JP2010074976A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010074976A5 JP2010074976A5 JP2008240956A JP2008240956A JP2010074976A5 JP 2010074976 A5 JP2010074976 A5 JP 2010074976A5 JP 2008240956 A JP2008240956 A JP 2008240956A JP 2008240956 A JP2008240956 A JP 2008240956A JP 2010074976 A5 JP2010074976 A5 JP 2010074976A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- armature
- linear motor
- magnet
- field
- coreless linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008240956A JP5240563B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Xy軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008240956A JP5240563B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Xy軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010074976A JP2010074976A (ja) | 2010-04-02 |
| JP2010074976A5 true JP2010074976A5 (OSRAM) | 2012-02-16 |
| JP5240563B2 JP5240563B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=42206234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008240956A Expired - Fee Related JP5240563B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Xy軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5240563B2 (OSRAM) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5488831B2 (ja) * | 2010-10-07 | 2014-05-14 | 株式会社安川電機 | リニアモータ及びステージ装置 |
| JPWO2014192058A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2017-02-23 | 株式会社安川電機 | リニアモータ及びステージ装置 |
| WO2017005387A1 (en) | 2015-07-09 | 2017-01-12 | Asml Netherlands B.V. | Movable support and lithographic apparatus |
| JP7451205B2 (ja) * | 2020-02-07 | 2024-03-18 | キヤノン株式会社 | 搬送装置および物品の製造方法 |
| CN213461501U (zh) * | 2020-09-04 | 2021-06-15 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 直线电机 |
| CN114400829B (zh) * | 2022-02-19 | 2025-10-31 | 哈尔滨理工大学 | 一种二自由度磁动式平台及控制方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5863074A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Takahashi Yoshiteru | 直流型半導体リニアモ−タ |
| JP3155936B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2001-04-16 | キヤノン株式会社 | リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法 |
| JP2000078830A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Nikon Corp | リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置 |
| JP4304709B2 (ja) * | 1999-01-13 | 2009-07-29 | 株式会社安川電機 | 可動巻線型リニアモータ |
| JP2001112234A (ja) * | 1999-10-04 | 2001-04-20 | Nikon Corp | モータ装置、ステージ装置、及び露光装置、並びにモータ装置の駆動制御方法 |
| JP2007318823A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Nikon Corp | リニアモータ、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
-
2008
- 2008-09-19 JP JP2008240956A patent/JP5240563B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5515478B2 (ja) | 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ | |
| JP3945148B2 (ja) | Xyテーブル及びxyzテーブル | |
| JP6269895B2 (ja) | リニアモータ | |
| WO2014064785A1 (ja) | リニアモータ及びリニアモータ駆動システム | |
| JP5387570B2 (ja) | 多自由度アクチュエータおよびステージ装置 | |
| JP2010074976A5 (OSRAM) | ||
| JP2007006545A (ja) | 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ、揺動モータ | |
| JP2002325421A5 (OSRAM) | ||
| KR20160106103A (ko) | 자석 배열 및 자기 서스팬션 평면 모터 | |
| CN101610022B (zh) | 一种采用槽型线圈的平面电机 | |
| JP5240563B2 (ja) | Xy軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 | |
| JP2006174583A (ja) | リニアモータ | |
| TWI505608B (zh) | Linear motors and platform devices | |
| KR102593127B1 (ko) | 리니어 모터 및 생산장치 | |
| JP2011155757A (ja) | リニアモータ | |
| JP6596767B2 (ja) | リニアモータ用界磁部及びリニアモータ | |
| TWI228858B (en) | Linear driving device, its controlling method, and XY table | |
| CN105308839A (zh) | 直线电机及工作台装置 | |
| JP2018137873A (ja) | リニアモータ | |
| JP7691811B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP2006034016A (ja) | 工作機械用リニアモータ | |
| JP2010074978A5 (OSRAM) | ||
| JP5489080B2 (ja) | リニアモータ及びステージ装置 | |
| JP2009038917A (ja) | リニアステージ | |
| JP2005261063A (ja) | 平面モータ |