JP5002613B2 - Xyステージ装置 - Google Patents
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Description
12 ステージ定盤面
14 Yステージ
16 Xステージ
18 Yエアガイド
20 Xエアガイド
22 ワーク部
24 Xレーザー干渉計
26 X反射鏡
28 X測長光路
30 Yレーザー干渉計
32 Y反射鏡
34 Y測長光路
36 X測長光路筒機構
38 Y測長光路筒機構
40 X固定筒
42 X可動筒
44 第1スライダ機構
46 第2スライダ機構
48 Yスライダ部
50 Xスライダ部
52 Xレーザー干渉計カバー
54 Y固定筒
56 Y可動筒
58 Y可動筒保持具
59 Yレーザー干渉計カバー
60 X波長トラッカー
62 X波長トラッカー測長光路
64 Y波長トラッカー
66 Y波長トラッカー測長光路
Claims (4)
- ステージ定盤と、
前記ステージ定盤上に設けられ、前記ステージ定盤に対しY方向に移動するYステージと、
前記Yステージに支持され、前記ステージ定盤に対しXY方向に移動するXステージと、
前記Xステージ上に設けられるワーク部と、
前記ワーク部のX方向の位置を測長するためのXレーザー干渉計と、
前記ワーク部のY方向の位置を測長するためのYレーザー干渉計と、
前記ワーク部と前記Xレーザー干渉計間のX測長光路の少なくとも一部を覆うX測長光路筒機構と、
前記ワーク部と前記Yレーザー干渉計間のY測長光路の少なくとも一部を覆うY測長光路筒機構と、
前記X測長光路筒機構内または前記Y測長光路筒機構内に設けられた波長トラッカーと、
を備え、
前記X測長光路筒機構は、前記X測長光路の前記Xレーザー干渉計側に設けられ、前記Xレーザー干渉計に固定されるX固定筒と、前記X測長光路の少なくとも一部を覆い、前記X測長光路の前記ワーク部側に設けられ、前記Xステージの移動と連動して運動するX可動筒と、前記X可動筒を保持し、前記Y方向の前記Xステージの移動を許容し、前記Xステージに固定される第1スライダ機構と、前記X可動筒を保持し、前記X方向の前記Xステージの移動を許容し、前記ステージ定盤に固定される第2スライダ機構と、を有し、前記X固定筒または前記X可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入され、
前記Y測長光路筒機構は、前記第Y測長光路の前記Yレーザー干渉計側に設けられ、前記Yレーザー干渉計に固定されるY固定筒と、前記Y測長光路の少なくとも一部を覆い、前記Y測長光路の前記ワーク部側に設けられ、前記Yステージに固定されるY可動筒と、を有し、前記Y固定筒または前記Y可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されることを特徴とするXYステージ装置。 - 前記波長トラッカーが、前記X測長光路筒機構内および前記Y測長光路筒機構内に設けられることを特徴とする請求項1記載のXYステージ装置。
- 前記X固定筒と前記X可動筒により前記X測長光路の略全域が覆われ、前記Y固定筒と前記Y可動筒により前記Y測長光路の略全域が覆われていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のXYステージ装置。
- 前記一方の端部と前記他方の端部が互いに非接触で挿入されることを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれか一項に記載のXYステージ装置。
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