JP2010045076A - 発光素子の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】良好な平坦性を有する分割面を形成することが可能な発光素子の形成方法を提供する。
【解決手段】この半導体レーザ素子100(発光素子)の形成方法は、n型GaN基板60の表面上に活性層24を有する半導体素子層2を積層して半導体レーザ素子部20を形成する工程と、半導体レーザ素子部20にスクライブ溝70を形成する工程と、p型Ge基板10の半導体レーザ素子部20が接合される側の表面にスクライブ溝72を形成する工程と、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを接合する工程と、p型Ge基板10および半導体レーザ素子部20を、スクライブ溝72(溝部72a)およびスクライブ溝70(クラック71)に沿って劈開する工程とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】この半導体レーザ素子100(発光素子)の形成方法は、n型GaN基板60の表面上に活性層24を有する半導体素子層2を積層して半導体レーザ素子部20を形成する工程と、半導体レーザ素子部20にスクライブ溝70を形成する工程と、p型Ge基板10の半導体レーザ素子部20が接合される側の表面にスクライブ溝72を形成する工程と、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを接合する工程と、p型Ge基板10および半導体レーザ素子部20を、スクライブ溝72(溝部72a)およびスクライブ溝70(クラック71)に沿って劈開する工程とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、発光素子の形成方法に関する。
従来、約405nmの波長を有する青紫色光を出射する窒化物系化合物半導体からなる半導体チップ(たとえば青紫色半導体レーザ素子など)およびその製造方法が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
上記特許文献1には、予め基板の表面に割り溝(第1の割り溝)が形成されたウェハ状態のサファイア基板上に窒化物系化合物半導体を結晶成長させて半導体素子層を形成する工程と、サファイア基板の割り溝に沿ってサファイア基板および半導体素子層を分割することによりウェハのチップ化を行う工程とを備えた窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法が開示されている。この特許文献1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法では、サファイア基板上に窒化物系化合物半導体が結晶成長する際に、割り溝(第1の割り溝)が形成されていない大部分の領域に成長する半導体層と割り溝が形成された部分に成長する半導体層との結晶性の相違を利用して、素子形成後の半導体素子層がサファイア基板の割り溝の位置で容易に分割されることが可能とされている。なお、割り溝上に成長する半導体層は、割り溝のない領域上の半導体層よりも結晶性が悪く、半導体層は、結晶性の悪い部分から割れやすい性質を有している。また、基板および半導体素子層を分割する工程の前に、割り溝(第1の割り溝)上の半導体層に別な割り溝(第2の割り溝)を形成して結晶性の悪い半導体層の部分を選択的に除去する工程をさらに備えている。これにより、サファイア基板の割り溝(第1の割り溝)のみならず半導体素子層の割り溝(第2の割り溝)も利用して、より容易に、基板および半導体素子層の分割(チップ化)を行うことが可能である。
しかしながら、上記特許文献1に開示された窒化ガリウム系化合物半導体チップの製造方法では、割り溝(第1の割り溝)を有するサファイア基板上の半導体層の結晶性を利用して半導体素子層がサファイア基板に設けられた割り溝の位置で容易に素子分割される一方、半導体素子層の分割面の結晶性は、サファイア基板の割り溝が形成されていない領域に成長する半導体層の結晶性よりも悪いため、素子分割時に、平坦性が求められる半導体レーザ素子の共振器面などを形成する場合、上記の製造方法では良好な平坦性を有する分割面を形成しにくいという問題点がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、良好な平坦性を有する分割面を形成することが可能な発光素子の形成方法を提供することである。
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による発光素子の形成方法は、成長用基板の表面上に発光層を有する半導体素子層を形成する工程と、半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程と、支持基板の半導体素子層が接合される側の表面に分割用溝を形成する工程と、支持基板と半導体素子層とを接合する工程と、支持基板および半導体素子層を、分割用溝および劈開導入用溝に沿って分割する工程とを備える。
この発明の一の局面による発光素子の形成方法では、上記のように、成長用基板の表面上に半導体素子層を形成する工程と、半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程と、分割用溝が形成された支持基板と半導体素子層とを接合する工程と、支持基板および半導体素子層を分割用溝および劈開導入用溝に沿って分割する工程とを備えることによって、成長用基板上に均質で良好な結晶性を有するように形成された半導体素子層を劈開導入用溝に沿って支持基板とともに分割することができるので、半導体素子層の分割面を劈開面からなるように形成することができる。これにより、半導体素子層に良好な平坦性を有する分割面が形成された発光素子を得ることができる。
上記一の局面による発光素子の形成方法において、好ましくは、分割用溝および劈開導入用溝は、共に、支持基板および半導体素子層を分割する際の分割面内に形成される。このように構成すれば、接合後の支持基板と半導体素子層とを略同じ位置において分割することができるので、支持基板の分割面と半導体素子層の分割面とがずれた状態で分割される場合と異なり、接合状態にある支持基板と半導体素子層とを容易に分割することができる。
上記一の局面による発光素子の形成方法において、好ましくは、劈開導入用溝を形成する工程は、半導体素子層に破線状の劈開導入用溝を形成する工程を含む。このように構成すれば、各々の劈開導入用溝の端部を起点とするとともに、隣接する劈開導入用溝間を繋ぐようなクラックを半導体素子層の表面近傍に形成することができる。これにより、半導体素子層はクラックを起点として劈開されるので、良好な平坦性を有する分割面を容易に形成することができる。
上記一の局面による発光素子の形成方法において、好ましくは、半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程は、支持基板と半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、分割用溝を形成する工程は、支持基板と半導体素子層とを接合する工程の後に行われる。このように構成すれば、予め劈開導入用溝が形成された半導体素子層に支持基板を接合した状態で、支持基板に劈開導入用溝が形成された位置に対応するように分割用溝を形成することができる。この結果、接合後の支持基板と半導体素子層とを略同じ位置において確実に分割することができる。
上記一の局面による発光素子の形成方法において、好ましくは、支持基板に分割用溝を形成する工程は、支持基板と半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程は、支持基板と半導体素子層とを接合する工程の後に、成長用基板が除去された側の半導体素子層の表面に劈開導入用溝を形成する工程を含む。このように構成すれば、予め分割用溝が形成された支持基板に半導体素子層を接合した状態で、半導体素子層に劈開導入用溝を形成することができるので、半導体素子層に分割用溝が形成された位置に対応するように劈開導入用溝を形成することができる。この結果、接合後の支持基板と半導体素子層とを略同じ位置において確実に分割することができる。
上記一の局面による発光素子の形成方法において、好ましくは、半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程および支持基板に分割用溝を形成する工程は、共に、支持基板と半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、支持基板と半導体素子層とを接合する工程は、支持基板の分割用溝が形成される側の表面と、半導体素子層の劈開導入用溝が形成される側の表面とを接合することにより支持基板と半導体素子層とを接合する工程を含む。このように構成すれば、支持基板の分割用溝と半導体素子層の劈開導入用溝とが向き合った状態で支持基板と半導体素子層とを接合することができるので、分割用溝の位置と劈開導入用溝の位置とを確実に対応させて支持基板と半導体素子層とを接合することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。まず、図1を参照して、第1実施形態による半導体レーザ素子100の構造について説明する。なお、第1実施形態では、発光素子の一例である半導体レーザ素子の形成方法に本発明を適用した場合について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。まず、図1を参照して、第1実施形態による半導体レーザ素子100の構造について説明する。なお、第1実施形態では、発光素子の一例である半導体レーザ素子の形成方法に本発明を適用した場合について説明する。
本発明の第1実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子100では、図1に示すように、共振器端面100aに略平行な方向(B方向)に約400μmの長さを有するとともに半導体層の積層方向(C1方向)に約100μmの厚みを有するp型Ge基板10の表面上に、約1.3μmの厚みを有する半導体レーザ素子部20が、導電性を有する融着層1を介して接合された構造を有している。なお、p型Ge基板10は、本発明の「支持基板」の一例である。また、半導体レーザ素子部20は、発振波長が約400nm帯のGaN系化合物半導体層により構成されている。
また、半導体レーザ素子100は、図1に示すように、共振器長(A方向の長さ)が、約800μmを有するとともに、共振器方向(A方向)の両端部に、p型Ge基板10の主表面(上面)に対して略垂直な一対の共振器端面100aが形成されている。
ここで、第1実施形態では、p型Ge基板10のA方向の端面10aの両端部には、端面10aと異なる端面10bを有する段差部10cがそれぞれ形成されている。この段差部10cは、後述する製造プロセスにおいて、ウェハ状態のp型Ge基板10をB方向に分割(バー状劈開)する際の分割用溝(スクライブ溝72)が、分割後にp型Ge基板10に残された部分である。また、p型Ge基板10のB方向の端面10dには、A方向に延びる段差部10eが形成されている。この段差部10eについても、バー状態のp型Ge基板10をA方向に分割(チップ化)する際の分割用溝(素子分割用溝73)が、分割後にp型Ge基板10に残された部分である。
また、半導体レーザ素子100の共振器端面100aには、製造プロセスにおける端面コート処理により、AlN膜やAl2O3膜などからなる誘電体多層膜(図示せず)が形成されている。
また、半導体レーザ素子部20には、図1に示すように、約0.2μmの厚みを有するアンドープ単結晶Al0.1Ga0.9Nからなる下地層21の下面上に、約1μmの厚みを有するSiドープ単結晶Al0.2Ga0.8Nからなるn型層22と、約1.5μmの厚みを有するSiドープ単結晶Al0.3Ga0.7Nからなるn型クラッド層23とが形成されている。また、n型クラッド層23の下面上には、約2nmの厚みを有するアンドープ単結晶Al0.1Ga0.9Nからなる井戸層(図示せず)と約20nmの厚みを有するアンドープAl0.2Ga0.8Nからなる障壁層(図示せず)とが2層ずつ交互に積層されたMQW構造を有する活性層24が形成されている。なお、活性層24は、本発明の「発光層」の一例である。
また、活性層24の下面上には、約25nmの厚みを有するアンドープ単結晶Al0.4Ga0.6Nからなるキャリアブロック層25と、約400nmの厚みを有するMgドープ単結晶Al0.3Ga0.7Nからなるp型クラッド層26とが形成されている。なお、p型クラッド層26は、B方向の略中央部に形成されるとともに下方(C1方向)に突出する凸部と、凸部の両側に延びる平坦部とを有している。このp型クラッド層26の凸部によって、活性層24の部分に光導波路を構成するためのリッジ部50が形成されている。また、リッジ部50は、B方向に約2μmの幅を有するとともに、A方向に沿って延びるように形成されている。また、p型クラッド層26の凸部の下面上には、約5nmの厚みを有するMgドープ単結晶Al0.1Ga0.9Nからなるp側コンタクト層27が形成されている。
また、p型クラッド層26の平坦部の下面とリッジ部50の側面(p型クラッド層26の凸部およびp側コンタクト層27の両側面)とを覆うように約45nmの厚みを有するSiO2からなる電流ブロック層28が形成されている。また、p側コンタクト層27の下面上には、p側コンタクト層27から近い順に、約3nmの厚みを有するPd層および約10nmの厚みを有するAu層からなるp側オーミック電極29が形成されている。また、p側オーミック電極29および電流ブロック層28の下面のp側オーミック電極29側を覆うように、約30nmの厚みを有するTi層、約100nmの厚みを有するPd層および約300nmの厚みを有するAu層からなるp側パッド電極30が形成されている。また、下地層21の上面上には、下地層21から近い順に、約6nmの厚みを有するAl層、約10nmの厚みを有するPd層および約300nmの厚みを有するAu層からなるn側電極31が形成されている。
また、p型Ge基板10の上面上には、p型Ge基板10から近い順に、約150nmの厚みを有するNi層、約300nmの厚みを有するAu層および約1μmの厚みを有するAu−Ge12%合金層からなるオーミック電極層11が形成されている。また、p型Ge基板10の下面上には、p型Ge基板10から近い順に、約100nmの厚みを有するNi層および約300nmの厚みを有するAu層からなるアノード側電極12が形成されている。
また、融着層1は、p側パッド電極30から近い順に、約1μmの厚みを有するAu−Ge12%合金層、約3μmの厚みを有するAu−Sn90%合金層および約1μmの厚みを有するAu−Ge12%合金層が積層されている。これにより、半導体レーザ素子100では、半導体レーザ素子部20側のp側パッド電極30とp型Ge基板10側のオーミック電極層11とが融着層1を介して接合されている。
図2〜図14は、図1に示した第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスを説明するための図である。次に、図1〜図14を参照して、第1実施形態による半導体レーザ素子100の製造プロセスについて説明する。
まず、図2に示すように、減圧MOCVD法を用いて、n型GaN基板60の上面上に、剥離層61、下地層21、n型層22、n型クラッド層23、活性層24、キャリアブロック層25、p型クラッド層26およびp側コンタクト層27を順次積層して半導体素子層2を形成する。なお、n型GaN基板60は、本発明の「成長用基板」の一例である。
なお、成長用基板として用いるn型GaN基板60には、図2に示すように、厚み方向(C2方向)に延びるとともに、B方向に約400μmの間隔でストライプ状に配置される結晶欠陥の多い欠陥集中領域60aが複数設けられている。このn型GaN基板60は、所定の領域(欠陥集中領域60a)に結晶欠陥を集中して形成することにより、欠陥集中領域60a以外の広い領域の結晶欠陥を低減させた基板である。この結果、図2に示すように、結晶成長後の半導体素子層2は、欠陥集中領域60a上に、半導体素子層2内に結晶欠陥を伴いながら結晶成長した領域2aと、半導体素子層2内に結晶欠陥を伴わずに結晶成長した略平坦な領域2bとが形成される。
ここで、第1実施形態の製造プロセスでは、図3および図4に示すように、n型GaN基板60(図4参照)上の半導体素子層2に、レーザスクライブ法を用いて、B方向に略直線状に延びる破線状のスクライブ溝70を形成する。具体的には、約80μmの長さを有する溝部70aが約320μmの間隔を隔ててB方向に延びるようにスクライブ溝70を破線状に形成するとともに、A方向に約800μm(図3参照)の間隔を隔ててスクライブ溝70を複数形成する。また、溝部70aの部分が、半導体素子層2の表面の領域2aに対応するようにスクライブ溝70を形成する。
なお、上記レーザスクライブでは、約200mWの出力に調整されたレーザ光を、半導体素子層2の上方から半導体素子層2の表面に向かって非接触の状態でB方向に約5mm/sの走査速度にて照射する。また、レーザ光の焦点位置をジャストフォーカスの状態(レンズにより集光されたレーザ光の焦点が、溝部70aが形成される半導体素子層2の位置に調整された状態)にしてスクライブ溝70を形成する。この結果、図4に示すように、約3μmの厚みに形成された半導体素子層2には、n型GaN基板60の内部まで達する深さを有するスクライブ溝70が形成される。これにより、図3に示すように、B方向に隣接する溝部70aの端部70bを起点として溝部70a間の半導体素子層2の部分に、略直線状のクラック71(破線で示す)が形成される。またクラック71は、B方向に約320μmの長さを有し、半導体素子層2の表面の領域2bに対応するように形成される。なお、スクライブ溝70は、本発明の「劈開導入用溝」の一例である。ここで、上述した半導体素子層2にクラック71を形成する工程は、半導体素子層2を積層した直後に行っているが、後述する支持基板側の準備工程(p型Ge基板10上にオーミック電極層11および融着層1aを形成する工程)が完了するまでに、半導体素子層2にクラック71を形成するようにしてもよい。
その後、図5に示すように、半導体素子層2にA方向に延びる複数の凹部80(B方向の溝幅は約100μm)を形成することにより、結晶欠陥の多い領域2a(図4参照)の部分と領域2aの両側の領域2bの一部とを除去する。この結果、半導体素子層2は、凹部80によってB方向に分離されて各々が短冊状に形成される。
なお、上記工程を備えることによって、結晶欠陥による内部応力の発生や半導体層の平坦性の低下が抑制された半導体素子層2(領域2bの部分)を用いて半導体レーザ素子部を形成することが可能となる。
その後、p型クラッド層26の部分からC2方向に凸形状を有するとともにA方向にストライプ状に延びるリッジ部50(図5参照)を形成する。その後、プラズマCVD法を用いて電流ブロック層28を形成するとともに、真空蒸着法を用いて、p側オーミック電極29とp側パッド電極30とを形成する。
その後、p側パッド電極30上に、後述する支持基板(p型Ge基板10)を接合するための接着層として、Au−Ge12%合金層、Au−Sn90%合金層およびAu−Ge12%合金層の3層をこの順に積層して約4μmの合計厚みを有する融着層1を予め形成する。このようにして、n側電極31を除いたウェハ状態のn型GaN基板60上にA方向に短冊状に延びる複数の半導体レーザ素子部20が形成される。
次に、図6に示すように、支持基板として用いるp型Ge基板10の上面上の所定の領域に、電子ビーム蒸着法(EB法)により、A方向に短冊状に延びるオーミック電極層11をB方向に約400μmの周期で複数形成する。なお、オーミック電極層11は、p型Ge基板10のB方向に約320μmの幅を有するように形成される。その後、各々のオーミック電極層11上に、約1μmの厚みを有するAu−Ge12%合金層からなる融着層1aを予め形成する。
そして、図7および図8に示すように、n型GaN基板60側に形成された半導体レーザ素子部20のp側パッド電極30側と、p型Ge基板10側に形成されたオーミック電極層11とを対向させながら、温度約295℃、荷重約100N/cm2の条件下で融着層1および1aを溶融させて接合する。この際、第1実施形態の製造プロセスでは、図7に示すように、p型Ge基板10のB方向に隣接するオーミック電極層11間の領域10fの部分とn型GaN基板60に形成されているスクライブ溝70(溝部70a(破線枠内))の位置とが、B方向に略一致するように半導体レーザ素子部20とp型Ge基板10とを接合する。
その後、図9に示すように、Nd:YAGレーザ光の第2高調波(波長:約532nm)を、約500mJ/cm2〜約2000mJ/cm2のエネルギ密度に調整した上で、n型GaN基板60の下面側からn型GaN基板60に向けて断続的(パルス状)に照射する。なお、レーザ光は、リッジ部50の延びる方向と平行にn型GaN基板60の下面側の全域にわたって走査速度が約5mm/sで照射される。そして、レーザ光の照射により、内部に積層された剥離層61(破線で示す)の結晶結合が全面的にまたは局所的に破壊される。これにより、n型GaN基板60が、剥離層61の破壊領域に沿って、半導体レーザ素子部20側からC1方向に剥離される。なお、レーザ光は、GaNを透過し、剥離層61で吸収される波長であれば、YAGレーザ光以外の他のレーザ光源を用いてもよい。また、C1方向に剥離されたn型GaN基板60は、表面処理を行うことにより、再び成長用基板として利用される。
その後、図10に示すように、半導体レーザ素子部20の下面側に露出した厚さ約3μmを有する下地層21を、表面の清浄化を目的としてエッチング加工により約0.2μmの厚さに形成する。その後、下地層21の下面上に、真空蒸着法を用いてn側電極31を形成する。また、p型Ge基板10の上面上に、真空蒸着法を用いてアノード側電極12を形成する。このようにして、p型Ge基板10側に貼り替えられたウェハ状態の半導体レーザ素子100が形成される。
ここで、第1実施形態の製造プロセスでは、図10および図11に示すように、半導体レーザ素子部20が接合された側のp型Ge基板10の表面(領域10fの部分)に、レーザスクライブ法を用いて、B方向に略直線状に延びるスクライブ溝72を形成する。具体的には、約100μmの溝部72aが約300μmの間隔を隔ててB方向に延びるようにスクライブ溝72を破線状に形成するとともに、A方向に約800μmの間隔を隔ててスクライブ溝72を複数形成する。これにより、図10に示すように、スクライブ溝72は、溝部72a(破線枠内)の部分が、半導体レーザ素子部20が接合されていないp型Ge基板10の領域10fの部分に対応するように形成される。また、半導体レーザ素子部20の半導体素子層2(図3参照)の部分に形成されているクラック71のA方向の位置と略一致するようにスクライブ溝72を形成する。これにより、図11に示すように、半導体レーザ素子部20のクラック71とp型Ge基板10の溝部72aとがB方向に沿って略直線状に並び、この後の工程で、この線に沿って分割面(端面10aおよび共振器端面100a(図1参照))が形成される。なお、スクライブ溝72は、本発明の「分割用溝」の一例である。
また、上記レーザスクライブにおいて、第1実施形態の製造プロセスでは、まず、第1回目の照射として、約180mWの出力に調整されたレーザ光を、p型Ge基板10の上方からp型Ge基板10(領域10f)の表面に向かって非接触の状態でB方向に約5mm/sの走査速度にて照射する。この際、レーザ光の焦点を「+30μm」の状態(レンズにより集光されたレーザ光の焦点が、溝部72aが形成されるp型Ge基板10の表面から半導体素子層2側に約30μmの位置に調整された状態)にする。これにより、レーザ光が照射された破線状の部分のp型Ge基板10が溶融して溝部72aが形成される。なお、Geは約959℃の融点を有するので、溝部72aの内側面には、溶融したGeの一部(図示せず)が付着する。
その後、第1実施形態の製造プロセスでは、再度、第2回目の照射として、約180mWの出力に調整されたレーザ光を、B方向に第1回目の走査速度(約5mm/s)よりも大きい約10mm/sの走査速度と「+35μm」のレーザ光焦点の状態(焦点がp型Ge基板10の表面から半導体素子層2側に約35μmの位置である状態)とに調整して、溝部72aの部分に照射する。これにより、溶融したGeの付着物が破線状の溝部72aの内側面から完全に除去される。
その後、図12に示すように、刃状治具90をスクライブ溝72(図11参照)の形成された位置にB方向に沿ってp型Ge基板10の下面側(アノード側電極12側)からウェハに当接させるとともに、ウェハの上面側(半導体レーザ素子部20側)が開くように荷重を印加することによって、ウェハをスクライブ溝72の位置でB方向に沿って劈開する。これにより、ウェハは、図11に示した半導体レーザ素子部20のクラック71とp型Ge基板10の溝部72aとの水平方向(A方向)の位置が揃った状態でA方向に分割されて、一対の共振器端面100aを有するバー状態の半導体レーザ素子100(図12参照)が形成される。また、バー状態の半導体レーザ素子100に対して、端面コート処理を行う。これにより、共振器端面100aには、AlN膜やAl2O3膜などからなる誘電体多層膜(図示せず)が形成される。
次に、図13に示すように、レーザスクライブ法を用いて、バー状態のウェハ(半導体レーザ素子100)のp型Ge基板10の裏面側(アノード側電極12側)から、B方向に約400μmの間隔で、リッジ部50の延びる方向(A方向)に沿って約40μmの深さを有する素子分割用溝73を形成する。その際、一対の共振器端面100aから素子の内側方向(A方向)に約15μmの距離を隔てて約770μmの長さを有する素子分割用溝73を形成する。なお、素子分割用溝73を形成するレーザスクライブには、上述のスクライブ溝72(図11参照)を形成した場合と同様のレーザ照射条件を適用する。
この状態で、図14に示すように、刃状治具91を素子分割用溝73の形成された位置にA方向に沿ってp型Ge基板10の下面側(半導体レーザ素子部20が接合されている側のp型Ge基板10の表面)からバー状態のウェハに当接させるとともに、バー状態のウェハの裏面側(アノード側電極12側)が開くように荷重を印加することにより、バー状態のウェハを、素子分割用溝73の位置でA方向に沿って分割する。これにより、バー状態のウェハが、図1に示すように、B方向に約400μmの幅(p型Ge基板10の幅)およびA方向に約800μmの長さ(共振器長)を有するレーザチップに分割されて、半導体レーザ素子100が多数形成される。
第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、上記のように、n型GaN基板60の表面上に半導体素子層2を形成する工程と、半導体素子層2にスクライブ溝70を形成する工程と、スクライブ溝72が形成されたp型Ge基板10と半導体レーザ素子部20(半導体素子層2)とを接合する工程と、p型Ge基板10および半導体レーザ素子部20をスクライブ溝72およびスクライブ溝70に沿ってバー状に劈開する工程とを備えることによって、n型GaN基板60上に均質で良好な結晶性を有するように形成された半導体素子層2をスクライブ溝70に沿ってp型Ge基板10とともにバー状に分割することができるので、半導体レーザ素子部20(半導体素子層2)の分割面(共振器端面100a)を劈開面からなるように形成することができる。これにより、半導体レーザ素子部20に良好な平坦性を有する共振器端面100aが形成された半導体レーザ素子100を得ることができる。また、半導体レーザ素子部20に平坦性を有する共振器端面100aを形成することができるので、平坦性が良好でない共振器端面を有する半導体レーザ素子とは異なり、レーザ光の出射効率の低下が抑制された半導体レーザ素子100を得ることができる。
また、第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、スクライブ溝70(クラック71)およびスクライブ溝72を、共に、p型Ge基板10および半導体レーザ素子部20を分割する際の分割面(端面10aおよび共振器端面100a)内に形成することによって、接合後のp型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とをA方向の略同じ位置にてバー状劈開することができるので、p型Ge基板10の分割面(端面10a)と半導体レーザ素子部20の分割面(共振器端面100a)とがずれた状態で分割される場合と異なり、接合状態にあるp型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを容易に劈開して分割することができる。
また、第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、スクライブ溝70を形成する工程が、半導体素子層2に溝部70aを有する破線状のスクライブ溝70を形成する工程を含むことによって、各々の溝部70aの端部70bを起点とするとともに、隣接する溝部70a間を繋ぐようなクラック71を半導体素子層2に形成することができる。これにより、半導体素子層2はクラック71を起点として劈開されるので、良好な平坦性を有する共振器端面100aを半導体レーザ素子100に容易に形成することができる。
また、第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、半導体素子層2にスクライブ溝70を形成する工程を、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20(半導体素子層2)とを接合する工程に先立って行うとともに、スクライブ溝72を形成する工程を、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを接合する工程の後に行うことによって、スクライブ溝70により予めクラック71が形成されている半導体レーザ素子部20にp型Ge基板10を接合した状態で、p型Ge基板10の領域10fにクラック71が形成された位置に対応するようにスクライブ溝72を形成することができる。この結果、接合後のp型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを共振器方向(A方向)の略同じ位置において確実に分割することができる。
また、第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20(半導体素子層2)とを接合する工程が、p型Ge基板10のスクライブ溝72が形成される側の表面と、半導体素子層2のスクライブ溝70が形成される側の表面とを接合することによりp型Ge基板10と半導体レーザ素子部20とを接合する工程を含むことによって、半導体素子層2のスクライブ溝70(クラック71)が形成されている位置に対応する位置のp型Ge基板10の表面(領域10f)にスクライブ溝72を形成することができるので、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部20との接合後の状態を、スクライブ溝70の位置にスクライブ溝72が確実に対応した状態となるようにすることができる。
また、第1実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、p型Ge基板10の表面にスクライブ溝72および素子分割用溝73を形成する工程が、レーザスクライブ法によりp型Ge基板10の表面に2回にわたってそれぞれ形成する工程を含むことによって、半導体レーザ素子用の基板としては融点の低い(約959℃)比較的柔らかい材質からなるp型Ge基板10にスクライブ溝72および素子分割用溝73を形成する場合であっても、レーザ光の照射条件(走査速度や焦点距離や照射回数など)を適宜調整して複数回レーザ光を照射することによって、スクライブ溝72および素子分割用溝73を適切に形成することができる。
(第2実施形態)
図15は、本発明の第2実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。図16〜図22は、図15に示した第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスを説明するための図である。図15〜図22を参照して、この第2実施形態では、上記第1実施形態の製造プロセスと異なり、表面の所定の領域に予めスクライブ溝75が形成されたp型Ge基板10と、ウェハ状態の半導体レーザ素子部220とを接合して半導体レーザ素子200を形成する場合について説明する。なお、スクライブ溝75は、本発明の「分割用溝」の一例である。
図15は、本発明の第2実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。図16〜図22は、図15に示した第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスを説明するための図である。図15〜図22を参照して、この第2実施形態では、上記第1実施形態の製造プロセスと異なり、表面の所定の領域に予めスクライブ溝75が形成されたp型Ge基板10と、ウェハ状態の半導体レーザ素子部220とを接合して半導体レーザ素子200を形成する場合について説明する。なお、スクライブ溝75は、本発明の「分割用溝」の一例である。
本発明の第2実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子200では、図15に示すように、p型Ge基板10の表面上に、半導体レーザ素子部220が融着層1を介して接合されている。また、半導体レーザ素子200は、p型Ge基板10のB方向の長さ(約400μm)と半導体レーザ素子部220のB方向の長さとが略同一であるように形成されている。
ここで、第2実施形態では、p型Ge基板10のA方向の端面10aには、端面10aと異なる端面10bがB方向に延びるように形成されている。この端面10bは、後述する製造プロセスにおいて、ウェハ状態のp型Ge基板10をB方向に分割(バー状劈開)する際の分割用溝(スクライブ溝75)が、分割後にp型Ge基板10に残された部分である。また、半導体レーザ素子部220の共振器端面100aには、共振器端面100aと異なる端面220aがB方向に延びるように形成されている。この端面220aは、後述する製造プロセスにおいて、ウェハ状態の半導体レーザ素子部220をB方向に分割(バー状劈開)する際の分割用溝(スクライブ溝76(溝部76a))が、分割後に半導体レーザ素子部220に残された部分である。なお、半導体レーザ素子200のその他の構造は、上記第1実施形態と同様である。
次に、図2、図6、図11〜図13および図15〜図22を参照して、第2実施形態による半導体レーザ素子200の製造プロセスについて説明する。
ここで、第2実施形態による製造プロセスでは、図16に示すように、p型Ge基板10の表面に、数百μmの厚みを有するSiO2からなる保護膜92をC2方向に形成した後に、レーザスクライブ法を用いて、A方向に約800μmの間隔を隔ててB方向に略直線状に連続的(実線の状態)に延びるスクライブ溝75を複数形成する。なお、スクライブ溝75は連続的であるのがより好ましいが、破線状に形成してもよい。なお、スクライブ溝75を形成するレーザスクライブには、上記第1実施形態においてp型Ge基板10にスクライブ溝72(図11参照)を形成した場合と同様のレーザ照射条件を適用する。
また、図17に示すように、p型Ge基板10の表面にスクライブ溝75を形成する際、レーザスクライブにより溶融したGeがデブリ93(溶融したp型Ge基板10の微細な破片が飛散して固化した異物)となってスクライブ溝75近傍の保護膜92の表面などに再付着する。したがって、第2実施形態による製造プロセスでは、まず、機械研磨やエッチングによってデブリ93および保護膜92の表層部を除去する。その後、リン酸系のエッチング液などによるウェットエッチングにより、残りの保護膜92をすべて除去する。これにより、B方向に延びるスクライブ溝75が形成され、かつ、表面からデブリ93や保護膜92などが完全に除去された平坦性を有するp型Ge基板10が得られる。
その後、図6および図18に示すように、p型Ge基板10として用いるp型Ge基板10の上面上の所定の領域に、電子ビーム蒸着法(EB法)により、A方向に短冊状に延びるオーミック電極層11をB方向に約400μmの周期で複数形成する。なお、図18は、図6の1000−1000線におけるp型Ge基板10およびオーミック電極層11のA方向に沿った断面図を示している。その後、各々のオーミック電極層11上に融着層1aを予め形成する。
また、図2に示すように、n型GaN基板60上に半導体素子層2を形成するとともに、上記第1実施形態と同様の製造プロセスを用いてリッジ部50を形成することにより、ウェハ状態の半導体レーザ素子部220(図19参照)を形成する。この際、第2実施形態では、図19に示すように、B方向に約400μmの周期で形成されたリッジ部50を有するウェハ状態の半導体レーザ素子部220が形成される。
その後、図19に示すように、半導体レーザ素子部220のp側パッド電極30側と、p型Ge基板10側に形成されたオーミック電極層11とを対向させながら、温度約295℃、荷重約100N/cm2の条件下で接合する。さらに、Nd:YAGレーザ光の第2高調波を照射することにより剥離層61(破線で示す)を蒸発させて、半導体レーザ素子部220からn型GaN基板60をC1方向に剥離する。
その後、図20および図21に示すように、半導体レーザ素子部220の表面に露出した厚さ約3μmの下地層21(図19参照)を、表面の清浄化を目的としてエッチング加工により約0.2μmの厚さに形成するとともに、下地層21の下面上に、真空蒸着法を用いてn側電極31を形成する。その後、半導体レーザ素子部220のn側電極31の表面に、レーザスクライブ法を用いて、B方向に略直線状に延びる破線状のスクライブ溝76を形成する。
ここで、第2実施形態の製造プロセスでは、図21に示すように、p型Ge基板10に形成されているスクライブ溝75のA方向の位置に略一致するようにスクライブ溝76を形成する。なお、図21は、図20のスクライブ溝76が形成されるA方向の位置における接合後のB方向の断面を示している。なお、スクライブ溝76は、本発明の「劈開導入用溝」の一例である。
また、第2実施形態の製造プロセスでは、図20に示すように、約80μmの溝部76aが約320μmの間隔を隔ててB方向に延びるようにスクライブ溝76を破線状に形成するとともに、A方向に約800μmの間隔を隔ててスクライブ溝76を複数形成する。また、溝部76aの部分が、半導体素子層2の表面の領域2a(図21参照)に対応するようにスクライブ溝76を形成する。なお、スクライブ溝76を形成するレーザスクライブには、上記第1実施形態において半導体素子層2にスクライブ溝70(図2参照)を形成した場合と同様のレーザ照射条件を適用する。
この結果、図21に示すように、約1.3μmの厚みに形成された半導体レーザ素子部220には、厚み方向に貫通するようなスクライブ溝76(溝部76a(破線枠内))が形成される。これにより、図20に示すように、B方向に隣接する溝部76aの端部76bを起点として溝部76a間の半導体レーザ素子部220の部分に、略直線状のクラック77(破線で示す)が形成される。またクラック77は、B方向に約320μmの長さを有し、半導体素子層2の領域2b(図21参照)に対応するように形成される。また、p型Ge基板10側のスクライブ溝75(図21参照)のA方向の位置に対応するようにスクライブ溝76を形成しているので、半導体レーザ素子部220に形成されたクラック77とp型Ge基板10側のスクライブ溝75とがB方向に沿って略直線状に並ぶ。
その後、図12に示すように、刃状治具90をスクライブ溝76(図20参照)の形成された位置にB方向に沿ってp型Ge基板10の下面側(アノード側電極12側)からウェハに当接させるとともに、ウェハの上面側(半導体レーザ素子部220側)が開くように荷重を印加することによって、ウェハを、スクライブ溝76の位置(図20参照)でB方向に沿って劈開する。これにより、ウェハは、図20に示した半導体レーザ素子部220側のクラック77とp型Ge基板10側のスクライブ溝75との水平方向(A方向)の位置が揃った状態でA方向に分割されて、一対の共振器端面100aを有するバー状態の半導体レーザ素子200(図12参照)が形成される。
次に、図13に示すように、レーザスクライブ法を用いて、バー状態のウェハのp型Ge基板10の裏面側(アノード側電極12側)から、B方向に約400μmの間隔で、リッジ部50の延びる方向(A方向)に約40μmの深さを有する素子分割用溝73を形成する。その際、一対の共振器端面100aから素子の内側方向(A方向)に約15μmの距離を隔てて約770μmの長さを有する素子分割用溝73を形成する。これにより、共振器端面100aには素子分割用溝73が形成されないので、共振器端面100aはレーザスクライブの影響を直接的に受けない。また、素子分割用溝73を形成するレーザスクライブには、上述のスクライブ溝75(図18参照)を形成した場合と同様のレーザ照射条件を適用する。
この状態で、図22に示すように、刃状治具91を素子分割用溝73の形成された位置にA方向に沿って下面側(半導体レーザ素子部220が接合されている側のp型Ge基板10の表面)からバー状態のウェハに当接させるとともに、バー状態のウェハの裏面側(アノード側電極12側)が開くように荷重を印加することにより、バー状態のウェハを、素子分割用溝73の位置でA方向に沿って分割する。これにより、バー状態のウェハが、図15に示すように、B方向に約400μmの幅およびA方向に約800μmの長さ(共振器長)を有するレーザチップに分割されて、半導体レーザ素子200が多数形成される。
第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、上記のように、半導体素子層2にスクライブ溝76を形成する工程が、n型GaN基板60が除去された半導体素子層2の表面にスクライブ溝76を形成する工程を含むとともに、p型Ge基板10と半導体素子層2とを接合する工程を、p型Ge基板10のスクライブ溝75が形成される側の表面と、半導体素子層2のスクライブ溝76が形成される側と反対側の表面とを接合することによりp型Ge基板10と半導体素子層2とを接合する工程を含むことによって、p型Ge基板10に半導体素子層2を接合した後、n型GaN基板60を除去した後の半導体素子層2に破線状のスクライブ溝76を形成することができるので、スクライブ溝76(クラック77)を、p型Ge基板10のスクライブ溝75の位置の上方に重ねて半導体素子層2の表面(上面側)に確実に形成することができる。
また、第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、p型Ge基板10にスクライブ溝75を形成する工程をp型Ge基板10と半導体レーザ素子部220(半導体素子層2)とを接合する工程に先立って行うとともに、半導体レーザ素子部220にスクライブ溝76を形成する工程を、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部220とを接合する工程の後に、n型GaN基板60が除去された側の半導体素子層2の表面にスクライブ溝76を形成する工程を含むことによって、予めスクライブ溝75が形成されたp型Ge基板10に半導体レーザ素子部220(半導体素子層2)を接合した状態で、半導体レーザ素子部220にスクライブ溝76を形成することができるので、半導体レーザ素子部220に、スクライブ溝75が形成された位置に対応するようにスクライブ溝76を形成することができる。この結果、接合後のp型Ge基板10と半導体レーザ素子部220とを共振器方向(A方向)の略同じ位置において確実に分割することができる。
また、第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、p型Ge基板10の表面にスクライブ溝75を形成する工程が、p型Ge基板10の表面上に保護膜92を形成した後にスクライブ溝75を形成した後、スクライブ溝75が形成されたp型Ge基板10の表面上から保護膜92を除去する工程を含むことによって、p型Ge基板10の表面上に形成された保護膜92によって、スクライブ溝75形成時に、スクライブ溝75が形成されない領域のp型Ge基板10への機械的ダメージおよび熱的ダメージなどを低減することができる。
なお、第2実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスのその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。
(第3実施形態)
図23は、本発明の第3実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。図24は、図23に示した第3実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスを説明するための図である。まず、図23を参照して、この第3実施形態では、上記第1実施形態による半導体レーザ素子部20の製造プロセスと同様に、半導体素子層2のリッジ部50が形成される側の表面(p側コンタクト層27)にレーザスクライブを用いて破線状のスクライブ溝(劈開導入用溝)を形成したウェハ状態の半導体レーザ素子部320と、上記第2実施形態の製造プロセスを用いて形成したp型Ge基板10とを接合して半導体レーザ素子300を形成する場合について説明する。
図23は、本発明の第3実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子の構造を示した斜視図である。図24は、図23に示した第3実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスを説明するための図である。まず、図23を参照して、この第3実施形態では、上記第1実施形態による半導体レーザ素子部20の製造プロセスと同様に、半導体素子層2のリッジ部50が形成される側の表面(p側コンタクト層27)にレーザスクライブを用いて破線状のスクライブ溝(劈開導入用溝)を形成したウェハ状態の半導体レーザ素子部320と、上記第2実施形態の製造プロセスを用いて形成したp型Ge基板10とを接合して半導体レーザ素子300を形成する場合について説明する。
本発明の第3実施形態による形成方法を用いて形成した半導体レーザ素子300では、図23に示すように、p型Ge基板10の表面上に、半導体レーザ素子部320が融着層1を介して接合されている。
ここで、第3実施形態では、半導体レーザ素子部320の共振器端面100aには、共振器端面100aと異なる端面320aがB方向に延びるように形成されている。この端面320aは、後述する製造プロセスにおいて、ウェハ状態の半導体レーザ素子部320をB方向に分割(バー状劈開)する際の分割用溝(スクライブ溝70(溝部70a))が、分割後に半導体レーザ素子部320に残された部分である。なお、半導体レーザ素子300のその他の構造は、上記第2実施形態と同様である。
次に、図2〜図4、図12、図18、図19および図21〜図24を参照して、第3実施形態による半導体レーザ素子300の製造プロセスについて説明する。
第3実施形態による製造プロセスでは、まず、図2に示すように、n型GaN基板60上に半導体素子層2を形成するとともに、図3および図4に示すように、n型GaN基板60(図2参照)上の半導体素子層2の表面に、レーザスクライブ法を用いて、B方向に略直線状に延びる破線状のスクライブ溝70を形成する。これにより、B方向に隣接する溝部70aの端部70bを起点として溝部70a間の半導体素子層2に、略直線状のクラック71(図3に破線で示す)が形成される。
その後、上記第1実施形態と同様の製造プロセスを用いて半導体素子層2にリッジ部50を形成することにより、ウェハ状態の半導体レーザ素子部320を形成する。この際、第3実施形態においても、図19に示すように、B方向に約400μmの周期で形成されたリッジ部50を有するウェハ状態の半導体レーザ素子部320が形成される。
また、上記第2実施形態と同様の製造プロセスを用いてp型Ge基板10の表面にスクライブ溝75(図18参照)を形成する。
その後、図19に示すように、半導体レーザ素子部320のp側パッド電極30側と、p型Ge基板10側に形成されたオーミック電極層11とを対向させながら、温度約295℃、荷重約100N/cm2の条件下で接合する。この際、第3実施形態による製造プロセスでは、図24に示すように、p型Ge基板10に形成されているスクライブ溝75の位置と、半導体素子層2に形成されているスクライブ溝70(溝部70a)の位置とがA方向に揃うように半導体レーザ素子部320とp型Ge基板10とを接合する。これにより、半導体レーザ素子部320のクラック71とp型Ge基板10のスクライブ溝75とが素子の幅方向(B方向)に沿って略直線状に並ぶ。なお、図24は、図3のスクライブ溝70が形成されるA方向の位置における接合後のB方向の断面を示している。
その後、図19に示すように、Nd:YAGレーザ光の第2高調波を照射することにより剥離層61を蒸発させて、半導体レーザ素子部320からn型GaN基板60をC1方向に分離(剥離)する。また、半導体レーザ素子部320の表面に露出した下地層21の下面上にn側電極31(図21参照)を形成する。
その後、上記第2実施形態と同様の製造プロセスを用いて、B方向に沿ったバー状劈開(図12参照)および共振器方向(A方向)に沿った素子分割(図22参照)を行うことにより、チップ化された半導体レーザ素子300(図23参照)が多数形成される。
第3実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、上記のように、n型GaN基板60の表面上に半導体素子層2を形成する工程と、半導体素子層2にスクライブ溝70を形成する工程と、スクライブ溝72が形成されたp型Ge基板10と半導体レーザ素子部320(半導体素子層2)とを接合する工程と、p型Ge基板10および半導体レーザ素子部320をスクライブ溝72およびスクライブ溝70に沿ってバー状に劈開する工程とを備えることによって、n型GaN基板60上に均質で良好な結晶性を有するように形成された半導体素子層2をスクライブ溝70に沿ってp型Ge基板10とともにバー状に分割することができるので、半導体レーザ素子部320(半導体素子層2)の分割面(共振器端面100a)を劈開面からなるように形成することができる。これにより、半導体レーザ素子部320に良好な平坦性を有する共振器端面100aが形成された半導体レーザ素子300を得ることができる。また、半導体レーザ素子部320に平坦性を有する共振器端面100aを形成することができるので、平坦性が良好でない共振器端面を有する半導体レーザ素子とは異なり、レーザ光の出射効率の低下が抑制された半導体レーザ素子300を得ることができる。
また、第3実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスでは、p型Ge基板10と半導体レーザ素子部320(半導体素子層2)とを接合する工程が、p型Ge基板10のスクライブ溝72が形成される側の表面と、半導体素子層2のスクライブ溝70が形成される側の表面とを接合することによりp型Ge基板10と半導体レーザ素子部320とを接合する工程を含むことによって、p型Ge基板10のスクライブ溝75が形成されている位置と、半導体素子層2のスクライブ溝70(クラック71)が形成されている位置とを対向させてp型Ge基板10と半導体レーザ素子部320とを接合することができるので、スクライブ溝75の位置にスクライブ溝70が確実に対応した状態で接合後のウェハをバー状態に劈開することができる。なお、第3実施形態による半導体レーザ素子の製造プロセスのその他の効果は、上記第1および第2実施形態と同様である。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
たとえば、上記第1〜第3実施形態では、発光素子の一例である半導体レーザ素子の形成方法に本発明を適用した例について示したが、本発明はこれに限らず、発光素子の他の例である発光ダイオードチップ(LEDチップ)の形成方法に、本発明を適用してもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、窒化物系化合物半導体からなる半導体レーザ素子の形成方法について示したが、本発明はこれに限らず、窒化物系化合物半導体以外のたとえばGaAs系化合物半導体からなる発光素子の形成方法に、本発明を適用してもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、融着層1および1aを、n型GaN基板60(成長用基板)側のp側パッド電極30およびp型Ge基板10(支持基板)側のオーミック電極層11上にそれぞれ形成した上で、半導体レーザ素子部20とp型Ge基板10との接合時に接合するように構成した例について示したが、本発明はこれに限らず、融着層1を、p側パッド電極30またはオーミック電極層11のいずれか一方側にのみ形成するようにしてもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、成長用基板としてn型GaN基板60を用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、サファイア基板などを用いてもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、支持基板としてp型Ge基板10を用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、GaP基板、Si基板およびGaAs基板などを用いてもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、支持基板であるp型Ge基板10にレーザ光の照射条件を変更してレーザスクライブを2回行うことにより分割用溝を形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、レーザスクライブを2回以外の、たとえば1回または3回以上行うことにより分割用溝を形成してもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、リッジ部50を、半導体レーザ素子部20(220、320)のB方向の略中央部に形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、半導体レーザ素子部20(220、320)のB方向の中央部から所定の距離だけずらした位置に形成するようにしてもよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、1つの半導体レーザ素子部20(220、320)に1つのリッジ部50を形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、1つの半導体レーザ素子部に2つ以上のリッジ部(光導波路)を形成するようにしてもよい。
2 半導体素子層
10 p型Ge基板(支持基板)
24 活性層(発光層)
60 n型GaN基板(成長用基板)
70、76 スクライブ溝(劈開導入用溝)
72、75 スクライブ溝(分割用溝)
10 p型Ge基板(支持基板)
24 活性層(発光層)
60 n型GaN基板(成長用基板)
70、76 スクライブ溝(劈開導入用溝)
72、75 スクライブ溝(分割用溝)
Claims (6)
- 成長用基板の表面上に発光層を有する半導体素子層を形成する工程と、
前記半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程と、
支持基板の前記半導体素子層が接合される側の表面に分割用溝を形成する工程と、
前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程と、
前記支持基板および前記半導体素子層を、前記分割用溝および前記劈開導入用溝に沿って分割する工程とを備える、発光素子の形成方法。 - 前記分割用溝および前記劈開導入用溝は、共に、前記支持基板および前記半導体素子層を分割する際の分割面内に形成される、請求項1に記載の発光素子の形成方法。
- 前記劈開導入用溝を形成する工程は、前記半導体素子層に破線状の前記劈開導入用溝を形成する工程を含む、請求項1または2に記載の発光素子の形成方法。
- 前記半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程は、前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、
前記分割用溝を形成する工程は、前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程の後に行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子の形成方法。 - 前記支持基板に前記分割用溝を形成する工程は、前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、
前記半導体素子層に前記劈開導入用溝を形成する工程は、前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程の後に、前記成長用基板が除去された側の前記半導体素子層の表面に前記劈開導入用溝を形成する工程を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子の形成方法。 - 前記半導体素子層に劈開導入用溝を形成する工程および前記支持基板に分割用溝を形成する工程は、共に、前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程に先立って行われ、
前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程は、前記支持基板の前記分割用溝が形成される側の表面と、前記半導体素子層の前記劈開導入用溝が形成される側の表面とを接合することにより前記支持基板と前記半導体素子層とを接合する工程を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子の形成方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015529020A (ja) * | 2012-08-13 | 2015-10-01 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | 半導体レーザ素子を製造する方法および半導体レーザ素子 |
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-
2008
- 2008-08-08 JP JP2008206300A patent/JP2010045076A/ja active Pending
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