JP2010078386A - Xyステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】XY方向に移動するステージと、ステージの位置を測長するためのレーザー干渉計と、ステージとレーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のレーザー干渉計側に設けられ、レーザー干渉計に固定される固定筒と、測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のステージ側に設けられ、ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備える測長光路筒機構を有し、固定筒または可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されることを特徴とするXYステージ装置。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施の形態のXYステージ装置は、XY方向に移動するステージと、このステージの位置を測長するためのレーザー干渉計とを有している。そして、ステージとレーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のレーザー干渉計側に設けられ、レーザー干渉計に固定される固定筒と、測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のステージ側に設けられ、ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備える測長光路筒機構を有している。そして、固定筒または可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されるテレスコピックな構造を備えている。
図2は、本実施の形態のXYステージ装置の上面図である。図2では、本実施の形態のXYステージ装置60のXYステージならびに測長光路筒機構の一部を拡大して示している。なお、XYステージ(Xステージ)16については簡略のためガイドなどの図示を省略している。なお、第1の実施の形態と重複する内容については記載を省略する。
12 ステージ定盤面
14 Yステージ
16 Xステージ
18 ガラスカバー
20 Xエアガイド
22 ワーク部
24 Xレーザー干渉計
26 X反射鏡
28 X測長光路
30 Yレーザー干渉計
32 Y反射鏡
34 Y測長光路
36 X測長光路筒機構
38 Y測長光路筒機構
40 X固定筒
42 X可動筒
44 第1スライダ機構
46 第2スライダ機構
48 Yスライダ部
50 Xスライダ部
52 Xレーザー干渉計カバー
54 Y固定筒
56 Y可動筒
58 Y可動筒保持具
59 Yレーザー干渉計カバー
60 XYステージ装置
62 測長光路筒機構
64a、b 固定治具
66 Yスライダ機構軸
70 Y移動方向
72 Xスライダ部
74 干渉計ベース
76 ミラーユニット
78 光路遮蔽カバー
80 光路遮蔽カバー
82 X移動方向
Claims (5)
- XY方向に移動するステージと、
前記ステージの位置を測長するためのレーザー干渉計と、
前記ステージと前記レーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆い、前記測長光路の前記レーザー干渉計側に設けられ、前記レーザー干渉計に固定される固定筒と、前記測長光路の少なくとも一部を覆い、前記測長光路の前記ステージ側に設けられ、前記ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備える測長光路筒機構を有し、
前記固定筒または前記可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されることを特徴とするXYステージ装置。 - 前記一方の端部と前記他方の端部が互いに非接触で挿入されることを特徴とする請求項1記載のXYステージ装置。
- 前記固定筒と前記可動筒により前記測長光路の略全域が覆われていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のXYステージ装置。
- 前記測長光路筒機構が、
前記測長光路と垂直方向の前記ステージの移動を許容する第1スライダ機構と、
前記測長光路と平行方向の前記ステージの移動を許容する第2スライダ機構と、
を備え、前記可動筒が前記第1スライダ機構と前記第2スライダ機構の双方で保持されることを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれか一項に記載のXYステージ装置。 - 前記ステージが、前記測長光路と垂直方向に移動する第1のステージと、前記測長光路と平行方向に移動する第2のステージとのスタック構造を有し、
前記第1スライダ機構が前記第2のステージに固定され、前記可動筒が前記測長光路と平行方向には前記第2のステージと一体で運動することを特徴とする請求項4記載のXYステージ装置。
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