JP2010060950A5

JP2010060950A5 -

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Publication number: JP2010060950A5
Application number: JP2008227747A
Authority: JP
Filing date: 2008-09-05
Publication date: 2011-02-03

Claims

第一の主面に、当該第一の主面に対して傾斜する第一の傾斜面を有する第一の凹部が形成された第一の単結晶シリコン基板と、
前記第一の単結晶基板と対向する第二の主面に、当該第二の主面に対して傾斜する第二の傾斜面を有する第二の凹部が形成された第二の単結晶シリコン基板と、
前記第一の単結晶シリコン基板の第一の主面と前記第二の単結晶シリコン基板の第二の主面との間に設けられ、両主面を各々前記第一の単結晶シリコン基板の第一の主面と前記第二の単結晶シリコン基板の第二の主面とに接合され、前記第一の傾斜面と前記第二の傾斜面との間にある主面に光学フィルタを有する第一の基板と、
を有し、
前記第一の傾斜面及び前記第二の傾斜面は、前記第一の基板の両主面に対して傾斜しており、光モジュールに入射した光は、前記第一の傾斜面、前記第一の基板、前記第二の傾斜面を通って出射することを特徴とする光モジュール。
前記第二の単結晶基板の前記第二の主面とは反対の主面に接合され、その表面に光素子を有する第二の基板とを有することを特徴とする請求項１記載の光モジュール。
前記単結晶シリコン基板の各々に形成された前記第一及び第二の傾斜面は、前記単結晶シリコン基板の（１１１）結晶面であることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
前記第一及び第二の基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項２記載の光モジュール。
前記第一の基板及び前記第二の基板と、前記第一の単結晶基板、前記第二の単結晶基板とが陽極接合、接着剤、はんだ接合のいずれかの方法により接合されていることを特徴とする請求項２記載の光モジュール。
前記第二の基板と前記光素子の間に、光を透過し、その屈折率が空気の屈折率よりも大きい透明樹脂を備えたことを特徴とする請求項２記載の光モジュール。
前記光素子は、光を遮断する非透過性樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６記載の光モジュール。
前記光素子は受光素子であり、
前記第一の単結晶基板の前記第一の主面の反対の主面から入射した光は、前記第一の傾斜面から出射し、
当該第一の単結晶基板を出射した光は、前記第一の基板の光学フィルタを透過または反射し、
前記光学フィルタを透過または反射した光は、前記第二の傾斜面から前記第二の単結晶基板に入射して、前記第二の基板を経て前記受光素子に到ることを特徴とする請求項２記載の光モジュール。
前記光フィルタを透過または反射するときに、異なる波長の二つ以上の光に分光されることを特徴とする請求項８記載の光モジュール。
発光素子を出射した光は、前記第二の単結晶基板の前記第二の主面の反対の主面から入射して前記第二の傾斜面から出射し、
当該第二を出射した光は、前記光学フィルタを透過し、
前記光学フィルタを透過した光は、前記第一の傾斜面から前記第一の単結晶基板に入射して、前記第一の主面の反対の主面から出射することを特徴とする請求項１記載の光モジュール。
前記第一の傾斜面と、前記第二の傾斜面とは、略並行であることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
第一主面とこれに対向する第二主面とを有し、該第一主面及び第二主面に光学フィルタが設けられている第一の基板と、前記第一の基板の第一主面に接合され、前記第一の基板と接合される主面に、傾斜面を有する凹部を有する第一の単結晶シリコン基板と、前記第一の基板の第二主面に接合され、接合される主面に、傾斜部を有する凹部を有し、当該傾斜部は前記第一の単結晶の傾斜部と略平行である第二の単結晶シリコン基板とを接合することによりフィルタ素子を製造する工程を有する光モジュールの製造方法。
第二の基板に受光素子を実装する工程と、
前記受光素子を実装した第二の基板を、前記受光素子を駆動させて前記フィルタ素子に対して位置合わせを行い、前記製造したフィルタ素子に接合する工程とを含むことを特徴とする請求項１２記載の光モジュールの製造方法。
前記フィルタ素子を製造する工程は、
ウェハ形状の前記第一の基板の前記第一主面及び第二主面に複数組の前記光学フィルタを設ける工程と、
ウェハ形状の前記第一の単結晶基板及び第二の単結晶基板とに複数の前記凹部を形成する工程と、
前記第一の基板の光学フィルタに前記凹部が対応するように位置合わせをし、前記第一の基板の両面に前記第一の単結晶基板と第二の単結晶基板とを接合する工程と、
接合した前記第一の基板、第一及び第二の基板を、前記凹部ごとに切断する工程とを含むことを特徴とする請求項１２に記載の光モジュールの製造方法。
前記単結晶シリコン基板の各々に形成された前記第一及び第二の傾斜面は、前記単結晶シリコン基板の（１１１）結晶面であることを特徴とする請求項１２に記載の光モジュール。
前記第一及び第二の基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項１３記載の光モジュール。
前記第一の基板及び前記第二の基板と、前記第一の単結晶基板、前記第二の単結晶基板とが陽極接合、接着剤、はんだ接合のいずれかの方法により接合されていることを特徴とする請求項１３記載の光モジュール。
前記第一の傾斜面と、前記第二の傾斜面とは、略並行であることを特徴とする請求項１２に記載の光モジュール。