JP2010049255A - 光ビームスプリッタ - Google Patents

Abstract

【課題】従来の方法及びシステムに付随する欠点や問題の少なくとも一部を実質的に除去または低減する、光ビームスプリッタを提供する。
【解決手段】
一実施形態によると、光ビームスプリッタは、１つの入力導波路、２以上のブランチアーム、２以上のファンアウトアーム、及び２以上の出力導波路を含む。入力導波路は入力光ビームを受け取る。２以上のブランチアームは、分離点において入力導波路に結合し、分離点において入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する。各ファンアウトアームは、ブランチアームの１つに結合し、２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトする。各出力導波路は、ファンアウトアームの１つに結合し、２以上の光ビームの１つを光ビームスプリッタから送出する。
【選択図】図２

Description

本開示は光学に関し、特に光ビームスプリッタに関する。

光通信システムにおいて、光ビームの２つ以上の光ビームへの分岐は重要な機能である。光ビームスプリッタにより、レーザ等の光源からの単一光ビームを２つ以上のデバイスに供給できる。結果として、光ビームスプリッタは、スプリッタアレイ、光インターコネクト、変調器など、多くのデバイスで利用されている。

一般的な１×２光スプリッタは、１つの入力導波路と、分離点（separation point）で入力導波路に結合した２つのファンアウトアーム（fan-out arms）と、２つの出力導波路とよりなる。入力光ビームは、光スプリッタに入ると、入力導波路を進み、分離点に至る。光ビームは、分離点において、２つのファンアウトアームに入らされ、２つの光ビームに分岐される。２つの光ビームはファンアウトアームを進み、出力導波路を介して光スプリッタを出る。

光ビームは直進するが、ファンアウトアームは一般的に分離点において大きく曲がっているので、入力光ビームの中心の少量の光はいずれのファンアウトアームにも入らない。このため、入力光ビームの伝搬損失となり、光スプリッタを出る２つの光ビームの強度が減少する。

本開示は、従来の方法及びシステムに付随する欠点や問題の少なくとも一部を実質的に除去または低減する、光ビームスプリッタを提供する。

一実施形態によると、光ビームスプリッタは、１つの入力導波路、２以上のブランチアーム、２以上のファンアウトアーム、及び２以上の出力導波路を含む。入力導波路は入力光ビームを受け取る。２以上のブランチアームは、分離点において入力導波路に結合し、分離点において入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する。各ファンアウトアームは、ブランチアームの１つに結合し、２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトする。各出力導波路は、ファンアウトアームの１つに結合し、２以上の光ビームの１つを光ビームスプリッタから送出する。

一部の実施形態の技術的優位性としては、効率的に光ビームを分岐し、伝送損失を低減することがある。他の優位性としては、デバイスサイズの縮小と、その結果として伝送損失と挿入損失が低くなることがある。実施形態によっては、従来の光スプリッタに付随する過剰な光損失を低減し、または除去するなど、一部の非効率性を排除することができる。

他の技術的な有利性は、以下の図面、詳細な説明、及び特許請求の範囲に基づき、当業者には容易に明らかとなるであろう。さらに、具体的な有利性を上記したが、様々な実施形態は上記の有利性のすべてまたは一部を含んでもよいし、全く含まなくてもよい。

本開示及びその有利性をよく理解してもらうため、添付した図面を参照しつつ以下に説明する。
本開示の実施形態を利用できる光学系を示すブロック図である。 本開示の実施形態を利用できる光学系を示すブロック図である。 本開示の一実施形態による光ビームスプリッタを示す図である。 本開示の一実施形態による光ビームスプリッタの幾何学的設計を示す図である。 本開示の一実施形態による光ビームスプリッタの幾何学的設計を示す図である。 本開示の一実施形態による光ビームスプリッタの幾何学的設計を示す図である。 本開示の他の一実施形態による光ビームスプリッタを示す図である。 本開示の一実施形態による光ビーム分岐方法を示す図である。

図１Ａと図１Ｂは、実施形態を利用できる光学系１００ａと１００ｂをそれぞれ示している。光学系１００ａは、変調光源１１０ａと、データ源１２０ａと、光スプリッタ１３０ａと、受光デバイス１４０とを含む。また、光学系１００ｂは、連続波光源１１０ｂと、データ源１２０ｂと、光スプリッタ１３０ｂと、受光デバイス１４０と、変調器１５０とを含む。光源１１０は、一般的には、光ビームを供給するレーザその他のデバイスよりなる。データ源１２０ａは、電気的データリンク１６０ａを介して、変調光源１１０ａと結合している。データ源１２０ｂは、電気的データリンク１６０ｂを介して、変調器１５０と結合している。データ源１６０は、光ビームを変調するデータを供給する。変調器１５０は、光スプリッタ１３０ｂを含み、連続波光源１１０ｂから受け取る連続波光ビームをデータ源１２０ｂからのデータで変調する。光源１１０は光リンク１７０を介して光スプリッタ１３０に結合している。受光デバイス１４０も、光リンク１７０を介して、光スプリッタ１３０ａ（光学系１００ａの場合）に、または変調器１５０（光学系１００ｂの場合）に結合している。光リンク１７０には、方形導波路、スラブ導波路（slab waveguides）、光ファイバなどの光導波路が含まれるが、これに限定されない。データ源１２０と受光デバイス１４０は集積回路（ＩＣ）でもよく、データを送受信する他の適切なデバイスであってもよい。

動作中、データ源１２０ａは、電気的データリンク１６０ａを介して、変調光源１１０ａにデータを出力する。変調光源１１０ａは、このデータを受け取り、データ源１２０ａから受け取ったデータに対応した変調光ビームを発生する。この変調光ビームは、光リンク１７０ａを介して光スプリッタ１３０ａに送られる。光スプリッタ１３０ａは、変調光ビームを受け取り、この信号ビームを２つの変調光ビームに分岐（split）する。光スプリッタ１３０ａは、この２つの変調光ビームをそれぞれ光リンク１７０ｃと１７０ｄを介して受光デバイス１４０に送信する。変調光ビームは、受光デバイス１４０により受光され、解釈（interpret）される。

追加的に、または代替的に、データ源１２０ｂは電気データリンク１６０ｂを介してデータを変調器１５０に出力する。変調器１５０内の光スプリッタ１３０ｂは、連続波光源１１０ｂからの連続波光ビームを光リンク１７０ｂを介して受け取り、この単一ビームを２つの連続波光ビームに分岐する。変調器１５０は、この２つの光ビームを結合して、データ源１２０ｂから受け取ったデータに対応する単一の変調光ビームにする。この変調光ビームは、光リンク１７０ｅを介して受光デバイス１４０に送られ、受光され解釈される。

言うまでもなく、光学系１００は光スプリッタの多数の利用例のうちの単なる一部である。また、言うまでもなく、本開示の実施形態は、図１Ａと図１Ｂに示した光学系に限定されない。本開示の実施形態は、光を分岐する必要があるどんな状況でも実施することができる。

図２は、一実施形態による光ビームスプリッタ２００を示す。光ビームスプリッタ２００は、図１Ａと図１Ｂを参照して説明した光スプリッタ１３０として利用でき、または光ビームを分岐する他の任意の適切な実施形態で利用できる。光ビームスプリッタ２００は、入力導波路２１０と、ブランチアーム（branching arms）２２０と、Ｓ字状（s-bend）ファンアウトアーム２３０と、出力導波路２４０とを含む。入力導波路２１０は、分離点（separation point）２５０においてブランチアーム２２０に結合している。各ブランチアーム２２０は、接合点（interface）２２５においてＳ字状ファンアウトアーム２３０と結合している。Ｓ字状ファンアウトアーム２３０は、接合点２３５において、出力導波路２４０に結合している。

動作中、入力光ビーム２６０は、入力導波路２１０を介して、光ビームスプリッタ２００に入る。入力光ビーム２６０は入力導波路２１０を進み、分離点（separation point）２５０に到達する。入力光ビーム２６０は、分離点２５０において、ブランチアーム２２０に入らされ、２つの光ビーム２７０ａと２７０ｂに分岐する。光ビーム２７０は、ブランチアーム２２０を進み、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０を通り、出力導波路２４０ａと２４０ｂを介して光ビームスプリッタ２００から出る。

光ビームスプリッタ２００は、ブランチアーム２２０により、従来の光スプリッタのデザインより大きく改善されている。一般的な光スプリッタでは、２つのＳ字状ファンアウトアームが入力導波路に直接的に結合している。一般的なＳ字状ファンアウトアームは、短い距離で必要な出力ピッチ（例えば、１２５μｍまたは２５０μｍ）にするため、ある曲げ半径（例えば、１０ｍｍ）を有する２つの鋭い曲がりを利用している。ファンアウトアームが入力導波路に直接的に結合しているので、ファンアウトアームにより、（ｉ）入来光ビームを２つの光ビームに分岐し、（ｉｉ）この２つの光ビームを必要な出力ピッチにファンアウト（fan-out）する。しかし、２つのファンアウトアームのこれらの機能を組み合わせることにより、一般的な光スプリッタでは入来光ビームに対して大きな伝搬ロスが生じる。しかし、光ビームスプリッタ２００は、入来光ビームを分岐する機能と、その結果得られる２つの光ビームを必要な出力ピッチにファンアウトする機能とを分離する。結果として、光ビームスプリッタ２００は、一般的な光スプリッタに付随する望ましくない伝搬ロスを低減する。

光ビームを分岐する機能とファンアウト（fan-out）する機能とを分離するため、光ビームスプリッタ２００は、まずブランチアーム（branching arms）２２０を利用して、入力光ビーム２６０を光ビーム２７０ａと２７０ｂとに分岐する。ブランチアーム２２０は、入力導波路２１０に対して僅かに傾いており、分離点（separation point）２５０においてスムースな傾斜路になっている。そのため、入力光ビーム２６０を効率的かつクリーンに分岐して光ビーム２７０ａと２７０ｂにすることができる。次に、光ビームスプリッタ２００は、２つのＳ字状ファンアウトアーム２３０を通りを利用している。これらのＳ字状ファンアウトアーム２３０はブランチアーム２２０に結合し、光ビーム２７０ａと２７０ｂをファンアウトする。Ｓ字状ファンアウトアーム２３０は、従来の光スプリッタのファンアウトアームと同様であり、それぞれある曲率半径２４５を有する曲がりを有し、光ビーム２７０ａと２７０ｂを必要な出力ピッチにファンアウトする。しかし、従来の光スプリッタとは異なり、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０は、入力光ビームを分岐する機能は行わない。この機能は、入力光ビーム２６０をクリーンかつ効率的に分岐できるブランチアーム２２０により行われる。ブランチアーム２２０の傾き角２８０は従来の光スプリッタのＳ字状ファンアウトアームの傾き角より非常に小さいからである。光ビームの分岐とファンアウトという２つの機能を分離することにより、光ビームスプリッタ２００による伝送損失は従来のスプリッタデザインの伝送損失よりも非常に小さい。

上記の通り、ブランチアーム２２０は、スムースな傾斜路となって入力光ビーム２６０を光ビーム２７０ａと２７０ｂにクリーンに分岐するために、入力導波路２１０に対して僅かに傾いている（小さな傾き角２８０を有している）。限定ではなく一例として、ブランチアーム２２０は、長さが０．５ｍｍであってもよく、及び／または入力導波路２１０に対する傾き角２８０が０．５度であってもよい。追加的に、または代替的に、ブランチアーム２２０は様々な適切な形状と大きさを有し、例えば図３Ａないし図３Ｃに示した通りである。ブランチアーム２２０は、直線状（図３Ａ）でも、凹状（図３Ｂ）でも、屈曲（図３Ｃ）していてもよく、入力光ビーム２６０を光ビーム２７０ａと２７０ｂにクリーン（cleanly）かつ効率的に分岐するためにスムースな傾斜路（ramps）となるその他の任意のジオメトリデザインであってもよい。

光ビームスプリッタ２００は、例えば、写真露光及び／またはフォトリソグラフィなどの任意の一般的な導波路構成方法で構成できる。光ビームスプリッタ２００は３つのレイヤよりなるものであってもよい：すなわち、下部クラッドレイヤ（lower cladding layer）、コアレイヤ、及び上部クラッドレイヤ（upper cladding layer）。光は光ビームスプリッタ２００のコアレイヤを通る。コアレイヤは、例えば、ポリシロキサン（polysiloxane）その他の光を通す物質よりなる。かかるコアレイヤを、図２ないし図４のいずれかに示した構成を有するように、またはその他の任意の適切な形状及び／または大きさを有するように、加工することができる。また、留意すべき点として、様々な部分を必ずしも分けて形成する必要はなく、加工時に同時に形成できることも多い（すなわち、１つのマスクを用いてスプリッタ全体を加工してもよい）。

図１Ａ、図１Ｂ及び図２の実施形態を詳細に説明したが、本技術分野の当業者は多くの変更、代替、変形、改変、修正を考えることができるであろう。例えば、図１Ａ、図１Ｂ及び図２では、入力光ビームを２つの光ビームに分岐している。しかし、他の実施形態では、入力光ビームを３つ以上の光ビームに分岐してもよい。同様に、図２には、２つのブランチアーム２２０、２つのＳ字状ファンアウトアーム２３０、及び２つの出力導波路２４０を示した。他の実施形態では、これらがそれぞれ３つ以上あってもよい。本開示は、添付した特許項の精神と範囲に入る変更、代替、変形、改変、修正をすべて含む。

図４は、他の一実施形態による光ビームスプリッタを示す。光ビームスプリッタ４００は、光ビームスプリッタ２００と同様であるが、さらに効率を高くし伝搬損失を低くする修正をしてある。上記の通り、ブランチアーム２２０の形状（geometries）は、図３Ａないし図３Ｃに示したものも含め、いろいろなものがある。ブランチアーム２２０は、図２及び図３Ａに示したように直線状である場合、接合点２２５においてＳ字状ファンアウトアーム２３０と完全にスムースにはつながらないことがある。（図２の接合点２２５は図示のため誇張していることに留意せよ。）これにより、接合点２２５を通る光信号に少量の損失が生じることがある。接合点２２５に付随するいかなる損失も減らす、または無くすように、光ビームスプリッタ４００のＳ字状ファンアウトアーム２３０を僅かに回転させてある。これは同一接線上で光学的接続を行うためである。図２のＳ字状ファンアウトアーム２３０と比較して、図４に示したように、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０ａは僅かに反時計回りに回転させてあり、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０ｂは僅かに時計回りに回転させてある。これにより、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０とブランチアーム２２０との間の接合点２２５における接続はスムースになり、この接合点に付随する光信号損失が減少する。

上記の通りＳ字状ファンアウトアーム２３０を回転させると、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０と出力導波路２４０の間の接合２３５が分離してしまう。この接合を補正するために、光ビームスプリッタ４００には、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０と出力導波路２４０との間にブリッジセグメント４１０を設ける。ブリッジセグメント４１０は、図４に示した形状であり、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０と出力導波路２４０をスムースに結合する。例えば、ブリッジセグメント４１０は、一端（接合４２５）ではＳ字状ファンアウトアーム２３０と同じ接線上の円弧であり、他端（接合４３５）では出力導波路２４０に向けてまっすぐである。その結果、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０と出力導波路２４０との間の接合が分離しなくなる。これにより、Ｓ字状ファンアウトアーム２３０とブランチアーム２２０との間の接合の改良とあいまって、従来の光スプリッタより光信号損失をさらに低減することができる。

従来の光スプリッタデザインと比較して、光ビームスプリッタ２００と４００により、光信号伝送損失を大幅に低減することができる。例えば、１０ｍｍの曲がりを有するＳ字状ファンアウトアームを用いた従来のスプリッタでは、一般的に伝送損失は約０．７ｄＢである。しかし、同様のＳ字状ファンアウトアーム（曲率半径２４５が１０ｍｍのＳ字状ファンアウトアーム２３０）を有する光ビームスプリッタ２００の伝送損失は、大きく低減され、約０．２ｄＢである。また、光ビームスプリッタ４００を用いると、伝送損失はさらに低減され、約０．０５ｄＢになる。

また、光ビームスプリッタ２００と４００は、光信号伝搬損失が同様な従来の光スプリッタと比較して、スペースを大幅に減らすことができる。例えば、曲率半径２４５が１０ｍｍであるＳ字状ファンアウトアーム２３０を用いる光ビームスプリッタ２００の伝搬損失は、５０ｍｍの曲がりを有するＳ字状ファンアウトアームを用いる（が、ブランチアームは用いていない）従来のスプリッタの伝搬損失と同程度である同様に、曲率半径２４５が１０ｍｍであるＳ字状ファンアウトアーム２３０を用いる光ビームスプリッタ４００の伝搬損失は、１５０ｍｍの曲がりを有するＳ字状ファンアウトアームを用いる（が、ブランチアームやブリッジセグメントは用いていない）従来のスプリッタの伝搬損失と同程度である。概して、光ビームスプリッタ２００と４００は、Ｓ字状ファンアウトアームがもっと大きい従来のスプリッタよりも、小さいスペースで同程度の伝搬損失を達成できる（または、同じスペースで伝送損失を小さくできる、あるいは両者を組み合わせることもできる）。このようにサイズが小さくなる結果として、従来の光スプリッタより伝送損失と挿入損失（insertion loss）が低くなる。

具体的な実施形態を詳細に説明したが、当業者はこの他の変更、追加、変形、置換、修正を考えることができるであろう。本発明は、添付した特許請求の範囲の精神と範囲に入るこうした変更、追加、変形、置換、修正はすべて本発明に含まれる。

ここで図５を参照して、光ビーム分岐方法５００を説明する。光ビーム分岐方法５００は、ステップ５１０で始まり、入力光ビームを入力導波路を介して受け取る。入力光ビームはレーザその他の光ビームを発生するデバイスから受け取ることができる。ステップ５２０において、入力導波路に結合したブランチアームを介して、入力光ビームを２つ以上の光ビームに分岐する。ブランチアームは、入力導波路に対して僅かに傾いており（slightly inclined）、上記のブランチアーム２２０と同様に、入力光ビームをクリーンに分割（clean division）する。ステップ５３０において、ステップ５２０において入力光ビームを分岐して生成した光ビームを、上記のＳ字状ファンアウトアーム２３０と同様のファンアウトアームにより、所定ピッチにファンアウト（fan-out）する。ステップ５４０において、任意的に上記のブリッジセグメント４１０と同様のブリッジセグメントを実装して、ファンアウトアームを出力導波路にブリッジしてもよい。ステップ５５０において、出力導波路を実装して、ステップ５２０における入力光ビームの分岐により生成した光ビームを出力する。

具体的な光ビーム分岐方法５００を説明したが、留意すべきことは、必要に応じて、ステップを並び替えても、修正しても、削除してもよい。また、実施形態を詳細に説明したが、当業者はこの他の変更、追加、変形、置換、修正を考えることができるであろう。本発明は、添付した特許請求の範囲の精神と範囲に入るこうした変更、追加、変形、置換、修正はすべて本発明に含まれる。

上記の実施形態に関して以下の付記を記載する。
（付記１） 光ビームスプリッタであって、
入力光ビームを受け取る入力導波路と、
分離点において前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐するように構成された、前記分離点において前記入力導波路に結合した２以上のブランチアームと、
各々が前記２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトするように構成された、前記ブランチアームの１つに結合した２以上のファンアウトアームと、
各々が前記２以上の光ビームの１つを前記光ビームスプリッタから送出するように構成された、前記ファンアウトアームの１つに結合した２以上の出力導波路とを有する光ビームスプリッタ。
（付記２） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは直線状である、付記１に記載の光ビームスプリッタ。
（付記３） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは凹形状である、付記１に記載の光ビームスプリッタ。
（付記４） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは屈曲形状である、付記１に記載の光ビームスプリッタ。
（付記５） 前記２以上のブランチアームの長さは約０．５ｍｍである、付記１に記載の光ビームスプリッタ。
（付記６） 前記２以上のブランチアームの前記入力導波路に対する傾き角は約０．５度である、付記１に記載の光ビームスプリッタ。
（付記７） 光ビームスプリッタであって、
入力光ビームを受け取る入力導波路と、
分離点において前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐するように構成された、前記分離点において前記入力導波路に結合した２以上のブランチアームと、
各々が前記２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトするように構成された、前記ブランチアームの１つに結合した２以上のファンアウトアームと、
各々が前記ファンアウトアームの１つと結合した２以上のブリッジセグメントと、
各々が前記２以上の光ビームの１つを前記光ビームスプリッタから送出するように構成された、前記ブリッジセグメントの１つに結合した２以上の出力導波路とを有する光ビームスプリッタ。
（付記８） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは直線状である、付記７に記載の光ビームスプリッタ。
（付記９） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは凹形状である、付記７に記載の光ビームスプリッタ。
（付記１０） 前記２以上のブランチアームのジオメトリは屈曲形状である、付記７に記載の光ビームスプリッタ。
（付記１１） 前記２以上のブランチアームの長さは約０．５ｍｍである、付記７に記載の光ビームスプリッタ。
（付記１２） 前記２以上のブランチアームの前記入力導波路に対する傾き角は約０．５度である、付記７に記載の光ビームスプリッタ。
（付記１３） 光ビームの分岐方法であって、
入力導波路を用いて入力光ビームを受け取る段階と、
分離点において前記入力に結合した２以上のブランチアームを用いて、前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する段階と、
２以上のファンアウトアームを用いて前記２以上の光ビームを所定の出力ピッチにファンアウトする段階とを含む方法。
（付記１４） ブリッジセグメントを用いて各光ビームを各ファンアウトアームから出力導波路にブリッジする段階をさらに含む、付記１３に記載の光ビームの分岐方法。
（付記１５） 光ビームスプリッタであって、
入力光ビームを受け取る手段と、
前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する手段と、
前記２以上の光ビームの各々を所定の出力ピッチにファンアウトする手段とを有する光ビームスプリッタ。
（付記１６） 各光ビームを各ファンアウトアームから出力導波路にブリッジする手段をさらに有する、付記１５に記載の光ビームスプリッタ。

１００ａ、１００ｂ 光学系
１１０ａ 変調光源
１１０ｂ 連続波光源
１２０ａ、１２０ｂ データ源
１３０ａ、１３０ｂ 光スプリッタ
１４０ 受光デバイス
１５０ 変調器
１７０ 光リンク
２００ 光スプリッタ
２１０ 入力導波路
２２０ ブランチアーム
２２５ 接合点
２３０ Ｓ字状ファンアウトアーム
２３５ 接合
２４０ 出力導波路
２４５ 曲率半径
２５０ 分離点
２６０ 入力光ビーム
２７０ 光ビーム
４００ 光ビームスプリッタ
４１０ ブリッジセグメント
４２５、４３５ 接合

Claims (10)

1. 光ビームスプリッタであって、
   入力光ビームを受け取る入力導波路と、
   分離点において前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐するように構成された、前記分離点において前記入力導波路に結合した、ジオメトリが直線状である２以上のブランチアームと、
   各々が前記２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトするように構成された、前記ブランチアームの１つに結合した２以上のファンアウトアームと、
   各々が前記２以上の光ビームの１つを前記光ビームスプリッタから送出するように構成された、前記ファンアウトアームの１つに結合した２以上の出力導波路とを有する光ビームスプリッタ。
2. 前記２以上のブランチアームの長さは約０．５ｍｍである、請求項１に記載の光ビームスプリッタ。
3. 前記２以上のブランチアームの前記入力導波路に対する傾き角は約０．５度である、請求項１に記載の光ビームスプリッタ。
4. 光ビームスプリッタであって、
   入力光ビームを受け取る入力導波路と、
   分離点において前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐するように構成された、前記分離点において前記入力導波路に結合した、ジオメトリが直線状である２以上のブランチアームと、
   各々が前記２以上の光ビームの１つを所定の出力ピッチにファンアウトするように構成された、前記ブランチアームの１つに結合した２以上のファンアウトアームと、
   各々が前記ファンアウトアームの１つと結合した２以上のブリッジセグメントと、
   各々が前記２以上の光ビームの１つを前記光ビームスプリッタから送出するように構成された、前記ブリッジセグメントの１つに結合した２以上の出力導波路とを有する光ビームスプリッタ。
5. 前記２以上のブランチアームの長さは約０．５ｍｍである、請求項４に記載の光ビームスプリッタ。
6. 前記２以上のブランチアームの前記入力導波路に対する傾き角は約０．５度である、請求項４に記載の光ビームスプリッタ。
7. 光ビームの分岐方法であって、
   入力導波路を用いて入力光ビームを受け取る段階と、
   分離点において前記入力に結合した、ジオメトリが直線状である２以上のブランチアームを用いて、前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する段階と、
   ２以上のファンアウトアームを用いて前記２以上の光ビームを所定の出力ピッチにファンアウトする段階とを含む方法。
8. ブリッジセグメントを用いて各光ビームを各ファンアウトアームから出力導波路にブリッジする段階をさらに含む、請求項７に記載の光ビームの分岐方法。
9. 光ビームスプリッタであって、
   入力光ビームを受け取る手段と、
   前記入力光ビームを２以上の光ビームに分岐する、ジオメトリが直線状である手段と、
   前記２以上の光ビームの各々を所定の出力ピッチにファンアウトする手段とを有する光ビームスプリッタ。
10. 各光ビームを前記２以上の光ビームの各々をファンアウトする手段から出力導波路にブリッジする手段をさらに有する、請求項９に記載の光ビームスプリッタ。

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