JP2010065258A - 放電表面処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】放電を安定させて、被膜Ｃの品質を向上させる共に、放電表面処理の作業能率を高めること。
【解決手段】加工ヘッド１５における電極ホルダ２５に供給ノズル２９が設けられ、供給ノズル２９は、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に向かって加工液を噴出する噴出口２９ｍを有し、加工ヘッド１５に吸引ダクト３７が設けられ、吸引ダクト３７は、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間における加工液を吸入する吸入口３７ｍを有し、放電電極２３の消耗量に応じて加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されたこと。
【選択図】図１

Description

本発明は、放電エネルギーを利用してワークの被処理部に放電表面処理を行う放電表面処理装置に関する。

近年、放電表面処理の分野については種々の開発がなされており（特許文献１、特許文献２、及び特許文献３参照）、ワークの被処理部に放電表面処理を行う一般的な放電表面処理装置な構成等は、次のようになる。

一般的な放電表面処理装置は、電気的に絶縁性のある加工液を貯留する加工槽を具備しており、この加工槽内には、ワークを保持（支持）するワーク治具が設けられている。また、ワーク治具の上方（換言すれば、ワーク治具に対してＺ軸方向に離隔した位置）には、加工ヘッドが設けられており、この加工ヘッドは、ワーク治具に対して相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動可能である。更に、加工ヘッドは、先端側（下端側）に、放電エネルギーによって消耗可能な放電電極を保持する電極ホルダを備えている。そして、ワーク治具と電極ホルダの間には、放電電源が電気的に接続されており、この放電電源は、放電電極の先端部とワークの被処理部の間にパルス状の放電を発生させるものである。

加工ヘッドの適宜位置には、供給ノズルが設けられており、この供給ノズルは、放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出する噴出口を有している。また、供給ノズルは、加工液を供給する供給ポンプ等の加工液供給源に接続されている。

従って、ワーク治具にワークをセットし、次に、加工ヘッドをワーク治具に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動させることにより、放電電極の先端部がワークの被処理部に近接するように対向させる。そして、放電電源によって放電電極の先端部とワークの被処理部の間にパルス状の放電を発生させる。これにより、その放電エネルギーによってワークの被処理部を局所的に溶融させつつ、放電電極の電極材料又は該電極材料の反応物質をワークの被処理部に付着させて、被膜を形成することができる。換言すれば、放電エネルギーを利用してワークの被処理部に放電表面処理を行うことができる。

放電表面処理中に、加工液供給源を適宜に作動させて、供給ノズルの噴出口から放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出する。これにより、放電電極の先端部とワークの被処理部の間において加工液を十分に流通させて、放電によって生じたスラッジ等が放電電極の先端部とワークの被処理部の間に溜まることを抑えることができる。
特開２０００−２５６８７５号公報 特許第３２２７４５４号公報 特開２００３−３２８１５２号公報

ところで、ワークの被処理部が穴の周縁部であったり、放電電極の横断面積が大きかったり等する場合には、供給ノズルの噴出口から放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出させても、放電電極の先端部とワークの被処理部の間において加工液を十分に流通させることができない。そのため、前述の場合には、スラッジ等が放電電極の先端部とワークの被処理部の間に溜まり易く、放電が不安定になって、被膜の品質（均一性）の低下を招くことになる。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の放電表面処理装置を提供することを目的とする。

本発明の特徴は、放電エネルギーを利用してワークの被処理部に放電表面処理を行う放電表面処理装置において、電気絶縁性のある加工液を貯留する加工槽と、前記加工槽内に設けられ、ワークを保持するワーク治具と、前記ワーク治具に対してＺ軸方向に離隔した位置に設けられ、前記ワーク治具に対して相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動可能であって、放電エネルギーによって消耗可能な放電電極を保持する電極ホルダを備えた加工ヘッドと、前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出する噴出口を有し、加工液を供給する加工液供給源に接続された供給ノズルと、前記加工ヘッドに設けられ、前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間における加工液を吸入する吸入口を有し、加工液を吸引する加工液吸引源に接続され、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成された吸引ダクトと、を具備したことを要旨とする。

なお、本願の特許請求の範囲及び明細書中において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「Ｘ軸方向」、「Ｙ軸方向」、及び「Ｚ軸方向」は、図面（図１及び図３）中に示された方向によって特定されるものである。

本発明の特徴によると、前記ワーク治具にワークをセットし、次に、前記加工ヘッドを前記ワーク治具に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向へ移動させることにより、前記放電電極の先端部が前記ワークの被処理部に近接するように対向させる。そして、前記放電電源によって前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間にパルス状の放電を発生させる。これにより、その放電エネルギーによってワークの被処理部を局所的に溶融させつつ、前記放電電極の電極材料又は該電極材料の反応物質をワークの被処理部に付着させて、被膜を形成することができる。換言すれば、放電エネルギーを利用してワークの被処理部に放電表面処理を行うことができる。

ここで、放電表面処理中に、前記加工液供給源を適宜に作動させて、前記供給ノズルの前記噴出口から前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出する。また、前記加工液吸引源を適宜に作動させて、前記吸引ダクトの前記吸入口から前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間における加工液を吸入する。これにより、ワークの被処理部が穴の周縁部であったり、前記放電電極の横断面積が大きかったり等する場合であっても、前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができる。

更に、前記吸引ダクトは、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されているため、放電表面処理中に前記吸入口がワークの被処理部の近傍に位置するように、前記吸引ダクトを前記加工ヘッドに対して一旦セットすれば、１つの前記放電電極を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、前記吸引ダクトを前記加工ヘッドに対してセットし直さなくても済む。

本発明によれば、ワークの被処理部が穴の周縁部であったり、前記放電電極の横断面積が大きかったり等する場合であっても、前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができるため、放電によって生じたスラッジ等が放電電極の先端部とワークの被処理部の間に溜まることを十分に抑えることができ、放電を安定させて、被膜の品質（均一性）を向上させることができる。

また、前記吸引ダクトを前記加工ヘッドに対して一旦セットすれば、１つの前記放電電極を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、前記吸引ダクトを前記加工ヘッドに対してセットし直さなくても済むため、放電表面処理の作業能率を高めることができる。

（第１実施形態）
第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。

ここで、図１は、第１実施形態に係る放電表面処理装置の模式的な正面図、図２は、第１実施形態に係る放電表面処理装置の動作を説明する図である。

図１に示すように、第１実施形態に係る放電表面処理装置１は、ワークＷの被処理部（第１実施形態にあっては、穴の周縁部）Ｗａに放電表面処理を行う装置であって、本体フレーム３を具備しており、この本体フレーム３は、Ｘ軸方向（換言すれば、左右方向）及びＹ軸方向（換言すれば、前後方向）へ延びたベッド５、このベッド５に設けられかつＺ軸方向（換言すれば、上下方向）へ延びたコラム７等からなっている。

ベッド５には、支持テーブル９が設けられており、支持テーブル９には、電気的に絶縁性のある加工液を貯留する加工槽１１が設けられている。また、加工槽１１内には、ワークＷを保持するワーク治具１３が設けられている。

コラム７の適宜位置（換言すれば、ワーク治具１３に対してＺ軸方向に離隔した位置）には、加工ヘッド（処理ヘッド）１５が設けられており、この加工ヘッド１５は、Ｘ軸サーボモータ１７、Ｙ軸サーボモータ１９、及びＺ軸サーボモータ２１の駆動によってＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動可能である。なお、加工ヘッド１５をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向へ移動可能にする代わりに、支持テーブル９をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向へ移動可能にしても構わない。

加工ヘッド１５は、先端側（下端側）に、中空円筒状の放電電極２３を保持する電極ホルダ２５を備えている。ここで、放電電極２３は、ステライト金属等の金属の粉末、セラミックの粉末、又はこれらの混合粉末から圧縮成形又は射出成形されたものであって、放電エネルギーによって消耗可能である。なお、放電電極２３は、有底又は無底のいずれであっても構わない。

ワーク治具１３と電極ホルダ２５の間には、放電電源２７が電気的に接続されており、この放電電源２７は、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間にパルス状の放電を発生させるものである。また、放電電源２７は、例えば特開２００５−２１３５５４号公報（図４、図５、及び図７等）に示すような公知の放電電源であって、コンデンサ、スイッチング素子、抵抗器等を備えている。

電極ホルダ２５の内部には、Ｚ軸方向へ延びた供給ノズル（供給通路）２９が形成されており、この供給ノズル２９は、放電電極２３の内側から放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に向かって加工液を噴出する噴出口２９ｍを有している。また、供給ノズル２９は、加工液を供給する供給ポンプ等の加工液供給源３１に配管３３を介して接続されている。

加工ヘッド１５には、ブラケット３５が設けられており、このブラケット３５には、Ｚ軸方向へ延びた吸引ダクト３７がリニアガイド３９を介して設けられており、換言すれば、加工ヘッド１５には、吸引ダクト３７がブラケット３５及びリニアガイド３９を介して設けられている。また、吸引ダクト３７は、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間における加工液を吸入する吸入口３７ｍを有してあって、加工液を吸引する真空ポンプ等の加工液吸引源４１に配管４３を介して接続されている。更に、吸引ダクト３７は、先端側（下端側）に、ワークＷに接触可能なダクト用絶縁体４５を備えている。なお、吸引ダクト３７が電気的な閉ループ回路の一部を構成しなければ、吸引ダクト３７はダクト用絶縁体４５を備える代わりに、ブラケット３５又はリニアガイド３９等を絶縁材料により構成する等、適宜の変更が可能である。

吸引ダクト３７は、ダクト用絶縁体４５（吸引ダクト３７の一部）がワーク治具１３に対する固定部であるワークＷに直接的に接触（当接）した状態の下で、放電電極２３の消耗量に応じて加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されている。また、吸引ダクト３７の基端側（上端側）には、ストッパ４７がＺ軸方向へ位置調節可能に設けられており、このストッパ４７は、ダクト用絶縁体４５がワークＷに直接的に接触するまで、吸引ダクト３７の自重によってブラケット３５に当接するようになっている。なお、「ワーク治具１３に対する固定部」とは、ワークＷ又はワーク治具１３等のように、ワーク治具１３に対して相対位置が固定され部位又は部材のことである。

続いて、第１実施形態の作用及び効果について説明する。

ワークＷの被処理部Ｗａが上方を向くように、ワークＷをワーク治具１３にセットする。次に、Ｘ軸サーボモータ１７、Ｙ軸サーボモータ１９、及びＺ軸サーボモータ２１の駆動により加工ヘッド１５をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動させることにより、図２（ａ）に示すように、放電電極２３の先端部をワークＷの被処理部Ｗａに近接するように対向させる。このとき、ダクト用絶縁体４５がワークＷに直接的に接触して、吸引ダクト３７が加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向（上方向）へ移動することになる。

放電電極２３の先端部をワークＷの被処理部Ｗａに対向させた後に、所定の放電ギャップを保つように、Ｚ軸サーボモータ２１の駆動により加工ヘッド１５と一体的に放電電極２３をＺ軸方向へ移動（往復移動）させながら、放電電源２７によって放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間にパルス状の放電を発生させる。これにより、図２（ｂ）に示すように、その放電エネルギーによってワークＷの被処理部Ｗａを局所的に溶融させつつ、放電電極２３の電極材料又は該電極材料の反応物質をワークＷの被処理部Ｗａに付着させて、被膜Ｃを形成することができる。換言すれば、放電エネルギーを利用してワークＷの被処理部Ｗａに放電表面処理を行うことができる。

ここで、放電表面処理中に、加工液供給源３１を適宜に作動させて、供給ノズル２９の噴出口２９ｍから放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に向かって加工液を噴出すると共に、加工液吸引源４１を適宜に作動させて、吸引ダクト３７の吸入口３７ｍから放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間における加工液を吸入する。これにより、第１実施形態のように、ワークＷの被処理部Ｗａが穴の周縁部であった場合でも、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができる。

更に、吸引ダクト３７は、放電電極２３の消耗量に応じて加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されているため、放電表面処理中に吸入口３７ｍがワークＷの被処理部Ｗａの近傍に位置するように、吸引ダクト３７を加工ヘッド１５に対して一旦セットすれば、１つの放電電極２３を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、吸引ダクト３７を加工ヘッド１５に対してセットし直さなくても済む。

従って、第１実施形態によれば、ワークＷの被処理部Ｗａが穴の周縁部であった場合でも、放電電極２３の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができるため、放電によって生じたスラッジ等が放電電極２３の先端部とワークＷの間に溜まることを十分に抑えることができ、放電を安定させて、被膜の品質（均一性）を向上させることができる。

また、吸引ダクト３７を加工ヘッド１５に対して一旦セットすれば、１つの放電電極２３を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、吸引ダクト３７を加工ヘッド１５に対してセットし直さなくても済むため、放電表面処理の作業能率を高めることができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図３及び図４（ａ）（ｂ）を参照して説明する。

ここで、図３は、第２実施形態に係る放電表面処理装置の模式的な正面図、図４は、第２実施形態に係る放電表面処理装置の動作を説明する図である。

図３に示すように、第２実施形態に係る放電表面処理装置４９は、ワークＷの被処理部（第２実施形態にあっては、突起部）Ｗａに放電表面処理を行う装置であって、第１実施形態に係る放電表面処理装置１と同様の構成を有しており、第２実施形態に係る放電表面処理装置４９の具体的な構成のうち、第１実施形態に係る放電表面処理装置１の具体的な構成と異なる部分について説明する。なお、第２実施形態に係る放電表面処理装置４９における複数の構成要素のうち、第１実施形態に係る放電表面処理装置１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。

加工ヘッド１５における電極ホルダ２５は、中実状の放電電極５１を保持するようになっており、放電電極５１は、ステライト金属等の金属の粉末、セラミックの粉末、又はこれらの混合粉末から圧縮成形又は射出成形されたものであって、放電エネルギーによって消耗可能である。

加工ヘッド１５には、ブラケット５３が設けられており、このブラケット５３には、Ｚ軸方向へ延びた供給ノズル５５がリニアガイド５７を介して設けられており、換言すれば、加工ヘッド１５には、供給ノズル５５がブラケット５３及びリニアガイド５７を介して設けられている。また、供給ノズル５５は、放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に向かって加工液を噴出する噴出口５５ｍを有してあって、加工液を供給する供給ポンプ等の加工液供給源５９に配管６１を介して接続されている。更に、供給ノズル５５は、先端側（下端側）に、ワークＷに接触可能なノズル用絶縁体６３を備えている。なお、供給ノズル５５が電気的な閉ループ回路の一部を構成しなければ、供給ノズル５５はノズル用絶縁体６３を備える代わりに、ブラケット５３又はリニアガイド５７等を絶縁材料により構成する等、適宜の変更が可能である。

供給ノズル５５は、ノズル用絶縁体６３（供給ノズル５５の一部）がワーク治具１３に対する固定部であるワークＷに直接的に接触（当接）した状態の下で、放電電極５１の消耗量に応じて加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されている。また、供給ノズル５５の基端側（上端側）には、ストッパ６５がＺ軸方向へ位置調節可能に設けられており、このストッパ６５は、ノズル用絶縁体６３がワークＷに直接的に接触するまで、供給ノズル５５の自重によってブラケット５３に当接するようになっている。

続いて、第２実施形態の作用及び効果について説明する。

ワークＷの被処理部Ｗａが上方を向くように、ワークＷをワーク治具１３にセットする。次に、Ｘ軸サーボモータ１７、Ｙ軸サーボモータ１９、及びＺ軸サーボモータ２１の駆動により加工ヘッド１５をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動させることにより、図４（ａ）に示すように、放電電極５１の先端部をワークＷの被処理部Ｗａに近接するように対向させる。このとき、ダクト用絶縁体４５及びノズル用絶縁体６３がワークＷに直接的に接触して、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５が加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向（上方向）へ移動することになる。

放電電極５１の先端部をワークＷの被処理部Ｗａに対向させた後に、所定の放電ギャップを保つように、Ｚ軸サーボモータ２１の駆動により加工ヘッド１５と一体的に放電電極５１をＺ軸方向へ往復移動させながら、放電電源２７により放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間にパルス状の放電を発生させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、その放電エネルギーによってワークＷの被処理部Ｗａを局所的に溶融させつつ、放電電極５１の電極材料又は該電極材料の反応物質をワークＷの被処理部Ｗａに付着させて、被膜Ｃを形成することができる。換言すれば、放電エネルギーを利用してワークＷの被処理部Ｗａに放電表面処理を行うことができる。

ここで、放電表面処理中に、加工液供給源５９を適宜に作動させて、供給ノズル５５の噴出口５５ｍから放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に向かって加工液を噴出すると共に、加工液吸引源４１を適宜に作動させて、吸引ダクト３７の吸入口３７ｍから放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間の加工液を吸入する。これにより、放電電極５１の横断面積が大きい場合でも、放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができる。

また、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５は、放電電極５１の消耗量に応じて加工ヘッド１５に対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されているため、放電表面処理中に吸入口３７ｍ及び噴出口５５ｍがワークＷの被処理部Ｗａの近傍に位置するように、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５を加工ヘッド１５に対して一旦セットすれば、１つの放電電極２３を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５を加工ヘッド１５に対してセットし直さなくても済む。

従って、第２実施形態によれば、放電電極５１の横断面積が大きい場合でも、放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間において加工液を十分かつ効率よく流通させることができるため、放電によって生じたスラッジ等が放電電極５１の先端部とワークＷの被処理部Ｗａの間に溜まることを十分に抑えることができ、放電を安定させて、被膜Ｃの品質（均一性）を向上させることができる。

また、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５を加工ヘッド１５に対して一旦セットすれば、１つの放電電極５１を用いて１回又は複数回の放電表面処理を行う間、吸引ダクト３７及び供給ノズル５５を加工ヘッド１５に対してセットし直さなくても済むため、放電表面処理の作業能率を高めることができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

第１実施形態に係る放電表面処理装置の模式的な正面図である。 第１実施形態に係る放電表面処理装置の動作を説明する図である。 第２実施形態に係る放電表面処理装置の模式的な正面図である。 第２実施形態に係る放電表面処理装置の動作を説明する図である。

符号の説明

１ 放電表面処理装置
１３ ワーク治具
１５ 加工ヘッド
２３ 放電電極
２５ 電極ホルダ
２７ 放電電源
２９ 供給ノズル
２９ｍ 噴出口
３１ 加工液供給源
３７ 吸引ダクト
３７ｍ 吸入口
４１ 加工液吸引源
４５ ダクト用絶縁体
４７ ストッパ
４９ 放電表面処理装置
５１ 放電電極
５５ 供給ノズル
５５ｍ 噴出口
５９ 加工液供給源
６３ ノズル用絶縁体
６５ ストッパ

Claims (5)

1. 放電エネルギーを利用してワークの被処理部に放電表面処理を行う放電表面処理装置において、
   電気絶縁性のある加工液を貯留する加工槽と、
   前記加工槽内に設けられ、ワークを保持するワーク治具と、
   前記ワーク治具に対してＺ軸方向に離隔した位置に設けられ、前記ワーク治具に対して相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向へ移動可能であって、放電エネルギーによって消耗可能な放電電極を保持する電極ホルダを備えた加工ヘッドと、
   前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出する噴出口を有し、加工液を供給する加工液供給源に接続された供給ノズルと、
   前記加工ヘッドに設けられ、前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間における加工液を吸入する吸入口を有し、加工液を吸引する加工液吸引源に接続され、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成された吸引ダクトと、を具備したことを特徴とする放電表面処理装置。
2. 前記吸引ダクトは、一部が前記ワーク治具に対する固定部に直接的又は間接的に接触した状態の下で、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の放電表面処理装置。
3. 前記放電電極は、中空状であって、
   前記供給ノズルは、前記電極ホルダの内部に形成され、前記供給ノズルの前記噴出口は、前記放電電極の内側から前記放電電極の先端部とワークの被処理部の間に向かって加工液を噴出するようになっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の放電表面処理装置。
4. 前記放電電極は、中実状であって、
   前記供給ノズルは、前記加工ヘッドに設けられ、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の放電表面処理装置。
5. 前記供給ノズルは、一部が前記ワーク治具に対する固定部に直接的又は間接的に接触した状態の下で、前記放電電極の消耗量に応じて前記加工ヘッドに対して相対的にＺ軸方向へ移動可能に構成されていることを特徴とする請求項４に記載の放電表面処理装置。

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