JP2010073821A - ウェーハ分割方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】傾斜チップ形成時の溝切削工程後の研削工程による非切削残留部の飛散を無くし、品質良く先ダイシングによるチップ分割を行うことができる、新規且つ改良された分割方法を提供すること。
【解決手段】溝形成工程において破断ラインLs内の片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成し、その後研削工程によりチップに分割する。
【選択図】図5
【解決手段】溝形成工程において破断ラインLs内の片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成し、その後研削工程によりチップに分割する。
【選択図】図5
Description
本発明は、ウェーハを対向する一対の側面が表面から裏面に向かって相互に接近する方向に傾斜する形態のチップに分割するウェーハ分割方法に関する。
ウェーハの分割は、一般に、ウェーハの表面に対して実質上垂直に配設した切削ブレードを所要切削深さに位置付けて高速回転し、かかる切削ブレードに対してウェーハを所定分割ラインに沿って相対的に移動することによって遂行される。かような分割方法によれば、ウェーハの切断面は表面に対して実質上垂直に延在することになる。しかしながら、当業者には周知の如く、切削ブレードの厚さは数十μmであり、切削ブレードの剛性は比較的小さく、それ故に、例えば厚さ数百μmのウェーハを切削ブレードによって切削する場合、切削ブレードに若干の撓み或いは傾動が生成され、これに起因して切断面は表面に対して充分精密に垂直にならず、幾分か傾斜してしまう傾向がある。また、切断面に発生する欠け等に起因して切断面に微細な突起が生成されることも少なくない。
他方、長尺のラインセンサ或いはLEDプリンタヘッド等の機器は、長辺が20乃至50mm程度であり短辺が1mm以下の細長形状の複数個のチップをそれらの短辺を相互に接合せしめて構成されている。この場合、短辺における両側面即ち切断面が傾斜し或いは切断面に微細な突起が存在すると、隣接するチップの表面間に許容しえない微細な間隙が生成されてしまう。このような間隙が生成されてしまうことを確実に回避するために、図1に図示する如く、両短辺に沿った側面S1及びS2を表面から裏面に向かって相互に接近する方向に傾斜せしめることが提案され、実用に供されている。両長辺に沿った側面は表面に対して実質上垂直でよい。図2を参照することによって明確に理解されるように、両短辺に沿った側面S1及びS2を表面から裏面に向けて相互に接近する方向に傾斜せしめたチップCの場合、側面の傾斜角度に幾分かの誤差が存在し或いは側面に若干の突起が生成されても、隣接するチップの短辺を微細な間隙を生成せしめることなく接合することができる。
下記特許文献1には、切削ブレードの中心軸線をウェーハの表面に対して傾斜させて、切削ブレードによるウェーハの切断面を傾斜させる技術が開示されている。また、下記特許文献2には、欠けの発生を可及的に回避するために、ウェーハの表面側に所定深さの溝を形成し、しかる後にウェーハの裏面を研削してウェーハの厚さを溝の深さ以下にし、かくしてウェーハを分割する、先ダイシングと称されているウェーハ分割方法が開示されている。
対向する一対の側面が表面から裏面に向かって相互に接近する方向に傾斜する形態のチップにウェーハを分割するウェーハ分割方法として、下記特許文献1及び2の開示に基づき、次のとおりの溝形成工程及び裏面研削工程を含むウェーハ分割方法が実用に供されている。図3を参照して説明すると、ウェーハWの表面W1には分割予定ラインである破断ラインLsが格子状に配列されており、破断ラインLs(図1においては紙面に垂直な方向に延びる破断ラインのみを図示しており、図1において左右方向に延びる破断ラインは図示していない)によって規定された複数個の矩形領域の各々には所要素子Eが配設されている。溝形成工程においては、図3(a)に示す如く、ウェーハの所要素子Eが配設されている表面W1に対して回転中心軸線が傾斜せしめられた回転切削ブレード2によって破断ラインLsの片側縁L1に沿ってウェーハを切削する片側縁傾斜切削を遂行する。この際には、ウェーハWの表面から所要切削深さに位置付けられた切削ブレード2を高速回転せしめ、適宜のチャック手段(図示していない)上に保持したウェーハWを切削ブレード2に対して相対的に破断ラインLsの片側縁L1沿って図3(a)において紙面に垂直な方向に移動せしめる。図3(a)において紙面に垂直な方向に相互に平行に延びる破断ラインLsの全てについて上記片側縁傾斜切削を遂行する。しかる後に、図3(b)に示す如く、ウェーハWを保持しているチャック手段を180度回転せしめ、かくしてウェーハWの表面に対する切削ブレード2の傾斜方向を逆方向にせしめる。次いで、破断ラインLsの他側縁L2に沿って、上記片側縁傾斜切削と同様に、他側縁傾斜切削を遂行する。図3(b)において紙面に垂直な方向に相互に平行に延びる全ての破断ラインLsについて上記他側縁傾斜切削を遂行した後に、図3(c)に示す如く、ウェーハWの表面に保護テープTを貼着する。しかる後に裏面研削工程を遂行する。この裏面研削工程においては、図3(d)に示す如く、ウェーハWをその裏面を上方に露呈させてチャック手段(図示していない)上にウェーハWを保持し、チャック手段を図3(d)において上下方向に延びる中心軸線を中心として回転せしめると共に、研削工具4を図3(d)において上下方向に延びる中心軸線を中心として回転せしめてウェーハWの裏面に押圧し、かくしてウェーハWの裏面を研削する。研削工具4はその下面に全体として環状に配列した複数個の研削砥石6を有する。図3(e)に示す如く、ウェーハWの厚さが上記溝の深さ以下にせしめられると、ウェーハWは破断ラインLsに沿って分割され、分割されたウェーハWの側面は表面から裏面に向かって相互に接近する方向に傾斜せしめられている。
特開2003−124155号公報
特開2002−334857号公報
上述したとおりの従来の分割方法には次のとおりの解決すべき問題が存在する。即ち、通常、破断ラインLsの幅は切削ブレード2の厚さの2倍よりも大きく、それ故に1個の破断ラインLsについて1回の片側縁傾斜切削と1回の他側縁傾斜切削とを遂行すると、図3(c)及び(d)に示す如く、破断ラインLsの幅方向中央部に被切削残留部Rが残留せしめられる。そして、上記裏面研削工程を遂行すると、非切削残留部RはウェーハWの他の部位から完全に分離されて、その一端面、図3(e)において下面、のみが保護テープTに貼着された状態になる。本発明者等の経験によれば、非切削残留部Rの一端面の面積は著しく小さく、それ故に非切削残留部Rは保護テープTから剥離されてしまう傾向があり、剥離された非切削残留部Rが裏面研削工程中に研削工具4とウェーハWの研削されている裏面との間に侵入し、研削面にスクラッチやチッピングを発生せしめるおそれが少なくない。
本発明は、本発明者等が認識した上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、対向する両側面が表面から裏面に向けて相互に接近する方向に傾斜するチップを形成するための、溝形成工程とこれに続く裏面研削工程とを含むウェーハ分割方法を改良して、研削面にスクラッチやチッピングを発生せしめるおそれがある被切削残留部の生成を充分確実に回避することである。
本発明者は、鋭意検討の結果、溝形成工程においては、破断ラインの片側縁に対する切削ブレードの位置を破断ラインの幅方向に変位せしめて破断ラインの片側縁に沿って切削する追加片側縁傾斜切削と、破断ラインの他側縁に対する切削ブレードの位置を破断ラインの幅方向に変位せしめて破断ラインの他側縁に沿って切削する追加他側縁傾斜切削と、の少なくとも一方を付加的に遂行し、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成することによって、上記主たる技術的課題を達成することができることを見出した。
即ち、上記主たる技術的課題を達成するウェーハ分割方法として、本発明によれば、ウェーハの表面に規定されている所定幅の破断ラインに沿って溝を形成する溝形成工程と、ウェーハの裏面を研削してウェーハの厚さを該溝の深さ以下にし、これによってウェーハを該破断ラインに沿って分割する裏面研削工程とを含み、
該溝形成工程においては、ウェーハの表面に対して回転中心軸線が傾斜せしめられた回転切削ブレードによって該破断ラインの片側縁に沿ってウェーハを切削する片側縁傾斜切削と、ウェーハの表面に対する該切削ブレードの回転中心軸線の傾斜方向を逆方向にせしめて該破断ラインの他側縁に沿ってウェーハを切削する他側縁傾斜切削とを遂行し、これによって最大幅は切削ブレードの厚さの2倍以上であり且つ両側面は表面から裏面に向かって相互に離隔する方向に傾斜している溝を形成する、ウェーハ分割方法において、
該溝形成工程においては、該破断ラインの該片側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該片側縁に沿って切削する追加片側縁傾斜切削と、該破断ラインの該他側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該他側縁に沿って切削する追加他側縁傾斜切削と、の少なくとも一方を付加的に遂行し、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成する、ことを特徴とするウェーハ分割方法が提供される。
該溝形成工程においては、ウェーハの表面に対して回転中心軸線が傾斜せしめられた回転切削ブレードによって該破断ラインの片側縁に沿ってウェーハを切削する片側縁傾斜切削と、ウェーハの表面に対する該切削ブレードの回転中心軸線の傾斜方向を逆方向にせしめて該破断ラインの他側縁に沿ってウェーハを切削する他側縁傾斜切削とを遂行し、これによって最大幅は切削ブレードの厚さの2倍以上であり且つ両側面は表面から裏面に向かって相互に離隔する方向に傾斜している溝を形成する、ウェーハ分割方法において、
該溝形成工程においては、該破断ラインの該片側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該片側縁に沿って切削する追加片側縁傾斜切削と、該破断ラインの該他側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該他側縁に沿って切削する追加他側縁傾斜切削と、の少なくとも一方を付加的に遂行し、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成する、ことを特徴とするウェーハ分割方法が提供される。
ウェーハを180度回転せしめることによって、ウェーハの表面に対する該切削ブレードの回転中心軸線の傾斜方向を逆方向にすることが好ましい。
本発明のウェーハ分割方法によれば、追加片側縁傾斜切削と追加他側縁傾斜切削との少なくとも一方を付加的に遂行することによって、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成する。従って、裏面研削工程の遂行によってウェーハの他の部位から完全に分離される非切削残留部の生成が確実に回避され、研削面にスクラッチやチッピングを発生せしめるおそれが充分確実に回避される。
以下、添付図面を参照して、本発明の分割方法の好適実施形態について更に詳細に説明する。
図4には、本発明の溝形成工程を実施するために使用することができる切削装置の要部である切削手段の概略構造が図示されている。切削装置自体の構成全体は、例えば特許文献1に開示されている形態でよく、従ってその詳細な説明は本明細書においては省略する。
図示の切削装置は、切削すべきウェーハWを保持するためのチャックテーブル8と、チャックテーブル8上に保持されたウェーハWを切削するための切削手段10を具備している。適宜の回転駆動源(図示していない)によって回転駆動されるチャックテーブル8は多孔性チャック板を有し、その上面に載置されたウェーハWを真空吸着するそれ自体は周知の形態のものでよい。チャックテーブル8は図3において紙面と垂直な方向に移動可能に装着されており、回転ボールねじやエアースライダー等から構成することができる切削送り手段(図示していない)によって図3において紙面に垂直な方向に移動せしめられる。
切削手段10は、ケーシング12を有し、ケーシング12にはスピンドル14が回転自在に装着されており、このスピンドル14は電動モータでよい回転駆動源(図示していない)によって高速回転される。スピンドル14は、図4の如くチャックテーブル8の保持面に対して所定の角度θ傾斜して切削装置の所定位置に配設されている。スピンドル14を傾斜させる具体的な構造は例えば特開2003-124155号公報に記載の形態が採用できる。かかるスピンドル14はケーシング12を越えて突出しており、スピンドル14の先端には図示しない装着ジグを介してスピンドル14の回転軸線に対して垂直に切削ブレード2が装着されている。スピンドル14の傾斜角度に伴い回転切削ブレード2はチャックテーブル8と垂直な方向に対して角度θ傾斜している。また切削ブレード2は、円盤形状の基台18と基台18に装着された円盤形状の切削刃16から構成されている。
切削手段10はチャックテーブル8の保持面に対して垂直な方向である矢印22の方向即ち図4において上下方向に移動可能に装着されており、回転ボールねじを有する送り機構及びかかる送り機構のボールねじを回転駆動するためのサーボモータ等の駆動機構を含む周知形態の切削切り込み手段20により矢印22の方向に移動せしめられる。さらに、切削手段10はチャックテーブル8と平行な方向である矢印26の方向に移動可能に装着されており、回転ボールねじを有する送り機構及びかかる送り機構のボールねじを回転駆動するためのサーボモータ等の駆動機構を含む周知形態の割り出し送り手段24により矢印26の方向に移動せしめられる。
図示のウェーハWは片側縁L1と他側縁L2からなる短辺側の破断ラインLsと長辺側の破断ラインLとにより規定され細長形状の矩形領域に撮像素子等の所要素子Eが形成されている素子層W1と、が形成されている。素子層W1の反対の裏面側W2には切削用保護テープT1が貼着されている。
続いて、本発明の溝形成工程について図4及び図5を参照して詳細を説明する。ウェーハWは切削用保護テープT1を介してチャックテーブル8に吸引保持される。スピンドル14は所定の回転数で回転し、切削刃16は破断ラインLs内の片側縁L1の延長線上に位置づける。続いて、切削切り込み手段20により所定切り込み量(仕上げ厚みHよりも若干深い切り込み深さ)に相当する所定高さまで切削手段10を下降し、所定高さを維持したままチャックテーブル8の切削送り手段により切削送りされ、図5(a)の断面図に示すように片側縁L1に沿って片側縁傾斜切削が遂行される(図5(a):片側縁傾斜切削)。
次いで切削刃16を破断ラインLsの幅方向及び高さ方向に所定量変位せしめて破断ラインLsの片側縁L1に沿って凸部が残留しないように追加傾斜切削を行う(図5(b):追加片側縁傾斜切削)。図5(a)及び図5(b)の片側縁傾斜切削及び追加片側縁傾斜切削を全ての破断ラインLs上の片側縁L1沿って順次遂行する。
図5(c)に示す如く、ウェーハWを保持しているチャックテーブル8を180°回転せしめ、かくしてウェーハWの表面に対する切削ブレード2の傾斜方向を逆方向にせしめる(図5(c))。他側縁L2も片測縁L1と同様に切削を行っていく。切削刃16を破断ラインLsの他側縁L2の延長線上に位置づける。続いて、切削切り込み手段20により所定切り込み量(仕上げ厚みHよりも若干深い切り込み深さ)に相当する所定高さまで切削手段10を下降し、所定高さを維持したままチャックテーブル8の切削送り手段により切削送りされ、図5(d)の断面図に示すように他側縁L2に沿って他側縁傾斜切削が遂行される(図5(d):他側縁傾斜切削)。
次いで切削刃16を破断ラインLsの幅方向及び高さ方向に所定量変位せしめて破断ラインLsの他側縁L2に沿って凸部が残留しないように追加傾斜切削を行う(図5(e):追加他側縁傾斜切削)。図5(d)及び図5(e)の他側縁傾斜切削及び追加他側縁傾斜切削を全ての破断ラインLs上の他側縁L2に沿って順次遂行する。このようにして短辺側の破断ラインLsに片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝が形成される。
本実施の形態では追加片側縁傾斜切削及び追加他側縁傾斜切削をそれぞれ1回ずつ遂行した例を示したが、破断ラインLsの幅及び切削刃16の刃幅に応じて適宜回数を増減させることができる。少なくとも一方を付加的に遂行し、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成することが重要である。
短辺側に傾斜切削を行ったら、続いて長辺側の破断ラインL上に溝を形成する。チップCにおいて両長辺に沿った側面は表面に対して実質上垂直でよいため、切削手段がチャックテーブル保持面と平行に配設された通常の切削装置にて、ウェーハ表面に対して垂直に切削ブレードを位置づけ、長辺側の全ての破断ラインLを切削する。
溝形成工程により全ての破断ライン上に切削溝が形成されたら、続いて、転写工程に移る。転写工程では、図6に示すように、切削溝が形成された回路層W1側に研削用保護テープT2を貼着する。その後、切削用保護テープT1を剥離する。
続いて、図7を参照して裏面研削工程を説明する。裏面研削工程においては、周知の研削装置を使用して行い、研削装置全体は例えば特開2000―354962号公報に開示されている形態でよく、その詳細な説明は省略する。研削装置にはウェーハWを保持する図示しないチャックテーブルとチャックテーブルに対向して配設された研削工具4を備えている。さらに、研削工具4及びチャックテーブルをそれぞれ回転させる回転駆動手段(図示していない)と、研削工具4を鉛直下向きに研削送りする研削送り手段(図示していない)を備えている。研削工具4は、円盤形状の砥石基台28と砥石基台28に装着された円環形状の研削砥石6とから形成されている。
ウェーハWは、研削装置のチャックテーブルに研削用保護テープT2側を吸引保持される。チャックテーブル及び研削工具4が回転し、研削工具4が下降していき裏面側W2に接触し研削が開始される(図7(a))。研削工具4は所定の送り速度で下降していくと、ウェーハWは徐々に薄化されていき(図7(b))、所望の仕上げ厚みHに達するまで研削される(図7(c))。この際、溝形成工程において破断ラインLに片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しないように溝を形成したため、図7(b)において切削溝に貫通しても非切削残留部が飛散することがなく、品質良く傾斜形状のチップ分割を行うことができる。
2 切削ブレード
4 研削手段
8 チャックテーブル(切削装置)
10 切削手段
16 切削刃
C チップ
L 長辺側破断ライン
Ls 短辺側破断ライン
L1 片側縁
L2 他側縁
R 非切削残留部
T1 切削用保護テープ
T2 研削用保護テープ
W ウェーハ
W1 表面側(回路層)
W2 裏面側
4 研削手段
8 チャックテーブル(切削装置)
10 切削手段
16 切削刃
C チップ
L 長辺側破断ライン
Ls 短辺側破断ライン
L1 片側縁
L2 他側縁
R 非切削残留部
T1 切削用保護テープ
T2 研削用保護テープ
W ウェーハ
W1 表面側(回路層)
W2 裏面側
Claims (2)
- ウェーハの表面に規定されている所定幅の破断ラインに沿って溝を形成する溝形成工程と、ウェーハの裏面を研削してウェーハの厚さを該溝の深さ以下にし、これによってウェーハを該破断ラインに沿って分割する裏面研削工程とを含み、
該溝形成工程においては、ウェーハの表面に対して回転中心軸線が傾斜せしめられた回転切削ブレードによって該破断ラインの片側縁に沿ってウェーハを切削する片側縁傾斜切削と、ウェーハの表面に対する該切削ブレードの回転中心軸線の傾斜方向を逆方向にせしめて該破断ラインの他側縁に沿ってウェーハを切削する他側縁傾斜切削とを遂行し、これによって最大幅は切削ブレードの厚さの2倍以上であり且つ両側面は表面から裏面に向かって相互に離隔する方向に傾斜している溝を形成する、ウェーハ分割方法において、
該溝形成工程においては、該破断ラインの該片側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該片側縁に沿って切削する追加片側縁傾斜切削と、該破断ラインの該他側縁に対する該切削ブレードの位置を該破断ラインの幅方向に変位せしめて該破断ラインの該他側縁に沿って切削する追加他側縁傾斜切削と、の少なくとも一方を付加的に遂行し、片側面から他側面まで連続し且つ底面に凸部が残留しない溝を形成する、ことを特徴とするウェーハ分割方法。 - ウェーハを180度回転せしめることによって、ウェーハの表面に対する該切削ブレードの回転中心軸線の傾斜方向を逆方向にする、請求項1記載のウェーハ分割方法。
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2008
- 2008-09-17 JP JP2008238431A patent/JP2010073821A/ja active Pending
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