JP2010062152A5 - - Google Patents

Claims (34)

1. 質量分析計であって、
   プラズマに導入したサンプルから、不要な人工イオンおよび不要な気体成分を含むイオンビームを発生させるイオン源と、
   前記イオンビームの少なくとも一部を受け入れるように配置され、前記イオンビーム中の不要なイオンビームを除去するための対象ガスによって加圧される、真空チャンバ内に配置された衝突セルと、
   前記衝突セルの上流側に設けられ、前記イオンソースから前記衝突セルへの気体負荷を減少させるイオン光学装置と、
   分析チャンバ内に配置され、前記衝突セルからのイオンビームの少なくとも一部を受け入れ、受け入れたイオンビームを質量分析して質量スペクトルを生成する、質量対電荷比分析装置と、
   を含む、
   質量分析計。
2. 請求項１に記載の質量分析計であって、
   イオン光学装置を含むイオン透過増幅装置をさらに含む、
   質量分析計。
3. 請求項１に記載の質量分析計であって、
   前記イオン光学装置は、４重極、多数極、イオンガイド、イオンレンズまたは選択装置を含む、
   質量分析計。
4. 請求項３に記載の質量分析計であって、
   前記イオン光学装置は、磁気セレクタを含む、
   質量分析計。
5. 請求項１に記載の質量分析計であって、
   前記イオン光学装置は、質量選択的である、
   質量分析計。
6. 請求項１に記載の質量分析計であって、
   前記イオン源からのイオンの一部を、前記イオン光学装置の上流側に設けられた膨張チャンバに供給するサンプリング開口をさらに含む、
   質量分析計。
7. 請求項６に記載の質量分析計であって、
   前記膨張チャンバからのイオンビームの一部を前記真空チャンバに供給する開口をさらに含む、
   質量分析計。
8. 請求項１に記載の質量分析計であって、
   前記イオンビームのイオンは、前記イオン光学装置を１つの軸に沿って通過する、
   質量分析計。
9. 請求項８に記載の質量分析計であって、
   前記不要な気体成分である中性気体は、前記イオン光学装置の軸から分散する、
   質量分析計。
10. 請求項９に記載の質量分析計であって、
    前記イオンビームを、前記質量対電荷分析装置の上流において前記軸から偏向させる、
    質量分析計。
11. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    前記イオンビームは、１つの軸に沿って進む第１の部分と、前記質量対電荷分析装置の上流側において前記軸から偏向されている第２の部分を含む経路に沿って進む、
    質量分析計。
12. 請求項１１に記載の質量分析計であって、
    前記イオンビームを、前記質量対電荷分析装置の上流において前記軸から偏向させるデフレクタをさらに含む、
    質量分析計。
13. 請求項１２に記載の質量分析計であって、
    前記デフレクタは、二重デフレクタを含む、
    質量分析計。
14. 請求項１２に記載の質量分析計であって、
    前記デフレクタは、静電セクタを含む、
    質量分析計。
15. 請求項１４に記載の質量分析計であって、
    前記静電セクタは、直列された２つの円筒状静電セクタを含む、
    質量分析計。
16. 請求項１１に記載の質量分析計であって、
    前記イオンビームを、前記衝突セルの下流において前記軸から偏向させる、
    質量分析計。
17. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    前記イオンビームは、１つの軸に沿って進み、不要な気体成分は前記軸から分散する、
    質量分析計。
18. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    前記イオン光学装置は、前記衝突セルによって受け取られる少なくとも一部のイオンビームがイオン源からの中性気体成分を実質的に含まないようにする、
    質量分析計。
19. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    さらに、衝突セル内にイオン光学装置を有し、このイオン光学装置は、前記イオンビームを、衝突セルを通過するように閉じ込める、
    質量分析計。
20. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    前記真空チャンバを第１の真空圧力に維持する第１ポンプと、
    前記分析チャンバを第２の真空圧力に維持する第２ポンプと、
    をさらに含む、
    質量分析計。
21. 請求項１に記載の質量分析計であって、
    前記イオン光学装置が配置される中間真空チャンバをさらに含む、
    質量分析計。
22. 請求項２１に記載の質量分析計であって、
    前記中間真空チャンバを第１の真空圧力に維持する第１ポンプと、
    前記真空チャンバを第１の真空圧力より低い第２の真空圧力に維持する第２ポンプと、
    をさらに含む、
    質量分析計。
23. イオン源において、不要な人工イオンおよび不要な気体成分を含むイオンビームを発生させるステップと、
    衝突セルの上流側において、前記イオンソースから前記衝突セルへの気体負荷を減少させるステップと、
    不要な人工イオンを前記衝突セル内のイオンビームから除去するために対象ガスにより前記衝突セルを加圧するステップと、
    前記衝突セルにおいて、前記イオン源からの中性ガス成分を実質的に含まない前記イオンビームの少なくとも一部を受け入れるステップと、
    質量対電荷比分析装置において、前記衝突セルからのイオンビームの少なくとも一部を受け入れるステップと、
    を含む、
    質量分析計の運転方法。
24. 請求項２３に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記気体負荷を減少させるステップは、前記イオンビームにイオン透過増幅装置を通過させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
25. 請求項２４に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームのイオンを前記イオン透過増幅装置の第１軸に沿って通過させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
26. 請求項２４に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記気体負荷を減少させるステップは、前記不要な気体成分の中性気体を前記第１軸から分散させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
27. 請求項２４に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオン源からのイオンの一部を、サンプリング開口を介し、前記イオン透過増幅装置の蒸留の真空膨張チャンバに導入するステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
28. 請求項２４に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオン透過増幅装置は中間真空チャンバ内に配置されるとともに、前記衝突セルは、１つの真空チャンバ内に配置され、
    中間真空チャンバを第１の真空圧力に真空排気するステップと、前記真空チャンバを前記第１の真空圧力より低い第２の真空圧力に真空排気するステップと、
    を含む、
    質量分析計の運転方法。
29. 請求項２３に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記衝突セルは、１つの真空チャンバ内に配置され、前記質量対電荷比分析装置は、分析チャンバ内に配置され、
    前記真空チャンバを第１の真空圧力に真空排気するステップと、前記分析チャンバを前記第１の真空圧力より低い第２の真空圧力に真空排気するステップと、
    を含む、
    質量分析計の運転方法。
30. 請求項２３に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームは、イオンが軸に沿って進む部分を含み、
    前記質量対電荷比分析装置の上流において前記イオンビームを前記軸から偏向させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
31. 請求項３０に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームを前記軸から偏向させるステップは、イオンビームを静電的に偏向させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
32. 請求項３０に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームを前記軸から偏向させるステップは、イオンビームを２度偏向させるステップを含む、
    質量分析計の運転方法。
33. 請求項３０に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームは、前記衝突セルの下流において前記軸から外れるように偏向させられる、
    質量分析計の運転方法。
34. 請求項２３に記載の質量分析計の運転方法であって、
    前記イオンビームは、経路に従って進み、不要な気体成分は、この経路から分散する、
    質量分析計の運転方法。