JP2005064214A - 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板処理装置で警告状況が発生した場合であっても、保守担当者に通知して、当該警告状況について迅速に対応することができる基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理ユニット110の各部で警告状況が発生すると、動作状況データが基板処理装置100から情報処理装置1に向けて送信される。この動作状況データを受信した情報処理装置1は、警告状況が発生した時点に基づいて、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32および出勤情報テーブル33から、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者を選択する。そして、この選択された保守担当者に警告状況を示すデータを電子メールとして送信する。これにより、保守担当者は迅速に基板処理装置100の警告状況について対応することができる。そのため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【選択図】図1
【解決手段】基板処理ユニット110の各部で警告状況が発生すると、動作状況データが基板処理装置100から情報処理装置1に向けて送信される。この動作状況データを受信した情報処理装置1は、警告状況が発生した時点に基づいて、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32および出勤情報テーブル33から、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者を選択する。そして、この選択された保守担当者に警告状況を示すデータを電子メールとして送信する。これにより、保守担当者は迅速に基板処理装置100の警告状況について対応することができる。そのため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、単に「基板」と称する)に対して所定の処理を施す基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法に関するもので、特に、基板処理装置の動作状況を当該基板処理装置の保守担当者に通知する手順の改良に関する。
従来、被監視装置の動作状況を定期的に判断して、故障が発生した場合には故障警報を監視装置に通知するとともに、故障内容を電子メールを使用して個人または複数人に知らせる警報監視方法が知られている(例えば、特許文献1)。そして、この警報監視方法は、被監視装置を基板処理装置としても同様に適用することができる。
しかし、特許文献1の警報監視方法では、被監視装置において故障が発生した場合に、故障警報を監視装置に送信している。これにより、被監視装置が基板処理装置の場合には、装置内で処理中の基板に対して正常に処理を施すことができず、処理不良が発生する。すなわち、特許文献1の警報監視方法では、基板の処理不良を未然に防止することができない。
また、特許文献1の警報監視方法では、電子メールを送信する時点において、電子メールの受信を受ける者が、受信可能な状態か否かに関わりなく送信する。すなわち、特許文献1の監視方法では、電子メールの受信を受ける者が、勤務時間外の場合であっても送信される。そのため、場合によっては、基板処理装置で発生している故障に対して迅速に対応することができない。
そこで、本発明では、基板処理装置で警告状況が発生した場合であっても、保守担当者に通知して、当該警告状況について迅速に対応することができる基板処理システム、基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、基板処理システムであって、情報処理装置と、ネットワークを介して前記情報処理装置と接続されており、基板処理部と、前記基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、前記判定手段によって前記各部で警告状況が発生していると判断された場合に、前記各部の動作状況データを前記情報処理装置に送信する送信手段と、を有する基板処理装置と、を備え、前記情報処理装置は、前記基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、前記送信手段によって送信された動作状況データを受信した時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された保守担当者に前記各部の警告状況を通知する通知手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の基板処理システムにおいて、前記情報処理装置が複数の前記基板処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、前記通知手段は、前記動作状況データを受信した時点と、当該動作状況データを送信した基板処理装置を他の基板処理装置から区別する基板処理装置情報とに基づいて前記データベースを検索して保守担当者を選択することを特徴とする。
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の基板処理システムにおいて、前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記送信手段は、前記基板処理部の特定部位の動作回数が所定回数以上となった場合に、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする。
また、請求項5の発明は、請求項4に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記所定部位の動作回数は、前記エッチング部の処理槽に設けられたシャッター部の開閉回数であることを特徴とする。
また、請求項6の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記送信手段は、前記検出手段によって取得された所定部位の検出値が、予め設定された範囲外の値となった回数に基づいて、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする。
また、請求項7の発明は、請求項6に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記検出手段は、前記基板に供給するエッチング液の流量値を取得することを特徴とする。
また、請求項8の発明は、請求項6に記載の基板処理システムにおいて、前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、前記検出手段は、貯留槽に貯留されたエッチング液の液温を取得することを特徴とする。
また、請求項9の発明は、請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記データベースは、前記基板処理装置の保守担当者の情報を格納した個人情報テーブルと、就業時間に関する情報を格納した勤怠時間情報テーブルと、前記個人情報テーブルおよび前記勤怠時間情報テーブルと関連付けられた出勤時間データと、を有することを特徴とする。
また、請求項10の発明は、請求項9に記載の基板処理システムにおいて、前記通知手段は、前記データベースの個人情報データに基づき、通知の受取り可能な保守担当者を特定して当該保守担当者に通知することを特徴とする。
また、請求項11の発明は、基板処理装置であって、前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、前記基板処理部で警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知手段と、を備えることを特徴とする。
また、請求項12の発明は、請求項11に記載の基板処理装置において、前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
また、請求項13の発明は、基板処理方法であって、基板処理装置の基板処理部の動作状況の検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定工程と、前記判定工程において、警告状況が発生していると判断された場合に、当該警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納したデータベースを検索して保守担当者を選択する選択工程と、前記選択工程によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知工程と、を備えることを特徴とする。
また、請求項14の発明は、請求項13に記載の基板処理方法において、前記通知工程は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする。
なお、この発明における「基板処理部」とは、基板に対する直接の作用を及ぼす部分のみならず基板の搬送や環境設定などに用いられる部分をも含む概念である。
請求項1から請求項10に記載の発明によれば、基板処理装置の基板処理部において警告状況が検出された場合に、情報処理装置は、基板処理装置から動作状況データを受信した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知する。これにより、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができる。そのため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項2に記載の発明によれば、基板処理装置が複数の場合であっても、警告状況が発生した基板処理装置につき、動作状況データを受信した時刻に勤務中の保守担当者を選択して警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置が複数の場合であっても、それぞれの基板処理装置で発生した警告状況について迅速に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項3に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
特に、請求項4に記載の発明によれば、基板処理部の特定部位が繰り返し動作することによって動作劣化することを未然に防止することができる。
特に、請求項5の発明によれば、シャッター部の動作劣化を未然に防止することができる。
特に、請求項6に記載の発明では、検出手段による所定部位の検出値が所定範囲外となる回数に基づいて、当該所定部位で警告状況が発生しているか否かを判断し、情報処理装置によって保守担当者に通知することができるため、基板処理装置における処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項7に記載の発明によれば、エッチング液の流量値が所定範囲外となる回数に基づき、エッチング部で警告状況が発生しているか否かを判断することができるため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項8に記載の発明によれば、エッチング液の温度が所定範囲外となる回数に基づき、エッチング部で警告状況が発生しているか否かを判断することができるため、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項9に記載の発明によれば、基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を複数のテーブルによって分散して格納することができるため、当該保守担当者に関する情報を効率的に管理することができる。
特に、請求項10に記載の発明によれば、保守担当者のうち通知の受け取り可能な者に通知するため、効率的に基板処理部の警告状況を通知することができる。
また、請求項11および請求項12に記載の発明によれば、基板処理装置の基板処理部において警告状況が検出された場合に、当該警告状況が発生した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項12に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
また、請求項13および請求項14に記載の発明によれば、警告状況が発生した時刻に勤務中の保守担当者をデータベースから検索して選択し、その保守担当者に警告状況を通知することができる。そのため、基板処理装置で発生した警告状況について迅速かつ的確に対応することができ、基板の処理不良を未然に防止することができる。
特に、請求項14に記載の発明によれば、電子メールによって即時かつ的確に基板処理部の動作状況を保守担当者に通知することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
<1.第1の実施の形態>
<1.1.基板処理システムの構成>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板処理システム500の構成の一例を示す図である。図1に示すように、基板処理システム500は、主として、基板処理装置100と、基板処理装置100の保守担当者に対して基板処理装置100の警告状況を通知する情報処理装置1とを備える。
<1.1.基板処理システムの構成>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板処理システム500の構成の一例を示す図である。図1に示すように、基板処理システム500は、主として、基板処理装置100と、基板処理装置100の保守担当者に対して基板処理装置100の警告状況を通知する情報処理装置1とを備える。
まず、基板処理装置100について説明する。図2は、本発明の実施の形態に係る基板処理ユニット110の構成の一例を示す断面図である。図1および図2に示すように、基板処理装置100は、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニット110と、基板処理ユニット110の各部の動作状況を把握するとともに、各部の動作制御を行う制御ユニット120とを備える。
この基板処理ユニット110は、搬送ローラ53、63、73によって形成される搬送路91に沿って搬送方向AR1に角型基板Wを移動させることにより、当該角型基板Wに対してエッチング処理および洗浄処理を施す装置である。図2に示すように、基板処理ユニット110は、主として、第1エッチング部50、第2エッチング部60および洗浄部70とを備える。
第1エッチング部50は、角型基板Wの搬送方向AR1から見て第2エッチング部60および洗浄部70より上流側に配置された部材であり、角型基板Wに向けてエッチング液を供給することにより、角型基板W上に形成されたレジストパターン通りに薄膜を形状加工する。
シャッター54は、第1エッチング部50内部に角型基板Wを搬入する場合には図示を省略する開閉機構によって開放され、それ以外のときは閉鎖される部材である。図2に示すように、シャッター54は、第1エッチング部50の搬送路91と交差する側面のうち、角型基板Wの搬送方向AR1から見て上流側の側面に設けられている。
また、シャッター54の下部には、開閉状況を検出するセンサ81gが設けられている。センサ81gは、例えば近接センサで構成されている。そして、シャッター54の下部がセンサ81g付近に存在してシャッター54が閉鎖されている場合にはON状態に、またシャッター54の下部がセンサ81g付近になくシャッター54が開放されている場合にはOFF状態になる。したがって、センサ81gのON/OFF状態を検出して監視することにより、シャッター54の開閉回数を監視することができる。
搬送ローラ53は、第1エッチング部50の外部からシャッター54を開放することによって形成される開口部を介して第1エッチング部50の内部に角型基板Wを搬送する搬送部である。図2に示すように、搬送ローラ53は、吐出部52の下方の搬送路91に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ53のそれぞれは、図示しない駆動モータに接続されており、図2の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ53は、その上に載せられた角型基板Wを矢印AR1方向、または矢印AR1と反対方向に直線的に移動することができる。
液ナイフ51は、エッチング液を角型基板Wに向けて供給する部材であり、図2に示すように、シャッター54の上方に配設される。また、液ナイフ51は配管86a、センサ81a、ポンプ82a、バルブ83aおよび共通配管85を介してエッチング液が貯留されるエッチング液供給源58と連通接続されている。したがって、バルブ83aを開放するとともにポンプ82aを駆動させることにより、シャッター54付近にエッチング液の液カーテンを形成することができ、第1エッチング部50の内部と外部との雰囲気を遮断することができる。
ここで、液ナイフ51にエッチング液を供給する供給流路として使用される配管86a上に配置されるセンサ81aは、配管86a内を流れるエッチング液の流量を検出する流量センサである。したがって、センサ81aによってエッチング液の流量を検出することにより、ポンプ82aの動作状況を把握するとともに、液ナイフ51によって形成される液カーテンの形成状況を間接的に監視することができる。
また、図2に示すようにエッチング液供給源58の下部には温調器58aが取り付けられており、エッチング液供給源58内に貯留されたエッチング液59の液温を一定に保持することができる。
さらに、エッチング液供給源58内のエッチング液59が貯留される部分に配置されるセンサ81dは、エッチング液供給源58に貯留されるエッチング液59の液温を検出する温度センサである。したがって、センサ81dによってエッチング液の液温を検出することにより、角型基板W上に形成された薄膜のエッチング速度を間接的に監視することができる。
吐出部52は、搬送ローラ53によって第1エッチング部50内を搬送する角型基板Wに向けてエッチング液を供給する部材であり、搬送路91の上方に複数(本実施の形態では3つ)配置される。また、複数の吐出部52は、配管86b、センサ81b、ポンプ82b、バルブ83bおよび共通配管85を介してエッチング液の貯留されたエッチング液供給源58と連通接続されている。したがって、バルブ83bを開放するとともに、ポンプ82bを駆動させることにより、吐出部52から角型基板Wに向けてエッチング液を供給することができる。
ここで、複数の吐出部52にエッチング液を供給する供給流路として使用される配管86b上に配置されるセンサ81bは、配管86b内を流れるエッチング液の液圧を検出する圧力センサである。したがって、センサ81bによってエッチング液の液圧を検出することにより、ポンプ82bの動作状況を把握するとともに、吐出部52から角型基板Wに向けて吐出されるエッチング液の吐出状況を監視することができる。
気液分離部55は、第1エッチング部50内部から排出されるエッチング液(エッチング液のミストも含む)および気体を回収するとともに、回収したエッチング液および気体を液相と気相とに分離する部材である。そして分離された液相に含まれるエッチング液は、回収配管56を介してエッチング液供給源58に再投入される。一方、分離された気体は、ポンプ82f、センサ81eおよび排気配管57を介して排気ドレインに排出される。
ここで、排気配管57上に配置されるセンサ81eは、排気配管57を通過する気体の圧力(排気圧)を検出する圧力センサである。したがって、センサ81eによって排気圧を検出することにより、ポンプ82fの動作状況を把握するとともに、第1エッチング部50内部から気液分離部55を介して排気ドレインに排出される気体の排気状況を監視することができる。
第2エッチング部60は、第1エッチング部50と洗浄部70との間に配置された部材であり、第1エッチング部50と同様に角型基板Wに向けてエッチング液を供給することにより、角型基板W上に形成されたレジストパターン通りに薄膜を形状加工する。
ここで、エッチング液によって角型基板Wにエッチング処理を施す方式として、例えば、(1)エッチング液をスプレー状に供給して角型基板W上の薄膜を略鉛直方向にエッチングするスプレー方式、(2)角型基板W上にエッチング液の層を形成して、すなわち、角型基板Wの上面にエッチング液を盛ってエッチングするパドル方式がある。本実施の形態の第1エッチング部50および第2エッチング部60は、それぞれ同様な方式によってエッチング処理を行ってもよいし、また、一方はスプレー方式、他方はパドル方式によってエッチング処理を行ってもよい。
搬送ローラ63は、第1エッチング部50から開口部69を介して供給される角型基板Wを第2エッチング部60の内部に搬送する搬送部である。図2に示すように、搬送ローラ63は、吐出部62の下方の搬送路91に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ63のそれぞれは、図2の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ63は、その上に載せられた角型基板Wを矢印AR1方向、または矢印AR1と反対方向に直線的に移動することができる。
吐出部62は、搬送ローラ63によって第2エッチング部60内を搬送する角型基板Wに向けてエッチング液を供給する部材であり搬送路91の上方に複数(本実施の形態では3つ)配置される。また、複数の吐出部62は、配管86c、センサ81c、ポンプ82c、バルブ83cおよび共通配管85を介してエッチング液供給源58と連通接続されている。したがって、バルブ83cを開放するとともに、ポンプ82cを駆動させることにより、搬送ローラ63から角型基板Wに向けてエッチング液を供給することができる。
ここで、吐出部62にエッチング液を供給する配管86c上に配置されるセンサ81cは、センサ81bと同様に、配管86c内を流れるエッチング液の液圧を検出する圧力センサである。したがって、センサ81cによってエッチング液の液圧を検出することにより、ポンプ82cの動作状況を把握するとともに、吐出部62から角型基板Wに向けて吐出されるエッチング液の吐出状況を監視することができる。
気液分離部65は、第2エッチング部60内部から排出されるエッチング液および気体を回収するとともに、回収したエッチング液および気体を液相と気相とに分離する部材である。そして分離された液相に含まれるエッチング液は、回収配管66を介してエッチング液供給源58に再投入される。一方、分離された気体は、ポンプ82g、センサ81fおよび排気配管67を介して排気ドレインに排出される。
ここで、排気配管67上に配置されるセンサ81fは、排気配管57を通過する気体の圧力(排気圧)を検出する圧力センサである。したがって、センサ81fによって排気圧を検出することにより、ポンプ82gの動作状況を把握するとともに、第2エッチング部60内部から気液分離部65を介して排気ドレインに排出される気体の排気状況を監視することができる。
シャッター64は、第2エッチング部60内部から洗浄部70に向けて角型基板Wを搬出する場合には図示を省略する開閉機構によって開放され、それ以外のときは閉鎖される部材である。図2に示すように、シャッター64は、第2エッチング部60の搬送路91と交差する側面のうち、角型基板Wの搬送方向AR1から見て下流側の側面に設けられている。
また、シャッター64の下部には、開閉状況を検出するセンサ81hが設けられている。センサ81hは、シャッター54のセンサ81gと同様に、例えば近接センサで構成されている。そして、シャッター64の下部がセンサ81h付近に存在してシャッター64が閉鎖されている場合にはON状態に、またシャッター64の下部が81g付近になくシャッター64が開放されている場合にはOFF状態になる。したがって、センサ81hのON/OFF状態を検出して監視することにより、シャッター64の開閉回数を監視することができる。
洗浄部70は、第1エッチング部50および第2エッチング部60より下流側に配置された部材であり、エッチング処理が施された角型基板Wを純水により洗浄する。
搬送ローラ73は、第2エッチング部60のシャッター64を開放することによって形成される開口部を介して洗浄部70の内部に角型基板Wを搬送する搬送部である。図2に示すように、搬送ローラ73は、吐出部72の下方の搬送路91に沿って複数配設されている。また、複数の搬送ローラ73のそれぞれは、図示しない駆動モータに接続されており、図2の紙面鉛直方向を回転軸として回転する。したがって、搬送ローラ73は、その上に載せられた角型基板Wを矢印AR1方向、または矢印AR1と反対方向に直線的に移動することができる。
液ナイフ71は、純水を角型基板Wに向けて供給する部材であり、図2に示すように、シャッター64の上方に配設される。また、液ナイフ71は配管88a、ポンプ82d、バルブ83dおよび共通配管87を介して純水供給源78と連通接続されている。したがって、バルブ83dを開放するとともにポンプ82dを駆動させることにより、シャッター64付近に純水の液カーテンを形成することができる。そのため、第2エッチング部60内の雰囲気と洗浄部70内の雰囲気とを遮断するとともに、エッチング液が付着した角型基板Wを純水によって洗浄することができる。
吐出部72は、搬送ローラ73によって洗浄部70内を搬送する角型基板Wに向けて洗浄液としての純水を供給する部材であり、搬送路91の上方に複数(本実施の形態では3つ)配置される。また、複数の吐出部72は、配管88b、ポンプ82e、バルブ83eおよび共通配管87を介して純水供給源78と連通接続されている。したがって、バルブ83eを開放するとともに、ポンプ82eを駆動させることにより、吐出部52から角型基板Wに向けてエッチング液を供給することができる。
なお、洗浄部70内部から排出される純水および気体は、廃棄ドレインに排出されて、基板処理ユニット110外部に廃棄される。
制御ユニット120は、図1に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ121と、メモリ121に格納されたプログラムに従った制御を実行するCPU122とを備えている。CPU122は、メモリ121に格納されているプログラムに従って、バルブ83a〜83eの開閉制御や、ポンプ82a〜ポンプ82eの動作制御等を所定のタイミングで行う。
次に、情報処理装置1について説明する。情報処理装置1は、基板処理装置100の保守担当者に対して基板処理装置100の警告状況を通知する装置であり、主として、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、出勤情報テーブル33、および制御ユニット20から構成される。
個人情報テーブル31は、基板処理装置100の保守担当者の個人情報が格納されている。図3は、個人情報テーブル31の一例を示す図である。図3に示すように、個人情報テーブル31は、複数のフィールド(「グループNO」、「氏名」、「メールアドレス」、および「送信有無」)を有している。
「グループNO」には、保守担当者が所属するグループを一意に識別する値が格納される。ここで、グループとは、保守担当者と同様な職務を有する従業者の集合を言う。なお、本実施の形態において、保守担当者はいずれか1つのグループに所属するものとする。
また、「氏名」には、保守担当者の氏名が格納される。また、「メールアドレス」には、保守担当者のメールアドレスが格納される。さらに、「送信有無」には、警告状況が発生した際に保守担当者が警告状況を通知するメールを送信するか否か、すなわち、保守担当者が電子メールを受け取り可能であるか否かを示す値が格納される。具体的には、警告状況が発生した際に警告状況を通知する場合には、「送信有無」に「1」が、また、警告状況を通知しない場合には、「送信有無」に「0」が格納される。
このように、個人情報テーブル31の横方向のデータの集合であるレコード(例えば、「グループNO」=「1」、「氏名」=「××○○」、「メールアドレス」=「××@□□.co.jp」、および「送信有無」=「1」で構成されるデータの集合)が各保守担当者の個人情報を示す。
勤怠時間情報テーブル32は、基板処理装置100の保守担当者が勤務する会社の就業時間に関する情報が格納されている。図4に示すように、勤怠時間情報テーブル32は、複数のフィールド(「略記号」、「勤怠名」、「開始時刻」、および「終了時刻」)を有している。
「略記号」には、勤怠時間情報テーブル32に格納されている複数のレコード(行方向のデータ集合)から所定のレコードを一意に識別するために使用される値が格納される。また、「開始時刻」および「終了時刻」には、それぞれ就業開始時刻および就業終了時刻が格納される。さらに、「勤怠名」には、「開始時刻」から「終了時刻」までの勤務形態を示す文字列が格納される。
出勤情報テーブル33は、個人情報テーブル31および勤怠時間情報テーブル32と関連付けられており、各グループの出勤日および出勤時間に関する情報が格納されている。図5に示すように、出勤情報テーブル33は、複数のフィールド(「日付」、「グループNO」、「略記号」)を有する。「日付」には、出勤日を示す年月日が格納される。
「グループNO」には、個人情報テーブル31の「グループNO」に格納されている値のいずれかが保存されている。すなわち、出勤情報テーブル33の「グループNO」は、個人情報テーブル31の「グループNO」と関連付けられている。したがって、(1)出勤情報テーブル33から任意のレコードを選択し、続いて、(2)当該任意レコードに格納されている「グループNO」の値と等しくなる「グループNO」を有するレコードを個人情報テーブル31から検索することにより、当該任意のレコードの「日付」で示される出勤日に出勤しており、かつ「グループNO」で示されるグループに属する保守担当者を選択することができる。
例えば、図3および図5に示すように、「日付」=「2003/8/4」において出勤している「グループNO」=「1」に属する保守担当者は、「氏名」=「××○○」と「氏名」=「○××○」である。
「略記号」には、勤怠時間情報テーブル32の「略記号」に格納されている値のいずれかが保存されている。すなわち、出勤情報テーブル33の「略記号」は、勤怠時間情報テーブル32の「略記号」と関連付けられている。したがって、(1)出勤情報テーブル33から任意のレコードを選択し、続いて、(2)当該任意レコードに格納されている「略記号」の値と等しくなる「略記号」を有するレコードを勤怠時間情報テーブル32から検索することにより、当該任意のレコードの「略記号」で示される出勤日における「グループNO」で示されるグループの勤怠時間情報を選択することができる。
例えば、図4および図5に示すように、「日付」=「2003/8/10」において出勤している「グループNO」で示されるグループの勤務の「開始時刻」は「17:00」であり、「終了時刻」は「1:30」である。
制御ユニット20は、図1に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ21と、メモリ21に格納されたプログラムに従った制御を実行するCPU22とを備えている。CPU22は、メモリ21に格納されているプログラムに従って、ディスプレイ11に画面表示の制御、キーボード12やマウス13からの入力に応じた情報処理、ネットワーク40を介して接続された基板処理装置100や保守担当者のコンピュータ(図示省略)等との通信制御、および個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、出勤情報テーブル33へのアクセス制御等を所定のタイミングで行う。ここで、ネットワーク40は、有線回線であっても無線回線であってもよい。
以上のように、本実施の形態では、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32および出勤情報テーブル33に格納されたデータを使用することにより、「日付」(出勤情報テーブル33)で示される出勤日の「開始時刻」から「終了時刻」において出勤しており、かつ、「グループNO」で示されるグループに所属する保守担当者を検索して選択することができる。
したがって、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、および出勤情報テーブル33に格納されたデータの集合は基板処理装置100を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースとして使用され、すなわち、このデータベースには、各保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報が格納される。
<1.2.基板処理システムによる警告状況の通知手順>
図6は、第1の実施の形態の情報処理装置1による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。本実施の形態において、基板処理システム500の基板処理装置100において警告状況が発生した場合に、情報処理装置1は、基板処理装置100の保守担当者に警告状況を通知する。
図6は、第1の実施の形態の情報処理装置1による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。本実施の形態において、基板処理システム500の基板処理装置100において警告状況が発生した場合に、情報処理装置1は、基板処理装置100の保守担当者に警告状況を通知する。
ここで、警告状況とは、各部の動作状況について、現在良好な基板処理を行うことが可能な状況にあるが、近い将来に基板処理ユニット110の各部の汚れや故障により基板の処理不良が発生する可能性のある場合を言う。例えば、シャッター54の場合、開閉機構(図示省略)の動作回数が耐久回数付近となり、近い将来に当該開閉機構において故障や動作不良の発生することが予測される場合をいう。
したがって、基板処理ユニット110の各部で警告状況が発生していることを検出した場合、何らかのメンテナンスや部品の交換作業等をすることにより、基板の処理不良を未然に防止することができる。
なお、本実施の形態では、基板処理ユニット110の各部で警告状況が発生しているか否かの判定を以下のようにして行う。
例えば、シャッター54の開閉のように同一動作を繰り返し行うものについては、動作回数が所定範囲内か否かによって判定する。すなわち、センサ81gの検出結果に基づいてシャッター54の動作状況を把握し、シャッター54の開閉回数が所定値以上となった場合に警告状況が発生していると判定する。
また、ポンプ82bで警告状況が発生しているか否かの判定は、吐出部52から角型基板Wに向けて供給されるエッチング液の流量を指標として次のように行われる。図7は、吐出部52から角型基板Wに向けて供給されるエッチング液の流量Vの時間変化を示すものである。なお、図7の縦軸は、配管86bを通過するエッチング液の流量Vを、図7の横軸は時刻tを、それぞれ示す。
ここで、吐出部52から角型基板Wに向けて供給されるエッチング液の流量Vの値がV4≦V≦V3の範囲内の場合に良好な基板処理(エッチング処理)が、また、エッチング液の流量Vの値がV<V4またはV>V3の範囲となる場合に処理不良が発生するものとすると、エッチング液の流量Vの値が処理不良の発生する範囲に隣接するV1≦V≦V3の範囲、または、V4≦V≦V2の範囲となる場合、ポンプ82bの動作状況において警告状況が発生していると考えることができる。すなわち、センサ81bの検出結果に基づいて、ポンプ82bの動作状況を判定することができる。
なお、警告状況の範囲を示すのに使用されるエッチング液の流量値V1、V2、および処理不良が発生する際の流量範囲を定めるのに使用されるV3、V4については、それぞれ実験等により予め求める。
また、ポンプ82bは、使用し続けると制御ユニット120から同一の駆動指令を与えてポンプ82bを駆動させても、ポンプ82bの経年変化によってセンサ81bによって検出されるエッチング液の流量は時間の経過とともに徐々に変化することが知られている。例えば、流量Vの変化率D(単位時間あたりの流量Vの変化量)が常に正(または負)となるようにエッチング液の流量Vが徐々変化する場合や、図7に示すように、ある振幅をもってエッチング液の流量Vが時間経過とともに徐々に増加する場合もある。
したがって、センサ81bによって検出されたエッチング液の流量Vの値がV1≦V≦V2の範囲から警告状況の範囲(すなわち、V1≦V≦V3の範囲、または、V4≦V≦V2の範囲)に移行する回数(以下、「移行回数」とも呼ぶ)Nに基づき、ポンプ82bで警告状況が発生しているか否かの判定をすることができる。
例えば、流量Vの変化率Dが常に正(または負)となるようにエッチング液の流量Vが徐々変化する場合は、移行回数Nを1回とすることにより、警告状況の発生を検出することができる。また、図7に示すように、ある振幅をもってエッチング液の流量Vが時間経過とともに徐々に変化する場合において移行回数Nを3回とすると、時刻t3の時点においてポンプ82bで警告状況が発生したと判定することができる。このように、移行回数Nは流量曲線C(図7参照)によって定まる値であり、実験等によって予め求めるものとする。
なお、ポンプ82bと同様に、ポンプ82a、82c、82f、82gについても、それぞれ、センサ81aによって検出されたエッチング液の液圧、センサ81cによって検出されたエッチング液の流量、センサ81eによって検出された排気圧、およびセンサ81fによって検出された排気圧を指標とすることにより、予め実験等によって求めた移行回数Nに基づいてポンプ82a、82c、82f、82gの各部で警告状況が発生したか否かを判定することができる。
また、温調器58aについても、同様に、エッチング液供給源58に貯留されたエッチング液59の液温を指標として、予め実験等により求めた移行回数Nに基づいて、温調器58aで警告状況が発生したか否かを判定することができる。
以下では、制御ユニット120によって基板処理ユニット110の各部において上述した警告状況が発生したと判定された場合に、情報処理装置1から基板処理装置100の保守担当者に警告状況が発生している旨を通知する手順について説明する。
ここで、基板処理装置100の制御ユニット120では、情報処理装置1による情報処理と並行して、センサ81a〜81fの検出値に基づき基板処理ユニット110内の各部(例えば、ポンプ82a〜82e、シャッター54等)が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。
基板処理ユニット110内の各部で警告状況が発生した場合、基板処理装置100から情報処理装置1に向けて当該各部の動作状況を示すデータ(例えば、警告状況がポンプ82aで発生した場合、(1)警告状況がポンプ82aにて発生したことを示すデータと、(2)センサ81aによって検出される検出値が所定範囲外となった回数:以下「動作状況データ」とも呼ぶ)を送信することにより、基板処理装置100にて警告状況が発生したことを情報処理装置1に通知する。
情報処理装置1が基板処理装置100から動作状況データを受信すると(S101)、情報処理装置1の制御ユニット20は、CPU22によって動作状況データを受信した時点(日付、時刻)を警告状況が発生した時点(日付、時刻)として取得するとともに、メモリ21にその日付および時刻を格納する(S102)。
なお、以下では、警告状況の発生した時点のうち日付を示す部分を「警告発生日」と、時刻を示す部分を「警告発生時刻」とそれぞれ呼ぶこととする。また、本実施の形態において、警告発生日および警告発生時刻は、情報処理装置1で取得しているが、基板処理装置100において取得するとともに、動作状況データに警告発生日および警告発生時刻を含めて基板処理装置100から情報処理装置1に向けて送信してもよい。
続いて、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル33から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「グループNO」を取得する。具体的には、まず、メモリ21に格納された警告発生日と一致する「日付」を有するレコード(行方向のデータ集合)(以下、「選択出勤情報レコード」とも呼ぶ)を出勤情報テーブル33から選択する。次に、この選択出勤情報レコードに含まれる「略記号」の値と一致する「略記号」を有するレコード(以下、「選択勤怠時間情レコード」とも呼ぶ)を勤怠時間情報テーブル32から選択するとともに、選択勤怠時間情報レコードに含まれる「開始時刻」および「終了時刻」の値を取得する。
そして、メモリ21に格納された警告発生時刻が選択勤怠時間情レコードから取得した「開始時刻」から「終了時刻」の範囲内となる場合、選択出勤情報レコードに含まれる「グループNO」を警告状況が発生した時点において勤務中のグループを示す値(以下、「選択グループNO」とも呼ぶ)として取得する。
一方、メモリ21に格納された警告発生時刻が選択勤怠時間情レコードから取得した「開始時刻」から「終了時刻」の範囲外となる場合、メモリ21に格納された警告発生日と一致する「日付」を有する別のレコードを出勤情報テーブル33から選択するとともに、同様の処理を行うことによって「選択グループNO」を取得する。
続いて、ステップS103において取得した「選択グループNO」に基づき、ステップS104からS107の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。具体的には、まず、ステップS103において取得した「選択グループNO」と一致する「グループNO」を有するレコード(以下、「選択個人情報レコード」とも呼ぶ)を個人情報テーブル31から選択するとともに。この選択個人情報レコードの「送信有無」の値を取得する(S104)。
続いて、「送信有無」の値が「1」の場合は(S105)、選択個人情報レコードの「メールアドレス」で指定される電子メールアドレスに警告状況を示すデータとして動作状況データ、警告発生日、警告発生時刻を保守担当者に送信する(S106)。これにより、保守担当者は、端末(例えば、コンピュータや、電子メール受取り可能な携帯電話)400によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。そのため、基板処理装置100にて警告状況が発生したことを知ることができる。
このように、本実施の形態の情報処理装置1は、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者に、基板処理装置100にて警告状況が発生したことを通知することができる。すなわち、勤務時間外の保守担当者には通知せず、勤務中の保守担当者にのみ警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、保守担当者は基板処理装置100で発生した警告状況に迅速に対応することができ、基板処理装置100において角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
そして、「選択グループNO」と一致する「グループNO」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップS104〜S106の処理が終了すると(S107)、再びステップS101に戻る。
<1.3.第1の実施の形態の基板処理システムの利点>
以上のように、第1の実施の形態の基板処理システム500は、(1)基板処基板処理ユニット110で警告状況が発生すると、基板処理装置100から情報処理装置1に向けて警告状況が発生した旨を通知するとともに、(2)情報処理装置1は、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者に、基板処理装置100において警告状況が発生したことを電子メールによって通知する。すなわち、本実施の形態では、警告状況が発生したことを勤務時間外の保守担当者に通知することなく、勤務時間中の保守担当者にのみ通知する。
以上のように、第1の実施の形態の基板処理システム500は、(1)基板処基板処理ユニット110で警告状況が発生すると、基板処理装置100から情報処理装置1に向けて警告状況が発生した旨を通知するとともに、(2)情報処理装置1は、警告状況が発生した時点において勤務中の保守担当者に、基板処理装置100において警告状況が発生したことを電子メールによって通知する。すなわち、本実施の形態では、警告状況が発生したことを勤務時間外の保守担当者に通知することなく、勤務時間中の保守担当者にのみ通知する。
これにより、保守担当者は、警告状況に対応した措置、例えば、各部のメンテナンスや部品の交換作業等を迅速に行うことができる。そのため、基板処理装置100において角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
<2.第2の実施の形態>
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。この第2の実施の形態における基板処理システム600は、第1の実施の形態の基板処理システム500と比較して、
(1)基板処理装置を複数有する点と、
(2)情報処理装置1の個人情報テーブルの構成が異なる点と、
(3)情報処理装置1による警告状況の通知手順が異なる点と、
を除いては、第1の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第1の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第1の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。この第2の実施の形態における基板処理システム600は、第1の実施の形態の基板処理システム500と比較して、
(1)基板処理装置を複数有する点と、
(2)情報処理装置1の個人情報テーブルの構成が異なる点と、
(3)情報処理装置1による警告状況の通知手順が異なる点と、
を除いては、第1の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第1の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第1の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
<2.1.基板処理システムの構成>
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る基板処理システム600の構成の一例を示す図である。図8に示すように、基板処理システム600は、主として、複数(本実施の形態では2つ)の基板処理装置100、200と、基板処理装置100または基板処理装置200の保守担当者に警告状況を通知する情報処理装置1とを備える。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る基板処理システム600の構成の一例を示す図である。図8に示すように、基板処理システム600は、主として、複数(本実施の形態では2つ)の基板処理装置100、200と、基板処理装置100または基板処理装置200の保守担当者に警告状況を通知する情報処理装置1とを備える。
基板処理装置200は、基板処理装置100と同様に、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニット210と、基板処理ユニット210の各部の動作状況を把握するとともに各部の動作制御を行う制御ユニット220とを備える。ここで、基板処理ユニット210は、基板処理ユニット110と同様なエッチング処理を施すユニットであってもよいし、また、レジスト塗布処理や現像処理を施すユニットであってもよい。さらに、洗浄処理を施すユニットであってもい。
また、基板処理装置200は、ネットワーク40を介して情報処理装置1と接続されている。したがって、基板処理装置200にて警告状況が発生した場合、警告状況が発生した各部の動作状況データを、基板処理装置200から情報処理装置1に向けて送信することができる。
制御ユニット220は、図8に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ221と、メモリ221に格納されたプログラムに従った制御を実行するCPU222とを備えている。CPU222は、メモリ221に格納されているプログラムに従って、基板処理ユニット210の各部の動作制御等を所定のタイミングで行う。
次に、情報処理装置1について説明する。情報処理装置1は、基板処理装置100の保守担当者に対して基板処理装置100の警告状況を通知する装置であり、主として、個人情報テーブル131、勤怠時間情報テーブル32、出勤情報テーブル33、および制御ユニット20から構成される。
個人情報テーブル131は、基板処理装置100または基板処理装置200の保守担当者の個人情報が格納されている。図9は、個人情報テーブル131の一例を示す図である。図9に示すように、個人情報テーブル131は、個人情報テーブル31の有するフィールド(「グループNO」、「氏名」、「メールアドレス」、および「送信有無」)に加えて、「装置NO」フィールドを有する。ここで、「装置NO」には、基板処理システム600を構成する基板処理装置を一意に示す値が格納される。これにより、個人情報テーブル131の「装置NO」を参照することにより各保守担当者がメンテナンス作業を担当する基板処理装置を確認することができる。
<2.2.基板処理システムによる警告状況の通知手順>
図10は、第2の実施の形態の情報処理装置1による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明では、基板処理システム600が有する複数の基板処理装置のうち基板処理装置200にて警告状況が発生した場合に、基板処理装置200の保守担当者に警告状況を通知する手順について説明する。
図10は、第2の実施の形態の情報処理装置1による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明では、基板処理システム600が有する複数の基板処理装置のうち基板処理装置200にて警告状況が発生した場合に、基板処理装置200の保守担当者に警告状況を通知する手順について説明する。
ここで、基板処理装置200の制御ユニット220は、基板処理装置100と同様に、情報処理装置1による情報処理と並行して基板処理ユニット210内の各部が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。
基板処理ユニット210内の各部(例えば、レジスト塗布処理を施すユニットの場合、ユニット外部の雰囲気を遮断するためのシャッター部(図示省略))にて警告状況が発生した場合、基板処理装置200から情報処理装置1に向けて動作状況データ(さらに、警告状況が発生した基板処理装置を他の基板処理装置と区別するデータ(個人情報テーブル131の「装置NO」と対応:以下、「警告発生装置NO」とも呼ぶ)を含む)を送信することにより、基板処理装置200にて警告状況が発生したことを情報処理装置1に通知する。
情報処理装置1が、基板処理装置200から動作状況データを受信すると(S201)、情報処理装置1の制御ユニット20は、動作状況データを受信した時点(日付、時刻)を警告発生日および警告発生時刻として、それぞれメモリ21に格納する(S202)。
続いて、第1の実施の形態のステップS103と同様に、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル33から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「選択グループNO」を取得する(S203)。
続いて、ステップS203において取得した「選択グループNO」に基づき、ステップS204からS207の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。具体的には、まず、ステップS203において取得した「選択グループNO」と一致する「グループNO」を有するレコード(以下、「選択個人情報レコード」とも呼ぶ)を個人情報テーブル131から選択するとともに。この選択個人情報レコードの「送信有無」の値および「装置NO」の値をそれぞれ取得する(S204、S205)。
続いて、「送信有無」の値が「1」であって、かつ、「装置NO」の値が「警告発生装置NO」の値と一致する場合は(S206)、選択個人情報レコードの「メールアドレス」で指定される電子メールアドレスに警告状況を示すデータとして動作状況データ、警告発生装置NO、警告発生日、警告発生時刻を保守担当者に送信する(S207)。これにより、保守担当者は、端末400によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。そのため、「警告発生装置NO」で示される基板処理装置にて警告状況が発生したことを知ることができる。
そして、「選択グループNO」と一致する「グループNO」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップS204〜S207の処理が終了すると(S208)、再びステップS201に戻る。
<2.3.第2の実施の形態の基板処理システムの利点>
以上のように、第2の実施の形態の基板処理システム600は、複数の基板処理装置100、200のそれぞれで警告状況が発生した場合、それぞれの基板処理装置の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、各基板処理装置100、200で角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
以上のように、第2の実施の形態の基板処理システム600は、複数の基板処理装置100、200のそれぞれで警告状況が発生した場合、それぞれの基板処理装置の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、各基板処理装置100、200で角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
<3.第3の実施の形態>
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。この第3の実施の形態における基板処理装置300は、第1の実施の形態の基板処理装置100と比較して、
(1)基板処理装置の構成要素としての制御ユニットが個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、および出勤情報テーブル33を有する点と、
(2)情報処理装置を介さずに基板処理装置から直接保守担当者に警告状況の発生を通知する点と、
が相違することを除いては、第1の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第1の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第1の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。この第3の実施の形態における基板処理装置300は、第1の実施の形態の基板処理装置100と比較して、
(1)基板処理装置の構成要素としての制御ユニットが個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、および出勤情報テーブル33を有する点と、
(2)情報処理装置を介さずに基板処理装置から直接保守担当者に警告状況の発生を通知する点と、
が相違することを除いては、第1の実施の形態と同じである。そこで、以下ではこの相違点を中心に説明する。なお、以下の説明において、第1の実施の形態の基板処理システムにおける構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第1の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
<3.1.基板処理装置の構成>
図11は、本発明の第3の実施の形態に係る基板処理装置300の構成の一例を示す図である。図11に示すように、基板処理装置300は、主として、基板処理ユニット110と、制御ユニット320とを備える。
図11は、本発明の第3の実施の形態に係る基板処理装置300の構成の一例を示す図である。図11に示すように、基板処理装置300は、主として、基板処理ユニット110と、制御ユニット320とを備える。
制御ユニット320は、図11に示すように、主として、メモリ121、CPU122、個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32および出勤情報テーブル33とを備える。これらの構成要素により、制御ユニット320は、基板処理ユニット110の各部の動作状況を把握するとともに各部の動作制御を行うとともに、基板処理装置100の保守担当者に対して基板処理装置100の警告状況を通知することができる。
すなわち、第3の実施の形態では、基板処理ユニット110内の各部で警告状況が発生した場合、警告状況が発生したことを他の情報処理装置に通知することなく、後述するように、制御ユニット320に格納されている個人情報テーブル31、勤怠時間情報テーブル32、出勤情報テーブル33から保守担当者を選択し、その保守担当者に警告状況を示すデータを電子メールとして送信する。
<3.2.基板処理装置による警告状況の通知手順>
図12は、第3の実施の形態の基板処理装置300による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。ここで、制御ユニット320では、基板処理ユニット110内の各部(例えば、ポンプ82a〜82e、シャッター54等)が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。そして、基板処理ユニット110内の各部で警告状況が発生したことを検出すると(S301)、制御ユニット320は、警告状況が発生した時点(日付、時刻)を警告発生日および警告発生時刻として、それぞれメモリ21に格納する(S302)。
図12は、第3の実施の形態の基板処理装置300による警告状況の通知手順を示すフローチャートである。ここで、制御ユニット320では、基板処理ユニット110内の各部(例えば、ポンプ82a〜82e、シャッター54等)が正常に動作しているか、または、各部に警告状況が発生しているかどうかの確認を行っている。そして、基板処理ユニット110内の各部で警告状況が発生したことを検出すると(S301)、制御ユニット320は、警告状況が発生した時点(日付、時刻)を警告発生日および警告発生時刻として、それぞれメモリ21に格納する(S302)。
続いて、第1の実施の形態のステップS103と同様に、警告状況が発生した時点に基づいて、出勤情報テーブル33から警告状況が発生した時点に勤務中のグループを示す「選択グループNO」を取得する(S303)。
続いて、ステップS303において取得した「選択グループNO」に基づき、第1の実施の形態のステップS104〜S106と同様な処理であるステップS304〜S306の処理を実行することにより、保守担当者に警告状況が発生したことを通知する。
具体的には、S303にて取得した「選択グループNO」に基づいて個人情報テーブル31から選択個人情報レコードを選択するとともに、選択個人情報レコードの「送信有無」の値を取得する(S304)。次に、「送信有無」の値が「1」の場合に(S305)、警告状況を示すデータを電子メールとして送信する(S306)。これにより、保守担当者は、端末400によって警告状況を示すデータを電子メールとして受信することができる。
そして、「選択グループNO」と一致する「グループNO」を有するすべての選択個人情報レコードについてステップS304〜S306の処理が終了すると(S307)、再びステップS301に戻る。
<3.3.第3の実施の形態の基板処理システムの利点>
以上のように、第3の実施の形態の基板処理装置300で警告状況が発生した場合、情報処理装置を介することなく、基板処理装置300の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、基板処理ユニット310で角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
以上のように、第3の実施の形態の基板処理装置300で警告状況が発生した場合、情報処理装置を介することなく、基板処理装置300の保守担当者のうち警告状況が発生した時点に勤務中の保守担当者にのみ電子メールを使用して警告状況が発生したことを通知することができる。そのため、基板処理ユニット310で角型基板Wの処理不良が発生することを未然に防止することができる。
<4.変形例>
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
(1)第1および第3の実施の形態において、基板処理ユニット110は、角型基板Wに対してエッチング処理を施すユニットであるが、これに限定されるものでなく、例えば、角型基板Wに対してレジスト塗布処理や現像処理を施すユニットであってもよいし、また、洗浄処理を施すユニットであってもよい。
(2)また、第1および第3の実施の形態において、警告状況が発生した場合に、基板処理装置の保守担当者に対してその旨を通知する電子メールを送信しているが、基板の処理不良が発生したことも電子メールを使用して保守担当者に通知してもよい。例えば、図7に示すエッチング液の流量Vが、V<V4またはV>V3の範囲となる場合に、保守担当者に角型基板Wの処理不良が発生していること、ポンプ82bにて動作不良が発生していること等を電子メールにて通知しても良い。
(3)また、第1および第3の実施の形態において、保守担当者に警告状況が発生したことを知らせる手段として電子メールが使用されているが、これに限定されるものでなく、例えば、情報処理装置1から指定された電話番号に電話して、あらかじめ録音された定型メッセージを再生してもよい。
(4)また、第1および第3の実施の形態では、主にエッチング液の供給に関する各部(例えば、ポンプ82a〜82c)について警告状況が発生しているか否かの判定を行っているが、これに限定されるものでなく、純水の供給に関する各部について警告状況が発生しているか否かの判定を行ってもよい。この場合、例えば、ポンプ82dと液ナイフ71との間の配管88a上、または、ポンプ82eと吐出部72との間の配管88b上にセンサを設けることによって同様な警告状況の判定作業を行うことが可能となる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
(1)第1および第3の実施の形態において、基板処理ユニット110は、角型基板Wに対してエッチング処理を施すユニットであるが、これに限定されるものでなく、例えば、角型基板Wに対してレジスト塗布処理や現像処理を施すユニットであってもよいし、また、洗浄処理を施すユニットであってもよい。
(2)また、第1および第3の実施の形態において、警告状況が発生した場合に、基板処理装置の保守担当者に対してその旨を通知する電子メールを送信しているが、基板の処理不良が発生したことも電子メールを使用して保守担当者に通知してもよい。例えば、図7に示すエッチング液の流量Vが、V<V4またはV>V3の範囲となる場合に、保守担当者に角型基板Wの処理不良が発生していること、ポンプ82bにて動作不良が発生していること等を電子メールにて通知しても良い。
(3)また、第1および第3の実施の形態において、保守担当者に警告状況が発生したことを知らせる手段として電子メールが使用されているが、これに限定されるものでなく、例えば、情報処理装置1から指定された電話番号に電話して、あらかじめ録音された定型メッセージを再生してもよい。
(4)また、第1および第3の実施の形態では、主にエッチング液の供給に関する各部(例えば、ポンプ82a〜82c)について警告状況が発生しているか否かの判定を行っているが、これに限定されるものでなく、純水の供給に関する各部について警告状況が発生しているか否かの判定を行ってもよい。この場合、例えば、ポンプ82dと液ナイフ71との間の配管88a上、または、ポンプ82eと吐出部72との間の配管88b上にセンサを設けることによって同様な警告状況の判定作業を行うことが可能となる。
1 情報処理装置
20、120、220、320 制御ユニット
31 個人情報テーブル
32 勤怠時間情報テーブル
33 出勤情報テーブル
40 ネットワーク
81a〜81h センサ
100、200、300 基板処理装置
110、210、310 基板処理ユニット
W 基板
20、120、220、320 制御ユニット
31 個人情報テーブル
32 勤怠時間情報テーブル
33 出勤情報テーブル
40 ネットワーク
81a〜81h センサ
100、200、300 基板処理装置
110、210、310 基板処理ユニット
W 基板
Claims (14)
- 基板処理システムであって、
(a) 情報処理装置と、
(b) ネットワークを介して前記情報処理装置と接続されており、
(b-1) 基板処理部と、
(b-2) 前記基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、
(b-3) 前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、
(b-4) 前記判定手段によって前記各部で警告状況が発生していると判断された場合に、前記各部の動作状況データを前記情報処理装置に送信する送信手段と、
を有する基板処理装置と、
を備え、
前記情報処理装置は、
(a-1) 前記基板処理装置を担当する保守担当者の個人情報および勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、
(a-2) 前記送信手段によって送信された動作状況データを受信した時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、
(a-3) 前記選択手段によって選択された保守担当者に前記各部の警告状況を通知する通知手段と、
を有することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムにおいて、
前記情報処理装置が複数の前記基板処理装置と前記ネットワークを介して接続されており、
前記通知手段は、前記動作状況データを受信した時点と、当該動作状況データを送信した基板処理装置を他の基板処理装置から区別する基板処理装置情報とに基づいて前記データベースを検索して保守担当者を選択することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理システムにおいて、
前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記送信手段は、前記基板処理部の特定部位の動作回数が所定回数以上となった場合に、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項4に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記所定部位の動作回数は、前記エッチング部の処理槽に設けられたシャッター部の開閉回数であることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記送信手段は、前記検出手段によって取得された所定部位の検出値が、予め設定された範囲外の値となった回数に基づいて、前記動作状況データを前記情報処理装置に送信することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項6に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記検出手段は、前記基板に供給するエッチング液の流量値を取得することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項6に記載の基板処理システムにおいて、
前記基板処理部は、前記基板にエッチング処理を施すエッチング部を有し、
前記検出手段は、貯留槽に貯留されたエッチング液の液温を取得することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記データベースは、
前記基板処理装置の保守担当者の情報を格納した個人情報テーブルと、
就業時間に関する情報を格納した勤怠時間情報テーブルと、
前記個人情報テーブルおよび前記勤怠時間情報テーブルと関連付けられた出勤時間データと、
を有することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項9に記載の基板処理システムにおいて、
前記通知手段は、前記データベースの個人情報データに基づき、通知の受取り可能な保守担当者を特定して当該保守担当者に通知することを特徴とする基板処理システム。 - 基板処理装置であって、
(a) 前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納するデータベースと、
(b) 基板処理部の動作状況を検出する検出手段と、
(c) 前記検出手段による検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定手段と、
(d) 前記基板処理部で警告状況が発生していると判断された時点に基づき、前記データベースを検索して保守担当者を選択する選択手段と、
(e) 前記選択手段によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項11に記載の基板処理装置において、
前記通知手段は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理方法であって、
(a) 基板処理装置の基板処理部の動作状況の検出結果に基づき、前記基板処理部の動作状況を判定する判定工程と、
(b) 前記判定工程において、警告状況が発生していると判断された場合に、当該警告状況が発生していると判断された時点に基づき、
前記基板処理装置を担当する保守担当者の勤務状況に関する情報を格納したデータベースを検索して保守担当者を選択する選択工程と、
(c) 前記選択工程によって選択された保守担当者に前記基板処理部の警告状況を通知する通知工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項13に記載の基板処理方法において、
前記通知工程は、電子メールによって前記基板処理部の警告状況を通知することを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003291993A JP2005064214A (ja) | 2003-08-12 | 2003-08-12 | 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法 |
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JP2003291993A Abandoned JP2005064214A (ja) | 2003-08-12 | 2003-08-12 | 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012156296A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 監視システム |
KR20160022262A (ko) | 2014-08-19 | 2016-02-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
CN110544651A (zh) * | 2018-05-29 | 2019-12-06 | 佳能株式会社 | 基板处理系统、其控制方法、存储介质和物品的制造方法 |
-
2003
- 2003-08-12 JP JP2003291993A patent/JP2005064214A/ja not_active Abandoned
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012156296A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 監視システム |
KR20160022262A (ko) | 2014-08-19 | 2016-02-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US10474139B2 (en) | 2014-08-19 | 2019-11-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
CN110544651A (zh) * | 2018-05-29 | 2019-12-06 | 佳能株式会社 | 基板处理系统、其控制方法、存储介质和物品的制造方法 |
CN110544651B (zh) * | 2018-05-29 | 2023-02-28 | 佳能株式会社 | 基板处理系统、其控制方法、存储介质和物品的制造方法 |
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