮＯ」、「開始時刻」、および「終了時刻」の各フィールドに格納する。

実行パラメータ格納処理部８４ｂは、着目工程が警告状態となったり、着目工程で異常が発生した場合において、この警告状態または異常発生に関連する情報を実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録する。

具体的には、着目工程が警告状態となったり、着目工程で異常が発生すると、実行パラメータ格納処理部８４ｂは、実行パラメータ格納テーブル８３ｄに新たなレコードを追加する。そして、実行パラメータ格納処理部８４ｂは、追加されたレコードの「子レシピＮＯ」フィールドに着目工程を一意に識別するための値を、「時刻」フィールドに警告状態となった時刻、または異常が発生した時刻を、「パラメータ名」フィールドに警告状態または異常の原因となった構成要素の実行パラメータの名称を、「パラメータ値」フィールドに「パラメータ名」で指定される実行パラメータの計測結果を、それぞれ格納する。

タイミング判定部８４ｃ（第１判定部）は、子レシピテーブル８３ｂに格納されている着目工程のスケジュール（具体的には、子レシピテーブル８３ｂの「開始時刻」および「終了時刻」の値が対応）と、実際に実行した場合における着目工程の計時結果（具体的には、計時結果格納テーブル８３ｃの「開始時刻」および「終了時刻」の値が対応）と、を比較し、各工程の計時結果が許容範囲内となるか否かを判定する。

例えば、タイミング判定部８４ｃは、子レシピテーブル８３ｂの「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値（所要時間の設定値）と、計時結果格納テーブル８３ｃの「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値（所要時間の計時結果）と、をそれぞれ演算する。

そして、所要時間の計測結果から設定値を減じた値が許容範囲内となる場合、着目工程が正しいタイミングで実行されているものと判断する。一方、所要時間の計測結果から設定値を減じた値が許容範囲外となる（例えば、所要時間が、不足または超過している）場合、タイミング判定部８４ｃは、着目工程が、子レシピテーブル８３ｂにより規定されているタイミングから離脱しており、正常に実行されていないと判断する。

パラメータ判定部８４ｄ（第２判定部）は、着目工程の実行にともなって動作する機器の実行パラメータについて、この実行パラメータの計測結果が、警告範囲内となるか否かの判定、および異常範囲内となるか否かの判定、を実行する。この判定は、上述のように、子レシピテーブル８３ｂに格納されている「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、および「警告上限値」に基づいて判定される。

例えば、子レシピテーブル８３ｂに登録されているレコードのうち、「子レシピＮＯ」＝「１１０１」となるレコードについて、「パラメータ名」には「薬液温度」が、「許容下限値」には「２０」が、「許容上限値」には「３０」が、「警告下限値」には「１５」が、「警告上限値」には「３５」が、それぞれ格納されている。

したがって、「子レシピＮＯ」＝「１１０１」で指定される工程において、「薬液温度」の計測結果が「２５」、「３２」、および「１２」となる場合、計測結果は、それぞれ許容範囲内、警告範囲内、および異常範囲内であると判断される。

ガントチャート作成部８４ｅは、各テーブル８３ａ〜８３ｄに格納されているデータに基づいて、各基板処理および各工程のスケジュールを表示するガントチャート（図７参照）を作成する。なお、ガントチャートの詳細な構成については、後述する。

詳細情報抽出部８４ｆは、操作部８７からの入力に従って着目工程が指定されると、実行タイミングに関する情報を取得するために、子レシピテーブル８３ｂおよび計時結果格納テーブル８３ｃに登録されている複数のレコードから、着目工程に対応するレコードを抽出する処理を実行する（第１抽出部に対応）。また、詳細情報抽出部８４ｆは、指定された着目工程の実行パラメータに関する情報を取得するために、子レシピテーブル８３ｂおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録されている複数のレコードから着目工程に対応するレコードを抽出する処理を実行する（第２抽出部に対応）。なお、着目工程の指定は、表示部８５ａのタッチパネル機能を使用することにより行われてもよい。

＜５．ガントチャートの構成＞
図７は、すべて基板処理および工程が正常に実行されている場合において、表示部８５ａに表示されるガントチャート８５ｃの一例を示す図である。ここでは、図７を参照しつつ、本実施の形態のガントチャート８５ｃの構成について説明する。

ガントチャート８５ｃは、図７に示すように、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００においてロット単位で実行される基板処理のスケジュールを、時間軸ｔａ方向に延びる複数の帯グラフ９０（９０ａ〜９０ｅ）（図形要素）として、表示部８５ａの画面に表示したものである。

各帯グラフ９０（９０ａ〜９０ｅ）は、対応する処理ユニット毎に、時間軸ｔａ方向に沿って配置される。例えば、同一の薬液処理ユニット１０ａで実行される基板処理の帯グラフ９０ａ、９０ｂは、図７に示すように、時間軸ｔａに沿った一直線上に配置されている。

図７に示すように、各帯グラフ９０（９０ａ〜９０ｅ）は、上段帯グラフ９１（９１ａ〜９１ｅ）と、下段帯グラフ９２（９２ａ〜９２ｈ）と、を有している。なお、以下の説明では、帯グラフ９０ａ〜９０ｅを総称して帯グラフ９０、上段帯グラフ９１ａ〜９１ｅを総称して上段帯グラフ９１、下段帯グラフ９２ａ〜９２ｈを総称して下段帯グラフ９２、とも呼ぶ。

上段帯グラフ９１（第１図形要素）は、表示部８５ａの画面上に配置された矩形体であり、レシピテーブル８３ａから抽出されたレコードに基づいて作成される。すなわち、各上段帯グラフ９１の配置および大きさは、レシピテーブル８３ａの「ユニット名」、「開始時刻」、および「終了時刻」に基づいて定められる。また、上段帯グラフ９１上には、レシピテーブル８３ａの「基板識別名」に格納されている文字列データが、処理対象となるロットの識別情報として表示される。

例えば、「レシピＮＯ」＝「１１００」のレコード（図３参照）は上段帯グラフ９１ａに対応する。また、上段帯グラフ９１ａ上には、図７に示すように、レシピテーブル８３ａの「基板識別名」に格納されている「ロットＡ１」が表示される。なお、上段帯グラフ９１に付与される各ロットの識別情報としては、レシピテーブル８３ａの「基板識別ＮＯ」が使用されてもよい。

下段帯グラフ９２（第２図形要素）は、上段帯グラフ９１と同様に、表示部８５ａの画面上に配置された矩形でり、対応する上段帯グラフ９１の直下に配置される。下段帯グラフ９２は、レシピテーブル８３ａおよび子レシピテーブル８３ｂに基づいて作成される。

すなわち、レシピテーブル８３ａに登録されているレコードのうち、直上の上段帯グラフ９１に対応するレコードから「子レシピＮＯ」が取得される。続いて、取得された「子レシピＮＯ」に対応するレコードが子レシピテーブル８３ｂから抽出される。

そして、下段帯グラフ９２の配置および大きさは、直上の上段帯グラフ９１に対応するレコードの「ユニット名」と、子レシピテーブル８３ｂから抽出されたレコードの「開始時刻」および「終了時刻」と、に基づいて、定められる。また、下段帯グラフ９２上には、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピ名」に格納されている文字列が、各工程の識別情報として表示される。

例えば、「子レシピＮＯ」＝「１１０１」のレコード（図４参照）は上段帯グラフ９１ａの直下に表示される下段帯グラフ９２ａに対応する。また、下段帯グラフ９２ａ上には、図７に示すように、子レシピテーブル８３ｂの「子レシピ名」に格納されている「工程Ａ１１」が表示される。

このように、ガントチャート８５ｃは、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００においてロットで実行される処理のスケジュールを、時間軸ｔａ方向に延びる複数の帯グラフ９０として、表示部８５ａの同一画面内に表示したものである。また、各帯グラフ９０は、対応する処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００毎に、時間軸ｔａ方向に沿って配置されている。さらに、各帯グラフ９０は、対応する処理ユニットで基板処理されるロットの識別情報を示す上段帯グラフ９１と、基板処理を構成する工程のスケジュールを各工程毎に示す下段帯グラフ９２と、を有している。

これにより、使用者は、表示部８５ａに表示されている複数の帯グラフ９０の中から、同一ロットが処理対象となっている帯グラフ９０を見出すことによって、処理ユニットを跨って処理されるロットの処理状況（例えば、いつ、どの処理ユニットで、どのような工程が実行されたかということ）を容易に把握できる。また、使用者は、表示部８５ａに表示されている各帯グラフ９０から、各薬液処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で実行される工程の実行状況を容易に把握できる。

したがって、使用者は、各ロットに対して実行される基板処理の流れと、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で実行される工程のスケジュールと、を表示部８５ａの表示から容易に把握できる。

＜６．ガントチャートの作成手順＞
図８は、着目工程が正常な実行タイミングから離脱している場合、および着目工程の実行パラメータの計測結果が警告または異常範囲内となる場合において、表示部８５ａに表示されるガントチャート８５ｃの構成の一例を示す図である。ここでは、図８を参照しつつ、ガントチャート８５ｃを構成する各帯グラフ９０の作成手順について説明する。

まず、基板処理に含まれるすべての工程の実行状況が正常である場合において、帯グラフ９０の作成手順を説明する。

例えば、「子レシピＮＯ」＝「１２０１」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｃに対応）について、子レシピテーブル８３ｂおよび計時結果格納テーブル８３ｃの「開始時刻」および「終了時刻」がそれぞれ同一であり、設定されたスケジュール通りに正常に実行されている。また、実行パラメータ格納テーブル８３ｄにおいて、「子レシピＮＯ」＝「１２０１」で指定される工程の実行パラメータの計測結果は格納されていない。すなわち、「子レシピＮＯ」＝「１２０１」で指定される工程は、実行パラメータの設定値にしたがって正常に実行されている。したがって、「基板識別名」＝「ロットＡ２」となるロットを「ユニット名」＝「薬液処理ユニット１０ａ」となる処理ユニットで基板処理する場合において、この基板処理（帯グラフ９０ｂに対応）のすべての工程の実行状況は、正常である。

この場合において、ガントチャート作成部８４ｅは、（１）レシピテーブル８３ａに登録されており「レシピＮＯ」＝「１２００」となるレコードの「ユニット名」、「開始時刻」および「終了時刻」と（図３参照）、（２）子レシピテーブル８３ｂに登録されており「子レシピＮＯ」＝「１２０１」となるレコードの「開始時刻」および「終了時刻」（図４参照）に基づいて、上段帯グラフ９１ｂおよび下段帯グラフ９２ｃを作成する。

例えば、ガントチャート作成部８４ｅは、各帯グラフ９０の左方に配置された文字列「薬液処理ユニット１０ａ」と、帯グラフ９０ｂと、が一直線上に配置されるように、上段帯グラフ９１ｂおよび下段帯グラフ９２ｃの高さ方向（時間軸ｔａと垂直な方向）の位置（表示部８５ａの画面内における座標）を決定する。

また、時間軸ｔａ方向に沿った上段帯グラフ９１ｂおよび下段帯グラフ９２ｃの位置および大きさについて、ガントチャート作成部８４ｅは、両テーブル８３ａ、８３ｂの「開始時刻」および「終了時刻」に基づいて決定する。

そして、表示処理部８５は、ガントチャート作成部８４ｅによって決定された位置および大きさに基づいて、上段帯グラフ９１ｂおよび下段帯グラフ９２ｃを表示部８５ａの画面内に表示させる。

次に、着目工程が正常な実行タイミングから離脱している場合において、帯グラフ９０の作成手順を説明する。

例えば、「子レシピＮＯ」＝「３２０１」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｈに対応：図８参照）について、子レシピテーブル８３ｂに格納されている「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値（所要時間の設定値）と、計時結果格納テーブル８３ｃに格納されている「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値（所要時間の計時結果）と、を比較した場合、所要時間の計時結果は設定値より小さい。したがって、所要時間の計時結果から設定値を減じた値が許容範囲外となる場合、タイミング判定部８４ｃは、「子レシピＮＯ」＝「３２０１」で指定される工程が正常な実行タイミングから離脱しており、この工程の所要時間の計測結果が設置値に対して不足していると判断する。

そして、「子レシピＮＯ」＝「３２０１」で指定される工程を含む帯グラフ９０ｅが作成される場合、ガントチャート作成部８４ｅは、（１）レシピテーブル８３ａに登録されている「レシピＮＯ」＝「３２００」となるレコード（図３参照）、（２）子レシピテーブル８３ｂに登録されている「子レシピＮＯ」＝「３２０１」となるのレコード（図４参照）に基づいて、上段帯グラフ９１ｅおよび下段帯グラフ９２ｈを作成する。

すなわち、ガントチャート作成部８４ｅは、レシピテーブル８３ａの「ユニット名」、「開始時刻」、および「終了時刻」と、子レシピテーブル８３ｂの「開始時刻」および「終了時刻」と、に基づいて、上段帯グラフ９１ｅおよび下段帯グラフ９２ｈの位置および大きさを決定する。

また、タイミング判定部８４ｃによって、「子レシピＮＯ」＝「３２０１」で指定される工程の所要時間の計時結果が、設定値に対して不足している（すなわち、許容範囲外となる）と判断されるため、ガントチャート作成部８４ｅは、対応する上段帯グラフ９１ｅおよび下段帯グラフ９２ｈに、工程の所要時間の計測結果が不足していることを告知する要素（第１告知要素）を付加する。そして、告知要素が付加された帯グラフ９０ｅが、表示部８５ａに表示される。
なお、本実施の形態において、不足を告知する要素としては、右下がり斜線によるハッチングが採用されている。

続いて、着目工程の実行パラメータの計測結果が異常範囲内となる場合において、帯グラフ９０の作成手順を説明する。

例えば、パラメータ判定部８４ｄによって、「子レシピＮＯ」＝「１１０２」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｂが対応：図８参照）の実行パラメータの計測結果が異常範囲となると判断されると、実行パラメータ格納処理部８４ｂは、帯グラフ９０ａの作成に先立って、異常範囲となった実行パラメータに関連する情報を実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録する。

その後、「子レシピＮＯ」＝「１１０２」で指定される工程を含む帯グラフ９０ａが作成される場合、ガントチャート作成部８４ｅは、（１）レシピテーブル８３ａに登録されており、「レシピＮＯ」＝「１１００」となるレコード（図３参照）、（２）子レシピテーブル８３ｂに登録されており、「子レシピＮＯ」＝「１１０１」、「１１０２」となる２つのレコード（図４参照）に基づいて、上段帯グラフ９１ａ、および下段帯グラフ９２ａ、９２ｂを作成する。

すなわち、ガントチャート作成部８４ｅは、帯グラフ９０ｅの場合と同様に、レシピテーブル８３ａの「ユニット名」、「開始時刻」、および「終了時刻」と、子レシピテーブル８３ｂの「開始時刻」および「終了時刻」と、に基づいて、上段帯グラフ９１ａ、および下段帯グラフ９２ａ、９２ｂの位置および大きさを決定する。

ここで、パラメータ判定部８４ｄは、（３）実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録されており、「実行パラメータ格納ＩＤ」＝「２１０１１０１」となるレコードの「パラメータ値」（図６参照）と、（４）子レシピテーブル８３ｂに登録されており、「子レシピＮＯ」＝「１１０２」となるレコードの「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、および「警告上限値」と、から、「子レシピＮＯ」＝「１１０２」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｂが対応）で異常が発生していると判断する。

したがって、ガントチャート作成部８４ｅは、パラメータ判定部８４ｄの判定結果に基づいて、対応する上段帯グラフ９１ａおよび下段帯グラフ９２ｂに、異常発生を告知する要素（第２告知要素）を付加する。そして、告知要素が付加された帯グラフ９０ａが、表示部８５ａに表示される。なお、本実施の形態において、異常発生を告知する要素としては、丸内に「×」を表示した告知記号（文字列だけでなく標章も含む）が採用されている。

続いて、着目工程が正常な実行タイミングから離脱しており、かつ、着目工程の実行パラメータの計測結果が警告範囲内となる場合において、帯グラフ９０の作成手順を説明する。

例えば、パラメータ判定部８４ｄによって、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｅが対応：図８参照）の実行パラメータの計測結果が警告範囲内となると判断されると、実行パラメータ格納処理部８４ｂは、帯グラフ９０ｃの作成に先立って、警告範囲内となった実行パラメータに関連する情報を実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録する。

その後、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」で指定される工程を含む帯グラフ９０ｃが作成される場合、ガントチャート作成部８４ｅは、（１）レシピテーブル８３ａに登録されている「レシピＮＯ」＝「２１００」となるレコード（図３参照）、（２）子レシピテーブル８３ｂに登録されている「子レシピＮＯ」＝「２１０１」、「２１０２」となる２つのレコード（図４参照）に基づいて、上段帯グラフ９１ａ、および下段帯グラフ９２ａ、９２ｂを作成する。

すなわち、ガントチャート作成部８４ｅは、帯グラフ９０ａ、９０ｅの場合と同様に、レシピテーブル８３ａの「ユニット名」、「開始時刻」、および「終了時刻」と、子レシピテーブル８３ｂの「開始時刻」および「終了時刻」と、に基づいて、上段帯グラフ９１ｃ、および下段帯グラフ９２ｄ、９２ｅの位置および大きさを決定する。

ここで、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｅが対応）について、予め子レシピテーブル８３ｂに格納されている「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値と、計時結果格納テーブル８３ｃの「終了時刻」から「開始時刻」を減じた値と、を比較した場合、所要時間の計時結果は設定値より大きい。したがって、所要時間の計時結果から設定値を減じた値が許容範囲外となる場合、タイミング判定部８４ｃは、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」で指定される工程が正常な実行タイミングから離脱しており、この工程の所要時間の計時結果が設定値に対して超過していると判断する。

また、パラメータ判定部８４ｄは、（３）実行パラメータ格納テーブル８３ｄに登録されており、「実行パラメータ格納ＩＤ」＝「２１０１１０２」となるレコードの「パラメータ値」（図６参照）と、（４）子レシピテーブル８３ｂに登録されており、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」となるレコードの「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、および「警告上限値」と、から、「子レシピＮＯ」＝「２１０２」で指定される工程（下段帯グラフ９２ｅが対応）が警告状態がとなっていると判断する。

したがって、ガントチャート作成部８４ｅは、タイミング判定部８４ｃおよびパラメータ判定部８４ｄの判定結果に基づいて、対応する上段帯グラフ９１ｃおよび下段帯グラフ９２ｅに、工程の所要時間の計測結果が超過していることを告知する要素（第１告知要素）と、工程が警告状態となっていることをを告知する要素（第２告知要素）と、を付加する。そして、告知要素が付加された帯グラフ９０ｃが、表示部８５ａに表示される。

なお、本実施の形態において、超過を告知する要素としては、右上がり斜線によるハッチングが採用されている。また、警告状態を告知する要素としては、隅丸三角形内に「！」を表示した告知記号が採用されている。

このように、着目工程が正常な実行タイミングから離脱（すなわち、所要時間の計時結果が不足もしくは超過）している場合、または、着目工程の実行パラメータの計測結果が警告範囲内、または、異常範囲内となる場合、着目工程に対応する上段帯グラフ９１および下段帯グラフ９２には、ハッチングや告知記号のような告知要素が付加される。そのため、使用者は、告知要素の有無を判断することによって、各工程の実行状況が正常であるか否かを容易に把握できる。

＜７．詳細情報表示領域の作成手順＞
図９ないし図１１は、着目工程の実行状況を表示する詳細情報表示領域９３（９３ａ〜９３ｃ）の一例を示す図である。ここでは、図９ないし図１１を参照しつつ、ガントチャート８５ｃ上に重ねて表示される詳細情報表示領域９３（９３ａ〜９３ｂ）の作成手順を説明する。

ここで、詳細情報表示領域９３ａ（第２表示領域）は、子レシピテーブル８３ｂおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄに格納された複数の実行パラメータに関連する情報（実行パラメータ関連情報）のうち、指定された工程に対応する情報（第２関連情報）を表示するダイアログボックスである。一方、詳細情報表示領域９３ｂ（第１表示領域）は、子レシピテーブル８３ｂおよび計時結果格納テーブル８３ｃに格納された複数の実行タイミングに関連する情報（実行タイミング関連情報）のうち、指定された工程に対応する情報（第１関連情報）を表示するダイアログボックスである。

また、以下の説明では、詳細情報表示領域９３ａ、９３ｂを総称して詳細情報表示領域９３とも呼ぶ。

まず、着目工程の実行パラメータの計測結果が異常範囲内となる場合において、この着目工程に対応する詳細情報表示領域９３ａの作成手順の一例を説明する。

図９に示すように、下段帯グラフ９２ｂには、異常発生を告知する告知記号が付加されている。この場合において、使用者が、操作部８７を操作し、画面に表示されたポインタＰで下段帯グラフ９２ｂを指定すると（第２指定動作）、制御ユニット８０には、下段帯グラフ９２ｂに対応する「子レシピＮＯ」（＝「１１０２」）が入力される。

ここで、本実施の形態において、ポインタＰの移動は、操作部８７のマウスまたはキーボードにより行われてもよいし、その他の入力デバイスにより行われてもよい。

続いて、詳細情報抽出部８４ｆは、入力された「子レシピＮＯ」と同一となるレコードを、子レシピテーブル８３ｂ（図４参照）および実行パラメータ格納テーブル８３ｄ（図６参照）から抽出する。これにより、子レシピテーブル８３ｂからは「子レシピＮＯ」＝「１１０２」となるレコードが、実行パラメータ格納テーブル８３ｄからは「実行パラメータ格納ＩＤ」＝「２１０１１０１」となるレコードが、それぞれ抽出される。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、実行パラメータ格納テーブル８３ｄより抽出されたレコードから「時刻」、「パラメータ名」、および「パラメータ値」の各値を、子レシピテーブル８３ｂより抽出されたレコードから「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、および「警告上限値」の各値を、取得する。

続いて、パラメータ判定部８４ｄは、取得された各値に基づいて、告知レベルを判定する。この場合において、取得された「パラメータ値」が異常範囲内となるため、パラメータ判定部８４ｄは、告知レベルが「異常発生」であると判断する。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、子レシピテーブル８３ｂおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄから取得された値と、パラメータ判定部８４ｄの判定結果として取得された告知レベルと、が所定位置に配置されるように、詳細情報表示領域９３ａを作成する。そして、ガントチャート作成部８４ｅにより作成された詳細情報表示領域９３ａは、表示処理部８５の描画処理により表示部８５ａに表示される（図９参照）。

次に、着目工程の所要時間が不足している場合において、この着目工程に対応する詳細情報表示領域９３ｂの作成手順の一例を説明する。

図１０に示すように、下段帯グラフ９２ｈには、着目工程の所要時間が不足していることを示すハッチングが付加されている。この場合において、使用者が、操作部８７を操作し、画面に表示されたポインタＰで下段帯グラフ９２ｈを指定すると（第１指定動作）、制御ユニット８０には、下段帯グラフ９２ｈに対応する「子レシピＮＯ」（＝「３２０１」）が入力される。

続いて、詳細情報抽出部８４ｆは、入力された「子レシピＮＯ」と同一となるレコードを、子レシピテーブル８３ｂ（図４参照）および計時結果格納テーブル８３ｃ（図５参照）から抽出する。これにより、子レシピテーブル８３ｂからは「子レシピＮＯ」＝「３２０１」となるレコードが、計時結果格納テーブル８３ｃからは「実行タイミング格納ＩＤ」＝「１１０１１０８」となるレコードが、それぞれ抽出される。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、子レシピテーブル８３ｂより抽出されたレコードから「開始時刻」および「終了時刻」の各値を、計時結果格納テーブル８３ｃより抽出されたレコードから「開始時刻」および「終了時刻」の各値を、取得する。

また、ガントチャート作成部８４ｅは、子レシピテーブル８３ｂより抽出された「終了時刻」から「開始時刻」を減算して、所要時間の設定値を求める。同様に、ガントチャート作成部８４ｅは、計時結果格納テーブル８３ｃより抽出された「終了時刻」から「開始時刻」を減算して、所要時間の計時結果を求める。

続いて、タイミング判定部８４ｃは、所要時間の設定値および計時結果に基づいて、離脱状況を判定する。この場合において、所要時間の計時結果が設定値と比較して小さな値となり、かつ、所要時間の計時結果から設定値を減じた値が許容範囲外となるため、タイミング判定部８４ｃは、離脱状況が「不足」であると判断する。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、計時結果格納テーブル８３ｃから取得された「開始時刻」および「終了時刻」の値と、所要時間の設定値および計時結果と、計時結果格納テーブル８３ｃの判定結果として取得された離脱状況と、が所定位置に配置されるように、詳細情報表示領域９３ｂを作成する。

そして、ガントチャート作成部８４ｅにより作成された詳細情報表示領域９３ｂは、詳細情報表示領域９３ａと同様に、表示処理部８５の描画処理により表示部８５ａに表示される（図１０参照）。

続いて、着目工程の実行パラメータの計測結果が警告範囲内となり、着目工程の所要時間の計時結果が設定値に対して不足している場合において、この着目工程に対応する詳細情報表示領域９３ａ、９３ｂの作成手順の一例を説明する。

図１１に示すように、下段帯グラフ９２ｅには、警告状態となっていることを告知する告知記号と、着目工程の所要時間が超過していることを示すハッチングと、が付加されている。この場合において、使用者が、操作部８７を操作し、画面に表示されたポインタＰで下段帯グラフ９２ｅを指定すると（第１および第２指定動作）、制御ユニット８０には、下段帯グラフ９２ｅに対応する「子レシピＮＯ」（＝「２１０２」）が入力される。

続いて、詳細情報抽出部８４ｆは、入力された「子レシピＮＯ」と同一となるレコードを、子レシピテーブル８３ｂ（図４参照）、計時結果格納テーブル８３ｃ（図５参照）、および実行パラメータ格納テーブル８３ｄ（図６参照）から抽出する。これにより、子レシピテーブル８３ｂからは「子レシピＮＯ」＝「２１０２」となるレコードが、計時結果格納テーブル８３ｃからは「実行タイミング格納ＩＤ」＝「１１０１１０７」となるレコードが、実行パラメータ格納テーブル８３ｄからは「実行パラメータ格納ＩＤ」＝「２１０１１０２」となるレコードが、それぞれ抽出される。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、計時結果格納テーブル８３ｃより抽出されたレコードから「開始時刻」および「終了時刻」の各値を、子レシピテーブル８３ｂより抽出されたレコードから「開始時刻」および「終了時刻」の各値を、取得する。

また、ガントチャート作成部８４ｅは、子レシピテーブル８３ｂより抽出された「終了時刻」から「開始時刻」を減算して、所要時間の設定値を求める。同様に、ガントチャート作成部８４ｅは、計時結果格納テーブル８３ｃより抽出された「終了時刻」から「開始時刻」を減算して、所要時間の計時結果を求める。

さらに、ガントチャート作成部８４ｅは、実行パラメータ格納テーブル８３ｄより抽出されたレコードから「時刻」、「パラメータ名」、および「パラメータ値」の各値を、子レシピテーブル８３ｂより抽出されたレコードから「許容下限値」、「許容上限値」、「警告下限値」、および「警告上限値」の各値を、取得する。

続いて、タイミング判定部８４ｃは、演算された所要時間の設定値および計時結果に基づいて、離脱状況を判定する。この場合において、所要時間の計時結果が設定値と比較して大きな値となり、所要時間の計時結果から設定値を減じた値が許容範囲外となるため、タイミング判定部８４ｃは、離脱状況が「超過」であると判断する。

続いて、パラメータ判定部８４ｄは、取得された各値に基づいて、告知レベルを判定する。この場合において、取得された「パラメータ値」が警告範囲内となるため、パラメータ判定部８４ｄは、告知レベルが「警告状態」であると判断する。

続いて、ガントチャート作成部８４ｅは、子レシピテーブル８３ｂおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄから取得された値と、パラメータ判定部８４ｄの判定結果として取得された告知レベルと、が所定位置に配置されるように、詳細情報表示領域９３ａを作成する。

また、ガントチャート作成部８４ｅは、計時結果格納テーブル８３ｃから取得された「開始時刻」および「終了時刻」の値と、所要時間の設定値および計時結果と、計時結果格納テーブル８３ｃの判定結果として取得された離脱状況と、が所定位置に配置されるように、詳細情報表示領域９３ｂを作成する。

そして、ガントチャート作成部８４ｅにより作成された詳細情報表示領域９３ａ、９３ｂは、表示処理部８５の描画処理により表示部８５ａに表示される（図１１参照）。

このように、操作部８７からの指定動作（第１指定動作）により、ハッチングが付加された下段帯グラフ９２が指定されると、大容量記憶部８３に記憶されている子レシピテーブル８３ｂおよび計時結果格納テーブル８３ｃからは、指定された工程に対応する詳細な情報が抽出される。そして、ガントチャート作成部８４ｅは、この指定動作に応じ、詳細な情報（第１関連情報）を表示した詳細情報表示領域９３ａを作成する。

また、操作部８７からの指定動作（第２指定動作）により、告知記号が付加された下段帯グラフ９２が指定されると、大容量記憶部８３に記憶されている子レシピテーブル８３ｂおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄからは、指定された工程に対応する詳細な情が抽出される。そして、ガントチャート作成部８４ｅは、この指定動作に応じ、詳細な情報（第２関連情報）を表示した詳細情報表示領域９３ｂを作成する。

さらに、告知記号およびハッチングが付加された下段帯グラフ９２が指定されると、ガントチャート作成部８４ｅは、詳細情報表示領域９３ａ、９３ｂを作成する。

これにより、表示部８５ａには、図９ないし図１１に示すように、指定動作（第１、および／または、第２指定動作）に応じ、ガントチャート８５ｃの上に重ねて、詳細情報表示領域９３が表示される。そのため、使用者は、他の画面に切り替えることなく、計時結果が許容範囲外となった工程や、実行パラメータの計測結果が警告範囲内または異常範囲内となった工程の詳細な情報を、容易に確認できる。

＜８．本実施の形態の基板処理装置の利点＞
以上のように、本実施の形態の基板処理装置１の使用者は、表示部８５ａに表示されている複数の帯グラフ９０の中から、同一ロットが処理対象となっている帯グラフ９０を見出すことができる。また、使用者は、表示部８５ａに表示されている各帯グラフ９０から、各薬液処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で実行される工程の実行状況を容易に把握できる。そのため、使用者は、各ロットに対して実行される基板処理の流れと、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００で実行される工程のスケジュールと、を画面切替することなく、同一の画面から把握できる。

＜９．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。

（１）本実施の形態において、各処理ユニット１０（１０ａ、１０ｂ）、１００は、いわゆるバッチ式の基板処理ユニットであり、各ロット（複数の基板から構成される基板群）に対して一括して基板処理するものとして説明したが、これに限定されるものでない。例えば、処理ユニットとしては、いわゆる枚葉式（基板を１枚ずつ処理する方式）の基板処理ユニットが使用されてもよい。この場合、上段帯グラフ９１（図７ないし図１１参照）には、各ロットの識別情報でなく、各基板の識別情報が表示される。すなわち、上段帯グラフ９１に表示される識別情報は、単一の基板を識別する情報であっても良いし、複数の基板から構成される基板群を識別する情報であっても良い。

（２）また、本実施の形態において、実行タイミングが離脱状態、または実行パラメータの計測結果が許容範囲外（警告範囲内または以上範囲内）となる場合、対応する上段帯グラフ９１（第１図形要素）および下段帯グラフ９２（第２図形要素）のそれぞれに告知要素を付加するものとして説明したが、告知要素が付加される対象は、これに限定されるものでない。少なくとも、下段帯グラフ９２に告知要素が付加されていれば、使用者は、各工程の実行状況を把握できる。

（３）また、本実施の形態において、ガントチャート作成部８４ｅは、斜線が付された下段帯グラフ９２、または、告知記号が付加された下段帯グラフ９２が指定された場合に、詳細情報表示領域９３を作成するものとして説明したが、これに限定されるものでない。告知記号およびハッチングのいずれも付加されている下段帯グラフ９２が指定された場合にも、詳細情報表示領域９３が表示されるようにしてもよい。この場合、詳細情報表示領域９３ａの告知レベルや詳細情報表示領域９３ｂの離脱状況等の不要な項目は、表示対象から除外する。

（４）また、本実施の形態において、レシピテーブル８３ａ、子レシピテーブル８３ｂ、計時結果格納テーブル８３ｃ、および実行パラメータ格納テーブル８３ｄは、大容量記憶部８３に記憶されるものとして説明したが、各テーブル８３ａ〜８３ｄが記憶される場所はこれに限定されるものでない。

例えば、十分な記憶容量を確保できる場合には、基板処理装置１の起動時に各テーブル８３ａ〜８３ｄが大容量記憶部８３からＲＡＭ８１にコピーされ、以後のデータアクセスが大容量記憶部８３でなくＲＡＭ８１に対して行われるようにしてもよい。また、ＲＯＭ８２として読み書き自在の不揮発性メモリが使用され、かつ、十分な記憶容量を確保できる場合には、各テーブル８３ａ〜８３ｄがＲＯＭ８２に記憶されてもよい。

（５）また、本実施の形態において、各テーブル８３ａ〜８３ｄは同一の記憶部（大容量記憶部８３）に記憶されており、同一の記憶部（大容量記憶部８３）に対してデータアクセスするものとして説明したが、これに限定されるものでない。例えば、レシピテーブル８３ａ、子レシピテーブル８３ｂの読み書きを行う場合には大容量記憶部８３に、計時結果格納テーブル８３ｃの読み書きを行う場合にはＲＡＭ８１に、実行パラメータ格納テーブル８３ｄの読み書きを行う場合にはＲＯＭ８２に、それぞれアクセスするようにしてもよい。

（６）また、本実施の形態において、実行パラメータ格納テーブル８３ｄの「時刻」フィールドには、実行パラメータの計測結果が警告範囲内または異常範囲内となった時刻が格納されるものとして説明したが、これに限定されるものでない。例えば、実行パラメータ格納テーブル８３ｄにレコードが登録される時刻が格納されてもよい。

（７）さらに、本実施の形態において、計時結果格納処理部８４ａおよび実行パラメータ格納処理部８４ｂにより計時結果格納テーブル８３ｃおよび実行パラメータ格納テーブル８３ｄにデータを格納する機能、スケジュール判定部８４ｃおよびパラメータ判定部８４ｄによる判定機能、ガントチャート作成部８４ｅにより図形要素を作成する機能、および詳細情報抽出部８４ｆによりデータを抽出する機能は、いずれもＣＰＵ８４によりソフトウェア的に実現されるものとして説明したが、これに限定されるものでない。例えば、これらの機能は、電子回路等のハードウェアによって実現されてもよい。

本発明の実施の形態における基板処理装置の全体構成の一例を示す図である。 制御ユニットの構成の一例を示すブロック図である。 レシピテーブルのデータ構造の一例を示す図である。 子レシピテーブルのデータ構造の一例を示す図である。 計時結果格納テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 実行パラメータ格納テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 ガントチャートの構成の一例を示す図である。 ガントチャートの構成の一例を示す図である。 詳細情報表示領域の一例を示す図である。 詳細情報表示領域の一例を示す図である。 詳細情報表示領域の一例を示す図である。

符号の説明

１ 基板処理装置
１０（１０ａ、１０ｂ） 薬液処理ユニット
８０ 制御ユニット
８３ 大容量記憶部
８３ａ レシピテーブル
８３ｂ 子レシピテーブル
８３ｃ 計時結果格納テーブル
８３ｄ 実行パラメータ格納テーブル
８４ ＣＰＵ
８４ａ 計時結果格納処理部
８４ｂ 実行パラメータ格納処理部
８４ｃ タイミング判定部（第１判定部）
８４ｄ パラメータ判定部（第２判定部）
８４ｅ ガントチャート作成部（作成部）
８４ｆ 詳細情報抽出部（第１および第２抽出部）
８５ａ 表示部
８７ 操作部
９０ 帯グラフ
９１（９１ａ〜９１ｅ） 上段帯グラフ
９２（９２ａ〜９２ｈ） 下段帯グラフ
９３（９３ａ、９３ｂ） 詳細情報表示領域
１００ 純水処理ユニット
Ｗ 基板

Claims (10)

1. 基板処理装置において、
   基板に対して処理を実行する複数の処理ユニットと、
   各処理ユニットにおいて基板に実行される処理のスケジュールを、時間軸方向に延びる図形要素として作成する作成部と、
   前記作成部により作成された図形要素を画面に表示する表示部と、
   記憶部と、
   を備え、
   前記作成部は、
   基板の識別情報を示す第１図形要素と、
   基板に実行される処理を構成する工程のスケジュールを、各工程毎に示す第２図形要素と、
   を有する前記図形要素を、作成するとともに、
   前記図形要素が対応する処理ユニット毎に前記時間方向に沿って配置されるように、各図形要素の配置を決定することを特徴とする基板処理装置。
2. 請求項１に記載の基板処理装置において、
   前記工程の計時結果が許容範囲内となるか否かを判定する第１判定部、
   をさらに備え、
   前記作成部は、前記第１判定部により前記計時結果が許容範囲外となると判定される場合、対応する前記図形要素に第１告知要素を付加し、
   前記表示部は、前記第１告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする基板処理装置。
3. 請求項２に記載の基板処理装置において、
   前記作成部は、前記図形要素のうち、少なくとも前記第２図形要素に前記第１告知要素を付加することを特徴とする基板処理装置。
4. 請求項２に記載の基板処理装置において、
   前記作成部は、前記第１および第２図形要素のそれぞれに前記第１告知要素を付加することを特徴とする基板処理装置。
5. 請求項３または請求項４に記載の基板処理装置において、
   前記第１告知要素が付加されている前記第２図形要素が、操作部からの第１指定動作により指定された場合、前記記憶部に記憶されている複数の実行タイミング関連情報から、指定された前記第２図形要素に対応する第１関連情報を抽出する第１抽出部、
   をさらに備え、
   前記作成部は、前記第１抽出部により抽出された前記第１関連情報を配置するための第１表示領域を、さらに作成し、
   前記表示部は、前記第１指定動作に応じて、前記作成部により作成された前記第１表示領域をさらに表示することを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記工程の実行にともなって動作する機器の実行パラメータについて、該実行パラメータの計測結果が、警告範囲内となるか否かを判定する第２判定部、
   をさらに備え、
   前記作成部は、前記第２判定部により前記計測結果が前記警告範囲内となると判定される場合、対応する前記図形要素に第２告知要素を付加し、
   前記表示部は、前記第２告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記工程の実行にともなって動作する機器の実行パラメータについて、該実行パラメータの計測結果が、異常範囲内となるか否かを判定する第２判定部、
   をさらに備え、
   前記作成部は、前記第２判定部により前記計測結果が前記異常範囲内となると判定される場合、対応する前記図形要素に第２告知要素を付加し、
   前記表示部は、前記第２告知要素が付加された前記図形要素を表示することを特徴とする基板処理装置。
8. 請求項６または請求項７に記載の基板処理装置において、
   前記作成部は、前記図形要素のうち、少なくとも、対応する前記第２図形要素に前記第２告知要素を付加することを特徴とする基板処理装置。
9. 請求項６または請求項７に記載の基板処理装置において、
   前記作成部は、前記第１および第２図形要素に前記第２告知要素を付加することを特徴とする基板処理装置。
10. 請求項８または請求項９に記載の基板処理装置において、
    前記第２告知要素が付加されている前記第２図形要素が操作部からの第２指定動作により指定された場合、前記記憶部に記憶されている複数の実行パラメータ関連情報から、指定された前記第２図形要素に対応する第２関連情報を抽出する第２抽出部、
    をさらに備え、
    前記作成部は、前記第２抽出部により抽出された前記第２関連情報を配置するための第２表示領域を、さらに作成し、
    前記表示部は、前記第２指定動作に応じて、前記作成部により作成された前記第２表示領域をさらに表示することを特徴とする基板処理装置。

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